JPS59106149A - Ccdイメ−ジヤ - Google Patents

Ccdイメ−ジヤ

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JPS59106149A
JPS59106149A JP58140462A JP14046283A JPS59106149A JP S59106149 A JPS59106149 A JP S59106149A JP 58140462 A JP58140462 A JP 58140462A JP 14046283 A JP14046283 A JP 14046283A JP S59106149 A JPS59106149 A JP S59106149A
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ccd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/148Charge coupled imagers
    • H01L27/14831Area CCD imagers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の背景) この発明は、フィールド・レジスタおよび出力レジヌク
を使用する電荷結合装置(CCD)影像器(以下ではイ
メージヤと称す)に関するものであり、さらに詳しく言
えば、フィールド・レジスタ中で生ずる縁効果がイメー
ジヤの出力信号から除去されたCCDイメージヤに関す
るものである。
別々の像(イメージ)および出力レジスタを使用したC
CDイメージヤでは、出力レジスタは一般に電荷転送チ
ャンネルからなっている。選択された時間期間中、出力
チャンネルの段はフィールド・レジスタの並列に配列さ
れた電荷転送チャンネルの出力から並列にローディング
される。この発明が実施されるCCDイメージヤの形式
では、このフィールド・レジスタは(a)光の検出が行
なわれるイメージ・レジメタあるいは(b)イメージ・
レジスタと出力レジスタとの間に挿入されるフィールド
蓄債レジスタである。電荷の束(以下では電荷パケット
と称す)が出力レジスタ段に並列にローディングされた
後は、電荷パケットは出力レジスタの出力から並列的に
供給される。
イメージャが形成される半導体基板内の電荷キヤリアの
寿命は、(a)イメージ・レジスタ中の電荷の積分、(
b)イメージ・レジスタから出力レジスタへの電荷の転
送、および(c)出力レジスタ中の並列一直列変換に要
する時間に比して長い。電圧をイメージ・レジスタのゲ
ート電極に供給することによって誘導される空乏領域中
よりもむしろ基板バルク中に発生する電荷キャリヤは、
1つの電荷転送チャンネルが横切って伸びるイメージ・
レジスタの一部から隣接する電荷転送チャンネル内に拡
散し、ここでこのように拡散した電荷キャリヤは空乏領
域に集められる。イメージ・レジスタ中の2つの隣接す
る電荷転送チャンネル間で生ずる場合と同様に、この拡
散によって隣接チャンネル中で蓄積される電荷パケット
によって画定されるべきイメージの部分の空間解像度が
ある程度低下する。この解像度の低下は電荷転送チャン
ネルに直角な方向にある。しかしながらこの過程はチャ
ンネル中に集められた電荷の全量に影響を与えない。
一方、(a)イメージ・レジスタの各側部にある各々の
電荷転送チャンネルと、(b)これらのチャンネルの近
傍にあるがイメージ・レジスタの外にある場合の半導体
材料との間の上記の拡散は、これらの電荷転送チャンネ
ルのいずれかによって集められる電荷量に実質的に影響
を与える。その結果、拡散は、このような電荷転送チャ
ンネル中に蓄積される電荷パケットによって画定される
イメージ部分に好ましくない縁効果を生じさせる。
イメージ・レジスタの側部がドレン構造(例えばアンチ
ブルーミング・ドレン)によって拘抹されていると、幾
らかの電荷キャリやはドレン中に入り込んで通過し、集
められることはない。これはイメージヤによって集めら
れる電荷の量を減少させるという好ましくない結果を生
じさせる。フイールド・レジスタ(イメージ・レジスタ
あるいはフィールド蓄積レジスタ)の側部がバルク基板
であると、暗電流発生効果あるいは浮遊光に応答する光
発生によりバルクの部分に発生する別の電荷キャリヤは
、(a)フィールド・レジスタの側部にある電荷転送レ
ジスタに移動し、(b)その結果イメージヤによって集
められる電荷を増加させるという好ましくない現象が生
ずる。
この問題を取扱う1つの方法は、CCDイメージヤのフ
ィールド・レジスタ中に、隣接するチヤンネル中の縁効
果を防止するために、イメージヤの各側部に追加電荷転
送チャンネルを設けることである。そうすると、縁効果
によって悪影響を受けたこれらの追加チャンネル中に蓄
積される電荷パケットは捨てられる。
〈発明の概要) この発明によれば、悪影響を受けた電荷パケットをイメ
ージヤ出力レジスタに導入し、その後にクロックされた
とにそれらの悪影響を受けた電荷パケットを出力レジス
タから棄てる代りに、上記の悪影響を受けた電荷パケッ
トをドレンを経由してこれらの追加チャンネルの出力か
ら棄てるのが望ましい。追加チャンネルの出力において
悪影響を受けた電荷パケットを棄てることにより、イメ
ージヤの出力レジスタから出力信号を選択的に阻止しな
ければならないという煩しさを避けることかできる。
この発明によって構成されたCCDイメージヤの好まし
い形式では、レジスタの各々の側部にある側部電荷転送
チャンネルを除くイメージ・レジスタの電荷転送チャン
ネルの各々において入力電荷パケットが生ずる場合に限
って、上記入力電荷パケットが出力レジメタ段の各々に
供給されるように上記出力レジスタ段は動作する。これ
はイメージ・レジスタの側部電荷転送チャンネルから電
荷パケットを棄てることによって生ずる縁効果を抑制す
る方法を提供するものである。
〈詳細な説明〉 第1図に示す電気−光学信号プロセッサの一般形式につ
いては、SPIE Vol、118−「光信号およびイ
メージ処理(0ptical Signal and 
ImageProcessing)」(IOCC197
7)の第118頁乃至第123頁のブロムレー(K.B
romley)氏他の論文「Incoherent 0
ptical Signal Processing 
Usingcharge−Coupled Devic
es(CCD’S)中に述べられている。このプロセッ
サは、光マスク7を照射するための変調された強度の規
則的閃光源を与える発光ダイオード(LED)5からな
っている。
マスク7は電荷結合放置(COD)イメージヤ10のイ
メージ・レジスタ11と接触している。イメージ・レジ
メタの表面から離れた状態で示されているマスクは、イ
メージヤ10の表面にクロムの薄い層を蒸着によって形
成し、次いで選択的にエツチングすることによって形成
されるのが好寸しい。
イメージ・レジスタ11はフィールド・レジスタである
。それは複数個M+2>3の平行に配列された電荷転送
チャンネルからなる。電荷転送チャンネルは、左から右
へ0番から(M+1)番へ連続番号が伺されており、観
察者に対面するイメージヤ10の表面上に列によって表
わされている。各チャンネルは同じ番号のイメージ積分
位監すなわち画素(ピクセル)を含んでいる。画素を示
す4角は観察者に対面するCCDの表面上に行列に配列
されている。
この発明によれば、イメージヤ10は、イメージ・レジ
スタの左側および右側における0番および(M+1)番
で積分さねた電荷パケットがドレン電圧VDD源に接続
されたドレンに周期的に順方向(上向き)にクロックさ
れるという点て通常の構成のものと異っている。イメー
ジ・レジスタ11の他の電荷転送チャンネル(すなわち
1番乃至M番)で積分された電荷パケットは、サンプル
された出カアナログ・データ列側の連続サンプルを供給
するために並列−直列変換を行なう出力レジスタ12の
各段に周期的に順方向(上向き)にクロックされる。
この発明に関する限り、第1図のプロセッサの重要な部
分は、第1番目および第M番目の列における積分誤差が
隣接する0番およびM+1番の列の動作によって減少さ
れることである。0番およびM+1番のクロックによる
上方への出力は、出力レジメタ12に入り込む代りにド
レン電源に棄てられる。この技術は、出力レジメタ12
の出力信号を選択的に無効にすることによって後でこれ
らのサンプルを廃棄する複雑さを軽減することができる
第2図は第1図に示すようなプロセッサで使用するため
のCODイメージヤの前面の概略平面図を示す。画素位
置の列は図の上部に普通の連続番号0番乃至(M+1)
番で番号を付されており、画素位置の行は図の左側に普
通の連続番号1番乃至に番で番号が付されている。第2
図のイノージヤは、2レベル・ボリシリコン・ゲート構
造で構成された埋込みチャンネル型イメージ・レジメタ
11と出力レジスタ12の2相クロッキングを使用して
いる。第2図のイメージヤは、クロムの光マスク7(第
2図では丁にあるCCD構成を現わすために示されてい
ない)の開孔を通して前面照射されるように設計されて
いる。金属酸化物電界効果トランジスタ(MOSFET
)13は、出力レジスタ12の出力端における浮動拡散
領域14の電位に応答するソース・ホロワ出力を与えて
いる。浮動拡散領域14は、対をなす中間のリセット・
ゲートの連続するものに供給される適当に調時されたφ
R1およびφR2リセット・パルスを使用して、ドレン
拡散領域15に供給される直流ドレン電位VDRに周期
的にクランプされる。出力レジスタ12の入力端におい
て直流電源電圧VSがソース領域15に供給され、バイ
アス電荷(例えば・ファット・ゼロ(fat zero
)・が、出力レジスタ12の開始点におけるゲートに適
当な位相を持ったVINおよびVGを供給することによ
って入力される。
CCDイメージヤの動作を制御するための2相クロック
信号およびパルスは通常の設計による発生器によって発
生され、従ってこれらの通常の動作電圧を発生するため
のタイミング発生器は図示されていない。2相動作を実
行するために使用される通常の特徴(例えば、所定の方
向の電荷転送を行なわせるためのゲート電極構成の尾端
の下にイオン績込み障壁を使用する)は第2図では図を
簡潔にするために示されていない。ゲーと対を第2図の
上から1番よりK番へと順番に番号を付けると、イメー
ジ・レジスタすなわちIレジスタ11は2種の直流バイ
アス・レベルで供給されるφ1Iクロック位相を持って
おり、奇数番号の伝送ゲートおよび奇数番号の蓄積ゲー
トにそれぞれφ1I−T、φ1I−Sとして供給される
。イメージ・レジスタ11の偶数番号伝送ゲートおよび
偶数番蓄積ゲートに対して第2クロック位相φ2Iが2
種の直接バイアス・レベルをもったφ2I−T、φ2I
−Sとして供給される。これらのクロック位相信号はr
1のくり返し率を持っている。4個の連続するゲート電
極構成が各像積分領域すなわち画素に関連しており、従
って、第1図のイメージヤ10が列当り5個の画素を持
っているに比べて、第2図のイメージヤ構造は列当り3
個の画素と素直方向に短縮されている。この発明に関す
る限り上記の短縮は、動作に影響を与えず、また概略図
は重要な特徴となる寸法を過度に短縮することなく標準
寸法の紙面内に収まるようにされたものである。マトリ
ックス処理を行なうための電気−光学信号プロセッサは
、当然、実際に使用されるM個の列をK個の画素行とを
有し、これらは両方共第1図にそれぞれしめされている
5個よりも大である。
即部負荷出力レジスタ12はφ10およびφ20の位層
のr2’の率でクロックされる。レジスタ12の残りの
蓄積ゲートおよび残りの伝送ゲートにはそれぞれφ20
−S、φ20−Tとして2通りの直流バイアスレベルを
もったφ20位相が供給される。1番乃至M番の列から
の電荷パケットは、r2’のクロック率で直列に浮動拡
散領域14に供給され、また浮動拡散領域14の下の電
荷に比較する電圧はソース・ホロワ・トランジスタ13
の電源によって与えられる。
第2図のイメージヤは、追加電荷転送チャンネル0番乃
至(M+1)番が像を造るために使用されるフィールド
・レジスタと並んで配置されたこの発明の実施例を示す
。この発明によれば、このイメージ・レジスタ11の左
側の0番チャンネルと右側の(M+1)番チャンネルは
出力レジスタ12中の段への出力を持てっておらず、代
りにドレン領域20および21においてそれぞれ終端し
ている。各ドレン領域20および21はVDRのドレン
電位に維持されている。縁効果によって悪影響を受けた
電荷パケットは出力レジスタ12に供給されずにドレン
領域20および21に棄てられる。これによって、浮動
拡散領域14あるいはソース・ホロワ13からの出力中
でこれらの悪影響を受けた電荷パケットに応答するのを
選択的に阻止する必要はない。
第3図はこの発明が使用されたCCD白黒テレビジョン
・カメラの概略図である。フィールド転送形式のCCD
イメージヤ30のAレジスタすなわちイメージ・レジス
タ31上に像を投影するために通常のカメラ・レンズお
よび絞り機構が使用されている。像がAレジスタ31お
よび30の1番乃至M番の列を過走査して、その端部が
Aレジスタ31の0番および(M+1)番の列上に達す
るように、上記の像が投影されることが望ましい。Aレ
ジスタ31へのクロックが停止される期間中、影像の積
分がフィールド操作期全体にわたって行なわれる。
(予め積分され、フィールド蓄積すなわちBレジスタ3
2に転送された)イメージをサンプルして生じた電荷パ
ケットは、その時の影像積分期間中、Bレジスタ32中
を、線リトレース期間中一度に一行ずつ順方向にクロッ
クされる。Bレジスタ32の1番乃至M番の列からクロ
ックされた電荷バケットのサンプルは、並列一直列変換
用として使用される出力レジスタすなわちCレジスタ3
3内へ横方向にローディングされる。0乃至M+1番の
列中で、影像の端縁部をサンプルし、縁効果により変形
した電荷パケットは、この発明に従って、VDDドレン
電圧源に流出される。線トレース期間中、Cレジスタ3
3は画素走査率でクロツクされて処理増幅器35にビデ
オ・サンプルの線を供給し、増幅器35は同期パルスを
挿入してカメラの出力信号を発生する。処理増幅器35
は、イノ−シャ30のAレジスタ31、Bレジスタ32
およびCレジスタ33に供給されたクロック信号を調時
するために使用された同じタイミンク発生器(図示せず
)に応答する。
影像の積分はAレジスタ31においてのみ行なわれる。
マスク34(レジスタ31.32.33の接続関係を示
すために一部を切取って示しである)がBレジスタ32
およびCレジスタ33を光から遮蔽するために使用され
ている。CCDイメージヤの表向に直接蒸着され、最終
的な寸法に光エツチングされたマスク34は、光がマス
クを迂回してBレジスタ32に入り込むのを防止するた
めに、Aレジスタの最終の2〜3の行と重畳している。
影像の積分時間の間、フィールド・リトレースと一致し
て、Aレジスタ31およびBレジスタ32の双方は、A
レジスタ31で積分された影像フィールドをサンプリン
グする電荷パケットをそのAレジスタ31からBレジス
タ32に転送するためにクロックされる。第3図におい
て、Aレジスタ31の0番および(M+1)番の列から
クロックされた電荷パケットはドレンで終端しているB
レジスタ32の対応する列に送られる。これは、Bレジ
スタ32の下のバルク中で熱的に発生された電荷キャリ
アが、電荷転送チャンネルのウェル中で集められる前に
、0番および1番(M番および(M+1)番)の各列の
下から他の列の下へ同じ数で交換されるという点て浸れ
ている。これにより高温のカメラて目立つ縁効果を防止
することができる。
しかしながら、Bレジスタ32中の電荷パケットの大部
分はAレジスタから送り出され、従って、それらは既に
空乏領域で集められているから、それらの電荷はそこか
らバルク中に戻ることはできない。Aレジスタ中の0番
および(M+1)番の列の出力をBレジスタ中の対応す
る列に送る代りに上記の列をドレンで終端させるように
してもよい。他の変形例としてBレジスタ32中の0番
および(M+1)番の列を省略してもよい。さらに他の
変形例として、Bレジメタ中の0番および(M+1)番
の列を残し、その一方・他方、あるいは双方を、暗電流
によるフィールド・シェーディングを減少させるために
上記暗電流の積分用として使用することもできる。
この発明を利用したカラー・テレビジョン用カメラも勿
論可能である。第3図のカメラをカラー動作用に修正す
るために、カメラのレンズおよび絞り機構25とAレジ
スタ31との間にカラー・パターン・フィルタが挿入さ
れる。これは所謂・・単一チップ野カラー・カメラと呼
ばれる方法である。
カメラ・レンズおよび絞り機構25の後に色分胤ビーム
分割器を使用し・分離された色をCCDイメージヤ30
および同様な形式の他のCCDイメージヤのAレジスタ
に投影することによって・さらに良好なカラー・テレビ
ジョン・カメラを構成することができる。分離された色
は例えば加色3原色でよく、イメージヤはR(赤)、G
(緑)、B(青)のビデオ出力信号を処理増幅器中でマ
トリックスするために供給する。あるいは他の例として
、分離された色は加算補色であるシアン・マセンタおよ
び黄であってもよい。
第4図は、第3図に示す形式のテレビジョン。
カメラで使用するのに適した背面照射フィールド転送形
式のCODイメージヤの前面を示す概略図である。Aレ
ジスタ31およびBレジスタ32は7列3行からなるも
のとして示されている。行方向および列方向に短縮して
示したのは単なる図面のスベース上の制限によるもので
ある。一般にはこれらのレジスタでは実際には300乃
至500の列と、200乃至600の行が使用され、C
レジスタ33として適当な長さのものが使用される。第
4図は・またテレビジョン・カメラで使用されるCCD
イメージヤの成る種の量常の構成要素、例えはアンチブ
ルーミング・ドレン構造を省略して簡単に示されている
。この省略もまたスペース上の制限によるものである。
第4図において、Aレジスタ31およびBレジスタ32
の列(点線で示すチャンネル・ストップによって分離さ
れている)は図面の頂点に示す0番乃至(M+1)番の
連続番号で示されており、また書くレジスタの行は1番
乃至K板の連続番号で示されている。3層のポリシリコ
ン・ゲート電極構造が使用され、A:B,Cレジスタは
すべて3相クロックされる。電荷転送用チャンネルは点
彩法によって示されており、チャンネル・ストップは点
彩にされていない。イメージヤはインタレース・フィー
ルド動作をするように設計されており、3相Aレジスタ
用クロツクの第1相φA1が供給されるAレジスタ31
のゲート電極は、上記Aレジスタ用クロックの第2相φ
A2およびφA2が供給されるゲ−トの2倍の幅になっ
ている。これによって完全なインタレースが行なわれ、
フィールドのフリッカが無く、電荷の集収は1組の交互
のワイールトの期間中はφA1ゲートの下で、交互のフ
ィールドの相方間ではφA2ゲートおよびφA3ゲート
の下で行なわれる。AおよびBレジスタのクロックおよ
びCレジスタのクロックに異なった相数を使用したイメ
ージヤも勿論この発明で使用することができる。浮動拡
散領域37から供給されるゲートを具備したMOSトラ
ンジスタ36からのソース・ホロワ出力が示されている
が、Cレジスタ33から信号を取出すための他の周知の
方法を使用することもでききる。
この発明に得に重要な第4図のCCDイメージヤの第1
の点は、ドレン38がBレジスタ32の径の0番の列の
電荷転送チャンネルを終端している点であり、第2の点
はドレン39がBレジスタ32の後の(M+1)番の列
の重荷転送チャンネルを終端している点である。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明を具体化するように修正された電気−
光学信号プロセッサの機能図、第2図は第1図に示す形
式の電気−光学プロセッサで使用するためのこの発明に
よって構成されたCCDイメージヤの平面図、 第3図はこの発明を具体化するように修正されたテレビ
ジョン・カメラの機能図、 第4図は第3図に示す形式のテレビジョン・カメラで使
用するためのこの発明によって構成されたフィールド転
送形式のCCD、イメージヤの概略平面図である。 11・・・イメージ・レジスタ、12・・・出力レジス
タ、14・・・浮動拡散領域、20、21・・・ドレン
領域、31・・・Aレジスタ、33・・・Cレジスタ、
37・・・浮動拡散領域、38、39・・・ドレン。 特許出願人 アールシーエー コーポレーション代 理
 人 清水 哲  ほか2名 手続補正書(自発) 昭和58年11月18日 特許庁長官  若杉和夫 殿 1、事件の表示 特許願昭58−140462号 2、発明の名称 CCDイメージャ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 アメリカ合衆国 ニューヨーク州10020ニュ
ーヨーク ロックフェラー プラザ30名称 (757
)アールシーエー コーポレーション4代理人 住所 郵便番号651 神戸市中央区雲井通7丁目1番地1号 神戸新聞会館内 電話(078)251−2211氏名
(5376) 清水哲 住所 同上 氏名(6299)田中浩 住所 同上 氏名(6229)荘司正明 5 補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」および「発明の詳細な説明
」の各欄。 6 補正の内容 (1)特許請求の範囲別紙のとおりに補正します。 (2)明細書を次の正誤表の通りに訂正します添付試料 特許請求の範囲 以上 Endpage:6 特許請求の範囲 (1)並列−直列の変換を行なうCCD出力レジスタと
: 各々連続するK段の電荷シフト段を含む並列の配列とし
て配置された少なくともM+2の電荷転送チャンネルを
有するCCDイメージ・レジスタとを有し; 上記CCD出力レジスタは、ある段から次の段へ電荷を
移動させるためにくり返しクロックされるM段の電荷シ
フト段を含み、重荷パケットは上記しジスクのクロック
のくり返し休止期間中、各レジスタ段に並列に入力され
、上記CCD出力レジスタは更に最後の電荷シフト段か
ら移動させられる電荷パケットから取出された信号が出
力される出力段を含み、 上記電荷転送チャンネルは一連の並列に供給される電荷
パケットを発生することに同期してくり返しクロックさ
れ、CCDイメージ・レジスタは、上記並列の配列に照
射される光周波数幅射エネルギ影像の光変換によって、
上記クロックの休止期間中、同期して電荷パケットが電
荷シフト段の部分で発作される形式のものであり: さらに上記M+2の電荷転送チャンネル並列配列の中間
に配置されたM個の電荷転送チャンネルの各出力から電
荷パケットを、上記CCD出力レジスタの電荷シフト段
の各々に並列的に供給する手段と; 上記CCDイメージ・レジスタ中の残りの電荷転送チャ
ンネルの各出力からの電荷パケットを棄てるための手段
と: を有するCCDイメージヤ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)並列−直列の変換を行なうCCD出力レジスタと
    ; 各々連続するに段の電荷シフト段を含む並列の配列とし
    て配置された少なくともM+2の電荷転送チャンネルを
    有するCODイメージ、レジスタとを有し; 上記CCD出力レジスタは、ある段から次の段へ電荷を
    移動させるためにくり返しクロックされるM段の電荷シ
    フト段を含み・電荷パケットは上記レジスタのクロック
    のくり返し休止期間中1各レジヌタ段に並列に入力され
    ・、上記CCD出力レジスタは更に最後の電荷シフ1一
    段から移動させられる電荷パケットから取出された信号
    が供給される出力段を含み・ 上記電荷転送チャンネルは一連の並列に供給される電荷
    パケットを発生することに調和してくり返しクロックさ
    れ、CCDイメージ・レジスタは、上記並列の配列に照
    射される光周波数幅剤エネルギ影像の光変換によって、
    それと調和して上記クロックの休止期間中、電荷パケッ
    トが電荷シフト段の部分で発生される形式のものであり
    ;さらに上記M+2の電荷転送チャンネル並列配列の中
    間に配置されたM個の電荷転送チャンネルの各出力から
    電荷パケットを、上記CCD出力レジスタの電荷シフト
    段の各々に並列的に供給する手段と; 上記CCDイメージ・レジスタ中の残りの電荷転送チャ
    ンネルの各出力からの電荷パケットを棄てるための手段
    と; を有するCCDイメージヤ。
JP58140462A 1982-11-30 1983-07-29 Ccdイメ−ジヤ Granted JPS59106149A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/445,549 US4528596A (en) 1982-11-30 1982-11-30 Suppression of edge effects arising in CCD imager field registers
US445549 1982-11-30

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