JPS59152239A - 光導波体の製造方法 - Google Patents
光導波体の製造方法Info
- Publication number
- JPS59152239A JPS59152239A JP2271184A JP2271184A JPS59152239A JP S59152239 A JPS59152239 A JP S59152239A JP 2271184 A JP2271184 A JP 2271184A JP 2271184 A JP2271184 A JP 2271184A JP S59152239 A JPS59152239 A JP S59152239A
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- JP
- Japan
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- generating device
- burner
- substrate
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/0128—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass
- C03B37/01291—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass by progressive melting, e.g. melting glass powder during delivery to and adhering the so-formed melt to a target or preform, e.g. the Plasma Oxidation Deposition [POD] process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、回転している基体上に粒子状のガラス材料が
付着されてプレフォームが形成され、そのグレアオーム
から光導波体が線引きされる光導波体の製造方法に関す
るものである。
付着されてプレフォームが形成され、そのグレアオーム
から光導波体が線引きされる光導波体の製造方法に関す
るものである。
プレフォームのガラス材料が回転している基体上に粒子
形状で付着されるそのような製造方e 法は例えが西ドイツ特許公報DE−A82313203
号および2715333号によって知られている。
形状で付着されるそのような製造方e 法は例えが西ドイツ特許公報DE−A82313203
号および2715333号によって知られている。
この種の全ての通常の製造方法に共通していることは、
付着されるべき粒子状のガラス材料は化学的酸化反応に
よって1以上のバーナー中で生成され、反応にすぐ続い
て回転している基体上に付着され、その過程において例
えばS IC114およびGo C14が炎の中でそれ
ぞれ5i02およびGe 02に酸化される。したがっ
て一般に塩化物或はオキシ塩化物がこれらの方法の出発
材料として使用されている。これらの反応性によってこ
れらの化合物は絶対に水分の存在しない環境に貯蔵され
なければならない。通常石英ガラス容器が貯蔵ならびに
輸送容器として使用されているが、とれらの容器は非常
に注意して取扱わなければならない。
付着されるべき粒子状のガラス材料は化学的酸化反応に
よって1以上のバーナー中で生成され、反応にすぐ続い
て回転している基体上に付着され、その過程において例
えばS IC114およびGo C14が炎の中でそれ
ぞれ5i02およびGe 02に酸化される。したがっ
て一般に塩化物或はオキシ塩化物がこれらの方法の出発
材料として使用されている。これらの反応性によってこ
れらの化合物は絶対に水分の存在しない環境に貯蔵され
なければならない。通常石英ガラス容器が貯蔵ならびに
輸送容器として使用されているが、とれらの容器は非常
に注意して取扱わなければならない。
西ドイツ公開特許公報DE−083000762号には
コアガラス材料の棒上にクラッド層を付着させる方法が
記載されているが、その製造の詳細については明らかに
されていない。この方法においては出発材料として塩化
物ではなく、すでに酸化物となったものが使用されてい
る。すなわち粒子状材料の付着は酸化反応と結合してい
ない。
コアガラス材料の棒上にクラッド層を付着させる方法が
記載されているが、その製造の詳細については明らかに
されていない。この方法においては出発材料として塩化
物ではなく、すでに酸化物となったものが使用されてい
る。すなわち粒子状材料の付着は酸化反応と結合してい
ない。
これにおいてはプラズマバーナーの炎に対して横断する
ように重力によって供給されるガラス粉末が炎に伴われ
て炎で加熱されているコアガラス材料の回転している棒
の表面に均質なガラス状層が生じるように付着される。
ように重力によって供給されるガラス粉末が炎に伴われ
て炎で加熱されているコアガラス材料の回転している棒
の表面に均質なガラス状層が生じるように付着される。
ガラス粉末の粒子は炎の中で小さな水滴状に溶融して同
時にガラス化されて基体上に付着されるから、この方法
は付着されたガラスが清浄にされることを殆ど許さず、
水酸基群が含まれるのを避は或は含まれた水酸基群を続
いて除去することはこの方法では殆ど不可能である。
時にガラス化されて基体上に付着されるから、この方法
は付着されたガラスが清浄にされることを殆ど許さず、
水酸基群が含まれるのを避は或は含まれた水酸基群を続
いて除去することはこの方法では殆ど不可能である。
単結晶の成長のためにいわゆるVerneull法を使
用することが西ドイツ特許公報DE−PS241511
0号に記載されておシ、それにおいては粉末状の酸化物
形成用材料は管状酸水素炎バーナー中に同軸に導入され
、そこで溶融されて同軸に配置された板(基体)上に付
着される。その基体は付着中回転され、付着された材料
の成長速度に応じて酸水素炎バーナーから離れた軸方向
に移動される。
用することが西ドイツ特許公報DE−PS241511
0号に記載されておシ、それにおいては粉末状の酸化物
形成用材料は管状酸水素炎バーナー中に同軸に導入され
、そこで溶融されて同軸に配置された板(基体)上に付
着される。その基体は付着中回転され、付着された材料
の成長速度に応じて酸水素炎バーナーから離れた軸方向
に移動される。
この方法においては粉末の供給の量は制御されず、また
粉末状の出発材料或は原材料として5− 2酸化シリコンの使用はその方法に関しては知られてい
ない。
粉末状の出発材料或は原材料として5− 2酸化シリコンの使用はその方法に関しては知られてい
ない。
本発明の目的は、取扱いの困難な塩化物或はオキシ塩化
物を使用せず、しかも同時に高い純度のプレフォームの
製作が可能である光導波体の製造のための前述の形式の
製造方法を提供することである。
物を使用せず、しかも同時に高い純度のプレフォームの
製作が可能である光導波体の製造のための前述の形式の
製造方法を提供することである。
この目的は、粉末状2酸化シリコンまたはそれと1以上
の粉末状ドープ材料とがガス流によっ→・フ ?歪給量が制御された供給装置によってリング状または
管状の発熱装置中に同軸的に導入され。
の粉末状ドープ材料とがガス流によっ→・フ ?歪給量が制御された供給装置によってリング状または
管状の発熱装置中に同軸的に導入され。
その発熱装置内において溶融或は蒸発され、続いて凝結
されて回転している基体上に付着されることによってプ
レフォームが形成され、そのプレフォームから光導波体
が線引きされる方法によって達成される。
されて回転している基体上に付着されることによってプ
レフォームが形成され、そのプレフォームから光導波体
が線引きされる方法によって達成される。
以下添付図面を参照に実施例によって本発明の詳細な説
明する。
明する。
=6−
以下説明する方法のための出発材料(原材料)は2酸化
シリコンの粉末、或は2酸化シリコンと2酸化ダルマニ
ウムのようなドープ材料酸化物の混合粉末である。その
ような粉状出発材料はまた何等経費のかかる安全技術の
装置を要することなく大量に処理され、貯蔵されること
ができる。
シリコンの粉末、或は2酸化シリコンと2酸化ダルマニ
ウムのようなドープ材料酸化物の混合粉末である。その
ような粉状出発材料はまた何等経費のかかる安全技術の
装置を要することなく大量に処理され、貯蔵されること
ができる。
粉末は供給容器1に入れられておシ、そこからウオーム
ギヤ駆動手段によシ制御されて駆動される供給スクリュ
ー(ウオームコンベア)2の形態の計量給送装置(fe
eder )によって発熱装置中に導入される。その発
熱装置は粉末を溶融或は蒸発させて基体上に粒子状ガラ
ス材料の形態で付着させる。この実施例の場合には発熱
装置は数個の同軸管(図の実施例では3個の同軸管4.
s、e)から成る酸水素炎バーナーである。供給スクリ
ュー2によって粉末材料はバーナーの内側管4中へ導か
れ、その管4は同時に酸素の供給管として作用する。酸
素の供給によって均質なガスと粉末の混合物が生成され
る。
ギヤ駆動手段によシ制御されて駆動される供給スクリュ
ー(ウオームコンベア)2の形態の計量給送装置(fe
eder )によって発熱装置中に導入される。その発
熱装置は粉末を溶融或は蒸発させて基体上に粒子状ガラ
ス材料の形態で付着させる。この実施例の場合には発熱
装置は数個の同軸管(図の実施例では3個の同軸管4.
s、e)から成る酸水素炎バーナーである。供給スクリ
ュー2によって粉末材料はバーナーの内側管4中へ導か
れ、その管4は同時に酸素の供給管として作用する。酸
素の供給によって均質なガスと粉末の混合物が生成され
る。
供給スクリュー2は単位時間にバーナー中に導入される
べき粉末の量を決定する。単位時間に導入されるべき粉
末の量を所定値にするためにマス・フロー(mass−
flow )調整装置が設けられる。全く所要の測定精
度によるものであるが、マス・フロー測定は種々の原理
によって行うことができ、例えば光伝送測定、光散乱測
定、或はマス・フローの容量測定を行うことができる。
べき粉末の量を決定する。単位時間に導入されるべき粉
末の量を所定値にするためにマス・フロー(mass−
flow )調整装置が設けられる。全く所要の測定精
度によるものであるが、マス・フロー測定は種々の原理
によって行うことができ、例えば光伝送測定、光散乱測
定、或はマス・フローの容量測定を行うことができる。
粉末の誘電率は1と大きく異なるから容量測定は特に好
ましい。
ましい。
水素はバーナーの管の中間のもの5に導入され、外側の
管6を通って成るガスが炎の中で蒸発された粉末を清掃
し、付着した物質中の水酸基群を避けるためにバーナー
の炎の中に導かれる。一般にこの目的で遷移金属の形態
にある不純物と共に付着温反において水酸基群と揮発性
である化合物を形成するガスを使用することが適当であ
る。例えばこの目的には塩素ガスが適している。もし必
要であればアルゴンのような保護ガスもまた塩素ガスに
添加されてもよい。
管6を通って成るガスが炎の中で蒸発された粉末を清掃
し、付着した物質中の水酸基群を避けるためにバーナー
の炎の中に導かれる。一般にこの目的で遷移金属の形態
にある不純物と共に付着温反において水酸基群と揮発性
である化合物を形成するガスを使用することが適当であ
る。例えばこの目的には塩素ガスが適している。もし必
要であればアルゴンのような保護ガスもまた塩素ガスに
添加されてもよい。
水素、酸素および塩素の流速を調整するためにマス・フ
ロー調整装置8,9および1oが設けられている。
ロー調整装置8,9および1oが設けられている。
前述のバーナーは燃焼室)1中に開放しておplこの燃
焼室1ノはその頂部に気密の入口を有し、廃ガスおよび
水蒸気を吸出すことができるように吸出し管(排出管)
12を備えている。
焼室1ノはその頂部に気密の入口を有し、廃ガスおよび
水蒸気を吸出すことができるように吸出し管(排出管)
12を備えている。
燃焼室中の、もっと詳しく言えばそこにある炎中におい
てバーナーに導入された粉末材料は蒸発或は溶融して、
そのため純化および水酸基群の除去が気相或は液相から
行われることができる。恐らくそれに続く再凝結によっ
て粒子状のガラス材料は気相或は液相から基体上に付着
される。
てバーナーに導入された粉末材料は蒸発或は溶融して、
そのため純化および水酸基群の除去が気相或は液相から
行われることができる。恐らくそれに続く再凝結によっ
て粒子状のガラス材料は気相或は液相から基体上に付着
される。
処理技術の観点からはすでに炎の中にはない塩素ガスに
よって、さらに塩素ガスを追加せずに、付着された粒子
状材料を後の処理工程の過程において塩素処理を受ける
ようにして材料の純化と水酸基群の除去を行うことが成
る環境下では好ましい。その場合にはバーナーはもっば
ら基体9− 上に粒子状ガラス材料を付着させる作用をする。
。
よって、さらに塩素ガスを追加せずに、付着された粒子
状材料を後の処理工程の過程において塩素処理を受ける
ようにして材料の純化と水酸基群の除去を行うことが成
る環境下では好ましい。その場合にはバーナーはもっば
ら基体9− 上に粒子状ガラス材料を付着させる作用をする。
。
炎から出て再凝結した材料がその上に付着する基体は燃
焼室11内においてバーナーのヘッドと基体上の付着位
置との間隔が確実な方法で調整されることができる方位
で配置されている。
焼室11内においてバーナーのヘッドと基体上の付着位
置との間隔が確実な方法で調整されることができる方位
で配置されている。
図示の実施例では基体上の付着材料のために基体軸に対
して軸方向にプレフォームが成長する方法が使用される
。基体としてガラス棒13が使用され、それはその縦軸
を中心に回転され、付着はその端面に行われてそこにプ
レフォームが成長する。
して軸方向にプレフォームが成長する方法が使用される
。基体としてガラス棒13が使用され、それはその縦軸
を中心に回転され、付着はその端面に行われてそこにプ
レフォームが成長する。
燃焼室内の温度、特に付着表面の温度は・ぐイロメータ
J4によって決定され、成長するグレ゛7オームを囲ん
で設けられた抵抗加熱体15或は燃料ガスの供給のよう
な追加の加熱装置によって制御される。炎の温度は第2
の・ぐイロメータ16によシ決定される。
J4によって決定され、成長するグレ゛7オームを囲ん
で設けられた抵抗加熱体15或は燃料ガスの供給のよう
な追加の加熱装置によって制御される。炎の温度は第2
の・ぐイロメータ16によシ決定される。
吸出し管12を介して圧力が調整できる燃焼室内におけ
る付着条件はプレ7オームノ7が多孔状態かガラス質状
態かの何れかの状態で生じ1n− るように調整されることができる。多孔性プレフォーム
は後にガラス状プレフォームに溶融されなければならな
いが前述した気相からの純化が光分の結果を与えないた
めにさらに純化のため或は水酸基群の除去のだめの別の
処理を必要とする場合には好ましいものである。
る付着条件はプレ7オームノ7が多孔状態かガラス質状
態かの何れかの状態で生じ1n− るように調整されることができる。多孔性プレフォーム
は後にガラス状プレフォームに溶融されなければならな
いが前述した気相からの純化が光分の結果を与えないた
めにさらに純化のため或は水酸基群の除去のだめの別の
処理を必要とする場合には好ましいものである。
前述のようにバーナーによシ付着された軸方向に成長し
た材料から生じた第1の材料に異なる組成を有する第2
の材料を付着することができるようにするために第2の
バーナーJ8が設けられる。燃焼室中に開口されたバー
ナーヘッドの極が図示されているこの第2のバーナー1
8は第1のバーナーと同じように設計され、同じように
材料やガスを供給され、制御される。
た材料から生じた第1の材料に異なる組成を有する第2
の材料を付着することができるようにするために第2の
バーナーJ8が設けられる。燃焼室中に開口されたバー
ナーヘッドの極が図示されているこの第2のバーナー1
8は第1のバーナーと同じように設計され、同じように
材料やガスを供給され、制御される。
第2のバーナーJ8は基体の回転軸に対して垂直に延び
る方向に付着を行うoしたがって第1のバーナーによっ
て付着された材料の外面を被覆するととができる。この
ようにして付着された材料は例えば屈折率が前よりも低
い、プレフォームから線引きされたファイバーのクラッ
ド材料として要求される材料であってよい。基体が図示
の第1のバーナーの軸に対して配置される方向は、温度
および付着条件の観点によ9両バーナーが付着面に対し
て適当な方位にあるように選ばれる。
る方向に付着を行うoしたがって第1のバーナーによっ
て付着された材料の外面を被覆するととができる。この
ようにして付着された材料は例えば屈折率が前よりも低
い、プレフォームから線引きされたファイバーのクラッ
ド材料として要求される材料であってよい。基体が図示
の第1のバーナーの軸に対して配置される方向は、温度
および付着条件の観点によ9両バーナーが付着面に対し
て適当な方位にあるように選ばれる。
もしもコアの組成が半径方向で屈折率が変化すべきであ
るならば、図示の第1のバーナーの代シに通常の方法で
多重バーナーが使用される。
るならば、図示の第1のバーナーの代シに通常の方法で
多重バーナーが使用される。
それはそのバーナーのノズルの配置のために、或は局部
的な温度分布のために、およびそれに異なった組成の粉
末を供給するために所望の屈折率分布を生成する。
的な温度分布のために、およびそれに異なった組成の粉
末を供給するために所望の屈折率分布を生成する。
可能な別の手段は、そのノズルの適当な配置のみによっ
て均質な粉末混合物から所望の屈折率分布を生じるよう
なバーナーを使用するものである。
て均質な粉末混合物から所望の屈折率分布を生じるよう
なバーナーを使用するものである。
さらに別の可能な手段は適当な方法で配置された数個の
独立したバーナーを使用するものである。
独立したバーナーを使用するものである。
以上説明したこの発明は数個の層が回転している基体の
外面上に次々と付着されるように利用されることもでき
る。
外面上に次々と付着されるように利用されることもでき
る。
粉末状の出発材料を溶融するための発熱装置として前述
した形式のガスバーナーの代シにインダクティプ或はキ
ャパシティブの何れかのプラズマ結合によるプラズマバ
ーナー或はまた電弧バーナーも使用可能である。またレ
ーザノ4ルス発生装置を使用してレーザパルスの形態で
必要なエネルギを与えることも可能でろると思われる。
した形式のガスバーナーの代シにインダクティプ或はキ
ャパシティブの何れかのプラズマ結合によるプラズマバ
ーナー或はまた電弧バーナーも使用可能である。またレ
ーザノ4ルス発生装置を使用してレーザパルスの形態で
必要なエネルギを与えることも可能でろると思われる。
出発材料(原材料)すなわち、2酸化シリコン粉岑およ
び例えば2酸化ゲルマニウムのようなドーグ材料酸化物
粉末は異なった品質でいくつかの製造業者によシ市販さ
れている。粉末の粒子として数百分の1ミクロンの寸法
の粒子を便用するのが適当と思われる。
び例えば2酸化ゲルマニウムのようなドーグ材料酸化物
粉末は異なった品質でいくつかの製造業者によシ市販さ
れている。粉末の粒子として数百分の1ミクロンの寸法
の粒子を便用するのが適当と思われる。
図は本発明の方法の1実施例を行うために使用する装置
を示す。 1・・・供給装置、2・・・供給スクリz−・ 4・5
I13− 抵抗加熱体、ノア・・・付着したプレフォーム、ノ8・
・・第2のバーナー。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦14−
を示す。 1・・・供給装置、2・・・供給スクリz−・ 4・5
I13− 抵抗加熱体、ノア・・・付着したプレフォーム、ノ8・
・・第2のバーナー。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦14−
Claims (9)
- (1)粉末状2酸化シリコンまたはそれと1以ε 上の粉末状ドーグ材料とがガス流に利用し、供給量が制
御された供給装置によってリング状またけ管状の発熱装
置中に同軸的に導入され、その発熱装置内において溶融
或は蒸発され、続いて凝結されて回転している基体上に
付着されることを特徴とする回転している基体上に粒子
状のガラス材料が付着されてプレフォームが形成され、
そのプレフォームから光導波体が線引きされる光導波体
の製造方法。 - (2) プレフォームのコアとクラッド層が同時また
は次々に基体上に付着されることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の方法。 - (3)前記粒子状のガラス材料は多孔質体が生成される
ように前記回転している基体上に付着され、その多孔質
体がその後ガラス状ルフオ一ムに溶融されることを特徴
とする特許請求の範囲第1項または第2項記載の方法。 - (4)前記粒子状のガラス材料が前記回転している基体
上に直にガラス化されるように付着されることを特徴と
する特許請求の範囲第1項または第2項記載の方法。 - (5)1以上のガスが前記発熱装置中に導入され、その
ガスは遷移金属および水酸基群と付着温度において蒸発
する化合物を形成することを特徴とする特許請求の範囲
第1項乃至第4項の何れか1項記載の方法。 - (6)不活性ガスが付加的に前記発熱装置中に導入され
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第5項の
何れか1項記載の方法。 - (7)ガスバーナーが発熱装置として使用されることを
特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第6項の何れか1
項記載の方法。 - (8)プラズマバーナーが発熱装置として開用されるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第6項の何れ
か1項記載の方法。 - (9)電弧装置が発熱装置として使用されることを特徴
とする特許請求の範囲第1項乃至第6項の何れか1項記
載の方法。 (10レーザパルス発生装置が発熱装置として使用され
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第6項の
何れか1項記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833304552 DE3304552A1 (de) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | Verfahren zur herstellung von lichtwellenleitern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59152239A true JPS59152239A (ja) | 1984-08-30 |
Family
ID=6190489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2271184A Pending JPS59152239A (ja) | 1983-02-10 | 1984-02-09 | 光導波体の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59152239A (ja) |
AU (1) | AU2425884A (ja) |
DE (1) | DE3304552A1 (ja) |
FR (1) | FR2540856A1 (ja) |
GB (1) | GB2134896A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02283628A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-21 | Nippon Sekiei Glass Kk | 石英ガラス管のフランジの取り付け加工方法 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3434598A1 (de) * | 1984-09-20 | 1986-03-27 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur herstellung von vorformen aus glas fuer lichtleitfasern |
JP3485697B2 (ja) * | 1995-11-07 | 2004-01-13 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
FR2762836B1 (fr) | 1997-05-02 | 1999-07-23 | Alsthom Cge Alcatel | Procede et appareil de fabrication de preformes de fibre de verre |
FR2760449B1 (fr) | 1997-03-06 | 1999-04-16 | Alcatel Fibres Optiques | Procede pour purifier de la silice naturelle ou synthetique et application au depot de silice naturelle ou synthetique purifiee sur une preforme de fibre optique |
FR2782316B1 (fr) * | 1998-08-17 | 2001-01-05 | Alsthom Cge Alkatel | Procede pour purifier de la silice naturelle ou synthetique et application au depot de silice naturelle ou synthetique purifiee sur une preforme de fibre optique |
US6269663B1 (en) | 1998-03-05 | 2001-08-07 | Alcatel | Method of purifying silica and depositing on an optical fiber preform |
JP3796561B2 (ja) * | 1999-04-21 | 2006-07-12 | 信越化学工業株式会社 | 合成石英ガラスの製造方法 |
FR2812288B1 (fr) | 2000-07-31 | 2003-01-31 | Cit Alcatel | Procede et dispositif de fabrication d'une preforme de fibre optique |
US20030070452A1 (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-17 | Alcatel | Process for online spheroidization of quartz and silica particles |
WO2003072517A1 (de) * | 2002-02-27 | 2003-09-04 | S & S Technologie- Und Investitionsgesellschaft Gmbh | Herstellung von hüllglas für lichtwellenleiter |
FR2847893B1 (fr) | 2002-12-02 | 2006-05-05 | Cit Alcatel | Procede et dispositif de recharge par plasma d'une preforme pour fibre optique, a oxydes d'azote reduits |
WO2004083139A1 (ja) * | 2003-03-19 | 2004-09-30 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | ガラス材の製造方法 |
WO2009034413A1 (en) * | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Draka Comteq B.V. | Optical fiber and method for manufacturing |
WO2018002001A1 (en) * | 2016-06-28 | 2018-01-04 | Shell Internationale Research Maatschappij B.V. | A method and apparatus for 3d printing of quartz glass |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1771405B1 (de) * | 1968-05-18 | 1971-01-14 | Battelle Institut E V | Herstellung von Quarzglas |
US3954431A (en) * | 1974-09-26 | 1976-05-04 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Optical glass and its production |
FR2446264A1 (fr) * | 1979-01-10 | 1980-08-08 | Quartz & Silice | Procede de preparation d'une preforme pour guide d'onde optique |
CA1188895A (en) * | 1980-09-11 | 1985-06-18 | Shoichi Suto | Fabrication methods of doped silica glass and optical fiber preform by using the doped silica glass |
FR2521123A1 (fr) * | 1982-02-09 | 1983-08-12 | Thomson Csf | Procede de production de verre de silice dopee destine a l'elaboration de preforme pour fibre optique |
-
1983
- 1983-02-10 DE DE19833304552 patent/DE3304552A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-01-25 GB GB8401905A patent/GB2134896A/en not_active Withdrawn
- 1984-02-08 AU AU24258/84A patent/AU2425884A/en not_active Abandoned
- 1984-02-09 JP JP2271184A patent/JPS59152239A/ja active Pending
- 1984-02-10 FR FR8402088A patent/FR2540856A1/fr not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02283628A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-21 | Nippon Sekiei Glass Kk | 石英ガラス管のフランジの取り付け加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2134896A (en) | 1984-08-22 |
DE3304552A1 (de) | 1984-08-16 |
GB8401905D0 (en) | 1984-02-29 |
AU2425884A (en) | 1984-08-16 |
FR2540856A1 (fr) | 1984-08-17 |
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