JPS59124137A - 金型のクリ−ニング方法 - Google Patents

金型のクリ−ニング方法

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Publication number
JPS59124137A
JPS59124137A JP23351882A JP23351882A JPS59124137A JP S59124137 A JPS59124137 A JP S59124137A JP 23351882 A JP23351882 A JP 23351882A JP 23351882 A JP23351882 A JP 23351882A JP S59124137 A JPS59124137 A JP S59124137A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal die
mold
fine grains
resin
constitution
Prior art date
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Pending
Application number
JP23351882A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhide Sato
和秀 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP23351882A priority Critical patent/JPS59124137A/ja
Publication of JPS59124137A publication Critical patent/JPS59124137A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/70Maintenance
    • B29C33/72Cleaning

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、金型のクリーニング方法の改良に関する。
〔発明の技術的背景〕
周知の如く、半導体素子を樹脂モールドする際には一般
にエポキシ樹脂が用いられている。
従来、このエポキシ樹脂の使用によって生ずる金型の汚
れ防止には、無機質及び有機繊維を充填剤にしたメラミ
ン系熱硬化性樹脂を、金型のショット回数500に対し
て5分成形し、これを6シヨツトはど繰り返し、その都
度成形体に汚れを付着させて除去する方法が採用されて
いる。
〔背景技術の問題点〕
しかしながら、前述した金型のクリーニング方法によれ
ば以下に示す欠点があった。
■ 樹脂モールド用の成形装置を用いてメラミン系樹脂
の成形を5分間、−6シヨツト程度行なうため、全体で
1時間以上樹脂モールド工程がストップし、稼動率が低
下する。また、メラミン系熱硬化性樹脂は金型の隙間に
侵入する性質が大きいため、隙間に侵入したメラミン樹
脂を除去する時間を要する。更にマルチポットシステム
のような高速成形システムになった場合、20秒キュア
では8時間毎に一度のクリーニングが必要となり、また
近い将来さらにサイクル時間が短くなることは避けられ
ないため3〜4時間毎に1時間以上樹脂モールド工程を
ストップしなければならない。したがって、作業性が低
下する。
■ メラミン系樹脂を成形するため、成形時に有毒ガス
が発生する。
■ メラミン系樹脂を流すことによってクリーニングを
行なう機構のため、樹脂が供給箇所から遠い金型の箇所
に十分注入されず、金型表面の汚れを十分にクリーニン
グすることができない。
■ メラミン系樹脂は吸湿による劣化が激しいため管理
に手間がかかるとともに、該樹脂を注入するためその制
御が煩雑である。
■ 通常、メラミン系樹脂はタブレット化しているため
、コスト高となる。
〔発明の目的〕
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、半導体素子
を樹脂モールドする際に用いられる金型表面を作業性等
の改善を図って十分にクリーニングできる。金型のクリ
ーニング方法を提供することを目的とするものである。
〔発明の概要〕
本発明は、金型表面に微粒子をホーニング用ノズルから
高圧で吹きつけることによって、金型表面の汚れを作業
性等の改善を図って十分にクリーニングできるものであ
る。
本発明においてホーニング用ノズルのジェットの圧力と
微粒子の材質は、金型の材料と金型表面の硬質クロムメ
ッキを粗面にしない程度に適宜選択する。こうした微粒
子の材質としては、例えば無定形シリカ、結晶性シリカ
、ガラスピーズ、くるみ粉、とうもろこし粉、熱硬化プ
ラスチックボール等が挙げられ、これらを一種以上用い
ることができる。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の金型のクリーニング方法を説明する。
まず、半導体素子を工Iキシ樹脂により500シヨツト
樹脂モールドした金型を準備した。つづいて、この金型
表面に粒径200μmのクルミ粉からなる微粒子を1本
の高圧エアジェツトノズルから圧力5 klil/cm
2で数十秒〜数分間吹きつけた。なお、前記微粒子の吹
きつけは30mを離れると、クリーニング効果が十分で
ない。この後、高圧エアでクリーニング用の前記微粒子
を除去して金型のクリーニングを完了した。
しかして、本発明によれば以下に示す種々の効果を有す
る。
■ ノズルによる吹きつけは数十秒〜数分間でよいため
、クリーニング時間を短縮できる。
また、半導体素子を樹脂モールドする際に用いた成形装
置を用いずに汚れた金型を別のラインでクリーニングで
きるため、従来の如くクリーニングしている間、成形装
置の操作をとめる必要がない。更に、金型の隙間に微粒
子が付着しても、その微粒子を高圧エアで容易に除去で
きる。したがって、従来と比べて作業性を著しく向上で
きる。
■ 従来の如くメラミン系樹脂の成形工程がないため、
有毒ガスの発生もなく安全である。
■ 高圧エアジェツトノズルから微粒子を吹きつけるこ
とによって金型のクリーニングを行う機構であるため、
全面を均一にクリーニングできる。
■ 従来の如きメラミン系樹脂を用いることに起因する
該樹脂の管理の手間やメラミン系樹脂の注入に際しての
煩雑な制御を解消できる。
■ 従来の如くメラミン系樹脂をタブレット化する工程
が不要なため、コストを低減化できる。
なお、上記実施例では微粒子の材質としてクルミ粉を用
いたが、これに限らず、他の材質のものでも同様な効果
が期待できる。
〔発明の効果〕
以上詳述した如く、本発明によれば、作業性の向上等種
々の顕著な効果を有する釜型のクリーニング方法を提供
できるものである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体素子を樹脂モールドする際に用いられる金型のク
    リーニング方法において、金型表面に微粒子をホーニン
    グ用ノズルから高圧で吹きつけることを特徴とする金型
    のクリーニング方法・
JP23351882A 1982-12-28 1982-12-28 金型のクリ−ニング方法 Pending JPS59124137A (ja)

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JP23351882A JPS59124137A (ja) 1982-12-28 1982-12-28 金型のクリ−ニング方法

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JPS59124137A true JPS59124137A (ja) 1984-07-18

Family

ID=16956281

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JP23351882A Pending JPS59124137A (ja) 1982-12-28 1982-12-28 金型のクリ−ニング方法

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JP (1) JPS59124137A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02160514A (ja) * 1988-12-15 1990-06-20 Fuji Kihan:Kk 金型の洗浄方法
EP0451383A1 (en) * 1990-04-10 1991-10-16 Sanyo Trading Co., Ltd. Method for cleansing molds
JP2004009559A (ja) * 2002-06-07 2004-01-15 Plastron Kk 金型の洗浄方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0451383A1 (en) * 1990-04-10 1991-10-16 Sanyo Trading Co., Ltd. Method for cleansing molds
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