JPS59148014A - 焦点可変装置 - Google Patents
焦点可変装置Info
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- JPS59148014A JPS59148014A JP2215083A JP2215083A JPS59148014A JP S59148014 A JPS59148014 A JP S59148014A JP 2215083 A JP2215083 A JP 2215083A JP 2215083 A JP2215083 A JP 2215083A JP S59148014 A JPS59148014 A JP S59148014A
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- Japan
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- focus
- lens
- curvature
- light
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/30—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line
- G02B7/32—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line using active means, e.g. light emitter
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、光ディスクまたは光磁気ディスク等の光学ヘ
ッドに用いるのに適した被照射物体上で光ビームの焦点
合せを行う焦点可変装置に関する。
ッドに用いるのに適した被照射物体上で光ビームの焦点
合せを行う焦点可変装置に関する。
従来技術
従来、前述の光ヘッドの焦点検出法に関しては、すでに
多数の特許出願がなされている。特に、オートフォーカ
スカ式については特開１１＋’（’）”ｒ５７−１１３
４４４６号、および特開間第５７−１３３５２６号に開
示されているようにプリズムを使用した焦点検出法、あ
るいは特開間第５７−１０８８１１ 号に開示されてい
るようにエッチを使用した焦点検出法、また特開間第５
７−８４８４１号のように光束の一部を切り取る焦点検
出法等の各種の合焦状態検出法が提案されている。しか
し、これらの検出法により焦点検知された検知信号は大
部分、特開間第５５−１７８０７９号の明細書、に開示
されるように、コイルに電流を流して対物レンズ自体を
動かすアクチュエーターにフィールドバックされ、それ
により焦点を適切な状況になるように動かしていた。
多数の特許出願がなされている。特に、オートフォーカ
スカ式については特開１１＋’（’）”ｒ５７−１１３
４４４６号、および特開間第５７−１３３５２６号に開
示されているようにプリズムを使用した焦点検出法、あ
るいは特開間第５７−１０８８１１ 号に開示されてい
るようにエッチを使用した焦点検出法、また特開間第５
７−８４８４１号のように光束の一部を切り取る焦点検
出法等の各種の合焦状態検出法が提案されている。しか
し、これらの検出法により焦点検知された検知信号は大
部分、特開間第５５−１７８０７９号の明細書、に開示
されるように、コイルに電流を流して対物レンズ自体を
動かすアクチュエーターにフィールドバックされ、それ
により焦点を適切な状況になるように動かしていた。
第１図はこのような焦点可変装置の従来例を示す。図示
のように、レーザ１から出たレーザ光は偏光素子（偏光
子）等の光学的フィルタ２を通り、コリメーターレンス
３で平行光線東化され、偏光ビームスプリッタやハーフ
ミラ−の如きビームスプリッタ４、可動ミラー５および
６、偏光素子（検光子）等の光学的フィルタ７、および
対物レンズ８からなる光学系を順に通り、光磁気ディス
クまたは光ディスク等の光学式記録媒体９−４−に結像
される。その際、記録媒体９１−に対物レンズ８で合焦
点化されないと、読取り１、）吟の不安定化が起き、ま
た出き込みの場合はレーザ光のピント径が火きくなって
しまうので、例えば、前述の貼開閉第５７−１０８８１
１ 号に開示されているように、記９Ｉ奴体９かもの反
射光をビームスプリンタ４およびシリンドリカルレンズ
（集光レンズ）１０を通して４分割ディテクタ（光検知
手段）１１により、合ｊ、ｊｊ状態を検知し、その検知
信号をアクチュエーター１２に２イード／゛・ツクして
対物レンズ８を光軸方向に変位させ、焦点調節を行って
いる。
のように、レーザ１から出たレーザ光は偏光素子（偏光
子）等の光学的フィルタ２を通り、コリメーターレンス
３で平行光線東化され、偏光ビームスプリッタやハーフ
ミラ−の如きビームスプリッタ４、可動ミラー５および
６、偏光素子（検光子）等の光学的フィルタ７、および
対物レンズ８からなる光学系を順に通り、光磁気ディス
クまたは光ディスク等の光学式記録媒体９−４−に結像
される。その際、記録媒体９１−に対物レンズ８で合焦
点化されないと、読取り１、）吟の不安定化が起き、ま
た出き込みの場合はレーザ光のピント径が火きくなって
しまうので、例えば、前述の貼開閉第５７−１０８８１
１ 号に開示されているように、記９Ｉ奴体９かもの反
射光をビームスプリンタ４およびシリンドリカルレンズ
（集光レンズ）１０を通して４分割ディテクタ（光検知
手段）１１により、合ｊ、ｊｊ状態を検知し、その検知
信号をアクチュエーター１２に２イード／゛・ツクして
対物レンズ８を光軸方向に変位させ、焦点調節を行って
いる。
上述のレーザ光の合焦状態の検出手段を更に、１Ｔ細に
説明すると、光学式記録媒体９で反射され、ビームスプ
リ・ンタ４で入射光と分剛された反射光はシリンドリカ
ルレンズ１０で非点収差を与えられ、光学式記録媒体上
でのレーザ光の合焦状態に応じて第２図（Ａ）、（Ｂ）
および（Ｃ）に示す如く４分割ディテクタ１１上での集
束形状が変化する。この集束形状を分ｊ；’Ｉネれた各
受光（（１１で検出する・二としより焦点すれの検知帖
づを得るものである。（、’ｙ、 ２図では（Ｂ）か合
焦時 （Ａ）およＵｌ、Ｃ）は１１合イＩＨ１１ニアを
示す。
説明すると、光学式記録媒体９で反射され、ビームスプ
リ・ンタ４で入射光と分剛された反射光はシリンドリカ
ルレンズ１０で非点収差を与えられ、光学式記録媒体上
でのレーザ光の合焦状態に応じて第２図（Ａ）、（Ｂ）
および（Ｃ）に示す如く４分割ディテクタ１１上での集
束形状が変化する。この集束形状を分ｊ；’Ｉネれた各
受光（（１１で検出する・二としより焦点すれの検知帖
づを得るものである。（、’ｙ、 ２図では（Ｂ）か合
焦時 （Ａ）およＵｌ、Ｃ）は１１合イＩＨ１１ニアを
示す。
しかしなから、ｊ述のようなアクチュエーター１２でレ
ンズ８を！ｊ丁動した□Ｉｔには、このアクチュエータ
ー１２内のレンズ８の機械的な嵌合かたにより、レンズ
８か光学系の光軸から偏心し易いという欠点があった。
ンズ８を！ｊ丁動した□Ｉｔには、このアクチュエータ
ー１２内のレンズ８の機械的な嵌合かたにより、レンズ
８か光学系の光軸から偏心し易いという欠点があった。
この偏心により、当然のことながらビームの断面形状が
楕円となったり、またｊ・ラッキングのノ〕向かずれた
りして１昌ｔ３−検知か不安定となる２１ｆが多かった
。さらに、記録媒体９か光磁気ディスク７の場合には、
アクチュエーター１２からのｒａ界により媒体９上の信
号を変化させてしまうおそれがあり、その対策も必要で
あるという問題があった。
楕円となったり、またｊ・ラッキングのノ〕向かずれた
りして１昌ｔ３−検知か不安定となる２１ｆが多かった
。さらに、記録媒体９か光磁気ディスク７の場合には、
アクチュエーター１２からのｒａ界により媒体９上の信
号を変化させてしまうおそれがあり、その対策も必要で
あるという問題があった。
目的
そこで、本発明の１」的は、上述した欠点を除去し、対
物レンズの合焦状態を検知する手段からの検知信号を曲
率可変ミラーの曲率を変化させるピエゾ素子にフィード
パンクすることにより、対物レンズを固定した状態でフ
ォーカシングかできるようにした焦点可変装置を提供す
ることにある。
物レンズの合焦状態を検知する手段からの検知信号を曲
率可変ミラーの曲率を変化させるピエゾ素子にフィード
パンクすることにより、対物レンズを固定した状態でフ
ォーカシングかできるようにした焦点可変装置を提供す
ることにある。
実施例
以ド、ＩＡ面を参照して本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明焦点可変装薊の構成の一例を示し、ここ
で１３はレーザ、１４はコリメータレンズ、１５はビー
ムスプリッタ、１６は曲率可変ミラー、１７は国定した
対物レンズであり、レーザ１３から出たレーザ光はこれ
らの読取りまたは書込み光学系１４〜１７を通って光学
式記録媒体（以下、ディスクと称する）１日上に結像さ
れる。１９は曲４ｆ＜可変ミラー１６の裏側に固着した
一対のピエゾ素子（例えば、セラミック状圧電素子）で
あり、逆ピエゾ効果（逆圧１を効果）によりミラー１６
の曲率を変化させ、ミラー１６を図の矢印ＡＢ力方向湾
曲させる。２０はレーザ１３とは別の光源、２１は光源
２０の光を平行光線束にするコリメーターレンズ、２２
オよび２３はｈ述のミラー１８からのレーザ光の光路に
沿って置かれた折曲げミラー、２４は集光レンズ、２５
はＣＣＤ（電荷結合素子）等のディテクタ（位置センサ
ー）であり、これらの光学素子２０〜２５により対物レ
ンズ１７の合焦状態を調べる合焦状態検知用光学系（フ
ォーカス検知手段）を構成する。なお、偏光板その他の
必要な光学部品でも本発明の説明に関係のないものは省
略して図示した。
で１３はレーザ、１４はコリメータレンズ、１５はビー
ムスプリッタ、１６は曲率可変ミラー、１７は国定した
対物レンズであり、レーザ１３から出たレーザ光はこれ
らの読取りまたは書込み光学系１４〜１７を通って光学
式記録媒体（以下、ディスクと称する）１日上に結像さ
れる。１９は曲４ｆ＜可変ミラー１６の裏側に固着した
一対のピエゾ素子（例えば、セラミック状圧電素子）で
あり、逆ピエゾ効果（逆圧１を効果）によりミラー１６
の曲率を変化させ、ミラー１６を図の矢印ＡＢ力方向湾
曲させる。２０はレーザ１３とは別の光源、２１は光源
２０の光を平行光線束にするコリメーターレンズ、２２
オよび２３はｈ述のミラー１８からのレーザ光の光路に
沿って置かれた折曲げミラー、２４は集光レンズ、２５
はＣＣＤ（電荷結合素子）等のディテクタ（位置センサ
ー）であり、これらの光学素子２０〜２５により対物レ
ンズ１７の合焦状態を調べる合焦状態検知用光学系（フ
ォーカス検知手段）を構成する。なお、偏光板その他の
必要な光学部品でも本発明の説明に関係のないものは省
略して図示した。
上述の曲率変化ミラー１８は例えば、第４図（Ａ）に示
すように、アルミ等からなる反則ミラー１６の裏面に一
対のピエゾ素子１９ａおよび１９ｂをｊＩＩに密接して
貼合せ、両ピエゾ素子１９ａおよび１９ｂに６１変抵抗
Ｒを介してそれぞれ反対極性の′電圧Ｖを印加する構造
となっている。Ｅはフし極である。ディテクタ２５かも
の検知信号に応じて電圧Ｖを印加すると、上述のピエゾ
素子１９ａおよび１９ｂの中でＦｉｉｌｔ者が縮み、後
者が伸びるので互いに反発しあい、第４図（Ｂ）で示す
ようにミラーＩ６の曲率が変わる。このように、本例で
は対物レンズ１７を固定する一方、ディテクタ２５から
の検知信号に対応して電圧Ｖを変え、ミラー１８の曲率
を変化させることによりフォーカシングを行うことに特
徴がある。
すように、アルミ等からなる反則ミラー１６の裏面に一
対のピエゾ素子１９ａおよび１９ｂをｊＩＩに密接して
貼合せ、両ピエゾ素子１９ａおよび１９ｂに６１変抵抗
Ｒを介してそれぞれ反対極性の′電圧Ｖを印加する構造
となっている。Ｅはフし極である。ディテクタ２５かも
の検知信号に応じて電圧Ｖを印加すると、上述のピエゾ
素子１９ａおよび１９ｂの中でＦｉｉｌｔ者が縮み、後
者が伸びるので互いに反発しあい、第４図（Ｂ）で示す
ようにミラーＩ６の曲率が変わる。このように、本例で
は対物レンズ１７を固定する一方、ディテクタ２５から
の検知信号に対応して電圧Ｖを変え、ミラー１８の曲率
を変化させることによりフォーカシングを行うことに特
徴がある。
次に、動作を説明する。
対物レンズ１７の合焦状態（フォーカス状況またはピン
ト状態ともいう）を調べるため、光源２０から発せられ
た光はコリメーターレンズ２１で平行光線束化され、一
方の折曲げミラー２２により対物レンズ１７の方向に光
の方向を変えて対物レンズ１７に入射し、ディスク１８
ヒで反射する。その反則光は他方の折曲げミラー２３で
信号方向を折曲げられて集光レンズ２４を通り、ｃｃｏ
笠のディテクタ２５に入射する。ここで反則光は対物
レンズ１７の合焦状ｊ、８によってディテクタ面の照射
位置が変化する。
ト状態ともいう）を調べるため、光源２０から発せられ
た光はコリメーターレンズ２１で平行光線束化され、一
方の折曲げミラー２２により対物レンズ１７の方向に光
の方向を変えて対物レンズ１７に入射し、ディスク１８
ヒで反射する。その反則光は他方の折曲げミラー２３で
信号方向を折曲げられて集光レンズ２４を通り、ｃｃｏ
笠のディテクタ２５に入射する。ここで反則光は対物
レンズ１７の合焦状ｊ、８によってディテクタ面の照射
位置が変化する。
この位置変化をディテクタ２５で検出することにより、
焦点ずれの検知４１１号を得るものである。なお、以上
の合焦状態検知手段２０〜２５はすでに知られている公
知技術であるが、他の構成による合焦状態検知手段を用
いてもよいことは勿論である。
焦点ずれの検知４１１号を得るものである。なお、以上
の合焦状態検知手段２０〜２５はすでに知られている公
知技術であるが、他の構成による合焦状態検知手段を用
いてもよいことは勿論である。
例えば、ビームスプリンタ１５によって分離される記録
媒体１８の反射光を第１図に示したようなシリンドリカ
ルレンズを４分割ディテクタの絹合せで検出する方法を
用いてもよい。
媒体１８の反射光を第１図に示したようなシリンドリカ
ルレンズを４分割ディテクタの絹合せで検出する方法を
用いてもよい。
ディスク１８Ｌのビット信号を実際に読み取り、または
ディスク１８上にビット信号を古き込むため、レーザ１
３から出たレーザ光はコリメーターレンズ１４でコリメ
ート（平行光線束化）され、ビームスプリンター１５に
透過して曲率可変ミラー１６を通り、固定の対物レンズ
１７によりディスク１８上に焦点（ピント）が結ばれる
。ディスク１８上の記録ビットによりレーザ光の信号は
変調されて反射し、再び対物レンズ１７に戻され、曲率
可変ミラー１８を通り、ビームスプリッタ１５により別
光路に入り、図に示していないディテクタでその変調さ
れた信号情報が読み取られる。
ディスク１８上にビット信号を古き込むため、レーザ１
３から出たレーザ光はコリメーターレンズ１４でコリメ
ート（平行光線束化）され、ビームスプリンター１５に
透過して曲率可変ミラー１６を通り、固定の対物レンズ
１７によりディスク１８上に焦点（ピント）が結ばれる
。ディスク１８上の記録ビットによりレーザ光の信号は
変調されて反射し、再び対物レンズ１７に戻され、曲率
可変ミラー１８を通り、ビームスプリッタ１５により別
光路に入り、図に示していないディテクタでその変調さ
れた信号情報が読み取られる。
その際、合焦状態検知用のディテクタ２５からの検知信
号（フォーカス信号）がペストフォーカス（最適焦点）
状態である旨を示している時には、ピエゾ素子１９ａお
よび１９ｂに電圧がかがらないとすると、ミラー１６は
ｙ面状態にあり、第３図に示すようにビームスプリンタ
ー１５を通って・Ｖ行光で来た光はミラー１６面でその
平行状態を崩さずに対物レンズ１７に入用し、ディスク
＋８．Ｊ二で最良ピントとなる。
号（フォーカス信号）がペストフォーカス（最適焦点）
状態である旨を示している時には、ピエゾ素子１９ａお
よび１９ｂに電圧がかがらないとすると、ミラー１６は
ｙ面状態にあり、第３図に示すようにビームスプリンタ
ー１５を通って・Ｖ行光で来た光はミラー１６面でその
平行状態を崩さずに対物レンズ１７に入用し、ディスク
＋８．Ｊ二で最良ピントとなる。
ところが、ディテクタ２５からの検知信号が第５図（Ａ
）で示すようなディテクタ１８上でのレーザ光がディフ
ォーカス状況（ピント外れ状態）となった旨を示す時に
は、その検知信号がピエゾ素子−１８ａおよび１９ｂを
駆動する回路にフィードノヘンクされ、そのフィーパッ
ク信号に応じてピエゾ素ｊ’−１９ａおよび１９ｂは、
第４図（Ｂ）に示すようにミラー１６に適切な曲率をｊ
ｉ−えるように作動する。その結果、第５図（Ｂ）に示
すように、その時平行光でミラー１６に当ったレーザ光
は、凹面鏡に変化したミラー１８の曲率の作用により集
束光の状態となって対物レンズ１７に入射し、ディスク
１８上でちょうどピントを結ぶこととなる。すなわち、
ミラー１６の曲率の変化により以前はディスク１８面よ
り奥（後方）でピントを結んでいた状態をディスク＋８
ｊ二でピントを結ぶようにすることができる。
）で示すようなディテクタ１８上でのレーザ光がディフ
ォーカス状況（ピント外れ状態）となった旨を示す時に
は、その検知信号がピエゾ素子−１８ａおよび１９ｂを
駆動する回路にフィードノヘンクされ、そのフィーパッ
ク信号に応じてピエゾ素ｊ’−１９ａおよび１９ｂは、
第４図（Ｂ）に示すようにミラー１６に適切な曲率をｊ
ｉ−えるように作動する。その結果、第５図（Ｂ）に示
すように、その時平行光でミラー１６に当ったレーザ光
は、凹面鏡に変化したミラー１８の曲率の作用により集
束光の状態となって対物レンズ１７に入射し、ディスク
１８上でちょうどピントを結ぶこととなる。すなわち、
ミラー１６の曲率の変化により以前はディスク１８面よ
り奥（後方）でピントを結んでいた状態をディスク＋８
ｊ二でピントを結ぶようにすることができる。
また、その際、ディスク１８から反射した光は、大剣時
と同様な光路を戻り、ミラー１６で反射してノズる反射
光は平行光線束となる。
と同様な光路を戻り、ミラー１６で反射してノズる反射
光は平行光線束となる。
このように、本例ではミラー１６の曲＝ｐ−（焦点距離
）を変化することにより、合焦点化出来るので対物レン
ズ１７を固定にすることが出来る。これにより、対物レ
ンズ１７をアクチュエーターで動かしていた従来装置の
欠点であった信号の不安定化および磁界の影響も改善さ
れる。ここで、ピエゾ素子Ｈ１ａおよび１９ｂ、ミラー
１６による構成のミラー曲率の変化については、その厚
みにもよるが１通Ｗ３ｄｅｐ〜５ｄｅｐの曲率の変化が
可能であり、対物レンズ１７の焦点距離を適切に選定す
ることにより、Ｄ、ｈｍ−ｅ十μｍのピント調整域がと
れる。
）を変化することにより、合焦点化出来るので対物レン
ズ１７を固定にすることが出来る。これにより、対物レ
ンズ１７をアクチュエーターで動かしていた従来装置の
欠点であった信号の不安定化および磁界の影響も改善さ
れる。ここで、ピエゾ素子Ｈ１ａおよび１９ｂ、ミラー
１６による構成のミラー曲率の変化については、その厚
みにもよるが１通Ｗ３ｄｅｐ〜５ｄｅｐの曲率の変化が
可能であり、対物レンズ１７の焦点距離を適切に選定す
ることにより、Ｄ、ｈｍ−ｅ十μｍのピント調整域がと
れる。
本例では本発明を光学ヘッドに用いる例を示したが、本
発明はこれに限らず、形状検出装置Ｎ、深揚傷装置のオ
ートフォーカスにも用いることができる。
発明はこれに限らず、形状検出装置Ｎ、深揚傷装置のオ
ートフォーカスにも用いることができる。
効 果
以上説明したように、本発明によれば、フォーカス状況
検知手段からの検知信号に応じて逆ピエゾ効果によりミ
ラーの曲率を変化させ、それにより合焦点化するように
しているので、対物レンズを固定にする−ことができ、
それにより信号の不安定化やアクチュエーターの磁界の
悪影響のおそれのない焦点可変装置が得られる。
検知手段からの検知信号に応じて逆ピエゾ効果によりミ
ラーの曲率を変化させ、それにより合焦点化するように
しているので、対物レンズを固定にする−ことができ、
それにより信号の不安定化やアクチュエーターの磁界の
悪影響のおそれのない焦点可変装置が得られる。
第１図は従来装置の構成例を示す斜視図、第２図（Ａ）
〜（Ｃ）はディテクターヒの光ビームの集束形状を示す
概略図、第３図は本発明焦点可変装置の概略構成例を示
す正面図、第４図（Ａ）は第３図の曲率可変ミラーの構
成例を示す正面図、第４図（Ｂ）はＭ４＋趙（Ａ）のミ
ラーの動作例を示す動作説明図、第５図（Ａ）および（
Ｂ）はそれぞれ第３図の装置の動作例を示す動作説明図
である。 １・・・レーザ。 ２・・・フィルタ、 ３・・・コリメーターレンズ、 ４・・・ビームスプリッタ、 ５．６・・・可動ミラー、 ７甲フ１ルタ・ ８・・・対物レンズ、 ９・・・光学式記録媒体、 ｌＯ・・・シリンドリ力ルレンス、 １１・・・ディテクタ、 １２・・・アクチュエーター、 １３・・・レーザ、 １４・・・コリメーターレンズ、 １５・・・ビームスプリッタ、 １６・・・曲率可変ミラー、 １７・・・固定対物レンズ、 １８・・・光学式記録媒体（ディスク）、１９ 、 Ｌ
９ａ 、 １９ｂ−ピエゾ素子（圧電素子）、２０・・
・別光源、 ２１・・・コリメーターレンズ、 ２２．２３・・・折曲げミラー、 ２４・・・集光レンズ、 ２５・・・ディテクタ。 第２図 （Ａ） （Ｂ） （Ｃ） 第３図 ＼ 占 第４ （Ａ） 第５ （△） （Ｂ） 図 （Ｂ）
〜（Ｃ）はディテクターヒの光ビームの集束形状を示す
概略図、第３図は本発明焦点可変装置の概略構成例を示
す正面図、第４図（Ａ）は第３図の曲率可変ミラーの構
成例を示す正面図、第４図（Ｂ）はＭ４＋趙（Ａ）のミ
ラーの動作例を示す動作説明図、第５図（Ａ）および（
Ｂ）はそれぞれ第３図の装置の動作例を示す動作説明図
である。 １・・・レーザ。 ２・・・フィルタ、 ３・・・コリメーターレンズ、 ４・・・ビームスプリッタ、 ５．６・・・可動ミラー、 ７甲フ１ルタ・ ８・・・対物レンズ、 ９・・・光学式記録媒体、 ｌＯ・・・シリンドリ力ルレンス、 １１・・・ディテクタ、 １２・・・アクチュエーター、 １３・・・レーザ、 １４・・・コリメーターレンズ、 １５・・・ビームスプリッタ、 １６・・・曲率可変ミラー、 １７・・・固定対物レンズ、 １８・・・光学式記録媒体（ディスク）、１９ 、 Ｌ
９ａ 、 １９ｂ−ピエゾ素子（圧電素子）、２０・・
・別光源、 ２１・・・コリメーターレンズ、 ２２．２３・・・折曲げミラー、 ２４・・・集光レンズ、 ２５・・・ディテクタ。 第２図 （Ａ） （Ｂ） （Ｃ） 第３図 ＼ 占 第４ （Ａ） 第５ （△） （Ｂ） 図 （Ｂ）
Claims (1)
- 少なくともミラーを介し光ビームを被照射物体に集束さ
せる手段と、前記光ビームの被照射物体に対する合焦状
態を検知する手段と、該検知手段からの検知信号に応じ
て前記ミラーの曲率を変化させるピエゾ素子を有しｌ前
記集束手段の焦点位置をｉ′ｂｌノ御する手段とから成
る焦点可変装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215083A JPS59148014A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 焦点可変装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215083A JPS59148014A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 焦点可変装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148014A true JPS59148014A (ja) | 1984-08-24 |
Family
ID=12074823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2215083A Pending JPS59148014A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 焦点可変装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148014A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002189173A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-07-05 | Olympus Optical Co Ltd | 光学装置 |
| WO2013015190A1 (ja) * | 2011-07-26 | 2013-01-31 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 太陽光集光用ミラー及び当該太陽光集光用ミラーを有する太陽熱発電システム |
-
1983
- 1983-02-15 JP JP2215083A patent/JPS59148014A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002189173A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-07-05 | Olympus Optical Co Ltd | 光学装置 |
| WO2013015190A1 (ja) * | 2011-07-26 | 2013-01-31 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 太陽光集光用ミラー及び当該太陽光集光用ミラーを有する太陽熱発電システム |
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