JPS59127B2 - 試料移動制御装置 - Google Patents
試料移動制御装置Info
- Publication number
- JPS59127B2 JPS59127B2 JP54133420A JP13342079A JPS59127B2 JP S59127 B2 JPS59127 B2 JP S59127B2 JP 54133420 A JP54133420 A JP 54133420A JP 13342079 A JP13342079 A JP 13342079A JP S59127 B2 JPS59127 B2 JP S59127B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- output
- circuit
- stage
- period
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Control Of Stepping Motors (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線露光装置等に用いて有効な試料移動制御
装置に関するものである。
装置に関するものである。
例えば直接描画を行う電子線露光装置においては、半導
体ウェハ上へパターンを描くために、該ウェハを露光プ
ログラムに従つて、機械的に、高精度で且つ高速に移動
させることが必要である。
体ウェハ上へパターンを描くために、該ウェハを露光プ
ログラムに従つて、機械的に、高精度で且つ高速に移動
させることが必要である。
このためにステージの駆動源としては制御のしやすいパ
ルスモータが使用されている。所がこのパルスモータは
電気的ノイズ（パルス的ノイズ）や急激な機械的負荷の
変動等により変調を来たし、回転速度が急激に低下した
り、回転が停止してしまうことがしばしば起こる。斯る
問題を除去するために従来は、ステージの所定移動領域
（例えば全移動領域）に要する時間をソフト的或いはハ
ード的に与え、その時間内に移動完了信号が得られない
場合に異常であると判定し、移動速度の変更や移動の停
止を行つている。しかし乍ら、この様な方法では、所定
時間経過しなければ異常事態の発生が検出できず、移動
に長時間を費やすことになる。本発明は以上の欠点を解
決するもので、以下図面に基づき詳説する。
ルスモータが使用されている。所がこのパルスモータは
電気的ノイズ（パルス的ノイズ）や急激な機械的負荷の
変動等により変調を来たし、回転速度が急激に低下した
り、回転が停止してしまうことがしばしば起こる。斯る
問題を除去するために従来は、ステージの所定移動領域
（例えば全移動領域）に要する時間をソフト的或いはハ
ード的に与え、その時間内に移動完了信号が得られない
場合に異常であると判定し、移動速度の変更や移動の停
止を行つている。しかし乍ら、この様な方法では、所定
時間経過しなければ異常事態の発生が検出できず、移動
に長時間を費やすことになる。本発明は以上の欠点を解
決するもので、以下図面に基づき詳説する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック線図で、１は
ウェハ等の試料２を保持したステージで、パルスモータ
３に連結した駆動棒４によつて電子線ＥＢと直角な面内
で移動せられる。
ウェハ等の試料２を保持したステージで、パルスモータ
３に連結した駆動棒４によつて電子線ＥＢと直角な面内
で移動せられる。
５はレーザ干渉計等の測長装置で、ステージ１の一定移
動量毎にパルス信号を発生し、カウンタ（ダウンカウン
タ）６のダウン入力に導入する。
動量毎にパルス信号を発生し、カウンタ（ダウンカウン
タ）６のダウン入力に導入する。
該カウンタにはレジスタＴが接続されており、このレジ
スタに外部コントローラ８より移動速度の下限値に対応
する数値を設定しておく。９は基準パルス発生器で、第
２図ｂに示す如き一定間隔のパルスを発生し、カウンタ
６にセット信号として送られている。
スタに外部コントローラ８より移動速度の下限値に対応
する数値を設定しておく。９は基準パルス発生器で、第
２図ｂに示す如き一定間隔のパルスを発生し、カウンタ
６にセット信号として送られている。
而してこの基準パルスがカウンタ６に送られると該カウ
ンタはレジスタＴに設定された値を読みとり、この読み
取つた値を測長装置からのパルスでダウンカウントする
。そして、カウント値が零になつたとき第２図ｃの如き
パルス信号が発生する。・・このダウンカウント値が零
になるまでの期間は、ステージの定常走行（高速走行）
時には基準パルス間隔より短かくなるように設定されて
いる。前記カウンタ６の出力はパルス間隔判定回路１０
の再トリガワンショット回路１１に送られる。この判定
回路は１１の外にアンドゲート１２、ワンショット回路
１３及び１４から構成されている。前記再トリガワンシ
ョット回路１１には基準パルス発生器９からのｂに示す
パルス信号が送られており、この基準パルスの立下りで
立上り、カウンタ６の出力パルスの立下りで立下るパル
ス信号を出力する。そして、カウンタ６の出力パルスが
到来する前に次の基準パルスが入力した場合、該基準パ
ルスの立下りで再トリカーされ、高レベルを持続する。
第２図ｄが回路１１の出力を示し、ｂ１の基準パルスに
よりｄ１の如く立上り、更にこの時期は初期状態でステ
ージが低速であるためＢ２発生前にカウンタ６の出力Ｃ
１の信号が生じないのでＢ２により再トリガされる。そ
して、Ｃ１が到来すると立下る。パルスＢ３により立上
り、Ｃ２により立下り、更にＢ４で立上り、Ｂ５で再ト
リガされ、Ｃ３により立下つている。このＢ５の再トリ
ガは異常事態発生を意味している。従つて、判定回路１
０は、加速、減速時以外において、基準パルスｂにより
２度のトリガがあつたかどうかを検出するものである。
再トリガワンシヨツト回路１１の出力ｄはアンドゲート
１２に送られる。
ンタはレジスタＴに設定された値を読みとり、この読み
取つた値を測長装置からのパルスでダウンカウントする
。そして、カウント値が零になつたとき第２図ｃの如き
パルス信号が発生する。・・このダウンカウント値が零
になるまでの期間は、ステージの定常走行（高速走行）
時には基準パルス間隔より短かくなるように設定されて
いる。前記カウンタ６の出力はパルス間隔判定回路１０
の再トリガワンショット回路１１に送られる。この判定
回路は１１の外にアンドゲート１２、ワンショット回路
１３及び１４から構成されている。前記再トリガワンシ
ョット回路１１には基準パルス発生器９からのｂに示す
パルス信号が送られており、この基準パルスの立下りで
立上り、カウンタ６の出力パルスの立下りで立下るパル
ス信号を出力する。そして、カウンタ６の出力パルスが
到来する前に次の基準パルスが入力した場合、該基準パ
ルスの立下りで再トリカーされ、高レベルを持続する。
第２図ｄが回路１１の出力を示し、ｂ１の基準パルスに
よりｄ１の如く立上り、更にこの時期は初期状態でステ
ージが低速であるためＢ２発生前にカウンタ６の出力Ｃ
１の信号が生じないのでＢ２により再トリガされる。そ
して、Ｃ１が到来すると立下る。パルスＢ３により立上
り、Ｃ２により立下り、更にＢ４で立上り、Ｂ５で再ト
リガされ、Ｃ３により立下つている。このＢ５の再トリ
ガは異常事態発生を意味している。従つて、判定回路１
０は、加速、減速時以外において、基準パルスｂにより
２度のトリガがあつたかどうかを検出するものである。
再トリガワンシヨツト回路１１の出力ｄはアンドゲート
１２に送られる。
このアンドゲートには他に基準パルスｂ１ワンシヨツト
回路１３の出力信号ｆ及び１４の出力信号ｈが送られて
いる。ワンシヨツト回路１３の出力はアンドゲートの出
力がないとき高レベルを維持するように設定されている
ので、第２図においてａに示す如くコントローラ８より
高レベルの起動信号をナンドゲート１５に送ると該ゲー
トの出力信号ｇは低レベルに落ちる。それによつて、ワ
ンシヨツト回路１４の出力信号はＢ，の如く一定期間（
加速に要する期間よりわずかに長い期間）低レベルにな
る。従つて、この期間中に基準パルスＢ２と再トリガワ
ンシヨツト１１の出力パルスとが重つて生じても、アン
ドゲート１２からは出力が現れず、異常として判定され
ない。次に一定期間が過ぎ高速安定走行になるとワンシ
ヨツト回路１４の出力信号ｈは高レベルになるため、異
常が発生し、基準パルスＢ５と再トリガワンシヨツト１
１の出力パルスＤ３が重つた期間だけアンドゲート１２
にｅ１で示す出力が生ずる。この出力パルスによりワン
シヨツト回路１３は第２図ｆ１に示す如く一定期間（減
速に要する期間）低レベルとなる。その結果ナンドゲー
ト１５の出力信号ｇはｇ１の如くその期間のみ高レベル
となる。ワンシヨツト回路１４はｇ１の立下りで再び起
動されＨ２の如く低レベルとなる。このＨ２の期間中に
再加速が行われる。前記ナンドゲート１５と積分器１６
と電圧一周波数変換器（Ｖ／Ｆ変換器）１７とにより、
速度制御回路１８が構成されている。ナンドゲート１５
の出力ｇは積分器に導入され、低レベルで充電、高レベ
ルで放電される。そして積分が飽和するまでの期間がス
テージの加速期間に相当し、放電が完了又は一定レベル
まで低下する期間がステージの限速期間に相当する。第
２図１は積分器の出力信号を示し、外部コントローラ８
による起動と同時に上昇し、一定期間後一定レベルを維
持する。そして異常を示すパルスＥ，の検出により、下
降し、ワンシヨツト回路１３の出力の回復をまつて再び
上昇する。この上昇の期間はワンシヨツト回路の出力が
Ｈ２の如く低レベルであるため、基準パルスＢ７と再ト
リガワンシヨツト回路１１の出力パルスＤ４が重つてい
てもアンド回路１２の出力は現われず、異常としての検
出は行われない。積分器１６の出力信号１はＶ／Ｆ変換
器１７に送られ、第２図ｊに示す如く電圧値に応じた周
波数をもつパルス信号に変換され、パルスモータ３の１
駆動回路１９に送られる。従つて、ステージ１は回路１
７からのパルス周波数に対応した速度で移動されること
になる。以上の如き構成によれば、基準パルスｂ毎のカ
ウンタ６のダウンカウント出力が得られないとき、ステ
ージの移動が停止し、又は極端に遅くなつたと判断し、
その時点でパルスモータ３を一旦減速状態にして、停止
状態又は低速状態から再起動するようになしてあるため
、パルスモータが変調を来たした都度、修復できるので
、長時間ステージが停止するようなことがなくなり、迅
速な試料移動が達成できる。
回路１３の出力信号ｆ及び１４の出力信号ｈが送られて
いる。ワンシヨツト回路１３の出力はアンドゲートの出
力がないとき高レベルを維持するように設定されている
ので、第２図においてａに示す如くコントローラ８より
高レベルの起動信号をナンドゲート１５に送ると該ゲー
トの出力信号ｇは低レベルに落ちる。それによつて、ワ
ンシヨツト回路１４の出力信号はＢ，の如く一定期間（
加速に要する期間よりわずかに長い期間）低レベルにな
る。従つて、この期間中に基準パルスＢ２と再トリガワ
ンシヨツト１１の出力パルスとが重つて生じても、アン
ドゲート１２からは出力が現れず、異常として判定され
ない。次に一定期間が過ぎ高速安定走行になるとワンシ
ヨツト回路１４の出力信号ｈは高レベルになるため、異
常が発生し、基準パルスＢ５と再トリガワンシヨツト１
１の出力パルスＤ３が重つた期間だけアンドゲート１２
にｅ１で示す出力が生ずる。この出力パルスによりワン
シヨツト回路１３は第２図ｆ１に示す如く一定期間（減
速に要する期間）低レベルとなる。その結果ナンドゲー
ト１５の出力信号ｇはｇ１の如くその期間のみ高レベル
となる。ワンシヨツト回路１４はｇ１の立下りで再び起
動されＨ２の如く低レベルとなる。このＨ２の期間中に
再加速が行われる。前記ナンドゲート１５と積分器１６
と電圧一周波数変換器（Ｖ／Ｆ変換器）１７とにより、
速度制御回路１８が構成されている。ナンドゲート１５
の出力ｇは積分器に導入され、低レベルで充電、高レベ
ルで放電される。そして積分が飽和するまでの期間がス
テージの加速期間に相当し、放電が完了又は一定レベル
まで低下する期間がステージの限速期間に相当する。第
２図１は積分器の出力信号を示し、外部コントローラ８
による起動と同時に上昇し、一定期間後一定レベルを維
持する。そして異常を示すパルスＥ，の検出により、下
降し、ワンシヨツト回路１３の出力の回復をまつて再び
上昇する。この上昇の期間はワンシヨツト回路の出力が
Ｈ２の如く低レベルであるため、基準パルスＢ７と再ト
リガワンシヨツト回路１１の出力パルスＤ４が重つてい
てもアンド回路１２の出力は現われず、異常としての検
出は行われない。積分器１６の出力信号１はＶ／Ｆ変換
器１７に送られ、第２図ｊに示す如く電圧値に応じた周
波数をもつパルス信号に変換され、パルスモータ３の１
駆動回路１９に送られる。従つて、ステージ１は回路１
７からのパルス周波数に対応した速度で移動されること
になる。以上の如き構成によれば、基準パルスｂ毎のカ
ウンタ６のダウンカウント出力が得られないとき、ステ
ージの移動が停止し、又は極端に遅くなつたと判断し、
その時点でパルスモータ３を一旦減速状態にして、停止
状態又は低速状態から再起動するようになしてあるため
、パルスモータが変調を来たした都度、修復できるので
、長時間ステージが停止するようなことがなくなり、迅
速な試料移動が達成できる。
尚上記は本発明の例示であり主旨に反せざる限り如何様
な変更も可能である。
な変更も可能である。
例えば、速度の検出において、カウンタ６を用い、レジ
スタ７にセツトされた値を測長装置５からの信号で、ダ
ウンカウントするようにしたが、この様な方式ではなく
測長装置からのパルスの周波数を計測し、その周波数が
設定値以下になつたとき、速度制御回路１８を制御する
ようにしても良い。
スタ７にセツトされた値を測長装置５からの信号で、ダ
ウンカウントするようにしたが、この様な方式ではなく
測長装置からのパルスの周波数を計測し、その周波数が
設定値以下になつたとき、速度制御回路１８を制御する
ようにしても良い。
第１図は本発明の一実施例を示すプロツク線図、第２図
は各回路の出力信号を示す図である。 １：試料ステージ、２：試料、３：パルスモータ、５：
測長装置、６：ダウンカウンタ、７リレジスタ、８：外
部コントローラ、９：基準パルス発生器、１０：パルス
間隔判定回路、１１：再リガワンシヨツト回路、・１２
：アンドゲート、１３及び１４：ワンシヨツト回路、１
５：ナンゲート、１６：積分器、１７：電圧一周波数変
換器、１８：速度制御回路、１９：パルスモータ駆動回
路。
は各回路の出力信号を示す図である。 １：試料ステージ、２：試料、３：パルスモータ、５：
測長装置、６：ダウンカウンタ、７リレジスタ、８：外
部コントローラ、９：基準パルス発生器、１０：パルス
間隔判定回路、１１：再リガワンシヨツト回路、・１２
：アンドゲート、１３及び１４：ワンシヨツト回路、１
５：ナンゲート、１６：積分器、１７：電圧一周波数変
換器、１８：速度制御回路、１９：パルスモータ駆動回
路。
Claims (1)
- １ 試料を保持したステージをパルスモータを駆動源と
して移動する装置において、該ステージの移動速度に対
応する信号を得る手段、ステージの移動速度が設定下限
値以下になつたことを検出する回路及び該ステージが下
限値以下の移動速度になつたとき、前記パルスモータを
低速又は停止状態から再起動させるように制御する回路
を備えていることを特徴とする試料移動制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54133420A JPS59127B2 (ja) | 1979-10-16 | 1979-10-16 | 試料移動制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54133420A JPS59127B2 (ja) | 1979-10-16 | 1979-10-16 | 試料移動制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5660017A JPS5660017A (en) | 1981-05-23 |
| JPS59127B2 true JPS59127B2 (ja) | 1984-01-05 |
Family
ID=15104348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54133420A Expired JPS59127B2 (ja) | 1979-10-16 | 1979-10-16 | 試料移動制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6131438U (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-25 | 株式会社 プロポ−シヨン・ユニ−システム | 発汗装置 |
| JPS61171947U (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-25 | ||
| JPH01135938U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-18 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5477304A (en) | 1992-10-22 | 1995-12-19 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52147715A (en) * | 1976-06-04 | 1977-12-08 | Oki Electric Ind Co Ltd | Drive system in stepping motors |
-
1979
- 1979-10-16 JP JP54133420A patent/JPS59127B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6131438U (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-25 | 株式会社 プロポ−シヨン・ユニ−システム | 発汗装置 |
| JPS61171947U (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-25 | ||
| JPH01135938U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5660017A (en) | 1981-05-23 |
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