JPS59139138A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS59139138A JPS59139138A JP1032883A JP1032883A JPS59139138A JP S59139138 A JPS59139138 A JP S59139138A JP 1032883 A JP1032883 A JP 1032883A JP 1032883 A JP1032883 A JP 1032883A JP S59139138 A JPS59139138 A JP S59139138A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- alloy film
- etching
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ｆｉ１発明の技術分野
本発明は磁気記録媒体に係り、特にＣｏＣｒ合金膜を独
立した柱状結晶粒の集合で形成した磁気記録媒体及びそ
の製造方法に関する。
立した柱状結晶粒の集合で形成した磁気記録媒体及びそ
の製造方法に関する。
（２）技術の背景
磁気記録には、磁気記録媒体の記録面に磁化を垂直に生
じさせて記録する形式のものがある。このような記録の
ための記録媒体として、 ＣｏＣｒ合金膜を用いたも
のがあり、その垂直磁化特性の改善もなされているが、
その従来の改善手段は期待しうるほどの効果を奏してい
ないのが実情であり、その特性改善のため、なお一層の
技術的開発が強く要望されている。
じさせて記録する形式のものがある。このような記録の
ための記録媒体として、 ＣｏＣｒ合金膜を用いたも
のがあり、その垂直磁化特性の改善もなされているが、
その従来の改善手段は期待しうるほどの効果を奏してい
ないのが実情であり、その特性改善のため、なお一層の
技術的開発が強く要望されている。
（３）従来技術と問題点
従来この種の手段としては、第１図に示す如く。
ＣｏＣｒ合金膜合金膜層に軟磁性材料１１！ｉｉｌ （
例えば。
例えば。
ｐｅ−ＪＪｉ合金膜）ｂをつけて特性を改善しようとす
るものがある（Ｃは基板である。）。
るものがある（Ｃは基板である。）。
しかし、この手段は第１図に示すように、還流磁区構造
として垂直磁化を安定に存在させるものであって、 Ｃ
ｏＯ，ｒ合金膜自体の垂直磁気異方性を本質的に大きく
していないため得られる改善度は僅かである。又、Ｃｒ
量が１５原子％以下の少ない量であると、上記手段を用
いても、良好な垂直磁化膜をｆｉることは不可能であっ
た。
として垂直磁化を安定に存在させるものであって、 Ｃ
ｏＯ，ｒ合金膜自体の垂直磁気異方性を本質的に大きく
していないため得られる改善度は僅かである。又、Ｃｒ
量が１５原子％以下の少ない量であると、上記手段を用
いても、良好な垂直磁化膜をｆｉることは不可能であっ
た。
（４）発明の目的
本発明は上述したような従来技術手段の有する欠点に鑑
みて創案されたもので、その目的は膜面に垂直方向の磁
気異方性を増大させてその磁気特性の改善を図った磁気
記録媒体及びその製造方法を提供することにある。
みて創案されたもので、その目的は膜面に垂直方向の磁
気異方性を増大させてその磁気特性の改善を図った磁気
記録媒体及びその製造方法を提供することにある。
（５）発明の構成
そして、この１つの目的は、ＣｏＣｒ合金膜を有し、そ
の膜が独立した柱状結晶粒の集合で形成することにより
、又、もう１つの目的は、基板上にＣｏＣｒ合金膜を形
成し、その表面を工・ノチング処理して磁気記録体を得
ることにより、達成される。
の膜が独立した柱状結晶粒の集合で形成することにより
、又、もう１つの目的は、基板上にＣｏＣｒ合金膜を形
成し、その表面を工・ノチング処理して磁気記録体を得
ることにより、達成される。
（６）発明の実施例
以下５添付図面を参照しながら１本発明の詳細な説明す
る。
る。
本発明の磁気記録媒体は基板にスパッタ法によりＣｏＣ
ｒ合金膜を形成し、その後処理として酸による化学又は
電気化学エツチングをＣｏＣｒ合金膜に施行して製造さ
れる。
ｒ合金膜を形成し、その後処理として酸による化学又は
電気化学エツチングをＣｏＣｒ合金膜に施行して製造さ
れる。
この製造法に成る磁気記録媒体は単なるスパッタ法によ
り製造された磁気記録媒体に比し２本来ＣｏＣｒ合金膜
にある結晶磁気異方性にエツチングによる形状異方性が
加わることが出来るため。
り製造された磁気記録媒体に比し２本来ＣｏＣｒ合金膜
にある結晶磁気異方性にエツチングによる形状異方性が
加わることが出来るため。
垂直異方性磁界Ｈｋを増大させることが出来、良好な垂
直磁化膜を得ることが出来る。
直磁化膜を得ることが出来る。
上述の形状異方性は第２図に示すように、Ｃ０Ｃｒ合金
膜１の柱状結晶粒（そのＣ軸は基板２に対して垂直とな
っている。）がエツチングにより。
膜１の柱状結晶粒（そのＣ軸は基板２に対して垂直とな
っている。）がエツチングにより。
各々、孤立した状態となったため生じたものである。こ
の形状異方性の発生により、磁場零でも。
の形状異方性の発生により、磁場零でも。
飽和磁化が膜面に垂直に保たれ、第３図の（ａ）に示す
ように、磁化曲線は大きな角形比を有する。
ように、磁化曲線は大きな角形比を有する。
なお、第３図の（ｂ）はＣｒ量を成る量以上増してスバ
・７タ法によりＣｏＣｒ膜を形成した場合の磁化曲線で
ある。この場合のＣｏＣｒ膜はｃｏ自体の持つＣ軸方向
の結晶磁気異方性をあまり減らすことなく自発磁化Ｍｓ
を減少させることが出来る故、垂直異方性磁界Ｈｋ＞４
πＭｓとなって垂直磁化膜となりうるが、Ｈｋが小さい
ため、この膜が呈する磁化曲線は図示する如く角形比が
小さく、又残留磁化も小さい。従って、磁気特性の改善
はあまり１期待出来ない・ 又、従来においては、Ｃｒが少ないと、Ｈｋ＜４πＭｓ
となり１面内磁化膜に過ぎないものとなってしまってい
たのに対して３本発明の処理を施すことにより、ＭＳは
そのままで、Ｈｋを増大させ得るから、良好な垂直磁化
膜を得ることが出来る。このような結果はＣｒ量が１５
原子％以下で。
・７タ法によりＣｏＣｒ膜を形成した場合の磁化曲線で
ある。この場合のＣｏＣｒ膜はｃｏ自体の持つＣ軸方向
の結晶磁気異方性をあまり減らすことなく自発磁化Ｍｓ
を減少させることが出来る故、垂直異方性磁界Ｈｋ＞４
πＭｓとなって垂直磁化膜となりうるが、Ｈｋが小さい
ため、この膜が呈する磁化曲線は図示する如く角形比が
小さく、又残留磁化も小さい。従って、磁気特性の改善
はあまり１期待出来ない・ 又、従来においては、Ｃｒが少ないと、Ｈｋ＜４πＭｓ
となり１面内磁化膜に過ぎないものとなってしまってい
たのに対して３本発明の処理を施すことにより、ＭＳは
そのままで、Ｈｋを増大させ得るから、良好な垂直磁化
膜を得ることが出来る。このような結果はＣｒ量が１５
原子％以下で。
１原子％以上でも得られた。
第１の実施例
第４図はＣｏＣｒ垂直磁化ハードディスクに応用した場
合を示す。ディスクの基板として陽極酸化アルミ合金板
３が用いられる。４は合金板３に形成されている陽極酸
化皮膜である。この合金板３上に高周波スパッタ法によ
り白金膜５及びＣ０Ｃｒ（Ｃｒ；１０％）合金膜が付着
される。次いで、そのディスクを陽極として希Ｈ２ＳＯ
４熔液中に沈漬し、その溶液中に炭素板を陰極として入
れ、その陽極及び陰極間に通電してＣｏＣｒ合金膜に電
気化学エツチングを施す。６はエツチング後のＣｏＣｒ
合金膜を示す。
合を示す。ディスクの基板として陽極酸化アルミ合金板
３が用いられる。４は合金板３に形成されている陽極酸
化皮膜である。この合金板３上に高周波スパッタ法によ
り白金膜５及びＣ０Ｃｒ（Ｃｒ；１０％）合金膜が付着
される。次いで、そのディスクを陽極として希Ｈ２ＳＯ
４熔液中に沈漬し、その溶液中に炭素板を陰極として入
れ、その陽極及び陰極間に通電してＣｏＣｒ合金膜に電
気化学エツチングを施す。６はエツチング後のＣｏＣｒ
合金膜を示す。
こうして得られたＣｏＣｒ垂直磁化ディスクはＣｒ量が
少ないため、飽和磁化が大きく且つ垂直異方性を有する
ので、高密度記録が可能である。
少ないため、飽和磁化が大きく且つ垂直異方性を有する
ので、高密度記録が可能である。
特に、再生においては残留磁束が大きいから、大きな再
生出力が得られる。
生出力が得られる。
第２の実施例
第５図は光磁気媒体に応用した場合を示す。この光磁気
媒体はガラス基板７上に高周波スパッタにより白金膜８
及びＣｏＣｒ （Ｃｒ ： ２０％）合金膜が付着され
、その基板を陽極として希Ｈ２Ｓ０４溶液中に沈潰し、
その溶液中に炭素板を陰極として入れ、その陽極及び陰
極間に通電してＣ。
媒体はガラス基板７上に高周波スパッタにより白金膜８
及びＣｏＣｒ （Ｃｒ ： ２０％）合金膜が付着され
、その基板を陽極として希Ｈ２Ｓ０４溶液中に沈潰し、
その溶液中に炭素板を陰極として入れ、その陽極及び陰
極間に通電してＣ。
Ｃｒ合金膜に電気化学エツチングを施す。９はエツチン
グ後のＣｏＣｒ合金膜である。
グ後のＣｏＣｒ合金膜である。
こうして得られる光磁気媒体は垂直磁化特性の角形比が
大きくなり（残留磁化が増大し、）ビットとして記録さ
れた＋Ｍｓ状態及び−Ｍｓ状態における磁気カー効果の
差が大きくなり、光磁気再生のＳ／Ｎ比が大幅に向上す
る。
大きくなり（残留磁化が増大し、）ビットとして記録さ
れた＋Ｍｓ状態及び−Ｍｓ状態における磁気カー効果の
差が大きくなり、光磁気再生のＳ／Ｎ比が大幅に向上す
る。
（７）発明の効果
以上述べたように２本発明によれば。
■垂直磁気異方性を増大させる手段を提供し。
■Ｃｒ量が少なくても良好なＣｏＣｒ垂直磁気記録媒体
を得ることが出来るし、又 ■角形比を大きくして残留磁化の増大を図ることが出来
る等の効果が得られる。
を得ることが出来るし、又 ■角形比を大きくして残留磁化の増大を図ることが出来
る等の効果が得られる。
第１図は従来垂直記録媒体の例を示す図、第２図は本発
明の磁気記録媒体を説明するための図。 第３図は本発明磁気記録媒体の磁化曲線を示す図。 第４図は本発明の第１の実施例を示す図、第５図は本発
明の第２の実施例を示す図である。 図中、■はＣ０Ｃｒ合金膜、２は基板、３は陽極酸化ア
ルミ合金板、４は陽極酸化皮膜、５は白金膜、６はエツ
チング後のＣｏＣｒ合金膜、７はガラス基板９８は白金
膜、９はエツチング後のＣｏＣｒ合金膜である。
明の磁気記録媒体を説明するための図。 第３図は本発明磁気記録媒体の磁化曲線を示す図。 第４図は本発明の第１の実施例を示す図、第５図は本発
明の第２の実施例を示す図である。 図中、■はＣ０Ｃｒ合金膜、２は基板、３は陽極酸化ア
ルミ合金板、４は陽極酸化皮膜、５は白金膜、６はエツ
チング後のＣｏＣｒ合金膜、７はガラス基板９８は白金
膜、９はエツチング後のＣｏＣｒ合金膜である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１Ｃｏ Ｃｒ合金膜を有し、その膜が独立した柱状
結晶粒の集合で形成されていることを特徴とする磁気記
録媒体。 （２）基板上にＣｏＣｒ合金膜を形成し、その表面をエ
ツチング処理して磁気記録媒体を得ることを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法。 （３）上記基板上にＣｒの組成が１原子％以上、１５原
子％以下のＣｏＣｒ合金膜をスパッタ法により形成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1032883A JPS59139138A (ja) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1032883A JPS59139138A (ja) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59139138A true JPS59139138A (ja) | 1984-08-09 |
Family
ID=11747141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1032883A Pending JPS59139138A (ja) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59139138A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4677032A (en) * | 1985-09-23 | 1987-06-30 | International Business Machines Corporation | Vertical magnetic recording media with multilayered magnetic film structure |
| US7141317B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-11-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Perpendicular magnetic recording medium |
| US8298690B2 (en) | 2007-11-22 | 2012-10-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium, method and apparatus for manufacturing magnetic recording apparatus |
-
1983
- 1983-01-25 JP JP1032883A patent/JPS59139138A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4677032A (en) * | 1985-09-23 | 1987-06-30 | International Business Machines Corporation | Vertical magnetic recording media with multilayered magnetic film structure |
| US7141317B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-11-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Perpendicular magnetic recording medium |
| US8298690B2 (en) | 2007-11-22 | 2012-10-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium, method and apparatus for manufacturing magnetic recording apparatus |
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