JPS5915318A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
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- JPS5915318A JPS5915318A JP12463382A JP12463382A JPS5915318A JP S5915318 A JPS5915318 A JP S5915318A JP 12463382 A JP12463382 A JP 12463382A JP 12463382 A JP12463382 A JP 12463382A JP S5915318 A JPS5915318 A JP S5915318A
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- crystal
- crystal oscillator
- crystal resonator
- equivalent resistance
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ＡＴカットのエネルギーとじ込め形水晶振動
子の製造方法に関するものである。
子の製造方法に関するものである。
水晶板のＡＴカットやＢＴカッ）Ｚど回転Ｙ板の水晶振
動子の振動変位の方向に、水晶板のＸ軸方向と平行であ
る。このような水晶振動子において、特に外形寸法に規
制さｎ’ｉｘい場合に、正方形板あるいは円板が多く用
いらｎている。
動子の振動変位の方向に、水晶板のＸ軸方向と平行であ
る。このような水晶振動子において、特に外形寸法に規
制さｎ’ｉｘい場合に、正方形板あるいは円板が多く用
いらｎている。
しかし、電子機器の小形化に伴ない、水晶振動子の小形
化、薄形化が要望さｎると同時に、消費電力を少なくす
るため水晶振動子のＱ値の高いもの−ｊなわち等価抵抗
の小さいものが要求さ扛ている。
化、薄形化が要望さｎると同時に、消費電力を少なくす
るため水晶振動子のＱ値の高いもの−ｊなわち等価抵抗
の小さいものが要求さ扛ている。
こｎらの要求を満たすものとして、従来、水晶片の振動
変位方向の寸法を長くし、かつ振動変位に直角な方向を
短かくした矩形板水晶振動子が用いらｎている。
変位方向の寸法を長くし、かつ振動変位に直角な方向を
短かくした矩形板水晶振動子が用いらｎている。
第１図は、この様な振動方向、すなわちＸ軸方向に細長
い矩形板に加工した水晶振動子の斜視図ケ示したもので
ある。第１図の水晶振動子において、Ｘ軸方向の長さを
短かくした場合不要振動が多く発生し、そ扛によって等
価抵抗が増大する。
い矩形板に加工した水晶振動子の斜視図ケ示したもので
ある。第１図の水晶振動子において、Ｘ軸方向の長さを
短かくした場合不要振動が多く発生し、そ扛によって等
価抵抗が増大する。
その原因は、振動エネルギーが振動方向、すなわちＸ軸
方向に漏ｎるためである。
方向に漏ｎるためである。
このような振動エネルギーの漏；ｎ′ｆ！！：防止する
ため、水晶振動子の両端部の厚さを中央部の厚さより薄
くする方法が一般に知ｂｎている。第２図（ａ）。
ため、水晶振動子の両端部の厚さを中央部の厚さより薄
くする方法が一般に知ｂｎている。第２図（ａ）。
（ｂ）、 Ｃｏ）Ｉｆｆこの方法を具体化した最も代表
的な水晶振動子の斜視図を示し、同図（すはプラノベベ
ル形、（ｂ）ｉｊ：ダブルベベル形、 （０）Ｈダブル
コンベックス形と称さ扛、図示した様に振動子の両端部
が薄く加工さ扛ている。
的な水晶振動子の斜視図を示し、同図（すはプラノベベ
ル形、（ｂ）ｉｊ：ダブルベベル形、 （０）Ｈダブル
コンベックス形と称さ扛、図示した様に振動子の両端部
が薄く加工さ扛ている。
しかしながら、こｎ等の水晶振動子では、いづ扛の場合
も等価抵抗の点で更に改善が望′１．ｎでいる。例えば
、この様な水晶振動子を容器に密封する場合、振動子の
両端或いに一方端を保持し、導電性電極接着剤などによ
って固着すると、その影響によって等価抵抗が増大する
。その原因は、第２図の形状に加工しても完全に両端、
すなわち固着端部の振動エネルギーの漏ｆＬヲ防止する
ことができないためである。
も等価抵抗の点で更に改善が望′１．ｎでいる。例えば
、この様な水晶振動子を容器に密封する場合、振動子の
両端或いに一方端を保持し、導電性電極接着剤などによ
って固着すると、その影響によって等価抵抗が増大する
。その原因は、第２図の形状に加工しても完全に両端、
すなわち固着端部の振動エネルギーの漏ｆＬヲ防止する
ことができないためである。
不発明にこのような従来の欠点を除去し、等価抵抗が前
述の両端部固着によって影響を受けることのないエネル
ギーとじ込め形水晶振動子を得ら扛る方法ケ提供するも
のである。
述の両端部固着によって影響を受けることのないエネル
ギーとじ込め形水晶振動子を得ら扛る方法ケ提供するも
のである。
以下、本発明の製造方法について図面を参照して具体的
に説明する。
に説明する。
第３図（ａ）の１０［ムＴカット矩形板水晶振動子を示
す。こ＼で１，２にスクリーン印刷によって形成さｎた
エポキシ樹脂を示す。また３、４はエポキシ樹脂によっ
て被覆さ：０．７ｊ水晶板の両主面であり、ｓ、 ６
＋ ７＋ ＥＩＪ露出した水晶撮動子の両主面端部
である。エボギシ樹脂ケ熱処理によって硬化させた後、
化学エツチング溶液中に水晶板を数時間浸漬し、その後
エポキシ樹脂を除去゛Ｉｎば第３図（ｂ）に示す形状の
矩形水晶振動子が得らｎる。
す。こ＼で１，２にスクリーン印刷によって形成さｎた
エポキシ樹脂を示す。また３、４はエポキシ樹脂によっ
て被覆さ：０．７ｊ水晶板の両主面であり、ｓ、 ６
＋ ７＋ ＥＩＪ露出した水晶撮動子の両主面端部
である。エボギシ樹脂ケ熱処理によって硬化させた後、
化学エツチング溶液中に水晶板を数時間浸漬し、その後
エポキシ樹脂を除去゛Ｉｎば第３図（ｂ）に示す形状の
矩形水晶振動子が得らｎる。
同図（ｂ）で３，４はエポキシ樹脂を被覆していた主面
、５’、 ｅ’、 ７’、 ８’Ｕエツチングケ施
した端面、９．１０，１１，１２ｆｄエツチングによっ
て構成さｔ″Ｌだ段差である。
、５’、 ｅ’、 ７’、 ８’Ｕエツチングケ施
した端面、９．１０，１１，１２ｆｄエツチングによっ
て構成さｔ″Ｌだ段差である。
このようにして第３図（ｂ）の形状の水晶振動子全形成
す扛ば、前述の振動エネルギーは水晶板の両主面３，４
に集中さ扛、同時に９． １０． １１゜１２の段差に
よって振動エネルギーの漏扛を防止し、従って、６′、
６′、７′、８′のエツチング面すなわち水晶板の両端
部には振動エネルギーの影響を受けない。
す扛ば、前述の振動エネルギーは水晶板の両主面３，４
に集中さ扛、同時に９． １０． １１゜１２の段差に
よって振動エネルギーの漏扛を防止し、従って、６′、
６′、７′、８′のエツチング面すなわち水晶板の両端
部には振動エネルギーの影響を受けない。
振動子の電極は、振動子の両主面中央部のみ形成するわ
けであって、振動エネルギーとしては、両主面３，４の
間のみに含ま扛る。一方、面６′。
けであって、振動エネルギーとしては、両主面３，４の
間のみに含ま扛る。一方、面６′。
６’、 ７’、 ８’Ｕ振動の影響がないため、振動
子を保持し、導電性接着剤などで固着しても等価抵抗に
変化しない。この方法によると機械加工と異なり、スク
リーン印刷とエツチング法のみで製造できるため、量産
面において有利である。また、エポキシ樹脂の塗布寸法
は、振動子長さ寸法に対して中火部約１／３に塗布した
場合に最もＱ値の高い水晶振動子を得ることかで＠た。
子を保持し、導電性接着剤などで固着しても等価抵抗に
変化しない。この方法によると機械加工と異なり、スク
リーン印刷とエツチング法のみで製造できるため、量産
面において有利である。また、エポキシ樹脂の塗布寸法
は、振動子長さ寸法に対して中火部約１／３に塗布した
場合に最もＱ値の高い水晶振動子を得ることかで＠た。
以下、本発明の一実施例を述べる。
ＡＴカット矩形板水晶振動子として、長さ８問。
幅２ ｖｖｔｔｒ ｑ サｏ、４ｍｔｎの矩形板を用い
た。エポキシ樹脂と［、テ（ｄ ＥＰＯ−ＴＥＫ Ｈ−
３１Ｄ （室町化学製）を使用し、振動子中央部に長さ
・３朋の寸法で両主面に対向する様にスクリーン印刷に
よって塗布した。エポキシ樹脂１１５ｏ℃＋ １時間
で硬化後、５３±２℃の弗化水素アンモニウム溶液中に
３時間浸漬した。水洗後、エポキシ樹脂を除去し、振動
子の駆動電極とじで蒸着による銀電極を形成した。等価
抵抗の測定として、クリスタルインピーダンスメータ（
Ｂｏｏｎｔｏｎ社製Ｍｏｄｅｌ ５９５０Ａ ）を用い
て行なった結果、２８Ω（Ｑ値２２Ｘ１０ ）ケ得た
。同時に密封容器ベースの端子と振動子の両端部を保持
し、導電性接着剤で固定後の等価抵抗を測定したところ
、２９．６０とほとんど変化しなかった。
た。エポキシ樹脂と［、テ（ｄ ＥＰＯ−ＴＥＫ Ｈ−
３１Ｄ （室町化学製）を使用し、振動子中央部に長さ
・３朋の寸法で両主面に対向する様にスクリーン印刷に
よって塗布した。エポキシ樹脂１１５ｏ℃＋ １時間
で硬化後、５３±２℃の弗化水素アンモニウム溶液中に
３時間浸漬した。水洗後、エポキシ樹脂を除去し、振動
子の駆動電極とじで蒸着による銀電極を形成した。等価
抵抗の測定として、クリスタルインピーダンスメータ（
Ｂｏｏｎｔｏｎ社製Ｍｏｄｅｌ ５９５０Ａ ）を用い
て行なった結果、２８Ω（Ｑ値２２Ｘ１０ ）ケ得た
。同時に密封容器ベースの端子と振動子の両端部を保持
し、導電性接着剤で固定後の等価抵抗を測定したところ
、２９．６０とほとんど変化しなかった。
以上の説明から明らかなように本発明によｎば、水晶振
動子の形成をスクリーン印刷とエツチングで行なうこと
ができるため、水晶振動子の保持によって等価抵抗が影
響を受けない安定な特性の水晶振動子を安価に提供でき
る。
動子の形成をスクリーン印刷とエツチングで行なうこと
ができるため、水晶振動子の保持によって等価抵抗が影
響を受けない安定な特性の水晶振動子を安価に提供でき
る。
第１図は矩形板ＡＴカット水晶振動子の斜視図、第２図
（＆）、 （ｂ）、 （０）ＦＪプラノベベル形、ダブ
ルベベル形およびダブルコンベックス形の水晶振動子の
斜視図、第３図（ａ）、 （ｂ）Ｕ本発明の各製造工程
ケ示す斜視図である。 １．２・・・・・・エポキシ樹脂、３，４・・・・・・
水晶振動子の主面、５’、 ６’、 ７’、 ８
’・・・・・・エツチング面、９゜１０．１１．１２・
・・・・・段差。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
因 第２図 第３図 １θ
（＆）、 （ｂ）、 （０）ＦＪプラノベベル形、ダブ
ルベベル形およびダブルコンベックス形の水晶振動子の
斜視図、第３図（ａ）、 （ｂ）Ｕ本発明の各製造工程
ケ示す斜視図である。 １．２・・・・・・エポキシ樹脂、３，４・・・・・・
水晶振動子の主面、５’、 ６’、 ７’、 ８
’・・・・・・エツチング面、９゜１０．１１．１２・
・・・・・段差。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
因 第２図 第３図 １θ
Claims (1)
- ＡＴカットの矩形板形状の水晶振動子の両主面中央部に
エポキシ樹脂を塗布し、前記水晶振動子を化学エツチン
グ処理して前記水晶振動子の両生面端部の厚さケ両主面
中央部の厚さよりも薄く形成した後、前記エポキシ樹脂
を除去することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12463382A JPS5915318A (ja) | 1982-07-16 | 1982-07-16 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12463382A JPS5915318A (ja) | 1982-07-16 | 1982-07-16 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915318A true JPS5915318A (ja) | 1984-01-26 |
Family
ID=14890240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12463382A Pending JPS5915318A (ja) | 1982-07-16 | 1982-07-16 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915318A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5304459A (en) * | 1990-04-27 | 1994-04-19 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
-
1982
- 1982-07-16 JP JP12463382A patent/JPS5915318A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5314577A (en) * | 1990-04-26 | 1994-05-24 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US5304459A (en) * | 1990-04-27 | 1994-04-19 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US5376861A (en) * | 1990-04-27 | 1994-12-27 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
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