JPS5912534A - 熱電子放出陰極 - Google Patents
熱電子放出陰極Info
- Publication number
- JPS5912534A JPS5912534A JP57121647A JP12164782A JPS5912534A JP S5912534 A JPS5912534 A JP S5912534A JP 57121647 A JP57121647 A JP 57121647A JP 12164782 A JP12164782 A JP 12164782A JP S5912534 A JPS5912534 A JP S5912534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- edge portion
- electron emitting
- emitting cathode
- truncated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/13—Solid thermionic cathodes
- H01J1/15—Cathodes heated directly by an electric current
- H01J1/16—Cathodes heated directly by an electric current characterised by the shape
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）０発明の技術分野
本発明は熱電子放出陰極に係り、特に円錐台形、また角
錐台殖の陰極において陰極加工時の陵部の欠けを防ぎ、
また陰極使用時に陵部への電界集中を防止し、良好な電
子放出特性を得る陰極に関する０ （２ン・技術の背景 Ｗ陰極に代わシ、高輝度、長寿ｈｂＯ熱陰極として、単
結晶ＬａＢ６陰極は電子ａ微鋺や電子ビーム露光装置に
実用されるようになった。
錐台殖の陰極において陰極加工時の陵部の欠けを防ぎ、
また陰極使用時に陵部への電界集中を防止し、良好な電
子放出特性を得る陰極に関する０ （２ン・技術の背景 Ｗ陰極に代わシ、高輝度、長寿ｈｂＯ熱陰極として、単
結晶ＬａＢ６陰極は電子ａ微鋺や電子ビーム露光装置に
実用されるようになった。
（３）、従来技術と問題点
従来の熱電子放射陰極、特に整形電子ビーム露光装置に
使われる単結晶ＬａＢ５陰極としては先端が１００ μ
ｍ〜３００１１ｍＨの球ｙｎｌｃなりたＩＬＪ錐状の陰
極チップを持つ陰極が使用されていたが最近、先端が円
錐台形状の陰極や角錐または角錐台形状の１Ｉｉ５俊が
和、子放射嚇性の経時変化が少ないとして注目されてい
る。しかしとのような形状の陰極は陰極表面に陵がある
形状のため、陰極を所望の形状Ｋｉ＆＝加工する際にこ
の陵部に欠けが生じ電子数ると陵部に電界が集中し、結
果として放射ビームの角度分布に不均一性が生ずる欠点
もあった。
使われる単結晶ＬａＢ５陰極としては先端が１００ μ
ｍ〜３００１１ｍＨの球ｙｎｌｃなりたＩＬＪ錐状の陰
極チップを持つ陰極が使用されていたが最近、先端が円
錐台形状の陰極や角錐または角錐台形状の１Ｉｉ５俊が
和、子放射嚇性の経時変化が少ないとして注目されてい
る。しかしとのような形状の陰極は陰極表面に陵がある
形状のため、陰極を所望の形状Ｋｉ＆＝加工する際にこ
の陵部に欠けが生じ電子数ると陵部に電界が集中し、結
果として放射ビームの角度分布に不均一性が生ずる欠点
もあった。
第１図（ａ）に従来の円錐９台形状の陰極１と第２図（
ａ）に角錐台形状の陰極２とそれぞれの陰極ｔ−使った
時の放射電子ビームの２イン走査によって得ちれる角度
分布を第１図（ｂ）、第２図（ｂ）に各々示す。
ａ）に角錐台形状の陰極２とそれぞれの陰極ｔ−使った
時の放射電子ビームの２イン走査によって得ちれる角度
分布を第１図（ｂ）、第２図（ｂ）に各々示す。
このように従来のものでは陰極の陵３におこる電昇集中
の糺果、陵に起因するピーク４が生じ角度分布がなめら
かなものでなくなる欠点がある。
の糺果、陵に起因するピーク４が生じ角度分布がなめら
かなものでなくなる欠点がある。
また、第３図（ａ）は従来の円錐台形状の陰極の研磨加
工時におこる欠け５を示すものである○このように陵に
欠けがおこると角度分布が同図（ｂ）に示すように不均
一になりやすい欠点がある。点勝は欠けがない場合の角
度分布である。
工時におこる欠け５を示すものである○このように陵に
欠けがおこると角度分布が同図（ｂ）に示すように不均
一になりやすい欠点がある。点勝は欠けがない場合の角
度分布である。
（４）１発明の目的
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、円錐台形・
角錐台形の熱電子放出陰極の加工時における陵部の欠け
を防ぎ又陰極使用時に陵部への電界集中を防止し、良好
な電子放出特性を有する陰極を提供することを目的とす
る。
角錐台形の熱電子放出陰極の加工時における陵部の欠け
を防ぎ又陰極使用時に陵部への電界集中を防止し、良好
な電子放出特性を有する陰極を提供することを目的とす
る。
（５）０発明の構成
本発明は円錐台形陰極または角錐あるいは角錐台形の陰
極において、陰極先端部に生ずる陵にすべて小さな面取
シあるいはＲ付けを行なうことにより、研磨加工時忙欠
けが生じるようにすると共に、陰極への電界集中による
放射角度分布の不均一性を防ぐよう圧したものである。
極において、陰極先端部に生ずる陵にすべて小さな面取
シあるいはＲ付けを行なうことにより、研磨加工時忙欠
けが生じるようにすると共に、陰極への電界集中による
放射角度分布の不均一性を防ぐよう圧したものである。
本発明構成の熱電子放出陰極としては下記のものが上げ
られる０ １ 円錐台形状の先端をもつ熱電子放出陰極において、
先端平面の周縁部を面取り加工をしたことを特徴とする
熱電子放出陰極。
られる０ １ 円錐台形状の先端をもつ熱電子放出陰極において、
先端平面の周縁部を面取り加工をしたことを特徴とする
熱電子放出陰極。
２ 円錐台形状の先端をもり熱電子放出陰極において、
先端平面の周縁部にＲ付は加工をしたことを特徴とする
熱電子放出陰極。
先端平面の周縁部にＲ付は加工をしたことを特徴とする
熱電子放出陰極。
３、角錐または角錐台形状の先端をもつ熱電子放出陰極
において、角錐または角錐台の陵に面取りをしたことを
特徴とする熱電子放出陰極。
において、角錐または角錐台の陵に面取りをしたことを
特徴とする熱電子放出陰極。
４、角錐または角錐台形状の先端をもつ熱電子放出陰極
において角錐または角錐台の陵にＲをっけたことを特徴
とする熱電子放出陰極。
において角錐または角錐台の陵にＲをっけたことを特徴
とする熱電子放出陰極。
（６）９発明の実施例
以下本発明の実施例について説明する。
第４図、第５図は本発明による陵にＲ付けを行なった陰
極で第４図（ａ）は円錐台形の陰極、第１図（ｂ）は角
錐台形の陰極である。陵ＫＲをつけることによって欠け
がおこりに＜＜、１＊電界の集中が弱められるので第４
図（ｂ）、第５図（ｂ）に示すごとくライン走査によっ
て得られる角度分布が均一ななめらかなものとなる。Ｈ
の大きさは先端の円形または四角形の面の大きさとの相
対関係から定められるべきものであるが、例えは先端直
径または一辺の大きさが１００μｍの時には５〜１０μ
ｍが適当である。
極で第４図（ａ）は円錐台形の陰極、第１図（ｂ）は角
錐台形の陰極である。陵ＫＲをつけることによって欠け
がおこりに＜＜、１＊電界の集中が弱められるので第４
図（ｂ）、第５図（ｂ）に示すごとくライン走査によっ
て得られる角度分布が均一ななめらかなものとなる。Ｈ
の大きさは先端の円形または四角形の面の大きさとの相
対関係から定められるべきものであるが、例えは先端直
径または一辺の大きさが１００μｍの時には５〜１０μ
ｍが適当である。
（７）、 発明の効果
木兄ＥＡＫよれば円錐台形状、角錐、角錐台形状陰極の
研磨加工時の陵の欠けＫよるｔ子放射特性特に角度分布
の劣化を防ぎ、また陵への電界集中による角度分布の不
均一性が生ずるものを防げる。
研磨加工時の陵の欠けＫよるｔ子放射特性特に角度分布
の劣化を防ぎ、また陵への電界集中による角度分布の不
均一性が生ずるものを防げる。
したがって整形電子ビーム露光装置用として良好な性能
を長時間維持できる熱電子放出陰極が得られる。
を長時間維持できる熱電子放出陰極が得られる。
Claims (1)
- 角錐、角錐台、もしくは１円錐台形状の先端を持つ熱電
子放出陰極の陵が面取もしくはＲ付加工されていること
を％徴とする熱電子放出陰極０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57121647A JPS5912534A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 熱電子放出陰極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57121647A JPS5912534A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 熱電子放出陰極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5912534A true JPS5912534A (ja) | 1984-01-23 |
| JPH0429173B2 JPH0429173B2 (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=14816427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57121647A Granted JPS5912534A (ja) | 1982-07-13 | 1982-07-13 | 熱電子放出陰極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5912534A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008120412A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Advantest Corporation | 電子銃及び電子ビーム露光装置 |
| JPWO2008120412A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2010-07-15 | 株式会社アドバンテスト | 電子銃及び電子ビーム露光装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5682539A (en) * | 1979-12-07 | 1981-07-06 | Toshiba Corp | Electron gun |
-
1982
- 1982-07-13 JP JP57121647A patent/JPS5912534A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5682539A (en) * | 1979-12-07 | 1981-07-06 | Toshiba Corp | Electron gun |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008120412A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Advantest Corporation | 電子銃及び電子ビーム露光装置 |
| JPWO2008120412A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2010-07-15 | 株式会社アドバンテスト | 電子銃及び電子ビーム露光装置 |
| US8330344B2 (en) | 2007-03-29 | 2012-12-11 | Advantest Corp. | Electron gun minimizing sublimation of electron source and electron beam exposure apparatus using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0429173B2 (ja) | 1992-05-18 |
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