JPS59118878A - 点火プラグ電極 - Google Patents
点火プラグ電極Info
- Publication number
- JPS59118878A JPS59118878A JP22698782A JP22698782A JPS59118878A JP S59118878 A JPS59118878 A JP S59118878A JP 22698782 A JP22698782 A JP 22698782A JP 22698782 A JP22698782 A JP 22698782A JP S59118878 A JPS59118878 A JP S59118878A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- layer
- nitride
- carbide
- tungsten
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/32—Carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/38—Borides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/42—Silicides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Spark Plugs (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は点火プラグ電極に関する。
点火プラグ電極には、一般にニッケル系合金が用いられ
ている。この種の点火プラグ電極は、比較的耐酸化性が
良好であるが耐アーク消耗性の点において、不十分な場
合があり、改善が望まれている。
ている。この種の点火プラグ電極は、比較的耐酸化性が
良好であるが耐アーク消耗性の点において、不十分な場
合があり、改善が望まれている。
又、最近、エンジンの燃費の向上が求められ、エンジン
の使用温度を従来の500〜600℃程度から更に向上
させたいとの要望があり、従来のニッケル系合金の耐酸
化性では、十分でない場合も生じており改善が望まれて
いる。
の使用温度を従来の500〜600℃程度から更に向上
させたいとの要望があり、従来のニッケル系合金の耐酸
化性では、十分でない場合も生じており改善が望まれて
いる。
更に燃費向上の為にアーク放電特性の向上も望まれてい
る。
る。
そこで、本発明の目的は、比較的酸化しにくく、耐アー
ク消耗性が良好でかつアーク放電特性の良好な点火プラ
グ電極を提供することKある。
ク消耗性が良好でかつアーク放電特性の良好な点火プラ
グ電極を提供することKある。
〔発明の概要1
本発明は、全屈電極に、 電
1■、V、VT族元素のいづれかの窒化物、炭化物、4
開化物、硅化物のいづれかの層又はいづれかの複合層を
形成し、この層を電極の外表面として用いることにより
、前記目的を達成する。
開化物、硅化物のいづれかの層又はいづれかの複合層を
形成し、この層を電極の外表面として用いることにより
、前記目的を達成する。
本発明の電極金属としては、耐アーク消耗性及び°アー
ク放電特性が良好なものが好ましい。この種の電極金属
としては、例えば、タングステンがある。又、タングス
テンに電子放射物質を添付すれば更にアーク放電特性が
良好と)「ろ。この電子放射物質としては、例えば、酸
化トリウム、酸化ジルコニウム、酸化イツトリウム等が
ある。
ク放電特性が良好なものが好ましい。この種の電極金属
としては、例えば、タングステンがある。又、タングス
テンに電子放射物質を添付すれば更にアーク放電特性が
良好と)「ろ。この電子放射物質としては、例えば、酸
化トリウム、酸化ジルコニウム、酸化イツトリウム等が
ある。
本発明に使用する被覆物質としては、電極金属と熱膨張
係数が比較的近いこと、耐熱衝撃性及び耐酸化性、及び
熱伝導性が良好なこと、更に電極金属に被覆された際(
その電極金属との接合部にもろい層が形成されないこと
が望まれる。ここで被覆層に電極金属の熱膨張係数と比
較的近似した係数を求めたのは、温度が変化した際被覆
層にハクリやワレを生じにくくさぜる為である。熱膨張
係数としては、2.0X10 〜7X10 /℃の範
囲が望ましい。又、熱伝導性が求められたのは、アーク
放電した際できるだけ早く熱をにがすことによって、温
度上昇を防止し、耐酸化性を向上させる為である。熱伝
導率としては、0,05(cal / cm * se
c @ deg ]以上が望ましい。この被覆物質とし
ては、例えば、窒化物として窒化チタン、窒化ハフニウ
ム、窒化ジルコニウム、窒化ケイ素、炭化物として炭化
チタン、炭化タンタル、炭化タングステン、炭化ケイ素
、硼化物として、硼化チタン、硼化ジルコニラJ8、硼
化ニオブ、硅化物として硅化タンタル等があげられる。
係数が比較的近いこと、耐熱衝撃性及び耐酸化性、及び
熱伝導性が良好なこと、更に電極金属に被覆された際(
その電極金属との接合部にもろい層が形成されないこと
が望まれる。ここで被覆層に電極金属の熱膨張係数と比
較的近似した係数を求めたのは、温度が変化した際被覆
層にハクリやワレを生じにくくさぜる為である。熱膨張
係数としては、2.0X10 〜7X10 /℃の範
囲が望ましい。又、熱伝導性が求められたのは、アーク
放電した際できるだけ早く熱をにがすことによって、温
度上昇を防止し、耐酸化性を向上させる為である。熱伝
導率としては、0,05(cal / cm * se
c @ deg ]以上が望ましい。この被覆物質とし
ては、例えば、窒化物として窒化チタン、窒化ハフニウ
ム、窒化ジルコニウム、窒化ケイ素、炭化物として炭化
チタン、炭化タンタル、炭化タングステン、炭化ケイ素
、硼化物として、硼化チタン、硼化ジルコニラJ8、硼
化ニオブ、硅化物として硅化タンタル等があげられる。
し2か12、熱膨張係数に関しては、本発明の被覆物質
のうちでも特に窒化物が電極金属に近く、又、耐熱衝撃
性及び耐酸化性に関しては、炭化物が特にp好である。
のうちでも特に窒化物が電極金属に近く、又、耐熱衝撃
性及び耐酸化性に関しては、炭化物が特にp好である。
そこで、電極金属をまず窒化物で被覆し2、その−ヒに
炭化物で被531 シ、複合層を形成することにより、
よリワレやノ・クリをおこしにくく、耐熱衝撃性及び酸
化性の良好な点火プラグ′正極がえらfする。
炭化物で被531 シ、複合層を形成することにより、
よリワレやノ・クリをおこしにくく、耐熱衝撃性及び酸
化性の良好な点火プラグ′正極がえらfする。
例えば、電、極金属として、タングステンを選択した場
合、その上に窒化チタンを被覆し、更1(その上に炭化
ケイ素を被層することにより、も7)X、・層が形成さ
れないでかつ、耐熱衝撃性及び酸化性及びアーク放電特
性が良好な点火プラグ電極がえられる。同様の事が、タ
ングステン−窒化チタン−炭化チタン、タングステン−
窒化ケイ素−炭化ケイ素、タングステン−窒化ケイ素−
炭化チタン等にも言える。
合、その上に窒化チタンを被覆し、更1(その上に炭化
ケイ素を被層することにより、も7)X、・層が形成さ
れないでかつ、耐熱衝撃性及び酸化性及びアーク放電特
性が良好な点火プラグ電極がえられる。同様の事が、タ
ングステン−窒化チタン−炭化チタン、タングステン−
窒化ケイ素−炭化ケイ素、タングステン−窒化ケイ素−
炭化チタン等にも言える。
本発明における雷、極を製造するにあたって、電極金属
の外面に放電部分をのぞいて、前記の層をグロー放電空
間下での化学蒸着法()。
の外面に放電部分をのぞいて、前記の層をグロー放電空
間下での化学蒸着法()。
ラズマCVD法と略す)、イオンブレーティング、スパ
ッタリング等の方法により、コーティングする。これら
の表面層の形成方法のなかで、特にプラズマCVD法は
均一で緻密なコーテイング面が簡単に得られることから
その方法を採るのが望ましい。
ッタリング等の方法により、コーティングする。これら
の表面層の形成方法のなかで、特にプラズマCVD法は
均一で緻密なコーテイング面が簡単に得られることから
その方法を採るのが望ましい。
この方法は、例えば、金属窒化物につ(・て説明すると
、0.1〜l Q ’l’orrの金属)10ゲン化物
、N2、N2の混合ガス雰囲気内に被処理基体を陰極と
して設置し100℃〜600℃の温度範囲に加熱すると
ともに、200■〜8KVの電圧を印加して直流グロー
放電、空間を形成させ、被処理基体表面に金属窒化物の
被膜を形成させるものである。また、炭化物につ℃・て
説明すると0.1〜10 Torrの全屈ノ・ロゲン化
物及び炭化水素系ガス(アセチレン、メタン、工タン、
プロパン等)の混合ガス雰囲気内に被処理基体を陰極と
して設置し100’C〜600tの温度範囲に加熱する
とともに、200〜8KVの電圧を印加して直流グロー
放電空間を形成させ、被処理体表面に炭化物の皮膜を形
成させるものである。この反応は例えば’I”iCl。
、0.1〜l Q ’l’orrの金属)10ゲン化物
、N2、N2の混合ガス雰囲気内に被処理基体を陰極と
して設置し100℃〜600℃の温度範囲に加熱すると
ともに、200■〜8KVの電圧を印加して直流グロー
放電、空間を形成させ、被処理基体表面に金属窒化物の
被膜を形成させるものである。また、炭化物につ℃・て
説明すると0.1〜10 Torrの全屈ノ・ロゲン化
物及び炭化水素系ガス(アセチレン、メタン、工タン、
プロパン等)の混合ガス雰囲気内に被処理基体を陰極と
して設置し100’C〜600tの温度範囲に加熱する
とともに、200〜8KVの電圧を印加して直流グロー
放電空間を形成させ、被処理体表面に炭化物の皮膜を形
成させるものである。この反応は例えば’I”iCl。
十CH4−Tic+4Hclのよ5 なも0)”’Qあ
る。
る。
同様に硼化物を得るには、金属ハロゲン化物、ボロン塩
化物、ボロ/フッ化物等の混合ガスを、また、硅化物を
得るには、金属ハロゲン化物、シラン、硅素塩化物等の
混合ガスを用ちいづれかの被膜又は、いづれかの複合の
被膜で外表面を構成する。
化物、ボロ/フッ化物等の混合ガスを、また、硅化物を
得るには、金属ハロゲン化物、シラン、硅素塩化物等の
混合ガスを用ちいづれかの被膜又は、いづれかの複合の
被膜で外表面を構成する。
〔発明の効果′1
このようにして得られる本発明の点火プラグは、比較的
酸化しに(<、かつ耐アーク消耗性が良好でかつアーク
放電特性が良好である。
酸化しに(<、かつ耐アーク消耗性が良好でかつアーク
放電特性が良好である。
次に本発明の一実施例について説明する。
電極金属として、タングステンを用いる。
このタングステンに放電部分をのぞいて、窒化チタンを
被覆し、更にその上に炭化ケイ九を被膜した点火プラグ
電極を製造した。この点火プラグ電極が使用されたプラ
クをエンジンへ装着し実機テストおよび実機での電極の
消托をシューミレートしたベンチテストを行なったが、
その結果、耐酸化性、耐アーク消耗性、アーク放電特性
とも良好であった。
被覆し、更にその上に炭化ケイ九を被膜した点火プラグ
電極を製造した。この点火プラグ電極が使用されたプラ
クをエンジンへ装着し実機テストおよび実機での電極の
消托をシューミレートしたベンチテストを行なったが、
その結果、耐酸化性、耐アーク消耗性、アーク放電特性
とも良好であった。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、金属電極の表面に 、 ゛ ■、■、■族
元素のいづれかの窒化物、炭化物、硼化物、硅化物のい
づれかの層又は、いづれかの複合層を形成し、この層を
外表面とし、て用いたことを特徴とする点火プラグ電極
。 2、金属@極は、タングステン又は、その合金である特
許請求の範囲第1項に記載の点火プコニウム、酸化イツ
トリウムのうちから少なくとも1種選択された物質であ
る特許請求の範囲第2項に記載の点火プラグ電極。 4、複合層は、金属電極の熱膨張係数に近い係数を・有
する層と、耐熱衝撃性及び耐酸化性に優れた層とを具備
してなる特許請求の範囲第1項乃至第3項に記載の点火
プラグ電極。 5、窒化物、炭化物、硼化物、硅化物は、物理的又は、
化学的蒸着法により形成されている特許請求の範囲第1
項記載の点火プラグ電極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22698782A JPS59118878A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 点火プラグ電極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22698782A JPS59118878A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 点火プラグ電極 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59118878A true JPS59118878A (ja) | 1984-07-09 |
Family
ID=16853727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22698782A Pending JPS59118878A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 点火プラグ電極 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59118878A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6138757A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Fuji Electric Co Ltd | タンデイツシユ加熱装置 |
JPS6227577A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-05 | Takeo Oki | 金属化合物層を備えた表面処理物品およびその製法 |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP22698782A patent/JPS59118878A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6138757A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Fuji Electric Co Ltd | タンデイツシユ加熱装置 |
JPH0237813B2 (ja) * | 1984-07-31 | 1990-08-27 | Fuji Denki Kk | |
JPS6227577A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-05 | Takeo Oki | 金属化合物層を備えた表面処理物品およびその製法 |
JPH0354191B2 (ja) * | 1985-07-26 | 1991-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7446284B2 (en) | Etch resistant wafer processing apparatus and method for producing the same | |
US5132587A (en) | Spark plug electrodes | |
JP4641569B2 (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体、耐蝕性部材、金属埋設および半導体保持装置 | |
JP2695835B2 (ja) | セラミック被覆耐熱部材 | |
JP4479506B2 (ja) | 封入した黒鉛ヒーター及び方法 | |
JP2007173828A5 (ja) | ||
GB2069009A (en) | Sprayed iron-chromium-aluminium coatings incorporating alumina | |
JP3214422B2 (ja) | 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 | |
US4690872A (en) | Ceramic heater | |
KR100421761B1 (ko) | 내산화성이 개선된 신규한 세라믹 점화기 및 이의 사용방법 | |
EP0806488B1 (en) | Aluminum-chromium alloy, method for its production and its applications | |
US20060244143A1 (en) | Coating process to enable electrophoretic deposition | |
US20190368026A1 (en) | New high temperature air stable ceramic metallic material used in solar selective surface and its production method | |
JPS59118878A (ja) | 点火プラグ電極 | |
JP2017521824A (ja) | ワンコート封入グラファイトヒーター及びプロセス | |
JPWO2006095709A1 (ja) | 薄膜発熱体 | |
SU983810A1 (ru) | Способ образовани покрыти | |
JPS5812694B2 (ja) | 放電容器用の格子電極 | |
JPH07226431A (ja) | 静電チャック | |
JPS62202753A (ja) | 薄膜型サ−マルヘツド | |
JPH02183718A (ja) | グロープラグ | |
JPH0694196B2 (ja) | ホウ化物の被覆層を有する複合耐食性電極および複合耐食性発熱体 | |
JPS6144703A (ja) | 耐摩耗層 | |
JP3216737B2 (ja) | 複合粒子の溶射発熱体とその製造法 | |
JPH02152185A (ja) | 窒化物系セラミック絶縁体を有するスパークプラグ |