JPS59141361A - 金球の製造方法 - Google Patents
金球の製造方法Info
- Publication number
- JPS59141361A JPS59141361A JP1268683A JP1268683A JPS59141361A JP S59141361 A JPS59141361 A JP S59141361A JP 1268683 A JP1268683 A JP 1268683A JP 1268683 A JP1268683 A JP 1268683A JP S59141361 A JPS59141361 A JP S59141361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gold
- film
- deposited film
- vapor deposited
- shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D25/00—Special casting characterised by the nature of the product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体素子と外部リードとの接続等に用いら
れる金球の製造方法に関するものである。
れる金球の製造方法に関するものである。
（従来例の構成とその問題点）
従来、均一な形状の金球を得る方法としては、溶湯を噴
霧して球状の金粉を形成した後、形状の分級を行って定
量化する方法や、あるいは、定量化した被レットを電気
炉などで溶融し、油中などに嬌として球状化を行う方法
などが提案されていた。しかしながら、前者の場合は、
分級工程を必要とし、完全に定量定形化するのが困難で
あシ、また後者の場合は、定量波レットを得る際に圧延
されたＲ ＆を型で打ち抜いているため、ベレットの形
状か制限されて微小な硬レットを得ることが難しく、そ
のため、この方法で製造した金球では最も小径のもので
も径が１００μ程度で、半導体素子とリードとの接続に
用いるのに適した径が５０μ以下の金球を製造すること
が困難であった。
霧して球状の金粉を形成した後、形状の分級を行って定
量化する方法や、あるいは、定量化した被レットを電気
炉などで溶融し、油中などに嬌として球状化を行う方法
などが提案されていた。しかしながら、前者の場合は、
分級工程を必要とし、完全に定量定形化するのが困難で
あシ、また後者の場合は、定量波レットを得る際に圧延
されたＲ ＆を型で打ち抜いているため、ベレットの形
状か制限されて微小な硬レットを得ることが難しく、そ
のため、この方法で製造した金球では最も小径のもので
も径が１００μ程度で、半導体素子とリードとの接続に
用いるのに適した径が５０μ以下の金球を製造すること
が困難であった。
壕だ、他の従来の金球の製造方法として、ボールミルな
どの機械的粉砕法や、環元法または電解法なとの化学的
方法があるが、これらの方法によって得られる金粉は不
定形、板状、結晶状などであシ、完全な球形の金粉を得
ることかできな力）った。
どの機械的粉砕法や、環元法または電解法なとの化学的
方法があるが、これらの方法によって得られる金粉は不
定形、板状、結晶状などであシ、完全な球形の金粉を得
ることかできな力）った。
（発明の目的）
本発明は、上記従来例の欠点に丸みてなされたもので、
分級などの後工程を必要とせず、均一な形状の微小な金
球を製造することかできる金球の製造方法を提供するも
のである。
分級などの後工程を必要とせず、均一な形状の微小な金
球を製造することかできる金球の製造方法を提供するも
のである。
（発明の構成）
」二記目的を達成するために、本発明は、耐熱性平面基
板の一表面に金蒸着膜を形成し、この金蒸着膜を基盤目
状に分割し／ζ後に加熱溶融して、分割した各金蒸着膜
を金の表面張力により球状に成形するものである。
板の一表面に金蒸着膜を形成し、この金蒸着膜を基盤目
状に分割し／ζ後に加熱溶融して、分割した各金蒸着膜
を金の表面張力により球状に成形するものである。
（実施例の説明）
以下、図面によシ本発明の実施例を詳細に説明する。小
１１ネ１は、本発明の一実施例の工程を示す図である。
１１ネ１は、本発明の一実施例の工程を示す図である。
第１図（ａ）において、■はシリコンウェーハからなる
］Ｉｌ、Ｉ熱性平面基板で、その−表面接層防止層２と
して厚さ０．５〜１μのンリコン酸化嘆を熱酸化法ある
いはＣＶＤ法等により形成し、その」二、に金蒸着膜３
を形成する。次に、第１図（ｂ）に示すように、グイン
ングソーあるいはダイヤモンド製カッターを用いて分割
溝４を形成して金蒸着膜３を分割する。この時、分割溝
４の深さは金蒸着ｒ１１−３の膜厚よシも犬でなければ
ならない。また、分割溝４は第２図に示すように分割し
た金蒸着膜３の各々が正方形と彦るように基盤目状に設
ける。
］Ｉｌ、Ｉ熱性平面基板で、その−表面接層防止層２と
して厚さ０．５〜１μのンリコン酸化嘆を熱酸化法ある
いはＣＶＤ法等により形成し、その」二、に金蒸着膜３
を形成する。次に、第１図（ｂ）に示すように、グイン
ングソーあるいはダイヤモンド製カッターを用いて分割
溝４を形成して金蒸着膜３を分割する。この時、分割溝
４の深さは金蒸着ｒ１１−３の膜厚よシも犬でなければ
ならない。また、分割溝４は第２図に示すように分割し
た金蒸着膜３の各々が正方形と彦るように基盤目状に設
ける。
その際の分割寸法は、必要とする金球の球径と金蒸着膜
３の膜厚とから ユ 分割寸法−（金球の体積／金蒸着膜の膜厚）２のように
決定することができる。そして、所望の寸法の基盤目状
に分割後、空気中１１００℃で１０分間加熱すると、第
１図（Ｃ）に示すように、分割されだ金蒸着膜３の各々
が溶融し、金の表面張力によりそれぞれが球状化してほ
ぼ真球に近い金球５となる。なお、１１００℃以」−の
高温あるいは長時間力ロ熱すると、金がシリコンウェー
・・からなる耐熱性平面基板Ｉおよびシリコン酸化膜か
らなる扱者防止層２に拡散し、金球５が耐熱平面基板１
に接層することがあるので注意しなければならない。
３の膜厚とから ユ 分割寸法−（金球の体積／金蒸着膜の膜厚）２のように
決定することができる。そして、所望の寸法の基盤目状
に分割後、空気中１１００℃で１０分間加熱すると、第
１図（Ｃ）に示すように、分割されだ金蒸着膜３の各々
が溶融し、金の表面張力によりそれぞれが球状化してほ
ぼ真球に近い金球５となる。なお、１１００℃以」−の
高温あるいは長時間力ロ熱すると、金がシリコンウェー
・・からなる耐熱性平面基板Ｉおよびシリコン酸化膜か
らなる扱者防止層２に拡散し、金球５が耐熱平面基板１
に接層することがあるので注意しなければならない。
また、本￥施例において５０μ径の金球を製造する場合
は、金蒸着膜３の膜厚は１〜５μが適当で、膜厚が薄す
ぎると金蒸着膜３を分割後力１］熱溶融する際に、金球
の形成が良好でなく、小球に分１ｉ＋Ｅする恐れがあシ
、膜厚が厚すき゛ると金蒸着膜３を形成する際に蒸着時
間が長くなったり、分割する際にはがれやずくなったシ
する。なお、金蒸着膜３の膜厚を１μとすると、分割時
の寸法は］、９０μ角とすればよい。
は、金蒸着膜３の膜厚は１〜５μが適当で、膜厚が薄す
ぎると金蒸着膜３を分割後力１］熱溶融する際に、金球
の形成が良好でなく、小球に分１ｉ＋Ｅする恐れがあシ
、膜厚が厚すき゛ると金蒸着膜３を形成する際に蒸着時
間が長くなったり、分割する際にはがれやずくなったシ
する。なお、金蒸着膜３の膜厚を１μとすると、分割時
の寸法は］、９０μ角とすればよい。
第３図は、本発明の他の実施例の工程を示す図で、第１
図と同一符号のものは四−のものを示している。第３図
（ａ）において、耐熱性平面基板１の一表面に接着防止
層２を形成した後、マスク６を形成する。このマスク６
は、金蒸着膜；３を所望の寸法の基盤目状に分割する際
の分割線上に、クロムマスクあるいはフォトレノストを
塗布後フメトリソグラフィーに」：Ｉ）形成されている
。次に、この１ｌｉＪ熱性平面基板１に金を１〜５μ厚
に蒸着すると、第３図（ｂ）に示すようにマスク６の開
口部に金蒸着膜３が形成されろうそして、マスク６を除
去することにより、第３図（Ｃ）に示すように所望の寸
法の基盤目状に分割された金蒸着膜３を得ることかでき
る。こうして金蒸着ｒｊ戻３を分割しだ面１熱性平面基
板１を１１００℃で１０分間加熱することにより、第３
図（ｄ）に示。すように溶融した金の表面張力によって
球状化した金球５を形成することができる。
図と同一符号のものは四−のものを示している。第３図
（ａ）において、耐熱性平面基板１の一表面に接着防止
層２を形成した後、マスク６を形成する。このマスク６
は、金蒸着膜；３を所望の寸法の基盤目状に分割する際
の分割線上に、クロムマスクあるいはフォトレノストを
塗布後フメトリソグラフィーに」：Ｉ）形成されている
。次に、この１ｌｉＪ熱性平面基板１に金を１〜５μ厚
に蒸着すると、第３図（ｂ）に示すようにマスク６の開
口部に金蒸着膜３が形成されろうそして、マスク６を除
去することにより、第３図（Ｃ）に示すように所望の寸
法の基盤目状に分割された金蒸着膜３を得ることかでき
る。こうして金蒸着ｒｊ戻３を分割しだ面１熱性平面基
板１を１１００℃で１０分間加熱することにより、第３
図（ｄ）に示。すように溶融した金の表面張力によって
球状化した金球５を形成することができる。
なお、耐熱性平面基板１はシリコンウェー−・だけでな
く、１１．００℃に対する耐熱性と十分な平面性があれ
ばどのような材料でもよく、例えば石英ガラスや研磨さ
れだセラミ、りを用いることもできる。
く、１１．００℃に対する耐熱性と十分な平面性があれ
ばどのような材料でもよく、例えば石英ガラスや研磨さ
れだセラミ、りを用いることもできる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明は、耐熱性平面基板の一表
面に金蒸着膜を形成し、この金蒸着膜を基盤目状に分割
した後加熱溶融し、金の表面張力によって金球を形成す
るので、得られた金球は真球に近く、形状のばらつきが
少ないため分級する工程が不安となり、壕だ、マスクに
よシ金蒸着膜を分割することによシ、機械的に金蒸着膜
を分割する隙の耐熱性平面基板の損傷を防ぐとともに再
使用を可能にする等の効果を有するものである。
面に金蒸着膜を形成し、この金蒸着膜を基盤目状に分割
した後加熱溶融し、金の表面張力によって金球を形成す
るので、得られた金球は真球に近く、形状のばらつきが
少ないため分級する工程が不安となり、壕だ、マスクに
よシ金蒸着膜を分割することによシ、機械的に金蒸着膜
を分割する隙の耐熱性平面基板の損傷を防ぐとともに再
使用を可能にする等の効果を有するものである。
第１図は、本発明の一実施例の工程図、第２図は、不発
す」の一実施例の途中工程時の斜視図、第３図は、本発
明の他の実施例の工程図である。 １・・・証ｊ熱性乎面ノ１す板、２・・・接着防止層、
３・・金蒸着膜、４・・分割溝、５・・金球、６・・マ
スク。 第１図 第２図
す」の一実施例の途中工程時の斜視図、第３図は、本発
明の他の実施例の工程図である。 １・・・証ｊ熱性乎面ノ１す板、２・・・接着防止層、
３・・金蒸着膜、４・・分割溝、５・・金球、６・・マ
スク。 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）ｉｌｉＰＩ熱性平面基板の一表面に金蒸着膜を形
成し、該金蒸着膜を基盤目状に分割した後に加熱溶融し
て、金の表面張力により分割した前記各金蒸着膜を球状
に成形することを特徴とする金球の製造方法。 - （２） 前記金蒸着膜の分割は、予め前記耐熱性平面
基板上の分割線となる部分にマスクを設けておき、前記
金蒸着膜を形成した後に前記マスクを除去して前記金蒸
着膜を分割することを特徴とする４″ｆ約請求の範ＩＪ
１１第（１）項記載の金球の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268683A JPS59141361A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 金球の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268683A JPS59141361A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 金球の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59141361A true JPS59141361A (ja) | 1984-08-14 |
Family
ID=11812256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1268683A Pending JPS59141361A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 金球の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59141361A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105917439A (zh) * | 2013-12-10 | 2016-08-31 | 尼斯迪格瑞科技环球公司 | 硅微球体制造 |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1268683A patent/JPS59141361A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105917439A (zh) * | 2013-12-10 | 2016-08-31 | 尼斯迪格瑞科技环球公司 | 硅微球体制造 |
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