JPS6084982A - モ−タ速度制御システム - Google Patents
モ−タ速度制御システムInfo
- Publication number
- JPS6084982A JPS6084982A JP58190781A JP19078183A JPS6084982A JP S6084982 A JPS6084982 A JP S6084982A JP 58190781 A JP58190781 A JP 58190781A JP 19078183 A JP19078183 A JP 19078183A JP S6084982 A JPS6084982 A JP S6084982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- speed
- signal
- frequency
- period
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
- H02P23/16—Controlling the angular speed of one shaft
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、モータ速度制御システムに関するもので、
例えば、半導体集積回路を形成するためのホト・レジス
ト膜形成工程で使用されるスピンナ・モータ等の加減速
度制御システムに有効な技術に関するものである。
例えば、半導体集積回路を形成するためのホト・レジス
ト膜形成工程で使用されるスピンナ・モータ等の加減速
度制御システムに有効な技術に関するものである。
半導体集積回路の製造プロセスの中にホト・レジスト膜
を半導体ウェハ上に形成する工程がある。
を半導体ウェハ上に形成する工程がある。
このホト・レジスト膜は、半導体ウェハ上に液状の感光
剤を垂らして、この半導体ウェハを高速に回転させ、そ
の遠心力を利用して薄い膜状とするものである。このよ
うなホト・レジスト膜の生成に使用されるのがスピンナ
・モータである。
剤を垂らして、この半導体ウェハを高速に回転させ、そ
の遠心力を利用して薄い膜状とするものである。このよ
うなホト・レジスト膜の生成に使用されるのがスピンナ
・モータである。
ところで、上記生成されたホト・レジスト膜の膜圧と、
そのバラツキは、上記スピンナ・モータの加減速度制御
と重大な関係のあることが本願発明者の研究によって明
らかにされた。
そのバラツキは、上記スピンナ・モータの加減速度制御
と重大な関係のあることが本願発明者の研究によって明
らかにされた。
すなわち、均一な膜厚のホト・レジスト膜を形成するた
めには、比較的広い回転速度の範囲で正確な速度制御が
必要となるものである。
めには、比較的広い回転速度の範囲で正確な速度制御が
必要となるものである。
ところが、従来のモータ速度制御方式は、比較的狭い速
度範囲での速度制御を目的としているものであるため、
低速度から高速までの広範囲にわたる速度制御には誤差
が大きくなって、上記のような速度制御には不向きなも
のである。
度範囲での速度制御を目的としているものであるため、
低速度から高速までの広範囲にわたる速度制御には誤差
が大きくなって、上記のような速度制御には不向きなも
のである。
この発明の目的は、広範囲にわたって高精度の速度制御
を行うことのできるモータ速度制御システムを提供する
ことにある。
を行うことのできるモータ速度制御システムを提供する
ことにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、モータの回転速度をパルス信号に変換し、こ
のパルス信号を周期信号と周波数信号に変換し、低速度
領域では周期信号を使用し、高速度領域では周波数信号
を使用し、それぞれ目的の速るものである。
のパルス信号を周期信号と周波数信号に変換し、低速度
領域では周期信号を使用し、高速度領域では周波数信号
を使用し、それぞれ目的の速るものである。
第１図には、この発明の一実施例を示すブロック図が示
されている。
されている。
モータＭの回転速度は、ロータリーエンコーダＥＣによ
ってパルス信号Ｐに変換される。この実施例では、その
回転速度を精度よく検出するため、上記パルスＰの周期
を測定する手段Ｐ−Ｔと、上記パルスＰの周波数を測定
する手段Ｐ−Ｆとが設けられる７特に制限されないが、
上記周期の測定手段は、比較的高周波数とされた基準周
波数信号ｆを用い、上記パルス信号Ｐのハイレベル（又
はロウレベル）の期間内での上記基準周波数信号を計数
することによってその周期を測定する。また、上記周波
数の測定手段は、一定の基準時間信号ｔを用い、その基
準時間を内で上記パルス信号Ｐの数を計数することによ
ってその周波数を測定する。
ってパルス信号Ｐに変換される。この実施例では、その
回転速度を精度よく検出するため、上記パルスＰの周期
を測定する手段Ｐ−Ｔと、上記パルスＰの周波数を測定
する手段Ｐ−Ｆとが設けられる７特に制限されないが、
上記周期の測定手段は、比較的高周波数とされた基準周
波数信号ｆを用い、上記パルス信号Ｐのハイレベル（又
はロウレベル）の期間内での上記基準周波数信号を計数
することによってその周期を測定する。また、上記周波
数の測定手段は、一定の基準時間信号ｔを用い、その基
準時間を内で上記パルス信号Ｐの数を計数することによ
ってその周波数を測定する。
このようにして測定された周期信号Ｔと周波数信号Ｆと
は、特に制限されないが、マイクロコンピュータμＣＯ
Ｍに入力される。
は、特に制限されないが、マイクロコンピュータμＣＯ
Ｍに入力される。
上述のようにパルスの計数動作によって、周期及び周波
数を測定するので、上記周期信号Ｔと周波数信号Ｆとは
、それぞれディジタル信号となるものである。したがっ
て、この実施例のようにマイクロコンピュータμＣＯＭ
の情報処理に通した信号となるものである。
数を測定するので、上記周期信号Ｔと周波数信号Ｆとは
、それぞれディジタル信号となるものである。したがっ
て、この実施例のようにマイクロコンピュータμＣＯＭ
の情報処理に通した信号となるものである。
マイクロコンピュータμＣＯＭは、モータＭの回転速度
の目標値がプログラムされているので、その目標値との
差に従った制御信号を形成する。
の目標値がプログラムされているので、その目標値との
差に従った制御信号を形成する。
例えば、モータＭが直流モータである場合には、制御電
圧信号が形成される。
圧信号が形成される。
また、加減速度くα）をも制御する場合、上記周期信号
Ｔ２周波数信号Ｆから次の計算式（１）からその加減速
度（α）をめるものである。
Ｔ２周波数信号Ｆから次の計算式（１）からその加減速
度（α）をめるものである。
α＝ＡＸΔＦ／ｌ ・・・・・・・（１）ここで、Ａは
定数であり、ΔＦ＝１／Ｔ又は上記周波数信号Ｆである
。
定数であり、ΔＦ＝１／Ｔ又は上記周波数信号Ｆである
。
モータ駆動回路ＤＶは、上記マイクロコンピュータμＣ
ＯＭからの制御電圧を受けて、モータＭを駆動するもの
である。
ＯＭからの制御電圧を受けて、モータＭを駆動するもの
である。
この実施例において、上記のようにパルス信号Ｐを周期
信号Ｔと周波数信号Ｆとの双方に変換するのは、次のよ
うな理由によるものである。
信号Ｔと周波数信号Ｆとの双方に変換するのは、次のよ
うな理由によるものである。
すなわち、上記のようにパルス信号Ｐの周期Ｔを測定す
る場合、基準周波数ｆの約１個分の計数値が誤差として
生じるものである。したがって、その基準周波数信号ｆ
に対して十分長い周期のパルス信号Ｐが形成される低速
度領域では、基準周波数信号ｆの１個分に相当する誤差
を無視することができる。ところが〜上記モータＭの回
転速度が高くなるとパルス信号Ｐの周期が短くなる。こ
のため、上記基準周波数信号ｆの計数値が小さくなって
、上記誤差に対する測定計数値の比率が小さくなるため
、上記誤差を無視できなくなる。すなわち、第２図に示
すように、周期Ｔによる回転速度の測定誤差は、回転速
度が速（なるとともに大きくなる。
る場合、基準周波数ｆの約１個分の計数値が誤差として
生じるものである。したがって、その基準周波数信号ｆ
に対して十分長い周期のパルス信号Ｐが形成される低速
度領域では、基準周波数信号ｆの１個分に相当する誤差
を無視することができる。ところが〜上記モータＭの回
転速度が高くなるとパルス信号Ｐの周期が短くなる。こ
のため、上記基準周波数信号ｆの計数値が小さくなって
、上記誤差に対する測定計数値の比率が小さくなるため
、上記誤差を無視できなくなる。すなわち、第２図に示
すように、周期Ｔによる回転速度の測定誤差は、回転速
度が速（なるとともに大きくなる。
一方、上記パルス信号Ｐから周波数信号Ｆを測定する場
合、パルス信号Ｐの約１１１１ｉ１分の計数値が誤差と
して生じるものである。したがって、上記の場合とは逆
に、上記基準時間ｔに対して十分短い周期のパルス信号
Ｐが形成される高速度領域では、パルス信号Ｐの１個分
に相当する誤差を無視することができる。ところが、上
記モータＭの回転速度が遅くなるとパルス信号Ｐの周期
が長くなる。このため、上記パルス信号Ｐの計数値が小
さくなって、上記誤差に対する測定計数値の比率が小さ
くなるため、上記誤差を無視できなくなる。
合、パルス信号Ｐの約１１１１ｉ１分の計数値が誤差と
して生じるものである。したがって、上記の場合とは逆
に、上記基準時間ｔに対して十分短い周期のパルス信号
Ｐが形成される高速度領域では、パルス信号Ｐの１個分
に相当する誤差を無視することができる。ところが、上
記モータＭの回転速度が遅くなるとパルス信号Ｐの周期
が長くなる。このため、上記パルス信号Ｐの計数値が小
さくなって、上記誤差に対する測定計数値の比率が小さ
くなるため、上記誤差を無視できなくなる。
ずなわぢ、第２図に示すように、周波数Ｆによる回転速
度の測定誤差は、回転速度が遅くなるとともに大きくな
る。
度の測定誤差は、回転速度が遅くなるとともに大きくな
る。
言い換えれば、周期ＴによりモータＭの回転速度を検出
する場合、その回転速度に比例して誤差が大きくなるの
に対して、周波数ＦによりモータＭの回転速度を検出す
る場合、その回転速度に反比例して誤差が大きくなるも
のである。
する場合、その回転速度に比例して誤差が大きくなるの
に対して、周波数ＦによりモータＭの回転速度を検出す
る場合、その回転速度に反比例して誤差が大きくなるも
のである。
従来のモータの回転速度制御は、上記周期又は周波数の
一方のみを用いて、その速度制御を行うものであるため
、低速度から高速度までの広範囲にわたってその回転速
度を精度よく検出することができないものとなる。言い
換ええば、広範囲にわたって高精度の速度制御を行うこ
とができないものとなる。
一方のみを用いて、その速度制御を行うものであるため
、低速度から高速度までの広範囲にわたってその回転速
度を精度よく検出することができないものとなる。言い
換ええば、広範囲にわたって高精度の速度制御を行うこ
とができないものとなる。
そこで、この実施例では、上記両誤差特性が交差する点
Ａに対して低速度領域では周期Ｔを用いて、モータＭの
回転速度を検出してその速度（加減速度）を制御するも
のである。一方、上記点Ａに対して高速度領域では周波
数Ｆを用いて、モータＭの回転速度を検出してその速度
（加減速度）を制御するものである。
Ａに対して低速度領域では周期Ｔを用いて、モータＭの
回転速度を検出してその速度（加減速度）を制御するも
のである。一方、上記点Ａに対して高速度領域では周波
数Ｆを用いて、モータＭの回転速度を検出してその速度
（加減速度）を制御するものである。
特に制限されないが、上記モータＭは、上述のように半
導体ウェハ上にホト・レジフト膜を形成するために用い
られるスピンナ・モータとして利用されるものである。
導体ウェハ上にホト・レジフト膜を形成するために用い
られるスピンナ・モータとして利用されるものである。
（１１モータの回転速度に従ったパルス信号を低速度領
域ではその周期を測定し、高速度領域ではその周波数を
測定することによって、測定誤差の小さい方を用いるも
のである。したがって、モータの回転速度を低速度から
高速度までの広範囲に渡って高精度に検出できるから、
回転速度を低速度から高速度にわたる広範囲の速度制御
を高精度に行うことができるという効果が得られる。
域ではその周期を測定し、高速度領域ではその周波数を
測定することによって、測定誤差の小さい方を用いるも
のである。したがって、モータの回転速度を低速度から
高速度までの広範囲に渡って高精度に検出できるから、
回転速度を低速度から高速度にわたる広範囲の速度制御
を高精度に行うことができるという効果が得られる。
（２）モータの回転速度を検出するための周期信号と周
波数信号は、それぞれパルスを計数することによって得
られるものである。このため、ディジタル信号として取
り出せるから、マイクロコンピュータのようなディジタ
ル情報処理装置によりモータ速度制御を行うことができ
る。このため、複雑な加減速度を含む広範囲でのモータ
回転速度制御を簡単に行うことができるという効果が得
られる。
波数信号は、それぞれパルスを計数することによって得
られるものである。このため、ディジタル信号として取
り出せるから、マイクロコンピュータのようなディジタ
ル情報処理装置によりモータ速度制御を行うことができ
る。このため、複雑な加減速度を含む広範囲でのモータ
回転速度制御を簡単に行うことができるという効果が得
られる。
（３）上記（１１及び（２）により、ホト・レジメト股
を形成するようなスピンナ・モータも９Ｘ雑な加減速度
制御を行うことができるため、ホト・レジスト膜を形成
するための処理条件を最適に設定することができるとい
う効果が得られる。
を形成するようなスピンナ・モータも９Ｘ雑な加減速度
制御を行うことができるため、ホト・レジスト膜を形成
するための処理条件を最適に設定することができるとい
う効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、上記各回路ブ
ロックの具体的回路構成は、上記実施例のような機能を
持つもので有れば何であってもよい。モータＭは、交流
モータ、パルスモータ等何であってもよい。この場合、
これらのモータに従った速度制御信号を形成するもので
ある。また、その速度制御信号を形成する回路は、専用
のディジタル半導体集積回路装置または、アナログ回路
により構成するものであってもよい。
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、上記各回路ブ
ロックの具体的回路構成は、上記実施例のような機能を
持つもので有れば何であってもよい。モータＭは、交流
モータ、パルスモータ等何であってもよい。この場合、
これらのモータに従った速度制御信号を形成するもので
ある。また、その速度制御信号を形成する回路は、専用
のディジタル半導体集積回路装置または、アナログ回路
により構成するものであってもよい。
この発明は、モータ速度制御システムとして広（利用で
きるものである。
きるものである。
第１図は、この発明の一実施例を示すプロ・７り図、
第２図は、その速度制御動作を説明するための誤差特性
図である。 Ｍ・・モータ、ＥＣ・・エンコーダ、Ｐ−Ｔ・・周期測
定手段、Ｐ−Ｆ・・周波数測定手段、μＣＯＭ・・マイ
クロコンピュータ、Ｄ■・・モーフ駆動回路 ゛１．ノ゛ 第 １ 図 第 ２ 図 １Ｆ回転献
図である。 Ｍ・・モータ、ＥＣ・・エンコーダ、Ｐ−Ｔ・・周期測
定手段、Ｐ−Ｆ・・周波数測定手段、μＣＯＭ・・マイ
クロコンピュータ、Ｄ■・・モーフ駆動回路 ゛１．ノ゛ 第 １ 図 第 ２ 図 １Ｆ回転献
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、モータの回転速度をパルス信号に変換するエンコー
ダと、このパルス信号を受けてその周期を測定する手段
と、上記パルスを受けてその周波数を測定する手段と、
その回転速度が一定の速度より遅いとき上記測定した周
期信号に従って速度制御信号を形成し、上記回転速度が
一定の速度より速いとき上記測定した周波数信号に従っ
て速度制御信号を形成する制御信号発生回路とを含むこ
とを特徴とするモータ速度制御システム。 ２、上記制御信号発生回路は、マイクロコンピュータを
含むものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のモータ速度制御システム。 ３、上記モータは、半導体集積回路を形成するためのホ
ト・レジスト膜形成工程で使用されるスピンナ・モータ
であることを特徴とする特許請求の範囲第１又は第２項
記載のモータ制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190781A JPS6084982A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | モ−タ速度制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190781A JPS6084982A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | モ−タ速度制御システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6084982A true JPS6084982A (ja) | 1985-05-14 |
Family
ID=16263623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58190781A Pending JPS6084982A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | モ−タ速度制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6084982A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63220788A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-14 | Daikin Ind Ltd | 空気調和機の送風機制御装置 |
| JPH02193204A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-07-30 | Hewlett Packard Co <Hp> | ディジタルサーボ制御装置 |
| JP2007234499A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Seiko Epson Corp | 有機ｅｌパネル、ガス交換装置、有機ｅｌ装置、及び電子機器 |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58190781A patent/JPS6084982A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63220788A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-14 | Daikin Ind Ltd | 空気調和機の送風機制御装置 |
| JPH02193204A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-07-30 | Hewlett Packard Co <Hp> | ディジタルサーボ制御装置 |
| JP2007234499A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Seiko Epson Corp | 有機ｅｌパネル、ガス交換装置、有機ｅｌ装置、及び電子機器 |
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