JPS59132076A - 液晶パネルのパタ−ン検査装置 - Google Patents
液晶パネルのパタ−ン検査装置Info
- Publication number
- JPS59132076A JPS59132076A JP58006493A JP649383A JPS59132076A JP S59132076 A JPS59132076 A JP S59132076A JP 58006493 A JP58006493 A JP 58006493A JP 649383 A JP649383 A JP 649383A JP S59132076 A JPS59132076 A JP S59132076A
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- Japan
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- pattern
- output
- signal
- memory
- logic circuit
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- Pending
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- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、リファレンスメモリに記憶さｎた良品のパタ
ーンと、イメージセンサ−などによって得らｎた被検査
物のパターンとを比較してＮＧか否かを判定するパター
ン検査装置に関する。
ーンと、イメージセンサ−などによって得らｎた被検査
物のパターンとを比較してＮＧか否かを判定するパター
ン検査装置に関する。
従来、正常なパターン（リファレンスパターン）と、被
検査パターンとを、イメージセンサ−あるいは、七ｎら
のパターンを記憶するメモリーの最小絵素の対応する１
つ１つが一致しているかを判定していくパターン比較方
法において、正常なパターンと被検査パターンとの間に
、厳密〔少なくとも分解能以下〕な位置精度が必要であ
った。
検査パターンとを、イメージセンサ−あるいは、七ｎら
のパターンを記憶するメモリーの最小絵素の対応する１
つ１つが一致しているかを判定していくパターン比較方
法において、正常なパターンと被検査パターンとの間に
、厳密〔少なくとも分解能以下〕な位置精度が必要であ
った。
このため、被検査物を高精度に位置決めする装置が必要
であるばかりでなく、安定した照明系が必要である。
であるばかりでなく、安定した照明系が必要である。
ソコで、本発明は、マスクメモリーを利用し、被検査物
のイメージセンサのＡＤ変換出力に検査すべき以外のと
ころにマスクをかけて論理回路でチェックすることによ
り前述した必要位置決め精度を緩和させることや安価な
照明系を採用することを目的としている。
のイメージセンサのＡＤ変換出力に検査すべき以外のと
ころにマスクをかけて論理回路でチェックすることによ
り前述した必要位置決め精度を緩和させることや安価な
照明系を採用することを目的としている。
本発明を第１図に示した実施例にもとづき詳述する。
第１図は、ウォッチのパネルの検査装置のブロック図で
ある。まず構成要素について説明する。
ある。まず構成要素について説明する。
１はテレビカメラ同期信号（以下シンク信号と呼ぶ。）
と検査さｎる像の領域を指定するゾーン信号と１１フ了
レンスおよびマスクメモリのアドレスを指定するアドレ
ス信号を発生する同期信号アドレス信号発生回路である
。テレビカメラ２でとらえらｎる画像とシンク信号とア
ドレス信号の関係は、テレビカメラ２がシンク信号に同
期して、画像の左上端からｉ方間に走査し、さらにＶ方
向へ走＊’ｖ＜りかえずいわゆるラスター走査を行ない
、アドレス信号は、そのＺ？／走査了ドレスに対応シテ
ィる。３はテレビカメラから出力さｆる走査信号をデジ
タル信号（工（ｃ 、 ｙ）とする。〕に変換するアナ
ログデジタル変換回路（以下ＡＤコンバータと呼ぶ。〕
であり、４は前記デジタル信号工 （ｚ＊ｙ）と、あら
かじめリファレンスメモリ５内に記憶さｎたデジタル信
号（ＲＭ（ｘ。
と検査さｎる像の領域を指定するゾーン信号と１１フ了
レンスおよびマスクメモリのアドレスを指定するアドレ
ス信号を発生する同期信号アドレス信号発生回路である
。テレビカメラ２でとらえらｎる画像とシンク信号とア
ドレス信号の関係は、テレビカメラ２がシンク信号に同
期して、画像の左上端からｉ方間に走査し、さらにＶ方
向へ走＊’ｖ＜りかえずいわゆるラスター走査を行ない
、アドレス信号は、そのＺ？／走査了ドレスに対応シテ
ィる。３はテレビカメラから出力さｆる走査信号をデジ
タル信号（工（ｃ 、 ｙ）とする。〕に変換するアナ
ログデジタル変換回路（以下ＡＤコンバータと呼ぶ。〕
であり、４は前記デジタル信号工 （ｚ＊ｙ）と、あら
かじめリファレンスメモリ５内に記憶さｎたデジタル信
号（ＲＭ（ｘ。
ｙ〕とする。）のイクスクルーシブオアヲトリ、さらに
前記ゾーン信号とあらかじめマスクメモリ７内に記憶さ
ｎたデジタル信号（ＭＭ Ｃｗ ｐ ｙ）とする。）と
アンドをとる論理回路であり、５は良品とする被検査物
から得らｎるデジタル信号を記憶する第１のリファレン
スメモリでＩ＞ｖ、６ｉｊ第１Ｖフアレンスメモリ５と
同じ機能を有する第２のリファレンスメモリである。複
数のリファレンスメモリを使用する目的は、被検査物で
あるＬＣパネルが複数の表示パターンをもつからであり
、リファレンスメモリの出力同志がワイヤードオアさＣ
１さらに抵抗Ｒによってプル了ツブさｎている。７は、
リファレンスメモリと同じ機能を有するが、出力が論理
回路４のアンドゲートに結ばｎることによってマスキン
グ用として使わｎるマスクメモリであり、８は、各メモ
リをエネイブルあるいはディスエイプルにするメモリセ
レクタである。あるＺＳＵで指定さｎたリファレンスメ
モリあるいはマスクメモリ７内の最小単位を絵素と呼こ
八その絵素毎に同期信号発生回路１からライトコマンド
（Ｗコマンドと呼ぶ。）が発生さｎｌそのＷコマンドで
前記論理回路４の出力を絵素毎にカウントするカウンタ
ーで’１．１０は、良品パターンと不良品パターンの絵
素数の差異の許容値を設定する規格設定回路であり、１
１は、カウンタ９の出力と規格設定回路１０の出力を比
較し、良否を判定するコンパレータである。
前記ゾーン信号とあらかじめマスクメモリ７内に記憶さ
ｎたデジタル信号（ＭＭ Ｃｗ ｐ ｙ）とする。）と
アンドをとる論理回路であり、５は良品とする被検査物
から得らｎるデジタル信号を記憶する第１のリファレン
スメモリでＩ＞ｖ、６ｉｊ第１Ｖフアレンスメモリ５と
同じ機能を有する第２のリファレンスメモリである。複
数のリファレンスメモリを使用する目的は、被検査物で
あるＬＣパネルが複数の表示パターンをもつからであり
、リファレンスメモリの出力同志がワイヤードオアさＣ
１さらに抵抗Ｒによってプル了ツブさｎている。７は、
リファレンスメモリと同じ機能を有するが、出力が論理
回路４のアンドゲートに結ばｎることによってマスキン
グ用として使わｎるマスクメモリであり、８は、各メモ
リをエネイブルあるいはディスエイプルにするメモリセ
レクタである。あるＺＳＵで指定さｎたリファレンスメ
モリあるいはマスクメモリ７内の最小単位を絵素と呼こ
八その絵素毎に同期信号発生回路１からライトコマンド
（Ｗコマンドと呼ぶ。）が発生さｎｌそのＷコマンドで
前記論理回路４の出力を絵素毎にカウントするカウンタ
ーで’１．１０は、良品パターンと不良品パターンの絵
素数の差異の許容値を設定する規格設定回路であり、１
１は、カウンタ９の出力と規格設定回路１０の出力を比
較し、良否を判定するコンパレータである。
次に第２図を使って動作について説明する。
２−ａは不良の被検査物であるＬＯパネルの表示パター
ンを示し、２−ｂは良品のＬＯパネルの表示パターンを
示し、２−Ｃは検査すべき個所を論理パ１１″にしたマ
スクパターンを示し、２−αと２− ｃの各セグメント
は黒の状態である。まず、メモリセレクタ８でマスクメ
モリ７だけをセレクトする。そのときリファレンスメモ
リ５と６の出力は、ハイインピーダンス状態でつｉ５論
理“１１として論理回路４のイクスクルーシブオアＢ。
ンを示し、２−ｂは良品のＬＯパネルの表示パターンを
示し、２−Ｃは検査すべき個所を論理パ１１″にしたマ
スクパターンを示し、２−αと２− ｃの各セグメント
は黒の状態である。まず、メモリセレクタ８でマスクメ
モリ７だけをセレクトする。そのときリファレンスメモ
リ５と６の出力は、ハイインピーダンス状態でつｉ５論
理“１１として論理回路４のイクスクルーシブオアＢ。
−ＯＲに入力さｎる。次に２−ｃに示すマスクツくター
ンをテレビカメラ２でとらえる。テレビカメラ２は２−
ｃ図中の０点から２方回に走査しさらにＶ方向へ走査を
くり返ナラスク走査を行なうことで、マスクパターンを
ビデオ信号に変換する。
ンをテレビカメラ２でとらえる。テレビカメラ２は２−
ｃ図中の０点から２方回に走査しさらにＶ方向へ走査を
くり返ナラスク走査を行なうことで、マスクパターンを
ビデオ信号に変換する。
ビデオ信号はＡＤコンバータ３によりデジタル信号化さ
ｎる。そのデジタル信号工（＋； 、ｙ）は論理回路４
のイクスクルーシブオ了ゲー）ＥＸ−ＯＲに入力さｎる
。一方リファレンスメモリ５からイクスクルーシプオア
ゲートＥＸ−ＯＲへ入力さｎる信号は、論理工なので、
工（”＊ｙ）は反転さｎマスクメモリー７に入力さｎる
。このとき、マスクパターンの黒（暗）はマスクメモリ
７の中では論理１に、ま几白は論理０になっている。マ
スクメモリ７に記憶さ：ｒＬｆｃ信号をＭＭＣｚ ｔ
ｙ）とする。次にメモリセレクタ８によりフ了しンスメ
モリ５だけをセレクトし２−ｂで示さｎる良品である’
ＬＯパネルの表示パターンを、マスクメモリ７にマスク
パターンを入力λしたと同じ手順で、リファレンスメモ
リ５に記憶する。その記憶さｎた信号＠ＲＭＩ Ｃｚ
ｅ ｙ）とする。次にメモリセレクタ８によりリファレ
ンスメモリ５とマスクメモリ７をセレクトする。
ｎる。そのデジタル信号工（＋； 、ｙ）は論理回路４
のイクスクルーシブオ了ゲー）ＥＸ−ＯＲに入力さｎる
。一方リファレンスメモリ５からイクスクルーシプオア
ゲートＥＸ−ＯＲへ入力さｎる信号は、論理工なので、
工（”＊ｙ）は反転さｎマスクメモリー７に入力さｎる
。このとき、マスクパターンの黒（暗）はマスクメモリ
７の中では論理１に、ま几白は論理０になっている。マ
スクメモリ７に記憶さ：ｒＬｆｃ信号をＭＭＣｚ ｔ
ｙ）とする。次にメモリセレクタ８によりフ了しンスメ
モリ５だけをセレクトし２−ｂで示さｎる良品である’
ＬＯパネルの表示パターンを、マスクメモリ７にマスク
パターンを入力λしたと同じ手順で、リファレンスメモ
リ５に記憶する。その記憶さｎた信号＠ＲＭＩ Ｃｚ
ｅ ｙ）とする。次にメモリセレクタ８によりリファレ
ンスメモリ５とマスクメモリ７をセレクトする。
以上が漁備動作である。
次に検査の動作について説明する。
被検査物例えば２−αで示さする表示パターンをもった
ＬＯパネルをテレビカメラ２でとらえる。テレビカメラ
２とＡＤコンバータ３は、表示パターンをデジタル信号
工 Ｃｘ 、ｙ）に変換する。
ＬＯパネルをテレビカメラ２でとらえる。テレビカメラ
２とＡＤコンバータ３は、表示パターンをデジタル信号
工 Ｃｘ 、ｙ）に変換する。
一方リファレンスメモリ５からは、Ｒｙｉ（ｚｔｖン
（良品Ｌ Ｏパネルの表示パターンのデジタル信号〕が
、またマスクメモリ７からは、ＪＡＮ（Ｚ、２／）が、
そｎぞ：ｎＺ 、 １／に対応して出力さ扛論理回路４
に入力さｎる。論理回路４において、その出力をＱ（２
Ｘ、ｙ）とすると Ｑ（グ＃ ｙ）＝ＭＭ Ｃ露、Ｖ〕 （工 （＋：、ｙ
）ｅＲＭｌ （Ｚ 、ｖ）） の論理がとらｎ１カウンタ９に出力さ几る。カウンター
９は、こｎをカウントＬま ただし、Ｘ方間に絵素数が５１２ケありＶ方間に走査線
が５２５本ある場合、 コンパレータ１１ニ出カスる。コンパレータ１１ ｆｄ
カウンタ９の出力と規格設定回路１０の出力との大きさ
を比較し良否判定する。
（良品Ｌ Ｏパネルの表示パターンのデジタル信号〕が
、またマスクメモリ７からは、ＪＡＮ（Ｚ、２／）が、
そｎぞ：ｎＺ 、 １／に対応して出力さ扛論理回路４
に入力さｎる。論理回路４において、その出力をＱ（２
Ｘ、ｙ）とすると Ｑ（グ＃ ｙ）＝ＭＭ Ｃ露、Ｖ〕 （工 （＋：、ｙ
）ｅＲＭｌ （Ｚ 、ｖ）） の論理がとらｎ１カウンタ９に出力さ几る。カウンター
９は、こｎをカウントＬま ただし、Ｘ方間に絵素数が５１２ケありＶ方間に走査線
が５２５本ある場合、 コンパレータ１１ニ出カスる。コンパレータ１１ ｆｄ
カウンタ９の出力と規格設定回路１０の出力との大きさ
を比較し良否判定する。
以上の一連の動作によりＬＣパネルの表示パターンの良
否判定が行なわｎる訳であるが、この場合ＬＯバオ・ル
の位置づｎがあった場合、従来の方法であるとカウンタ
ーに入力さ扛るパターンは２−ｄのように、位置づ６分
だけ多く人力さｎてしまい、もしＬＯパネルが良品でか
つ位置づｎがあった場合、判定結果として、２−ｆのよ
うなパターンの信号が得らｎｌそのＬＯパネルは不良に
判定さしてしまうことがある。マスクメモリ７に２−〇
のパターンを記憶し、そのパターンをマスクとして使う
ことで、位置づｎによる比較誤差がなくなる。又本実施
例において、ビデオ信号に光源 ゛の不安定さから
くるノイズや電気的ノイズがのった場合でもマスキング
で影響を少なくすることができる。
否判定が行なわｎる訳であるが、この場合ＬＯバオ・ル
の位置づｎがあった場合、従来の方法であるとカウンタ
ーに入力さ扛るパターンは２−ｄのように、位置づ６分
だけ多く人力さｎてしまい、もしＬＯパネルが良品でか
つ位置づｎがあった場合、判定結果として、２−ｆのよ
うなパターンの信号が得らｎｌそのＬＯパネルは不良に
判定さしてしまうことがある。マスクメモリ７に２−〇
のパターンを記憶し、そのパターンをマスクとして使う
ことで、位置づｎによる比較誤差がなくなる。又本実施
例において、ビデオ信号に光源 ゛の不安定さから
くるノイズや電気的ノイズがのった場合でもマスキング
で影響を少なくすることができる。
第１図は、本発明を使った実施例のブロック回路図、第
２ Ｖ％は被検査物でおるＬＯパネルの表示パターンの
処理過程を説明するための栂成図である。 １０．同期信号下ドレス信号発生回路 ２０．テレビカメラ ３０．アナログデジタル変換回路 ４、。論理回路 ５６、リフファレンスメモリ１ ６０．リッツ了レしスメモリ２ ７−マスクメモリ ８０．メモリセレクター ９０．カウンター １００．規格設定回路 １１、。コンパレータ １２ 、 、 Ｌ Ｏパネル 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務 ６５１
２ Ｖ％は被検査物でおるＬＯパネルの表示パターンの
処理過程を説明するための栂成図である。 １０．同期信号下ドレス信号発生回路 ２０．テレビカメラ ３０．アナログデジタル変換回路 ４、。論理回路 ５６、リフファレンスメモリ１ ６０．リッツ了レしスメモリ２ ７−マスクメモリ ８０．メモリセレクター ９０．カウンター １００．規格設定回路 １１、。コンパレータ １２ 、 、 Ｌ Ｏパネル 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務 ６５１
Claims (1)
- 液晶パネルのパターンを入力するためのテレビカメラと
、このテレビカメラからのパターン信号をＡ ／ Ｄ変
換器を介して入力するための同期信号及びアドレス信号
発生回路と、この同期信号及びアドレス信号発生回路に
接続さｎ−ｆｃ複数のリファレンスメモリと、前記同期
信号及びアドレス信号発生回路に接続さｎたマスクメモ
リと、前記各メモリに接続さｎたＩ！！Ｘ−０Ｒ及びＡ
ＮＤゲートからなる論理回路と、前記各メモリと前記論
理回路とを接続するための接続手段とを備え、前記各リ
ファレンスメモリに良品バふルのパターン信号憶し、前
記リファレンスメモリの出力とマスクメモリの出力とを
前記論理に入力させてパネルの良否を判定するように構
成したこと′＠：特徴とする液晶パネルのパターン検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58006493A JPS59132076A (ja) | 1983-01-18 | 1983-01-18 | 液晶パネルのパタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58006493A JPS59132076A (ja) | 1983-01-18 | 1983-01-18 | 液晶パネルのパタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59132076A true JPS59132076A (ja) | 1984-07-30 |
Family
ID=11639987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58006493A Pending JPS59132076A (ja) | 1983-01-18 | 1983-01-18 | 液晶パネルのパタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59132076A (ja) |
-
1983
- 1983-01-18 JP JP58006493A patent/JPS59132076A/ja active Pending
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