JPS5914272B2 - 熱廃液の処理方法 - Google Patents
熱廃液の処理方法Info
- Publication number
- JPS5914272B2 JPS5914272B2 JP18723280A JP18723280A JPS5914272B2 JP S5914272 B2 JPS5914272 B2 JP S5914272B2 JP 18723280 A JP18723280 A JP 18723280A JP 18723280 A JP18723280 A JP 18723280A JP S5914272 B2 JPS5914272 B2 JP S5914272B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waste liquid
- container
- water
- h2so4
- water tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱廃液を安全に且つ簡便に排出させる処理方法
に関する。
に関する。
従来、人体に火傷を与える劇物を加熱して使用 。
する化学処理方法があり、例えば電子部品を製造する際
に用いられるフォトプロセスにおいてフォトレジスト膜
を剥離するには熱濃硫酸（Ｈ２ＳＯ４）を使用しており
、又半導体材料もＨ２ＳＯ４の加熱液に浸漬して表面洗
滌し、付着した不純物を除去 。している。しかしなが
ら、熱Ｈ２ＳＯ４は２００℃近くにも加熱され熱容量が
大きくて冷めにくいために、使用ずみの熱Ｈ２ＳＯ４を
処理作業者が処理槽より流水中に極めて除々に流出させ
て排出し、次に処理する新Ｈ２ＳＯ４との入れ替えを行
なつている。
に用いられるフォトプロセスにおいてフォトレジスト膜
を剥離するには熱濃硫酸（Ｈ２ＳＯ４）を使用しており
、又半導体材料もＨ２ＳＯ４の加熱液に浸漬して表面洗
滌し、付着した不純物を除去 。している。しかしなが
ら、熱Ｈ２ＳＯ４は２００℃近くにも加熱され熱容量が
大きくて冷めにくいために、使用ずみの熱Ｈ２ＳＯ４を
処理作業者が処理槽より流水中に極めて除々に流出させ
て排出し、次に処理する新Ｈ２ＳＯ４との入れ替えを行
なつている。
こ５ れは、濃Ｈ２ＳＯ４を水で希釈すれば発熱するか
ら多量の熱濃Ｈ２ＳＯ４を流水中に一度に流すことは非
常に危険となるためであり、第１図にかような熱濃Ｈ２
ＳＯ４を比較的安全に排出させる従来の処理方法の一例
を図示している。図において、１は″ｏ 熱Ｈ２ＳＯ４
を加熱して被処理物を浸漬する処理槽、２はヒータ、３
は使用ずみの熱Ｈ２ＳＯ４廃液の排出管、４は同排出管
に設けられたコック、５は水槽、６は水槽の注水口、Ｔ
は同じく水槽の排水口であり、熱Ｈ２ＳＯ４廃液を排出
する際には、コツ１５ ク４の開閉状態を加減して、多
量の熱Ｈ２ＳＯ４が一度に排出しない様にはかつている
。しかし、操作を誤まつて多量に排出した場合、通常水
槽及びそれに伴なう配管は塩化ビニール製であるから、
高熱によつて軟化し、破損して危険となる。しかノ０
も、この様な処理は排出に時間と工数とがかゝる方法で
ある。本発明はかような危険を伴なう加熱された劇物廃
液を出来る限り安全に排出させ、且つ排出処理工数を減
少させることを目的としており、その特フ５ 徴は水槽
５中に冷廃液を溜めた容器を収容しておき、一度該容器
内に熱廃液を注入して、容器上端外周より水槽内に廃液
を溢れ出させるか、あるいは容器周囲の一定高さ位置に
設けた１個又は複数個の′」仔Ｌから廃液を水槽内に溢
れ出させて、希釈ゞ０ しながら排出させる処理方法を
提供するもので、以下図面を参照して詳細に説明する。
ら多量の熱濃Ｈ２ＳＯ４を流水中に一度に流すことは非
常に危険となるためであり、第１図にかような熱濃Ｈ２
ＳＯ４を比較的安全に排出させる従来の処理方法の一例
を図示している。図において、１は″ｏ 熱Ｈ２ＳＯ４
を加熱して被処理物を浸漬する処理槽、２はヒータ、３
は使用ずみの熱Ｈ２ＳＯ４廃液の排出管、４は同排出管
に設けられたコック、５は水槽、６は水槽の注水口、Ｔ
は同じく水槽の排水口であり、熱Ｈ２ＳＯ４廃液を排出
する際には、コツ１５ ク４の開閉状態を加減して、多
量の熱Ｈ２ＳＯ４が一度に排出しない様にはかつている
。しかし、操作を誤まつて多量に排出した場合、通常水
槽及びそれに伴なう配管は塩化ビニール製であるから、
高熱によつて軟化し、破損して危険となる。しかノ０
も、この様な処理は排出に時間と工数とがかゝる方法で
ある。本発明はかような危険を伴なう加熱された劇物廃
液を出来る限り安全に排出させ、且つ排出処理工数を減
少させることを目的としており、その特フ５ 徴は水槽
５中に冷廃液を溜めた容器を収容しておき、一度該容器
内に熱廃液を注入して、容器上端外周より水槽内に廃液
を溢れ出させるか、あるいは容器周囲の一定高さ位置に
設けた１個又は複数個の′」仔Ｌから廃液を水槽内に溢
れ出させて、希釈ゞ０ しながら排出させる処理方法を
提供するもので、以下図面を参照して詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す概略断面図で、例えば
第１図と同様に処理槽１内には熱濃Ｈ２ＳＯ４がヒータ
２で加熱されており、使用ずみの熱Ｈ２ＳＯ４ノ５ 廃
液は排出管３を通じて水槽５内に収容された容器１０の
底部に排出される。
第１図と同様に処理槽１内には熱濃Ｈ２ＳＯ４がヒータ
２で加熱されており、使用ずみの熱Ｈ２ＳＯ４ノ５ 廃
液は排出管３を通じて水槽５内に収容された容器１０の
底部に排出される。
容器１０は熱伝導がよくて薬品におかされない例えばガ
ラス製がよくワごて、内部には冷Ｈ２ＳＯ４廃液が貯え
てある。
ラス製がよくワごて、内部には冷Ｈ２ＳＯ４廃液が貯え
てある。
そうすると、熱Ｈ２ＳＯ４廃液は容器１０内で？＋Ｈ２
ＳＯ４廃液と混合して、温度が下がり、又容器外面より
水槽５中の流水によつて冷却されて、ある程度の低温度
となつた濃Ｈ２ＳＯ４が水槽内の流水中に容器土端の周
囲から溢れ出ることになる。従つて濃Ｈ２ＳＯ４が水に
希釈されて発熱しても、第１図に示した従来方法よりは
水温の上昇は少なくなり、従つてコツク４の操作を誤つ
て、多くの濃Ｈ２ＳＯ４を容器１０内に排出させること
が起つても、塩化ビニール製の水槽及び配管を破損する
度合は少なくなり、顕著に安全性は改善される。又、第
３図は本発明による更に改良された実施例を示す概略断
面図で、同じく水槽５内にガラス製容器１０″を収容し
ているが、この容器１０″には容器側面の一定高さ位置
に小孔１１を設けてあり、小孔１１の高さ位置より上方
の容器内容積Ｖは処理槽１内の容積より大きくせしめて
ある。
ＳＯ４廃液と混合して、温度が下がり、又容器外面より
水槽５中の流水によつて冷却されて、ある程度の低温度
となつた濃Ｈ２ＳＯ４が水槽内の流水中に容器土端の周
囲から溢れ出ることになる。従つて濃Ｈ２ＳＯ４が水に
希釈されて発熱しても、第１図に示した従来方法よりは
水温の上昇は少なくなり、従つてコツク４の操作を誤つ
て、多くの濃Ｈ２ＳＯ４を容器１０内に排出させること
が起つても、塩化ビニール製の水槽及び配管を破損する
度合は少なくなり、顕著に安全性は改善される。又、第
３図は本発明による更に改良された実施例を示す概略断
面図で、同じく水槽５内にガラス製容器１０″を収容し
ているが、この容器１０″には容器側面の一定高さ位置
に小孔１１を設けてあり、小孔１１の高さ位置より上方
の容器内容積Ｖは処理槽１内の容積より大きくせしめて
ある。
そして、小孔１１の数量及び断面を適度に選択して少量
ずつ水槽内の流水中に小孔より排出すれば濃Ｈ２ＳＯ４
が流水に希釈されて発熱しても、その温度上昇は極めて
少なくなり、流水量を少なくすることも可能となる。且
つ、本実施例によつて最も効果ある点は、処理槽１より
ガラス製容器１０′内に一度に多量排出しても問題はな
くなることである。容器１０′内の小孔１１の高さ位置
より上方の容積Ｖは処理槽内容積より大きくしてあるか
ら、一度に処理槽１より多量排出しても水槽５内に溢れ
出ることはなく、水槽５内には小孔１１を通して、ある
程度冷却された廃液が除々に排出されて、廃液処理タン
クに送られることとなる。従つて、排出処理の時間は大
巾に短縮されて工数も減少する。以上の実施例から明ら
かなように本発明は熱廃液を安全に排出させると共に、
処理槽より一度に多量を排出させることもできて、排出
処理作業時間と工数とが減少し、且つ希釈する水槽も小
さくして、流水量を節約することもできる効果ある処理
方法と言える。尚、上記は熱濃Ｈ２ＳＯ４の処理方法で
説明しているが、その他の加熱された劇物例えば苛性カ
リ溶液や王水などにも適用できることは言うまでもない
。
ずつ水槽内の流水中に小孔より排出すれば濃Ｈ２ＳＯ４
が流水に希釈されて発熱しても、その温度上昇は極めて
少なくなり、流水量を少なくすることも可能となる。且
つ、本実施例によつて最も効果ある点は、処理槽１より
ガラス製容器１０′内に一度に多量排出しても問題はな
くなることである。容器１０′内の小孔１１の高さ位置
より上方の容積Ｖは処理槽内容積より大きくしてあるか
ら、一度に処理槽１より多量排出しても水槽５内に溢れ
出ることはなく、水槽５内には小孔１１を通して、ある
程度冷却された廃液が除々に排出されて、廃液処理タン
クに送られることとなる。従つて、排出処理の時間は大
巾に短縮されて工数も減少する。以上の実施例から明ら
かなように本発明は熱廃液を安全に排出させると共に、
処理槽より一度に多量を排出させることもできて、排出
処理作業時間と工数とが減少し、且つ希釈する水槽も小
さくして、流水量を節約することもできる効果ある処理
方法と言える。尚、上記は熱濃Ｈ２ＳＯ４の処理方法で
説明しているが、その他の加熱された劇物例えば苛性カ
リ溶液や王水などにも適用できることは言うまでもない
。
第１図は従来の処理方法を示す図、第２図及び第３図は
本発明にか＼る実施例の処理方法を示す図で、図中１は
処理槽、２はヒータ、３は排出管、４はコツク、５は水
槽、６は水槽の注水口、７は同じく水槽の排水口、１０
及び１０″は冷廃液を溜める容器、１１は容器に設けた
小孔を示している。
本発明にか＼る実施例の処理方法を示す図で、図中１は
処理槽、２はヒータ、３は排出管、４はコツク、５は水
槽、６は水槽の注水口、７は同じく水槽の排水口、１０
及び１０″は冷廃液を溜める容器、１１は容器に設けた
小孔を示している。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 流水を有する水槽中に、冷廃液を溜めた容器を収容
しておき、該容器内に熱廃液を注入して、水槽内に溢れ
出させて、希釈しながら排出させることを特徴とする熱
廃液の処理方法。 ２ 該容器内の廃液を、該容器周囲の一定高さ位置に設
けた１個又は複数個の小孔から、溢れ出させるようにし
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱廃液
の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18723280A JPS5914272B2 (ja) | 1980-12-29 | 1980-12-29 | 熱廃液の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18723280A JPS5914272B2 (ja) | 1980-12-29 | 1980-12-29 | 熱廃液の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57113880A JPS57113880A (en) | 1982-07-15 |
| JPS5914272B2 true JPS5914272B2 (ja) | 1984-04-03 |
Family
ID=16202363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18723280A Expired JPS5914272B2 (ja) | 1980-12-29 | 1980-12-29 | 熱廃液の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5914272B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0568962A (ja) * | 1991-09-17 | 1993-03-23 | Fujitsu Ltd | 廃液希釈装置 |
| CN108211830B (zh) * | 2018-02-06 | 2020-05-19 | 姜赫 | 一种浓缩液快速饮用器 |
-
1980
- 1980-12-29 JP JP18723280A patent/JPS5914272B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57113880A (en) | 1982-07-15 |
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