JPS59113190A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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Publication number
JPS59113190A
JPS59113190A JP22292882A JP22292882A JPS59113190A JP S59113190 A JPS59113190 A JP S59113190A JP 22292882 A JP22292882 A JP 22292882A JP 22292882 A JP22292882 A JP 22292882A JP S59113190 A JPS59113190 A JP S59113190A
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JP
Japan
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chamber
cleaning
door
bath
washing
Prior art date
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Pending
Application number
JP22292882A
Other languages
English (en)
Inventor
Sukeaki Hamanaka
濱中 亮明
Masaru Ishibashi
勝 石橋
Hidehiro Hoshino
星野 秀弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高洗浄レベルを要求される大型複雑な機器部品
の洗浄装置の改良に関する。
特に高洗浄レベルを要求される大型複雑な機器部品の洗
浄は、例えば原子力用ステンレス鋼製の一次冷却配管を
製作工場内で脱脂洗浄する場合、現状では有機溶剤含浸
のウェスによる手拭き及び界面活性剤を含む高温高圧水
をジェットノズルの手動操作で吹きかける方法で行々つ
でいる。このため作業時間も多くかかり、安全や衛生的
見地からの作業環境も悪く、又作業が単純な苦渋の多い
ものである他、廃液処理の点でも問題があった。更に、
原子力への用途−F1高い洗浄レベルが要求され、配管
における応力や腐食を防止する点から塩素イオン、弗素
イオン等は実質的(で零に近い値を確保するために莫大
な工数をかけて、洗浄品質の安定化を計っている。
第1図に原子力用と略同等の洗浄レベルを要求されてい
る電子機器部品、LSIなどの小型部品について適用さ
れてきたフロンによる超精密洗浄方式及びその装置を示
す。コンベア011で搬送される洗浄かと09内に載荷
された被洗浄物をフロン沸騰洗浄浴02内で沸騰洗浄し
た後、超音波フロン冷洗浴o3内で超音波洗浄すると共
に冷却し、次いでフロン蒸気洗浄浴o4の中で蒸気が凝
結流下する新鮮なフロンによって蒸気洗浄を行なうもの
である。
この小型被洗浄物対象の洗浄方式を原子力用配管のよう
な大型被洗浄物(長さMax、 60 f〕0謳、径M
aX、 100 mm、三次元曲管の場合Max。
1500mm程度)に適用しようとすると次のような不
具合がある。
(1)溶剤の蒸発逸散のロスはその比率が大きく、消費
の絶対量は莫大であり、洗浄コストが高価となる。
(2)超音波洗浄の適用が困難である。例えば原子力用
配管においては、大型、厚内であり、かつノズル、バル
ブ、フランジ等の突起物があるため現状の超音波発振器
の性能では到達距離が短く管外面の洗浄は勿論、内面の
洗浄は不可能に近い。被洗浄物の表面だけ(除内孔面)
をカバーするにしても非常に多数の発振器を必要とする
本発明者等は先に、上記方法の欠点を除き、フロンの蒸
発飛散ロス分を回収するために、一体直列に構成して所
要位置に扉と、のれんとを配した取入室、洗浄室、取出
室を設けると共に、洗浄室から取入室及び取出室へ流出
1−たフロン蒸気を冷却凝結回収して再使用に当てるよ
うにした洗浄方法及び装置を提案した(特願昭57−1
03280号)。この先に提案した洗浄装置(r、f、
第2〜4図に示すような構造である。
第2 図[3室スル一バツチ式フロン回収装置を具えた
精密洗浄装置の側断面図であり、第3図は同横断百図(
平面図)であって、第4図は第3図のIV−IV線に沿
った断面図である。
図中、1は取入室、2は洗浄室、3は取出室でこれらの
3室は一体直列((構成されたもの、4は第1扉、5は
第2扉、6は第3扉、7は第4扉、8は取入側のれん、
9は取出側のれん、10は洗浄浴、10−1は洗浄浴槽
、10−2は洗浄浴中に区画された温浴もしくは沸騰浴
、10−3は同蒸気洗浄浴、10−4は同噴流攪拌冷浴
、10−5は攪拌プロペラ、10−6は冷却コイル、1
0−7は回収フロン流入口、10−8は加熱ヒータ、1
0−9は回収樋、11は搬送レール、12は−・ンガ、
13は被洗浄物、14は稀薄蒸気(フロンガス)混合の
空気、15は濃厚蒸気(フロンガス)混合のりと気、1
6は膜洗浄蒸気の空気、17I″iポンプ、18は蒸気
(フロンガス)回収用チラー(冷却熱交)、19は回収
洗浄液(フロン液)、20は洗浄液充填口、21けスラ
ッジ、22はスラッジ排出口、23は硬質微粒、24の
矢符号はハンガ12の図示しないトラバーサによる移動
方向をそれぞれ示す。
しかして、搬送し〜ル11とハンガ12は搬送装置を構
成し、ポンプ17、チラー18は溶剤回収装置を構成す
る。なお、取入室1及び取出室3はそれぞれ開閉扉を有
する複数の直列室で構成し、外部へのフロン流出を減少
させるようにしても差支えない。
上記構成(でおいて、搬送レール11上をタクト的に自
走する−・ンガ12に被洗浄物13を懸吊し、第2扉5
、第3扉6を閉じて第1扉4を開いた状態の取入室1に
該ハンガ12を取入側のれん8をかき別けて導入する。
次いで、第1扉4を閉じ第2扉5を開いて取入室のハン
ガ12を洗浄室2に導入の上第2s5を閉じる。上記第
2扉5の開閉操作時、1先浄室2+rC′sける濃厚蒸
気混合の空気15は取入室1の稀薄蒸気混合の空気14
と混合し、取入室内混合空気のフロンガス成分の量を高
めるが、溶剤回収装置のポンプ17、チラー18を作動
させて混合空気14を吸引し代って膜洗浄蒸気の空気を
送って室内混合空気のフロンガス濃度を所宇以下((保
持する。この間に、洗浄室2においては被洗浄物13を
トラバーサ等を用いて移動し温浴もしくは沸騰浴10−
2による洗浄、噴流攪拌冷浴10−4による洗浄、蒸気
洗浄浴10−3による洗浄の順を径で洗浄の仕上げを行
なう。
該洗浄仕上げ完了後、第4扉7を閉じた状態の取出室3
における第3扉6を開いて洗浄室2にあるハンガ12を
取出室3に導入し、直ちに第3扉6を閉じる。第3扉の
開閉操作に伴う取出室3内における混合空気14のフロ
ン濃度増加は先に述べた取入室1の場合と同様にして所
定以下に下げ、その後で第4扉7を開き・・ンガ12を
取出側のれん9をかき分けて室外に移動し第4扉7を閉
じる。そして、ハンガがタクト的に循環し所定位置に移
動されたら洗浄済の被洗浄物13を取外して処置する。
上記取入室1及び取出室3における混合空気14のフロ
ンガス濃度低減操作時に回収した回収洗浄液19は回収
フロン流入口10−7から洗浄室2に還流される。洗浄
浴10において洗い落されたスラッジ等で浴槽10−1
の底部に沈殿したものは所要時期にスラッジ排出口22
より排除され、要すればそれからフロンを回収し残滓を
棄却する。
蒸気洗浄浴10−3の領域に設けられた冷却コイル10
−6と、回収樋10−9とは温浴もしくは沸騰浴10〜
2から絶えず蒸発するフロン蒸気の一部を液化して蒸気
洗浄浴の状態を所定に保持し、液化フロンは噴流攪拌冷
浴1〇−4に回収さオL1噴流攪拌冷浴の余剰洗浄液は
温浴もしくは沸騰浴10−2に溢流する。
先願発明の装置は上記のように作用するから、被洗浄物
懸吊のハンガが取入室に導入される場合及び同ハンガが
取出室から導出される場合、従来のものに比し高価々洗
浄剤(フロン)の逸散ロスが開閉扉と、のれんとによっ
て著しく減少されている。又、取入室と取出室における
フロン蒸気混合空気は溶剤回収装置によってそのフロン
蒸気濃度が所定以下に抑えられているから上記のロス減
少に大きく貢献している。
洗浄浴は6行程に分れ、温浴もしくは沸騰浴では油脂や
粗大付着物が粗洗浄され、噴流攪拌冷浴では中空球など
により比重調整の硬質微粒を洗浄液と共に被洗浄物に噴
流させることができるから粘着固形物の除去が従来のも
のに比し隅々まで行ない得る利点がある他、冷浴である
ため次の高温蒸気洗浄工程時の洗浄効果を高める副効果
をもたらしている。そして、最終工程は蒸気洗浄浴であ
って、これによりレベルの高い洗浄仕上げが得られるも
のである。さらに、トラバーサ等によって被洗浄物を装
置の横方向と、上下方向に移動し洗浄の3浴工程を行な
う機構は本装置の全長を短縮できるメリットがある。
上記、先願の方法および装置によって、原子力用機器の
異物除去には充分対処し得るが、前記のように原子力用
機器及び宇宙機器などでは極めてレベルの高い超精密洗
浄が要求され、これら部材について微視的に見れば、配
管ソケット部の微小隙間、捷たは部材加工(切削、研削
)時に形成されたサブミクロン的なりレビス状間隙へ浸
透した洗浄液は、沸点が低くても、常圧では揮発、飛散
されずに残留する可能性が残る。
そしてオーステナイト系ステンレス鋼のように、不働態
化膜で耐食性が保たれているような材料では、不働態化
膜を破壊する作用を有する弗素、塩素等のハロゲン化元
素で構成される洗浄液が長期にわたって残存することは
好ましくない。
本発明は上記先願方法および装置における欠点を解消し
て極微量の洗浄液をも除去し得る装置を提供することを
目的とするもので、上記微小間隙中の極微量の残留洗浄
液、特にフレオン等・・ロダン化物系洗浄液をも除去す
るため、第2〜4図で示される先願の洗浄装置の後工程
に真空減圧室を付設したことを特徴とする洗浄装置に関
するものである。
すなわち本発明は被洗浄物の搬送装置と、被洗浄物の搬
送方向に沿って一体直列に配置された取入室、洗浄室、
取出室及び真空減圧室と、上記取入室の入口部、真空減
圧室の出口部及び上記4室の連結部にそれぞれ設けた開
閉扉と、上記取入室の入口部の出口部に設けた外気流入
防止用ののれんと、上記取入室及び取出室の溶剤蒸気を
洗浄室に回収する溶剤回収装置とを具備することを特徴
とする被洗浄物の洗浄装置に関するものである。
本発明の洗浄装置は高洗浄レベルを要求される原子力機
器および宇宙機器等の大型かつ複雑なコンポーネントの
洗浄に有効に適用できる。
本発明の洗浄装置およびそれを用いる洗浄方法を第5図
を用いて説明する。
図中、1〜24け第2〜4図に記載のものと同一のもの
である。25は真空減圧室、26は真空ポンプ、27は
減圧雰囲気、2FII:IJ−クバルブ、29は開閉扉
である。
洗浄方法は以下に示す通りである。
(1)取入室1、洗浄室2、取出室3(こ\では取出し
とけ洗浄工程からの取出しの意味)−1での洗浄方法及
び工順は第2〜4図に示す先願方法と全く同一である。
(2)  取出室を出た被洗浄物は大気圧状態の真空減
圧室25へ搬入さね、開閉扉7,9及びリークバルブ2
8が閉じられた状態で真空ポンプ26を作動させ、所定
減圧下で所定時間、被洗浄物を保持する。
(3)  次いで真空ポンプ26を停止し、リークバル
ブ28を開き、真空減圧室25内へ大気を導入後、開閉
扉29を開いて被洗浄物を取り出す。この時、取出し室
3の被洗浄物を真空減圧室25へ導入するのが好捷しい
・・ロゲン化物系のごとき洗浄力の大なる洗浄液は、第
6図に示す被洗浄物13の微小な間隙、すなわちクレビ
ス60内にも浸透し、洗浄する作用が顕著であるから高
度な洗浄が期待できる。
図中、31は浸透した洗浄剤、62は破洗浄物表面であ
る。
すなわち浸透した洗浄剤は油脂類を溶解しながら拡散現
象などにより脱脂する。一方、クレビス30内に浸透し
た洗浄剤31はかえり33によりおおわれてお9、かつ
開口路が微小であるため短時間には放出されにくい。そ
して洗浄に主として用いられるノ・ロダン化物系洗浄剤
の沸点は以下に例を示すように通常20〜100℃程度
で、CC13F(フレオン11)・・・23.8℃(1
気圧下での沸点)、cc/2F−cClF、、  (フ
レオン113)・・・47.6℃、CC/2F’−CC
12F(フレオン112)・・・92,8℃、CH2C
/z (メチレンクロライド)・・・39.8℃、CH
Cl3(クロロホルム)・・・6162℃等であり、そ
の捷までは短時間にクレビス外へ出ないが、真空減圧下
では沸点が下るため気化して短時間でクレビス外へ完全
に放出される。
本発明の洗浄装置では・・ロダン化物系洗浄剤が短時間
で完全に放出されることにより、高度の洗浄レベルが確
保され、仮に解離されたノ・ロゲン元素が存在しても直
ちに放出されるので不動態化膜が破壊されず、耐食性の
確保に有効である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の洗浄装置の側断面図、第2図ないし第4
図は先願発明の洗浄装置を示したもので、第2図は装置
の側断面図、第3図は同横断面図、第4図は第3図のI
V−IV線に沿った断面図である。第5図は本発明の洗
浄装置の一例を示す側断面図、第6図は被洗浄物16の
断面拡大図である。 1:取入室      2:洗浄室 3:取出室   4,5,6,7:開閉扉8.9:のれ
ん 10−2  :  温浴又は沸騰浴 10−3  :  蒸気洗浄浴 10−4 :噴流攪拌冷浴 13:被洗浄物 復代理人  内  1)   明 復代理人  萩  原 亮 −

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被洗浄物の搬送装置と、被洗浄物の搬送方向に沿
    って一体直列((配置された取入室、洗浄室、取出室及
    び真空減圧室と、−ト記取入室の入口部、真空減圧室の
    出口部及び上記4室の連結部にそれぞれ設けた開閉扉と
    、上記取入室の入口部の出口部(lこ設けた外気流入防
    止用ののれんと、上記取入室及び取出室の溶剤蒸気を洗
    浄室に回収する溶剤回収装置とを具備することを特徴と
    する被洗浄物の洗浄装置。
JP22292882A 1982-12-21 1982-12-21 洗浄装置 Pending JPS59113190A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6291282A (ja) * 1985-10-17 1987-04-25 株式会社白洋産業 有機溶剤洗浄装置
CN107214142A (zh) * 2017-06-22 2017-09-29 柳州市全品贸易有限公司 一种用于农业芍根的清洗输送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH0331114B2 (ja) * 1985-10-17 1991-05-02 Hakuyo Sangyo Kk
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