JPS637299U - - Google Patents

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JPS637299U
JPS637299U JP10103686U JP10103686U JPS637299U JP S637299 U JPS637299 U JP S637299U JP 10103686 U JP10103686 U JP 10103686U JP 10103686 U JP10103686 U JP 10103686U JP S637299 U JPS637299 U JP S637299U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図：本考案における真空圧検知装置の第一
実施例に係る機能ブロツク図、第２図：同装置の
第二実施例に係る機能ブロツク図、第３図：同装
置の第三実施例に係る機能ブロツク図、第４図：
同装置を備えたエアエゼクタポンプの縦断面図。 尚図面中、１：真空圧検知装置、２：合流室、
３：圧力センサ部、４：Ａ／Ｄ変換部、５：演算
処理部、６：出力部、７：記憶部、８：第二の出
力部、９：入力部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) エアの合流室における真空状態を検知し、
    これに基づき真空圧の制御等を行うエアエゼクタ
    ポンプの真空圧検知装置において、前記合流室に
    臨み真空圧に対応したアナログ信号を出力する圧
    力センサ部と、前記圧力センサ部の出力をデイジ
    タル信号に変換するアナログデイジタル変換部と
    、前記変換部の出力値を演算処理する演算処理部
    と、前記演算処理部の出力を処理して外部へ出力
    する出力部を備えることを特徴とするエアエゼク
    タポンプの真空圧検知装置。 (2) 前記演算処理部には計測値、設定値等のデ
    ータを記憶する記憶部を備えることを特徴とする
    実用新案登録請求の範囲第１項記載のエアエゼク
    タポンプの真空圧検知装置。 (3) 前記記憶部には第二の出力部を備えること
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項記載
    のエアエゼクタポンプの真空圧検知装置。 (4) 前記記憶部には設定値等のデータを入力す
    る入力部を備えることを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第２項記載のエアエゼクタポンプの真
    空圧検知装置。
JP1986101036U 1986-06-30 1986-06-30 Expired JPH0330640Y2 (ja)

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JP1986101036U JPH0330640Y2 (ja) 1986-06-30 1986-06-30

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JPS637299U true JPS637299U (ja) 1988-01-18
JPH0330640Y2 JPH0330640Y2 (ja) 1991-06-27

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008507649A (ja) * 2004-06-23 2008-03-13 イョット． シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 負圧を生成する装置
JP2015179095A (ja) * 2004-12-14 2015-10-08 エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置
JP2017194440A (ja) * 2016-04-18 2017-10-26 經登企業股▲フン▼有限公司 デジタル圧力計及び制御システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59112593U (ja) * 1983-01-20 1984-07-30 オリオン機械株式会社 吸着部の真空圧検知機能付き真空発生装置

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Publication number Publication date
JPH0330640Y2 (ja) 1991-06-27

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