JPS59112593U - 吸着部の真空圧検知機能付き真空発生装置 - Google Patents

吸着部の真空圧検知機能付き真空発生装置

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JPS59112593U
JPS59112593U JP650983U JP650983U JPS59112593U JP S59112593 U JPS59112593 U JP S59112593U JP 650983 U JP650983 U JP 650983U JP 650983 U JP650983 U JP 650983U JP S59112593 U JPS59112593 U JP S59112593U
Authority
JP
Japan
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vacuum
circuit
vacuum pressure
output
pressure detection
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Application number
JP650983U
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English (en)
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西沢　三泰
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Orion Machinery Co Ltd
Original Assignee
Orion Machinery Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図は本考案の実施例を示し、第１図は装
置全体の断面図、第２図は電気回路のブロック図、第３
図は回路図である。 １・・・・・・噴射ノズル、２・・・・・・排気口、３
・・噛合流室、４・・・・・・本体部片、５・・・・・
・吸着部、６・・曲拡散型半導体圧力変換器、７・・・
・・・定電流供給回路、８・・・・・・差動増幅回路、
９・・・・・・比較回路、１０・・曲真空圧設定用基準
電圧回路、１１・・曲ディファレンシャル幅調整回路、
１２・・回出力調整回路、１３・・・・・・真空圧表示
器、２４．　２５．　２６．　２７・・曲拡散抵抗、２
８・・・・・・温度補償抵抗。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）噴射ノズル１と大気に通じる排気口２とを、吸着
    部５へ配管された合流室３を有する本体部片４を介して
    連通させ、該噴射ノズル１から圧縮空気を噴流放出する
    ことにより、該合流室３内に真空圧を発生させる真空発
    生装置に於いて、上記合流室３び吸着部５を含む真空配
    管内の任意の場所に拡散型半導体圧力変換器６を接続し
    、該拡散型半導体圧力変換器６を構成する４つの拡散抵
    抗２４乃至２７と温度補償抵抗２８から成るブリッジ回
    路に、定電流供給回路７から一定電流を供給し、該ブリ
    ッジ回路の出力を差動増幅回路８を介して比較回路９の
    一方の入力に接続し、また該比較回路９の他方の入力に
    は所望する真空圧を設定するための真空圧設定用基準電
    圧回路１０の出力を接続し、該真空圧設定用基準電圧回
    路１０の基準電圧に対する上記比較回路出力を以って吸
    盤等真空制御対象が設定された真空圧となったか否かを
    確認し、該真空制御対象の移動等次工程を制御すること
    を特徴とした、吸着部の真空圧検知機能付き真空発生装
    置。
  2. （２）拡散型半導体圧力変換器６、温度補償抵抗２８、
    定電流供給回路７、差動増幅回路８、及び比較回路９を
    、同一基板上に集積し１チツプＩＣとしたことを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の真空圧検知機
    能付き真空発生装置。
  3. （３）　　差動増幅回路８の出力にアナログ−ディジタ
    ル変換回路及びディジタル表示回路を具備する真空圧表
    示器１３付加し、真空圧のディジタル表示機能を有する
    ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項又は第
    ２項記載の真空圧検、　知機能付き真空発生装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS637299U (ja) * 1986-06-30 1988-01-18
JPH04152085A (ja) * 1990-10-11 1992-05-26 House Food Ind Co Ltd 吸着式ロボットハンド
JP2000317999A (ja) * 1999-05-07 2000-11-21 Yushin Precision Equipment Co Ltd 成形品の取出装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49134056A (ja) * 1973-04-25 1974-12-24
JPS5245377A (en) * 1975-10-08 1977-04-09 Hitachi Ltd Silicon mechanical-electrical converter
JPS5383485A (en) * 1976-12-28 1978-07-22 Fuji Electric Co Ltd Diffusion type semiconductor pressure transducer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49134056A (ja) * 1973-04-25 1974-12-24
JPS5245377A (en) * 1975-10-08 1977-04-09 Hitachi Ltd Silicon mechanical-electrical converter
JPS5383485A (en) * 1976-12-28 1978-07-22 Fuji Electric Co Ltd Diffusion type semiconductor pressure transducer

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS637299U (ja) * 1986-06-30 1988-01-18
JPH04152085A (ja) * 1990-10-11 1992-05-26 House Food Ind Co Ltd 吸着式ロボットハンド
JP2000317999A (ja) * 1999-05-07 2000-11-21 Yushin Precision Equipment Co Ltd 成形品の取出装置

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