JPS59134843A - マニユアルプロ−バ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はマニピュレータの位置設定の容易化を図って操
作性の向上を図ったマニュアルプローバ装置に関するも
のである。

半導体装置の検査は、通常半導体ウェー／％　（素子）
に形成した複数個の重接パッドにプローバ針を接触させ
、これを介してウニーノ・内に通電を行なうことにより
電気的特性を検査している。そＬ７て、この検査は一般
にはプローバ針ケ固定的に配設し女プローバによって行
なっているが、特別な検査を行なう場合にはプローバ針
の位置全任童に変更することができるマニュアルプロー
バ装置が用いられる。

このため、マニュアルブローバ装置はステージに対して
マニピュレータの取付位置ケ容易に変更できるように、
例えば従来のものではマニピュレータを磁石を備えた構
成とし、このマニビュレータケステージ上のｈ型位置に
磁力を利用して配設固定する構造が採用されている。

しかしながらこの構成では固定力を確保するｋめに磁力
を大きくすれば、ステージ上におけるマニビーレータの
移動に際してこの磁力が逆にデメリフトになり、マニビ
ーレータの迅速かつ軽快な操作による位置変更が困難に
なると共に、位置決定に際しての粗動或いは微動調節も
困難になるという問題もある。

したがって本発明′の目的はステージ上に取着したマニ
ビュＩ／−夕の配役位置の設定及び変更を迅速かつ軽快
な操作で行なうことができかつその粗動、微動調節も容
易に行なうことができる等全体としての操作性の向上を
図ることができるマニーアルプローバ装置ケ提供するこ
とにある。

この目的全達成するために本発明はステージに多段のリ
ンク状の可動トラリフを同心的に設け、かっこねら可動
トラックを集中的に配設した操作部にかいて夫々独立し
て回動できるようにする一方、マニピュレータを各可動
トラックに個別に取着できるようにしたものである。

以下、本発明？図示の実施例によシ説明する。

第１図は本発明のマニュアルプローバ装置の卵視図であ
υ、基台１上に支柱２會用いてステージ３を支持し、ス
テージ３上には複数個のマニピユレータ４ａ〜ａｆ取着
すると共に、ステージ３下の基台１上にはウェーハステ
ージ５′に配置できるようになっている。また、・ステ
ージ３上部には顕ｇ１．伊６　ｗ配設してウェーハ及び
マニュビ１／−タ４ａ、４ｂ、４ｃに設けたプローバ針
を観察できるように［ている。なお、前記ウェーハステ
ージ５は、その」・面にウェーハ全支持した状態で前記
ステージ３の中央位置に設置でき、かつ上下に伸縮シて
ウェーハケ上下動させることができる。

前記ステージ３は、第２図及び第３図に示すように、土
面中央に円形の空所を有し、この空質内に名数個のリン
グ状の可動トラ・ツク７．８．９．１０？ｒ−同一水平
位置にかつ同心的に配設置１、シ１．がも各可動トラ・
ツク７．８．９．１ｏは内外周面間に形成した滑動溝７
ａ、８ａ、９ａ、１０ａによって周回多方向に係合して
各可動トラック７．８．９、］Ｏが独立して回動できる
ように支持している。１ｋ、各可動トラック７．８．９
．１ｏはその下面に夫々リング歯車７ｂ、　　ｓｂ、　
　９ｂ、　　ｔａｂを一体形成している。

一方、前記ステージ３の一倶１には３本の円筒状回転軸
１１．１２．１３と１本の回転軸１４と會備えた操作部
１５を取着している。前記各回転軸１１．１２．１３．
１４は同軸配置して前記ステージ３ヶ頁通し、各転軸の
外端には夫々操作用のダイヤル１６．１７．１８．１９
ケ一体に取着して夫々が独立して手操作によυ軸転され
るようにしている。−また、各回転軸の内端には夫々か
さ歯車２０．２１．．２２．２３ケ固着し、これらのか
さ歯車２０，２１，２２．２３は夫々前記リング歯車７
ｂ、８ｂ、ｇｂ、　　ｉｏｂに噛合している。

一方、３個のマニピュレータ４ａｓ　　４ｂ、４ｃ’＝
は、第４図にマニピュレータ４ｃで代表して示すように
、本体部２４の内側面に微動ブロック２５を有し、この
微動ブロック２５にプローバ釘２６を支持している。こ
のプローバ釘２６は先端に下方に向け、ウェーハの電極
バッドに接触できる。

また、このブローバ針２６は、本体部２４に設け７ｔＸ
ＸＹ、Ｚの各微動ダイヤル２７．２８．２９ケ作動して
前記微動ブａツク２５ｉＸ、ＹＸＺ方向に微動すること
によシ、これと一体にＸＸＹ、２方向に微動できる。更
に、前記本体部２４の下面には磁石３０ｃ　（３０ａ、
　　３０ｂ　’）ｋ設け、前記可動トラック７．８．９
、ＩＯの上面に磁着することができる。

なお、第２図、第３図において、Ｗは前記ウェーハステ
ージ上に支持されたウェーハである。また、各可動トラ
ック７．８．９．１０には図外のストッパ機構を設けて
おり、各トランクの回動位置を安定に保持できるように
なっている。

以上の構成によれは、各マニピュレータ４ａ。

４ｂ、４０を一つずつ可動トラ、ツク７．８．９、ＩＯ
のいずれかに磁着すれば、例えば第２図の場合にはマニ
ピュレータ４ａ、　　４ｂ、４ｃは夫々可動トラック７
．８．９に一体化される。その上で操作部１５の各ダイ
ヤル１６．１７．１８．１９ヲ偽別に手操作で回転すれ
ば、回転軸１４．１３．１２．１１の回転はかさ歯車２
０．２１．２２．２３を回動じ、これに噛合するリング
歯車７ｂ。

８ｂ、９１）、１０’ｂ即ち、可動トラック７．８．９
、１０ケ夫々個別に回動する。し穴がって、各ダイヤル
１６．１７．１８．１９操作によって可動トラック７．
８．９、ｌＯの回動位置ケ夫々設定すわば、これらに一
体のマニピュレータ４ａ、４ｂ。

４ｃ’（ｒ−例えば第２図に示すように所望の円周位置
に設定できる。その上で、各マニピュレータ４ａ、４ｂ
、４ｃの微動ダイヤルを調整すわば夫々のプローバ針２
６の先端のＸＹＺ位置を微調整できる。

し１女がって、その後に第３図に示すようにウェーハス
テージ５を伸長してウェーハＷを上動丁ねはウェーハ表
面の所望の電極パッドに前記各プローバ釘２６を接触感
ゼることかできる。

この結呆、マニビュレー＃４ａ、４ｂ、４ｃの粗動は却
に各ダイヤル１６．１７．１８．１９を回転操作はせる
だけでよく、微動も各微動ダイヤル２７．２８．２９の
調整たけでよいため、磁石３０ａ、３０ｂ、３０ｃの磁
力（磁着力）に抗してマニビーレータ４ａ、４ｂ、４ｃ
を移動させる必撰は全くなく、これにより軽快かつ迅速
な位置設定ケ可能に１、その操作性の向上を図ることが
できここで、マニピュレータは各可動トラックに１個づ
つ配設しているが、場合によっては１つの可動トラック
に２個以上のマニピュレータ？配設してもよい。また、
各かさ歯車の歯数（径）を相違させることによシ夫Ａに
対応するリング歯車との歯数比ケ等しくしてダイヤルと
可動トラックとの回転比が全て等しく々るように構成し
てもよい。

以上のように本発明のマニーアルプローバ装置によねば
、独立して回動できる多数個のリング状の可動トラ・ツ
クを同心的に設け、マニピュレータは各可動トラック上
に個別に増着した構成としているので、操作部における
操作で各可動トラックケ回動するだけでマニピュレータ
を粗動してその位置設定を行なうことができ、これによ
シマニヒーレータの迅速かつ軽快な位置設定ケ可能に１
７で全体としての操作性？向上することができるという
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のマニーアルプローバ装置ｔノ全体構成
を示すｆＡ祈１図、 第２図は平面図、 第３図は断面図、 詰４図はマニピュレータの拡大ｆＡ物図である。 ３・・・ステー　ジ、４ａ、４１　４　ｃ・・・マニピ
ュレータ、５・・・ウェーハステージ、７．８．９．１
０・・・可動トラック、７１：＋、　　３ｂ、９ｂ、ｔ
ｏｂ・・リング歯車、１１，１２．１３．１４・・・回
転軸、１５・・・操作部、１６．１７．１８．１９・・
・ダイヤル、２０．２１．２２．２３・・・かさ歯車、
２６・・・ブローバ釧。 第　　１　　図 第　　２　　図 第　　３　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　ステージ上に配置したマニピュレータを手操作に
   より位置設定できるようにしたマニーアルプａ−バ装置
   において、前記ステージには多数個のリング状の可動ト
   ラ・りｔ同心的に設けると共に、集中的に配設した操作
   部の操作によって各可動トランクを独立して回動できる
   構成とし、かつ前記各可動トランク上にマニピュレータ
   ケ個別にを着できるように構成したことを特徴とするマ
   ニュアルプローバ装置。 ２、操作部は各可動トラ・・りに連結した回転軸全同軸
   的に配置した同軸ダイヤルからなる特許請求の１ｗ１ｔ
   　項記載のマニュアルプロ、−バ装置。 ３、可動トラックと回転軸とをかさ係車機栴で速結して
   なる特許請求の範囲第２項記載のマニーアルプローバ装
   置。