JPS6221219A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は被検物体の位置検出用パターンの位置を検出す
るための装置に関し、特に半導体焼付工程でウェハある
いはマスク（またはレチクル）を位置合せする場合、テ
レビカメラあるいはＣＯＤ等の撮像手段で撮像して得た
画像信号からパターンの位置を正確に検出するための装
置に関するものである。

［従来技術］ アライメントマークが撮像手段の撮像視野内にない場合
、アライメントマークを有する物体あるいは撮像手段を
移動させマークを模索する過程が必要であるが、従来こ
の様な場合Ｘ座標およびＹ座標同時に検出できるまで模
索動作を繰り返し行なってきた。しかしながら、上述の
様な模索動作はマークの存在方向とは独立に行われてい
るためマークを検出するのに時間がかかるという欠点が
あった。

マークが入っている場合、アライメントマークと光学系
のマークが重なり合うと、アライメントマークとして検
出できず、さらに模索動作を行なった後、結果的には位
置検出不可能という状態になってしまうという欠点も持
っていた。

［発明の目的］ 本発明は、前記従来例の欠点に鑑み、被検物体のパター
ンの位置検出を高速に行ない、かつ光学系内のマークと
被検物体のパターンが重なり合った場合にも正確に位置
検出することのできる位置検出＠置を提供することを目
的とする。

［実施例の説明〕 以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明が適用されるパターン焼付は装置の外
観を示す。同図において、１は集積回路バ°ターンを具
えたマスクで、他のマスクセツティングマークやファイ
ンアライメントマークを具えるものとする。２はマスク
チャックで、マスク１を保持してマスク１を平面内並び
に回転方向に移動させる。３は縮小投影レンズである。

４は感光層を具えるウェハで、ファインアライメントマ
ークとプリアライメントマークを具えるものとする。

５はウェハステージで、ウェハ４を保持してそれを平面
内並びに回転方向に移動させたり、ウェハ焼付は位置（
投影野内）とテレビ・プリアライメント位置間を移動す
る。６はテレビ・プリアライメント用検出装置の対物レ
ンズ、７は撮像管（または固体撮像素子）、８は映像観
察用のテレビ受像器である。９は双眼ユニットで、投影
レンズ３を介してウェハ４の表面を観察するために役立
つ。

１０は、光源１０ａを発したマスク照明光を収束させる
ための照明光学系並びにファインアライメント用の検出
装置を収容する上部ユニットである。

ウェハステージ５は図示しないウェハ搬送手段により搬
送されたウェハを所定の位置で保持し、まず、テレビ・
プリアライメント用対物レンズ６の視野内にウェハ上の
プリアライメントマークが入る位置まで移動する。この
時の位置精度は機械的なプリアライメント１１度による
ものであり、対物レンズ６の視野はおよそ直径１〜２１
程度である。この視野内の７ライメントマークはＩｌｌ
雷管７検出され、テレビ・プリアライメント視野内のア
ライメントマークの座標位置が検出される。ここで、投
影光学系のファインアライメント用検出位置と前述のテ
レビ・プリアライメントにおける座標の原点はあらかじ
め設定されているのでこの２点の位置と、テレビ・プリ
アライメントマークの座標位置から７？インアライメン
ト位置へのウェハステージ５の送り込み量が決められる
。

テレビ・プリアライメントの位置検出精度は±５μ以下
であり、テレビ・プリアライメント位置からファインア
ライメント位置までのウェハステージ５の移動で発生す
る誤差を考慮に入れても、±１０μ程度である。従って
ファインアライメントは約±１０μの範囲で行なえばよ
く、これはテレビ・プリアライメントを行なわない場合
のファインアライメントの視野範囲の１／１００以下の
範囲であり、ファインアライメントがより高速で行なえ
ることになる。

第２図はテレビ・プリアライメント用検出装置の実施例
を示しており、図中の縮小投影レンズ３、ウェハ４、対
物レンズ６、撮像管７は第１図と同一である。

他方、１１は照明用光源で、例えばハロゲンランプを使
用する。１２はコンデンサレンズである。１３（１３Ａ
と１３Ｂ）は交換的に着脱される明視野絞りと暗視野絞
りで、図では明視野絞り１３Ａを光路中に装着している
。コンデンサレンズ１２は光源１１を絞り１３上に結像
する。１４は照明用リレーレンズ、１５は接合プリズム
で、接合プリズム１５は照明系の共軸と受光系の光軸を
共軸にする機能を持ち、内側反射面１５ａと半透過反射
面１５ｂを具える。ここで光源１１、コンデンサレンズ
１２、絞り１３、照明リレーレンズ１４、接合プリズム
１５および対物レンズ６は照明系を構成し、対物レンズ
６を射出した光束はウェハ４上を落射照明する。

また、１６はリレーレンズ、１１は光路を折曲げる鏡で
ある。１８は観察時使用する目盛りまたはテレビ・プリ
アライメント用基準マーク等を有するガラス板で、基準
マークはいわば座標の原点を与える機能を持つ、従って
プリアライメントマークはＸ座標の値とＹ座標の値とし
て検出されることになる。１９は撮像レンズで、上に述
べた接合プリズム１５、リレーレンズ１６、鏡１７、ガ
ラス板１８および撮像レンズ１９は、撮像管７と共に受
光系を構成する。この受光系において、対物レンズ６を
通る光束は接合プリズム１５の内側反射面１５ａで反射
して半透過面１５ｂで反射し、ざらに内側反射面１５ａ
で再度反射してリレーレンズ１６へ向う。これによりウ
ェハ４上のプリアライメントマーク像は撮像管７のｌｆ
ｆ１ｌｌ！而に結像する。

他方、第３図（Ａ＞はプリアライメントマークＰＭの一
例である。これは、ウェハ上のスクライブライン中に設
けであるか、またはウェハ上の特定のチップパターンの
位置に設けである。図示のマークはスクライブライン内
に設けた十字状のマークで、十字パターンの方向が撮像
管の走査方向とほぼ平行および垂直になる様に配列され
ている。

なお、ＭＥは光学系の目盛りである。

第２図へ戻ってプリアライメントマークの検出作用を述
べるが、検出したビデオ信号の電気処理については俊述
する。照明用光源１１からの光束はコンデンサレンズ１
２で収斂されて絞り１３の開口を通過し、さらに照明リ
レーレンズ１４おＪ：び接合プリズム１５の半透過面１
５ｂを透過して反射面１５ａで反射し、対物レンズ６を
通ってウェハ４を照明する。ウェハ４の表面で反射した
光束は対物レンズ６で結像作用を受け、接合プリズム１
５へ入射して反射面１５ａｊ５よび半透過面１．５ｂで
反射し、次いで反射面１５ａで再度反射してこれを射出
し、リレーレンズ１６でリレーされて１１１７で反射し
、ガラス板１８上に結像した後、撮像レンズ１９により
撮像管７上に結像する。

この場合、絞り１３としては先ず明視野絞り１３Δを用
いて゛ウェハ４而のプリアライメントマークが撮像管７
のａｍ野内のにあるか否かを確認し、無ければ必要に応
じてウェハ４を移動し該マークの検索を行なって該マー
クを撮像外内に来たらしめる。次いで、絞り１３を晴視
野絞り１３３と交換し視野を暗視野状態に切換えて、プ
リアライメントマーク像が明瞭に見得る様にし、これを
Ｉ！１（ｌＩシてプリアライメントマーク像の位置を検
出する。ウェハステージ５は、後述する電気的処理によ
り検出された、プリアライメントマークの位置に応じて
ウェハ４が投影レンズ３の投影野牛の規定位置４′を占
めるように移動して停止する。なお、ウェハ４を一旦標
準位置にアライメントし、その後、投影罫中へ移動させ
る様に変形しても良い。

第４図はテレビ・プリアライメント検出回路の一実施例
を示すブロック図である。第３図（Ａ＞に示したテレビ
・プリアライメントマークを検出する方法はいろいろあ
るが、第４図に示した実施例はテレビの画像を画素に分
解し、この画素の濃度をＸ方向（水平方向）およびＹ方
向（垂直方向）に夫々、加算するものである。加算する
ことによる利点は、■加算によりランダム・ノイズが平
均化されＳ／Ｎ比がよくなる。■Ｘ方向とＹ方向の位置
検出を独立に行なうことができ検出が簡単になる。０画
像データを格納するメモリの容量が少なくなる等があげ
られる。

第４図のブロック図において破線で囲まれたブロックＸ
は、Ｘ方向の画素の′ａ度を加算するブロック、ブロッ
クＹはＹ方向の画素の濃度を加算するブロックである。

第４図において、３１はビデオ・アンプ、３２はアナロ
グ・デジタル変換器、３３はラッチであり、図示しない
テレビカメラコントロール部から送られるビデオ信号（
Ｉｉｌ（ｌＩＩ管７からの画像信号に同期信号を付加す
る等の電気的処理を施したもの）はビデオアンプ３１で
増幅され、アナログ・デジタル変　・換器３２でデジタ
ル化された後ラッチ３３に格納される。ラッチ３３の出
力データはＸ方向の加算ブロックＸとＹ方向の加算ブロ
ックＹへ出力される。ブロックＹにおいて、３４はＹ方
向にデータを加算する加算器、３５は加算器３４の出力
データをラッチする加算出力ラッチ、３６は加算出力ラ
ッチ３５のデータを格納するＹ方向積算メモリ、３７は
メモリ３６の出力データをラッチする加算入力ラッチで
ある。

ブロックＸにおいて、３８はＸ方向にデータを加算する
加算器、３９は加算器３８の出力をラッチするラッチ、
４０はラッチ３９の出力データを格納するＸ方向積算メ
モリである。

これらの回路におけるデジタル・データのピット数に特
に限定はないが、例えばアナログ・デジタル変換器３２
が８ビツト、加算器３４．３８およびメモリ３６．４０
が１６ビツト構成である。

一方、４１はテレビ・プリアライメント検出回路のタイ
ミングやシーケンスを制御し、またメモリ３６のリード
・ライトおよびチップセレクトをコントロールするシー
ケンス／メモリコントロール回ｉ、４２はブロックＸ中
のメモリ４０を制御するメモリコントロール回路である
。４３はシーケンス／メモリコントロール回路４１をマ
イクロプロセッサ（不図示）が制御するためのコントロ
ールレジスタで、レジスタ４３の入力はマイクロプロセ
ッサのデータバス４４に接続されている。また、マイク
ロプロセッサは、このデータバス４４を介して、メモリ
３６．４０をアクセスすることが可能である。４５゜４
Ｂ、　４７．４８はそのためのバッフ？であり、バッフ
ァ４５．４７はマイクロプロセッサがメモリにデータを
ライトする時、またバッファ４６．４８はデータをリー
ドする時動作する。４９はクロック回路、５０゜５１は
Ｙ方向積算メモリ３６のライト・アドレスおよびリード
・アドレスを発生する、メモリ・ライト・アドレス回路
およびメモリ・リード・アドレス回路である。５２はメ
モリのリード・アドレスとライト・アドレスを切換える
アドレスセレクタ、５３はマイクロプロセッサがメモリ
３６をアクセスする時のアドレスバッフ？であり、マイ
クロプロセッサがアクセスする時以外は、アドレスセレ
クタ５２の出力が選択されており、バッファ５３の出力
は禁止されている。５４はＸ方向積算メモリ４０のアド
レスを発生するメモリ・アドレス回路、５５はメモリア
ドレス回路５４のアドレスとマイクロプロセッサがメモ
リ４０をアクセスする時発生するアドレスの切換えをす
るアドレスセレクタである。５６はクロック回路４９の
クロックを基準にＴＶの水平同期信号、垂直同期信号、
ブランキング信号等を発生するＴＶ同期信号発生回路で
ある。５７．５８はマイクロプロセッサのデータバス４
４に接続されたそれぞれＸ位置表示レジスタおよびＹ位
置表示レジスタ、５９はマーカ表示回路であり、マーカ
表示回路５９は、テレビ・プリアライメントにおいて検
出したアライメントマークの位置をマイクロプロセッサ
がＸ位置表示レジスタ５７およびＹ位置表示レジスタ５
８に出力することにより、ミックス信号を作成してＴＶ
カメラコントロール部のビデオ入力端子へ送出する。

続いて第４図のテレビ・アリアライメント検出回路の機
能および動作について説明する。

テレビ・プリアライメント検出回路の機能は、■Ｘ方向
のデータの積算、■Ｙ方向のデータの積算、■プリアラ
イメントマーク検出位置のＴＶモニタ上への表示である
。

このうち、Ｘ方向のデータの積算およびＹ方向の゛デー
タの積算は、テレビ・プリアライメント検出回路のハー
ドウェアが加算を実行し、その加算データをメモリに格
納する。データの加算はテレビ信号の１フレ一ム単位で
行なわれ、後述するように必要に応じて、１フレームの
加算で終了してもよいし、あるいは複数のフレームの加
算を行なってもよい。いずれの場合でも、加算中は、メ
モリ３６．４０のデータ・バスおよびアドレス・バスは
マイクロプロセッサのデータ・バス４４およびアドレス
・バスから電気的に切り離されており、メモリ３６のア
ドレスはアドレスセレクタ５２、メモリ４０のアドレス
はアドレス回路５４から供給され、シーケンス／メモリ
コントロール回路４１、およびメモリコントロール回路
４２からハード的に発生するリードライト信号およびチ
ップセレクト信号の制御のもとに加算が実行される。

所定のフレーム数の加算が終了すると、シーケンス／メ
モリコントロール回路４１からインタラブド信号線ＩＮ
Ｔ上に加算終了信号が発生する。この加算終了信号の発
生後、マイクロプロセッサは、メモリ３６およびメモリ
４０にアクセスを行ない、加算データからテレビ・プリ
アライメントマーク位置を検出する。マイクロプロセッ
サがメモリ３６゜４０をアクセスする時は、当然ながら
メモリのアドレス、リードライト切換、デツプセレクト
等はマイクロプロセッサの制御宿弓によって行なわれる
。

またメモリ３６のデータはバッファ４６、メモリ４０の
データはバッファ４８を経由してデータバス４４に送ら
れ、マイクロプロセッサに読み取られる。

ところで、第４図中、ブロックＸにおけるＸ方向の加算
、ブロックＹにおけるＹ方向の加算を説明する前に第５
図を参照して画素の分割方法について述べる。第５図は
テレビ画面をＸ方向にＮ分割、Ｙ方向にＭ分割した画素
を表わしている。画素ＰＪｉは、第１行、第１列の画素
を示す。Ｙ方向の分割数Ｍは通常、水平走査ライン数と
一致しており、従って画素に分割するためには、−水平
同期信号区間内に、アナログ・デジタル変換器３２（第
４図）にてＮ回すンプリングを行なえばよい。

すなわち、Ｘ方向の加算は Ｓｘ　＋　＝ＤＡ１−Ａ　（Ｐ＋　＋　）＋ＤＡＴＡ　
（Ｐｔ　２　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴＡ　（Ｐ＋
　Ｎ　）、Ｓｘ　２　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ２　＋　）　十
ＤＡＴ’Ａ　（Ｐ２２　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴ
Ａ　（Ｐ２　Ｎ　）、ＳＸ間−ＤＡＴＡ　（ＰＭ　Ｉ）
＋ＤＡＴＡ　（ＰＭ２　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴ
Ａ（ＰＭＮ）、Ｙ方向の加算は ＳＹＩ　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　＋　）−＋ＤＡＴＡ　（
Ｐ２　＋　）」−・・・・・・　＋ＤＡＴＡ　（ＰＭ　
Ｉ　）、ＳＹ２　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　２　）　十ＤＡ
ＴＡ　（Ｐ、？　２　）＋　・・・・・・　＋ＤＡＴＡ
　（ＰＭ２　）、ＳＹ　Ｎ　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　Ｎ　
）　＋ＤＡＴＡ　（１〕２　Ｎ　）＋　・・・・・・　
＋ＤＡＴＡ　（ＰＭＮ　）、で表わされる。

加算が終了した時点で、Ｘ方向積算メモリ４０内にはＳ
　ｘ　Ｉ＊　Ｓ　Ｘ　２・・・・・・ＳＸＭのデータが
、Ｙ方向積算メモリ３６内にはＳＹＩ　、Ｓｖ２・・・
・・・ＳＹＮのデータが格納される。

以上はテレビプリアライメントマークＰＭの中心が撮像
管の視野Ｆ内に見出される場合である。

ところが、第６図（Ａ）に示すように、マークＰＭの一
部が光学系の目盛りＭＥ等に重なり合いマークＰＭの光
信号を検知できない場合、Ｘ方向およびＹ方向に画素を
濃度加算した分布は第６図（Ｂ）、（Ｃ）に示すように
なる。第６図（Ｂ）はＸ方向に加算した時の濃度のＹ方
向に対する分布、第６図（Ｃ）はＹ方向に加算した時の
濃度のＸ方向に対する分布を示すものである。この場合
アライメントマークの中心は視野Ｆの左方向へずれ、か
つ光学系の目盛りとマークが重なり合っているため第６
図（Ｃ）に示す様にＸ方向は加算出力のピークが１箇所
しか現われず位ｎ検出ができない。

また、第７図（Ａ）に示すように、マークＰＭの中心が
視野Ｆの外にあり、マークＰＭの一部しか撮像されない
場合、Ｘ方向、Ｙ方向に濃度加算した分布は第７図（Ｂ
）、（Ｃ）に示すようになる。第７図（Ｂ）はＸ方向に
加算した時の濃度のＹ方向に対する分布、第７図（Ｃ）
はＹ方向に加算した時の濃度のＸ方向に対する分布を示
すものである。この場合、アライメントマークの中心は
視野Ｆの左方向へずれているため第７図（Ｃ）に示す様
にＸ方向は加算出力のピークがなく位置検出ができない
。

第６図、第７図の両図において、Ｙ方向はマーク座標位
置が検出されている。このためマークの模索はＸ方向の
みでよく、ウェハを保持している　−ウェハステージは
Ｘ方向、すなわら第２図中矢印Ｓで示す方向のみに移動
する。従来、ウェハステージ５の移動方向はＸ軸方向の
正の方向が、あるいはその反対の負の方向かの判定方法
がなく、また、１度の模索で移動させる距離も不定であ
った。

勿論任意゛の方向へ、任意の距離移動して模索してもよ
いが、余分に検出時間がかがったり、またマークを飛び
こして模索してしまうという現象・があられれる。一般
的にこのような模索移動では１度の模索移動で移動距離
を大きくとると短時間で広範囲の模索が行なえるが、マ
ークを飛びこえて移動してしまう可能性が出てくる。反
対に移動距離を小さくとるとマークを飛びこえてしまう
現象ハなくなるが広範囲の模索に時間がかかってしまう
。

本発明の実施によれば次のようにしてマークの存在する
方向が正確に決定される。

従来、マーク検出不可能時はプリアライメントの実行を
中止していたが、本発明では、マーク検出不可能時には
、この濃度加算出力の分布データより移動距離および移
動方向を決めてプリアライメントを実行する。すなわち
、第６図の様な場合、１個の加算出力ピークをもとに、
この加算出力ピークを視野Ｆの中心に持ってくるように
ウェハステージをＸ方向に移動させ（以下この動作を小
模索と呼ぶ）、再び計測を行なう。この時の移動距離は
、 く視野Ｆの中心座標）−（加算出力のピーク座標）で求
められる。また移動方向はこの距離の符号で決める。

第７図のような場合は、Ｘ方向の加算出力のビ一りがな
いため、Ｘ方向の左側の加算濃度データ（ＸＬ）と右側
の加算濃度データ（ＸＲ）の大小比較を行なう。比較の
結果、もしＸＬ左方向大きければマークの中心は視野外
の左方向にあると判断し、ウェハステージを視野の左方
向へ１視野分移動して再び計測を行なう（以下この模索
移動を大模索と呼ぶ）。この場合、ＸＬ−ＸＲとも何点
かの加算平均をとって大小比較を行なうことが好ましい
。

次に、第８図のフローヂャートを用いて上記マーク検出
動作を更に詳しく述べる。測定が開始されるとまずステ
ップ４０１にてマーク計測が行われる。このマーク計測
は１フレームまたは複数フレームの画面信号をＸおよび
Ｙ方向に加算し加算終了後加算濃度データからマーク位
置を検出するものである。もし、ステップ４０２でマー
ク座標がＸ方向、Ｙ方向とも検出できれば、ステップ４
１８へ進みマーク検出は終了する。

一方、ステップ４０２で、Ｘ方向およびＹ方向の座標の
いずれかが検出できない場合にはステップ４０３に進み
、ここでＸ方向かＹ方向のいずれが一方向でも検出が行
なわれたか否かチェックする。

もしど、ちらか一方向のみでも検出できた場合にはステ
ップ４０４にてその方向がＸ方向かＹ方向かを調べる。

Ｘ方向のみが検出された場合にはステップ４０５へ進み
、一方、Ｙ方向のみが検出された場合にはステップ４０
８へ進む。

ステップ４０８では、前記Ｙ方向積算メモリ３６（第４
図）内の加算濃度データより小摸索行為が必要なのか大
摸索行為が必要なのかを判断する。

大摸索行為が必要とされた場合はステップ４０９へ進み
前述のようにＸ方向両側の加算濃度データ（ＸＬ−ＸＲ
）を使用して演算処理し、この結果をもとに、ウェハス
テージ５（第２図）を移動する。前記ステップ４０８に
て小摸索行為が必要とされた場合は、ステップ４１０に
進み前記加算濃度データを使用して演算処理を行ない、
この結果をもとに小°摸索を行なう。

ステップ４０５〜４０７はマーク座標のＸ方向のみが検
出された場合で前述ステップ４０８〜４１０の模索対象
方向がＹ方向からＸ方向に変わったのみである。

一方、ステップ４０３においてマークの座標がＸ方向、
Ｙ方向とも検出できない場合はステップ４１１に進む。

そしてステップ４１１において前述加算濃度データのＸ
方向にのみ着目し、Ｘ方向に大摸索が必要なのか、また
は小摸索が必要なのかを判断する。大摸索が必要とされ
た場合はステップ４１２へ進み、また小摸索が必要とさ
れた場合はステップ４１５へ進む。

ステップ４１２およびステップ４１５は前述加算濃度デ
ータのＹ方向のみ看目しＹ方向に大摸索が必要なのか、
または小摸索が必要なのかを判断する。

ステップ４１２、ステップ４１５の各ステップの判断に
よりステップ４１３、ステップ４１４またはステップ４
１６、ステップ４１７のいずれかに進み、Ｘ方向および
Ｙ方向の各方向について大摸索、小摸索を組み合わせた
摸索動作を行なう。

前述実施例では大摸索の移動範囲を１視野分としたが、
マーク形状等を変更することにより大摸索の移動範囲を
１視野以上任意の視野にする事も可能である。

［発明の効果コ 以上述べたように本発明によれば、アライメントマーク
の中心が撮像手段の視野内になくアライメントマークの
位置が検出できない時は加算′ｍｒ！Ｘデータをもとに
大摸索によって高速、かつ広範囲の摸索を行ない、また
アライメントマークが目盛り等光学系の遮蔽物に隠され
てアライメントマークの位置が検出できない時は小摸索
によって視野内での摸索動作を行なうようにしているた
め、マーク位置検出を確実、かつ短時間に行なうことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る半導体焼付は装置の
外観を示す斜視図、 第２図は、第１図の装置におけるテレビ・プリアライメ
ント検出系の光学系斜視図、 第３図は、第１図の装置におけるテレビ・プリアライメ
ントマークの平面図と座標方向に関しての積尊画像濃度
データ分布図、 第４図は、第１図の装置におけるテレビ・プリアライメ
ント検出回路のブロック図、 第５図は、テレビ画面の画素分割法を示す説明図、 第６図は、小摸索が必要とされる場合のテレビ・プリア
ライメントマークの平面図と座標方向に関しての積算画
像濃度データ分布図、 第７図は、大摸索が必要とされる場合のテレビ・プリア
ライメントマークの平面図と座標方向に関しての積算画
像濃度データ分布図、 第８図は、本発明の一実施例に係る位置検出装置の動作
を説明するためのフローチャート図である。 １：マスク、３：縮小投影レンズ、４：ウェハ、５：ウ
ェハステージ、６：対物レンズ、７：撮像管、ブロック
Ｘ：Ｘ方向加算ブロック、ブロックＹ：Ｙ方向加算ブロ
ック、ＰＭ：位置検出用マーノ、ＭＥ：光学系の目盛り
。 Ｘ 第６図 卯帽瓦ル 第７図 纒深ｃ（Ｂ） 手続ン市正ｒｑ＜方　式） 昭和６０年１１月６日 特許庁長官　　宇　賀　通　部　殿 １、事件の表示 昭和６０年　特　　許　　願　第１６００５５号２、発
明の名称 位買検出装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 居　所　東京都大田区下丸子３丁目３０番２号名称（１
００）キャノン株式会社 昭和６０年１０月９日（発送日：昭６０．１０．２９）
６、補正の対象 「図　　而」 ７、補正の内容 第５図を別添の通り添付する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 所定形状の位置検出用パターンを備えた物体を撮像する
   撮像手段と、 前記撮像手段により得られた画像濃度データを所定の座
   標方向に関して加算する加算手段と、前記物体と前記撮
   像手段を相対的に移動する移動手段と、 前記加算手段による前記座標方向に直角な方向に関して
   の複数個所の積算画像濃度データを基に前記位置検出用
   パターンと前記撮像手段との相対的位置のずれ方向を検
   知する手段と、 前記積算画像濃度データを基に前記位置検出用パターン
   が前記撮像手段に対して所定の範囲内に位置しているか
   否かを判定し、この判定結果に基づいて前記移動手段の
   移動量を設定する手段と、前記移動手段により前記検知
   したずれ方向に前記移動量だけ移動させる位置制御手段
   とを具備することを特徴とする位置検出装置。