JPS60195932A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （８明の分野） 本発明は、被検物体上の位置検出用マークを検出するた
めの装置に関し、特に半導体集積回路のバタ１７ン焼付
は工程でウェハあるいはマスク（または、レチクル）を
位置合せする場合、撮像管あるいはＣＯＤ等の撮像手段
で撮像して得た画像信号からウェハあるいはマスク上の
位置検出用マークすなわちパターン位置を正確に検知す
るための装置に関するものである。

従来の半導体焼付は装置においては、ウェハのオリエン
テーション・フラット（以下、オリフラという）を利用
して機械的に位置合せ（プリアライメント）を行ない、
続いてウェハおよびマスクにそれぞれ形成されているア
ライメントマークを利用してより高精度の位置合せ（フ
ァイン・アライメント）を行なっていた。このようなフ
ァイン・アライメントに際しては、調整範囲すなわち視
野範囲が狭い程高速または高精度の位置合せくアライメ
ント）が可能となる。そこで、機械的なプリアライメン
トに続いて、さらに、撮像管あるいはＣＯＤ等の１１＋
１（１１手段を用いてウェハ上の位置検出用パターンを
検出するテレビ・プリアライメントを行ない、プリアラ
イメントの精度をより高くしてファイン・アライメント
の範囲一を狭クシ、これにより、ファイン・アライメン
トの時間を短縮し、延いてはアライメント全体の所要５
１間を短縮するようにした装置が提案されている。

ところで、この種の装置では、従来、ＩＩ！Ｉ！あるい
はＣＯＤ等のＩｉｉ像手段が持つ幾何学的図形ひずみの
影響を無視していたため、被検物体の検出用パターンが
画面周辺部にある場合は、高精度で前記パターン位置を
検知できないという欠点があった。

（発明の目的および概要） 本発明は、上述の従来形における問題点に鑑み、撮像手
段により物体上の位置検出マークを検出する位置検出装
置において、ｍｅ手段の持つ幾何学的図形ひずみの影響
がほとんど現われない領域に位置検出用マークを撮像し
てその位置を検出するという構想に基づき、マーク位置
をより高ｍ度で検出することを目的とする。

（実施例の説明） 以下、図面に従って本発明の詳細な説明Ｊる。

第１図は、本発明が適用されるパターン焼付は装置の外
観を示す。同図において、１は集積回路パターンを具え
たマスクで、他のマスクセツティングマークやファイン
・アライメントマークを具えるものとする。２はマスク
・チャックで、マスク１を保持してマスク１を平面内並
びに回転方向に移動させる。３は縮小投影レンズ、４は
感光層を具えるウェハで、７？イン・アライメントマー
クとブリ・アライメントマークを具えるものとする。５
はウエノいステージである。ウェハ・ステージ５はウェ
ハ４を保持してそれを平面内並びに回転方向に移動させ
るものであり、またウェハ焼付は位置く投影野内）とテ
レビ・プリアライメント位置間を移動する。６は、テレ
ビ・プリアライメント用検知装置の対物レンズ、７は撮
像管（または固体撮像素子）、８は影像観察用のテレビ
受像器である。９は双眼ユニットで、投影レンズ３を介
してウェハ４の表面を観察するために役立つ。

１０は、光源１０ａを発したマスク照明光を収束させる
ための照明光学系並びにファイン・アライメント用の検
知装置を収容する上部ユニットである。

ウェハ・ステージ５は図示しないウェハ搬送手段により
搬送されたウェハを所定の位置で保持し、まず、テレビ
・プリアライメント用対物レンズ６の視野内にウェハ上
の７ライメント・マークが入る位置まで移動する。この
時の位Ｉ１１度は機械的なプリアライメント精度による
ものであり、対物レンズ６の視野はおよそ直径１〜２１
１程度である。

この視野内のアライメント・マークは撮像管７で検知さ
れ、テレビ・プリアライメント視野内でのアライメント
・マークの座標位置が検出される。

ここで、投影光学系のファイン・アライメント用検知位
置と前述のテレビ・プリアライメントにおける座標の原
点はあらかじめ設定されているのでこの２点の位置と、
テレビ・プリアライメントマークの座標位置からファイ
ン・アライメント位置へのウェハ・ステージ５の送り込
み優が決められる。

テレビ・プリアライメントの位置検出粘度は±５μ以下
であり、テレビ・アリアライメン１〜位ばからファイン
・アライメント位置までのウェットステージ５の移動で
発生する誤差を考慮に入れても、±１０μ程度である。

従ってファイン・アライメントは約±１０μの範囲で行
なえばよく、これｔよテレビ・プリアライメントを行な
わない場合のフッイン・アライメントの視野範囲の１／
１００以下の範囲であり、ファイン・アライメントがよ
り＾速で行なえることになる。しかし、機械的にプリア
ライメントされたウェハのマーク位置をそのまま検出す
る従来のテレビ・プリアライメントにおいては、第６図
に示すように、テレビ・プリアライメントマークＰＭが
撮像管７の画面の周辺部に撮像された！合、前述のよう
に、搬像手段７の持つ幾何学的図形歪あるいは観察光学
系の光学的な歪曲による誤差が生じ、このため、ファイ
ン・アライメント位置へのウェハ・ステージ５の送り込
み量が不正確となって、ファイン・アライメントの視野
が拡大し、ファイン・アライメントの高速化が妨げられ
ていた。

本実施例においては、先ず、従来と同様にしてテレビ・
プリアライメントマークＰＭの座標位置検出を行ない、
次にこのマークＰＭが撮像管７の画面における上記各歪
曲の少ない部分例えば画面中央部に撮像されているか否
かを判別する。そして、マークＰＭの線像位置すなわち
検出座標位置が画面中央部であれば、上記検出座標値に
従ってウェハ・ステージ５のフッイン・アライメント位
置への送り込みを行なうが、もし、マークＰＭの検出座
標位置が画面中央部でな（プれば、ウェハ・ステージ５
を駆動してマークＰＭを画面中火部に移動させた後、再
度、マークＰＭの座標位置検出を行ない、ウェハ・ステ
ージ５の）１イン・アライメント位置への送り込みはこ
の再訂１ｌｌＩｆＩｉに従って行なう。

第２図はテレビ・プリアライメント用検知装置の実施例
を示しており、図中の縮小投影レンズ３、ウェハ４、対
物レンズ６、撮像管７は第１図と同一である。

他方、１１は照明用光源で、例えばハロゲンランプを使
用する。１２はコンデンサーレンズ、１３は絞りで、コ
ンデンサーレンズ１２は光源１１を絞り１３上に結像す
る。１４は照明用リレーレンズ、１５は接合プリズムで
、接合プリズム１５は照明系の光軸と受米讐の光軸を共
軸にする機能を持ち、内側反射面１５ａと半透過反射面
１５ｂを備える。ここで光源１１、コンデンサーレンズ
１２、較り１３、照明リレーレンズ１４、接合プリズム
１５および対物レンズ６、は照明系を構成し、対物レン
ズ６を射出した光束はウェハ４上を落射照明する。

次に、１６はリレーレンズ、１１は光路を折曲げる鏡、
１９は撮像レンズで、上に述べた対物レンズ６、接合プ
リズム１５、リレーレンズ１６．１１１７Ｊ５よび撮像
レンズ１９は、撮像管７と共に受光系を構成する。

この受光系において、対物レンズ６を通る光束は接合プ
リズム１５の内側反射面１５ａで反射して半透過面１５
ｂで反射し、さらに内側反射面１５ａで再度反射してリ
レーレンズ１６へ向う。これにより、ウェハ４上のプリ
アライメントマーク―はｍｓ管７の線像内に結像する。

他方、第３図（Ａ）に例示したテレビ・プリアライメン
トマークはウェハのスクライブライン中に設けるのが望
ましいが、ウェハ上の特定のチップパターンの位置に設
けてもよい。図示のマークはスクライブライン内に設け
た十字形状のマークで、十字パターンの方向がａｍ管の
走査方向とほぼ平行および垂直になるように配列する。

またもし、十字パターンを例えば図示したように走査方
向に４５°の傾きを持つ微小なバー状突起の集合で構成
し、この突起に直角な方向から照明光が当るように暗視
野照明すれば極めて明瞭なパターン形状を撮像できる。

この場合は、明視野絞り１３を暗視野絞り１３Ｂに交換
する。

第２図へ戻ってプリアライメントマークの検知作用を述
べるが、検知したビデオ信号の電気処理については後述
する。照明用光源１１からの光束はコンデンサーレンズ
１２で収斂されて絞り１３（または暗？［絞り１３Ｂ）
の開口を通過し、さらに照明リレーレンズ１４および接
合プリズム１５の半透過面１５ｂを透過して反射面１５
ａで反射し、対物レンズ６を通ってウェハ４を照明する
。

ウェハ４の表面で反射した光束は対物レンズ６で結像作
用を受け、接合プリズム１５へ入射して反射面１５ａで
反射し、次いで半透過面１５ｂ５、反射面１５ａで反射
してこれを射出し、リレーレンズ１６でリレーされて鏡
１７で反射し、撮像レンズ１９により撮像管７上に結像
する。−像管７から出力される画像信号は、俊速のテレ
ビ・プリアライメント検知回路に送出される。ウェハ・
ステージ５は、この検知回路における電気的処理により
検出されたアリアライメントマークＰＭの位置に応じて
ウェハ４が投影レンズ３の投影野牛の規定位［４’を占
めるように移動して停止する。なお、ウェハ４を一旦標
準位置にアライメントし、その後、投影野牛へ移動させ
るように変形してもよい。

第４図はテレビ・プリアライメント検知回路の一実施例
を示すブロック図である。

第３図Ａに示したテレビ・プリアライメントマークを検
知する方法はいろいろあるが、第４図に示した実施例は
テレビの画像を画素に分解し、この画素の濃度をＸ方向
（水平方向）およびＹ方向（垂直方向）にそれぞれ加算
するものである。

加算することによる利点は、■加算によりランダム・ノ
イズが平均化されＳ／Ｎ比がよくなる。

■Ｘ方向とＹ方向の位置検知を独立に行なうことができ
検知が簡単になる。０画像データを格納するメモリの容
量が少なくなる等があげられる。

第４図のブロック図において破線で凹まれたブロックＸ
は、Ｘ方向の画素の濃度を加算するブロック、ブロック
ＹはＹ方向の画素のｍｓを加算するブロックである。

第４図において、３１はビデオ・アンプ、３２はアナロ
グ・デジタル変換器、３３はラッチであり、図示しない
テレビカメラコントロール部から送られるビデオ信号（
Ｗｉ像管７からの画像信号に同期信号を付加する等の電
気的処理を施したもの）はビデオアンプ３１で増幅され
、アナログ・デジタル変換器３２でデジタル化された後
ラッチ３３に格納される。ラッチ３３の出力データはＸ
方向の加算ブロックＸとＹ方向の加算ブロックＹへ出力
される。ブロックＹにおいて、３４はＹ方向にデータを
加算する加算器、３５は加算器３４の出力データをラッ
チする加算出力ラッチ、３６は加算出力ラッチ３５のデ
ータを格納するＹ方向積算メモリ、３７はメモリ３６の
出力データをラッチする加算入力ラッチである。

ブロックＸにおいて、３８はＸ方向にデータを加算する
加算器、３９は加算器３８の出力をラッチするラッチ、
４０はラッチ３９の出力データを格納するＸ方向積算メ
モリである。

これらの回路におけるデジタル・データのピット数に特
に限定はないが、例えばアナログ・デジタル変換器３２
が８ビツト、加算器３４．３８およびメモリ３６．４０
が１６ビツト構成である。

一方、４１はテレビ・プリアライメント検知回路のタイ
ミングやシーケンスを制御し、またメモリ３６のリード
・ライトおよびチップセレクトをコントロールするシー
ケンス／メモリコントロール回路、４２はブロックＸ中
のメモリ４０を制御するメモリコントロール回路である
。４３はシーケンス／メモリコントロール回路４１をマ
イクロプロセッサ（不図示）が制御するためのコントロ
ールレジスタで、レジスタ４３の入力はマイクロプロセ
ッサのデータバス４４に接続されている。また、マイク
ロプロセッサは、このデータバス４４を介して、メモリ
３６．４０にアクセスすることが可能である。４５゜４
６、４７．４８はそのためのバッファであり、バッファ
４５．４７はマイクロプロセッサがメモリにデータをラ
イ°卜する時、またバッファ４６．４８はデータをリー
ドする時動作する。４９はクロック回路、５０゜５１は
Ｙ方向積算メモリ３６のライト・アドレスおよびリード
・アドレスを発生する、メモリ・ライト・アドレス回路
およびメモリ・リード・アドレス回路である。５２はメ
モリのリード・アドレスとライト・アドレスを切換える
アドレスセレクタ、５３はマイクロプロセッサがメモリ
３６をアクセスする時のアドレスバッファであり、マイ
クロプロセッサがアクセスする時以外は、アドレスセレ
クタ５２の出力が選択されており、バッファ５３の出力
は禁止されている。５４はＸ方向積算メモリ４０のアド
レスを発生するメモリ・アドレス回路、５５はメモリア
ドレス回路５４のアドレスとマイクロプロセッサがメモ
リ４０をアクセスする時発生するアドレスの切換えをす
るアドレスセレクタである。５６はクロック回路４９の
クロックを基準にＴＶの水平同期信号、垂直同期信号、
ブランキング信号等を発生づるＴＶ同期信号発生回路で
ある。５７．５８はマイクロプロセッサのデータバス４
４に接続されたそれぞれＸ位置表示レジスタ、Ｙ位置表
示レジスタ、５９はマーカ表示回路であり、マーカ表示
回路５９は、テレビ・プリアライメントにおいて検出し
たアライメントマークの位置をマイクロプロセッサがＸ
位置表示レジスタ５７およびＹ位１表示レジスタ５８に
出力することにより、ミックス信号を作成してＴＶカメ
ラコントロール部のビデオ入力端子へ送出する。

続いて第４図のテレビ・プレアライメント検知回路の機
能および動作について説明する。

テレビ・プリアライメント検知回路の機能は、■Ｘ方向
のデータの積算、■Ｙ方向のデータの積算、■アリアラ
イメントマーク検知位置のＴＶ七二タ上への表示である
。

このうち、Ｘ方向のデータのｍｓおよびＹ方向のデータ
の積算は、テレビ・プリアライメント検知回路のハード
ウェアが加算を実行し、その加算データをメモリに格納
する。データの加算はテレビ信号の１フレ一ム単位で行
なわれ、後述するように必要に応じて、１フレームの加
算で終了してもよいし、あるいは複数のフレームの加算
を行なってもよい。いずれの場合でも、加算中は、メモ
リ３６．４０のデータ・バスおよびアドレス・バスはマ
イクロプロセッサのデータ・バス４４およびアドレス・
バスから電気的に切り離されており、メモリ３６のアド
レスはアドレスセレクタ５２、メモリ４０のアドレスは
アドレス回路５４から供給され、シーケンス／メモリコ
ントロール回路４１、およびメモリコントロール回路４
２からハード的に発生するリードライト信号およびチッ
プセレクト信号の制御のもとに加算が実行される。

所定のフレーム数の加算が終了すると、シーケンス／メ
モリコントロール回路４１からインタラブド信号線ＩＮ
Ｔ上に加算終了信号が発生する。この加算終了信号の発
生後、マイクロプロセッサは、メモリ３６およびメモリ
４０にアクセスを行ない、加算データからテレビ・プリ
アライメントマーク位置を検知する。マイクロプロセッ
サがメモリ３Ｇ。

４０をアクセスする時は、当然ながらメモリのアドレス
、リードライト切換、チップセレクト等はマイクロプロ
セッサの制御信号によって行なわれる。

またメモリ３６のデータはバッファ４６、メモリ４０の
、データはバッファ４８を経由してデータバス４４に送
られ、マイクロプロセッサに読み取られる。

ところで、第４図中、ブロックＸにおけるＸ方向の加算
、ブロックＹにおけるＹ方向の加算を説明する前に、１
５図を参照して画素の分割方法について述べる。第５図
はテレビ画面をＸ方向にＮ分割、Ｙ方向にＭ分割した画
素を表わしている。゛画゛　素ＰＪ１は、行Ｊ番目、列
１番目、の画素を示す。

Ｙ方向の分割数Ｍは通常、水平走査ライン数と一致して
おり、したがって画素に分割するためには、−水平同期
信号区間内に、アナログ・デジタル変換器３２（第４図
）にてＮ回すンプリングを行なえばよい。

したがってＸ方向の加算は Ｓｘ＋　−ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　＋　）＋ＤＡＴＡ　（Ｐ
＋　ｚ　）＋　・・・・・・　十ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　Ｎ
　）、Ｓｘｚ　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ２　＋　）＋ＤＡＴＡ
　（Ｐ２２　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴＡ　（Ｐ２
　Ｎ　）　、Ｓｘ　Ｍ−ＤＡＴＡ　（ＰＭ　＋　）＋Ｄ
ＡＴＡ　（ＰＭ　２　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴＡ
（ＰＭＮ）　、Ｙ方向の加算は Ｓｖ　＋　−ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　＋　）＋ＤＡＴＡ　（
Ｐ２　＋　）＋　・・・・・・　＋Ｄ’ＡＴＡ　（ＰＭ
　＋　）、ＳＹ２−ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　２　）＋ＤＡＴ
Ａ　（Ｐ２２　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴＡ　（Ｐ
Ｍ２）、５ＹＮ−ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　Ｎ　）＋ＤＡＴＡ
　（Ｐ２　Ｎ　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴＡ　（Ｐ
ＭＮ　）、で′表わされる。

加算が終了した時点で、Ｘ方向積紳メモリ４０内にはＳ
Ｘ１．ＳＸ２・・・・・・ＳＸＭのデータが、Ｙ方向積
弊メモリ３６内にはＳＹＩ　＊　Ｓｖｚ・・・・・・Ｓ
ＹＮのデータが格納される。

前述したように、テレビ・プリアライメント位置へのウ
ェハ送り込みはまずウェハのオリフラを検知することに
よってウェハを所定の位置で保持しそれからウェハ・ス
テージを駆動してウェハをテレビ・プリアライメント位
置まで送り込んでいる。そのため、オリフラ検知精度と
ウェハ・ステージのプリアライメントマーク位置へのウ
ェハ送り込み精度によっては第６図に示したように、テ
レビ・プリアライメントマークＰＭが画面の周辺部に撮
像される場合も多々ある。そのような場合にはマーク計
測を行なった結果求まる位置座標値（Ｘ９Ｍ、ＹρＭ）
にはｍ像手段のもつ幾何学的図形ひずみ、あるいは観察
光学系の光学的な歪曲による誤差が乗っており、前述し
たファイン・アライメント位置へのウェハ・ステージの
送り込み量が正確には決定できないことになる。

一方、前記要因に起因する誤差はテレビ・プリアライメ
ントマークＰＭが画面中心にあるときにｔＩａ像された
のであれば前記送り込みｍの許容誤差に対して充分無視
できるものである。よって、テレビ・プリアライメント
マークＰＭが画面周辺部にある場合はマークＰＭが画面
中心で搬像されるようウェハ・ステージ５を駆動し、そ
こで再びマーク位置計測を行なえば前記送り込み量が正
確に決定できる。

第７図の７０−チャートを用いて本実施例の焼付け５ｖ
ｉｔにおけるテレビ・プリアライメントマーク検知動作
をさらに−詳しく述べる。

測定が開始されるとくステップ７００　）　、まず位置
検知用のテレビ・プリアライメントマークＰＭのマーク
位置δＩ８！１が行なわれる（ステップ７０１）。

この計測は１フレームまたは複数のフレームの画像信号
をＸ方向、Ｙ方向に加算し、加算終了後加算メモリ内の
データからメモリ・アドレスとしてマーク位置をめるも
のである。

次にステップ７０２において、マーク位四座標計算が行
なわれる。ここでいう座標とは撮像画面中心を原点とす
る座標のことである。加算メモリ・アドレスと撮像画面
中心との対応関係は既に判っているので、マーク位置の
座標値をめることができる。さらにステップ７０３で搬
像中心からのズレ量を計算する訳であるが、いまステッ
プ７０２で撮像画面中心を座標系の原点としたので、マ
ーク位置座標値がそのままｍ像中心からのズレ量を表わ
していることになる。

そこで次のステップ７０４にて前記ズレ量からプリアラ
イメントマークＰＭが陽像手段の持つ幾何学的図形歪、
あるいは観察光学系の光学的な歪曲による誤差の影響が
ほとんど及ばない範囲にあるかを判別する。この範囲の
設定は前記二つの誤差、並びにテレビ・プリアライメン
ト位置からフッイン・アライメント位置までのウェハ・
ステージの移動で発生する誤差、さらにはファイン・ア
ライメントの視野範囲の大きさを考慮して決定する。

さて、ステップ７０４で、プリアライメントマークＰＭ
が前記範囲内にあると判断されれば、ステップ７０２で
めたアライメント・マーク位置座標値はＷｉ像手段の図
形歪あるいは観察光学系の光学的な歪曲による誤差の影
響をほとんど受けていないものと判断され、位置計測は
終了となる。（ステップ７０８）。

一方、ステップ７０４で、プリアライメントマークＰＭ
が前記範囲外にあると判断されれば、ステップ１０３で
めたマークＰＭの撮像中心からのズレ量からマークＰＭ
を中心へ移動するためのウェハ・ステージ駆動量を知り
、ウェハ・ステージを駆動する（ステップ７０５）。

なお、ステップ７０３でめたアリアライメン１−マーク
ＰＭの撮像中心からのズレｍはＩｙＩ述したような誤差
を持っている訳であるが、マークＰＭをステップ７０４
の範囲内に移動する上で支障のないことは明らかである
。

ステップ７０５でウェハ・ステージを駆動し、プリアラ
イメントマークＰＭのａｍ手段の中心への移動が完了す
ると、ステップ７０６にてマークＰＭの位置を再計測し
、ステップ７０７にてマーク位置の座標を１算する。こ
の場合、アライメントマークＰＭがほとんど撮像中心に
あるので高精度でマーク位置を計測できることになる。

なお、半導体焼付けＨ置等において位置検知用マークの
座標位置を２度計測することによるスルーブツトの低下
が無視でき、高精度の位置検知を望むのならば、ステッ
プ７０４の判別を省略し、常に１０３→７０５→１０５
→１０６→１０１の各ステップの処理を行えばよい。こ
のようにすれば、ウェハがテレビ・プリアライメント位
置へ送り込・まれたとき画面内のいかなる所にアライメ
ントマークＰＭがあっても、はとんど撮像中心で計測す
ることになり、ファイン・アライメント位置への送り込
み精度もさらに向上する。

（発明の効果） 以上のように本発明によると、位置検出マークの位置が
撮像手段の画面上における所定範囲内すなわち光学系の
ディストーションおよび撮像管の偏向歪等の影響の少な
い部分で計測されていないときは位置検出マークをこの
所定範囲内に移動して再計測を行なうようにしているた
め、光学系のディストーションおよび撮像管の偏向歪等
の影響の少ない高精度の位置検出を行ｄうことができる
。

また、上記計測が上記所定範囲内で行なわれたときは上
記再計測をスキップするようにしているため、半聯体焼
付は装置等に適用した場合のスループットの無用の低下
を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の１実施例に係る焼付は装置の外観を
示す斜視図、 第２図は、テレビ・プリアライメント検知系の光学系斜
視図、 第３図は、テレビ・プリアライメントマークの平面図（
画面中心にて撮像された場合）、第４図はテレビ・プリ
アライメント検知回路のブロック図、 第５図はテレビ画面の画素分割法を示す説明図、第６図
はテレビ・アリアライメントマークの平面図（画面周辺
部にて撮像された場合）、そして第７図は、テレビ・プ
リアライメントマーク位置検出フロー図である。 図中、１はマスク、２はマスク・チャック、３は縮小投
影レンズ、４はウェハ、５はウェハ・ステージ、６は対
物レンズ、７は撮像管、８はテレビ受像機、９は双眼ユ
ニット、１０は光源、１１は照明用光源、１２はコンデ
ンサレンズである。 ＭＹＩ 第７図 ／、７０１ ／″′ ７ｏ４ ′０６ ノ ７７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、可動支持体上に載置された物体上の位置検出用マー
   クの位置を線像手段により検出する位置検出装置であっ
   て、 前記−像手段から出力される画像信号により前記位置検
   出用マークの位置を計測、、する手段、１、前記計測値
   により前記位置検出用マークが所定範囲内にあるか否か
   を判別する手、段、お・・よび前記判別が否で□あると
   き前記位置検出用マ、−１りを前９記所定範囲内に移動
   すべく前記、可動支持体を駆動する手段を具備し、前記
   位置検出用マークが前記所定範囲内に位置したときの計
   測値に基づき前記位置検出゛用マークの現在位置を検出
   することを特徴、とする位置検出装置。 ２、前記判別が否であるとき、、前記駆動手段は、前記
   所定範囲内に予め設定された基準点に対する前記計測値
   のずれ量に応じて前記位置検出用マークを移動させ、前
   記計測手段は、移動後の前記位置検出用マーク、の位置
   を特徴とする特許請求の範・囲第１項記載の位４検出装
   置。 ３、前＆！ＩＩ像手段の視野の中央部に前記所定範囲を
   設定（、ｔｔｉ記、Ｗｉ野の中心を前記基準点および前
   記座標の原点に設定した特許請求の範囲第２項記載の、
   、位置検出−置。 ４、前記駆動手段は、前記現在位置検出後さらに、前記
   位置検出マークを所定の目標位置へ移動させるべくこの
   目、標位置と前記現、在位置との位置関係に応φて前記
   可動支持体を駆動する特許請求の範囲第１．２または３
   項記載の位置検出装置。