JPS59106148A - 固体撮像装置及びカメラ - Google Patents

固体撮像装置及びカメラ

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JPS59106148A
JPS59106148A JP57216391A JP21639182A JPS59106148A JP S59106148 A JPS59106148 A JP S59106148A JP 57216391 A JP57216391 A JP 57216391A JP 21639182 A JP21639182 A JP 21639182A JP S59106148 A JPS59106148 A JP S59106148A
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Takao Kinoshita
貴雄 木下
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/148Charge coupled imagers
    • H01L27/14868CCD or CID colour imagers

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、固体撮像素子、特に、カラー撮像信5ラーを
得るのに好適な固体撮像素子に関する。
(従来技術) 従来、固体撮像素子を1つ若しくは2つ用いて3色以上
の色信号によるカラー撮像信号を得る場    ・合に
はストライブ状若しくはモザイク状のカラーフィルタ等
の色分離の為の光学部材を介して撮像素子の撮像部に光
を受ける事によって、各色に対応した電気情報を各画素
に形成し、この各画素の電気情報を共通の転送路を介し
て時系列的に読み出す様に構成している。
第1図は、従来から知られている固体撮像素子の−例を
小1しも(ハC1)し−ノ)1・二・ンスノ、  、1
llj(FT’)(シ CD   (Ch Llrge
  Coupled  Device) に −−ン 
い−ζ、l<1−ものであζ″)6 It;)t■;1蒙%jl(てあっ−C抄成の光ri−
変換用の画集のII及びタリに治った配列により構成さ
れ−Cいる。21」メモ1j一部てあって撮像部1の各
画素の電荷↑−5報を夫々・記t(τ7−る為の部分で
ある。3は読み出し川の転送路とじ−Cの水平シノトシ
・マスタ′Cあって、メモリ一部2の情報を1水平ライ
ンずつ取り込み、そしてこのジイン情報を水平力向に転
送する小により点11111 次の信t3を得る。
従って、例えば、第2図の様な色分離用のス)・ライブ
状のカラーフィルターを撮像部1の前面に設け、R(赤
)、G(緑)、B(青)の各色フィルタ8[(のピッチ
を前記撮像部1の各画素ピッチに−・致させれば、各列
の画素は各色に対1心した(Fμ3を形成するので、水
平シフトレジスタ3がらは点順次の色信VJが得られる
この様にしてl) I:)れた各色信号は第3図に示す
ような侶月処理系により、例えば、NTSC信じ(−変
換される。
Illら、CCI)のアンプ4がトら出力J\れる点m
ri次撮像出カイ、昂は先ず3個のリーンプル′オ<−
ルト回路5−・7から成る侶X5ニー分I雄回路8にお
いてイ仝色イ、j−冗かサンプルポール;・されて、赤
色+7’−M′−J、 )ΣI9、緑色イ1.i”[:
’ IシG、及υ青色(、;υE Bに分離される。6
色イ11弓ER,EG、E111よ夫/l[丁丁変利イ
4ノアンプ9〜11においでレヘル調整1されてホワイ
トバランスが」ントlニア −71される。そして、レ
ヘル調整されj−各色イ1−1弓はクランプ回路、γ抽
1ト回路、アバ・−チャー抽車回路等を含むプロセス回
路12〜14においで人々処理された後、マトリクス回
路15におい−Cん11瓜イ、■□シJと色差帖シ」に
変換され、エンコーター16ζこよって、例えi、f’
、 N ’rS C侶ぢtこ変換される。
この様な構成にすると、先ず水i+・シフ)・レジスタ
3は3原色を+ur*次読み出す711:になるので、
各7?3.58 MHzのキャリアに乗せてn’J”j
、み出す為には3.58M1−1z X 3 = 10
.74 MHz (r:rりT3 、りT!!A動しな
けれIJならないことになるが、しかし、クロ〉41周
波数を高くすると転送効率が低下するのと、消費′1b
力か犬になる為、水平−シクト1/ジスタの画素数、即
ち、撮像部1の水平方向の画素数を増大するJA合の障
害となっていた。
(目的) 本発明はこの様な従来の固体撮像素−1′の欠点を解消
し得る改y1されたカラー撮像になj′適な固体撮像素
子を提供する東を目的としたものである。
本発明の他のII的は色信すを良好番ご分離し−C泊核
的に得る事の出来る固体撮像素子を提供する・lfにあ
る。
本発明の他の[1的は2ノイスの少ない、又、t M・
レジスタを低速駆動L #IIる、従って転送効率の良
い固体撮像素子を提供する事にある。
(実施例) 以ド実施例に基づき本発明の詳細な説明する。
第4図は未発明番こ係る固体撮像素子の構成の一例を示
す図て、撮像部の前面には第2図の様な色分囚のための
カラーストンイプノイルタか貼イ・Jけられる。31〜
3;3は夫ノl!k」lシフI・レジスタ、51・〜5
3は本発明に従って水平ジノ]・レソ、ズタ31−33
での重荷の水・t・−中1.Jス1(lrに名水11し
パ/ス′)31.37.33を夫々側のものに対してア
・イソし・−)・する7ン、5に各水中し・ンスノ73
1,32゜33 +、m JJ L i Iイソ ;i
Q 、されたffMI iJ[l−i;1能なアイツレ
−1・、・”l(1,17IIIメモリ一部2と3つの
水・11う・〕訃レしス々31〜33との間1こ設げら
れ、メモリ一部2の最終の1水中−ラインの中に含まれ
る3色の情報なコ3つの水中シフ]・レジスタ31〜3
3の人・′/iこ1、Ll、、り分くtで人力させる1
jのいわば、電荷の並タリー的列吏換を七う分1情人力
部、41〜43は夫/ン市、(11j市圧変換ア゛/プ
である。
この様に木実施例では読め出し様の転送路としての水−
1・−ジットL/マスタを青ようとする色イ1、りのJ
φ・類に151〕で3木(31〜;33)設け、各色に
対1j心した取前を人/、−にり!川の水トシフト[/
ラスタ31.32.33iこ振り分(jて人力しで、読
み出tイ、1に構成している。
1〕)−ンで、各色の仏g、1. (コイ1水平し/パ
ンス;’−’ 31 。
32.33−C実賀自勺番こザンズリソクされ、−7ン
プ41.42.43からは各色信号が夫々分N[されて
出力される。
尚、本実施例の撮像素子の最下端部、即ち、水平シフト
レジスタ31の下側に隣接した電荷クリアゲートCLを
介して電荷クリアドレインCDが設けられており、ドレ
インCDには電源レベルが接続されている。
次に第5図は第4図示の撮像素子の要部の電極・構成を
示すものであって、図ではメモリ一部2の下端以下、3
木の水平シフトレジスタ31〜33まての部分が示され
ている。
図中、斜線部はチャネルストップであり、CEはクリア
ゲートCLの電極、31E〜33Eは夫々水平シフトレ
ジスタ31〜33の各転送電極、51E〜53Eは夫々
アイソレート部51〜53の各制御電極、17Eは分離
入力部17の転送電極、2Eはメモリ一部2の転送電極
である。尚、各水平シフトレジスタ31,32.33の
転送電極31E、32E、33Eは図示の如く各水平レ
ジスタ31,32.33中で分離して形成されているが
、勿論、これらはA立県等、周知の手段により各水平レ
ジスタ31,32.33毎に共通接続されているもので
ある。
尚、本実施例では1相駆動で転送するように構成されて
いるがこれは2相でも3相でも更には4相でも差し支え
ない。
図中、A、B、C,Dで示した部分の1組を以って単位
セルを構成しており、A−Dの各部分の電位をP (A
)〜P (D)と表わすものとすれは、P (A) >
P (B)となる様にイオン注入等により仮想電極(V
irtual Phase)が形成されており、電位レ
ベルが固定されている。又、各電送電極下の部分C,−
Dの電位は常にp (c) >P (D)となる様に、
矢張り設定されており、各電極にロウレベルの電位が印
加された時にはP (A) >P (B) >P (C
) >P (D)となり、ごウレベルの電位が加わった
時にはP (C)>P (D) >P (A) >P 
(B)となる様に構成されている。因みに、ポテンシャ
ルで表わせば、電位P (A)〜P (D)の場合とは
逆の関係となる。
尚、φl〜φ3は電極31E〜33Eに印加されるクロ
ックパルス、φTは電極17E、51E〜53E及びC
Eに印加されるクロックパルス、φSは電極2Eに印加
されるクロックパルスである。
第6図(a)及び(b)は夫々垂直転送のクロックタイ
ミング及び水平転送のタイミングを示すものである。
又、第7図は前述の本発明に係る撮像素子の一実施例を
用いたカラー撮像システムの概略を示すブロック図で、
18は制御手段としてのドライ7へ−であって、第6図
(a)及び(b)に示す如きクロックパルスφI、φS
、φ丁、φl〜φ3を供給する。尚、φ■は撮像部lの
電極に印加されるクロックパルスである。19は基準信
号発生器である。図からも明らかな如く、本構成では各
色情報を分離する為のサンプルホールド回路が省略され
簡単な構成となっている。
第5図に示した構成の動作について説明すると、第6図
(a)の如、く\電荷の、撮像部1からメモリ一部2へ
の垂直転送の際は垂直同期信号■。
5YNCにほぼ同期して、期間t、〜L2の間にクロッ
クパルスφI、φS、φTとして、互いに同期したほぼ
同位相のクロックパルス(但し、図示の如く、クロック
パルスφSだけは他のクロックパルスに対して若干先行
している。)を少なくとも撮像6B1の垂直画素数と同
じ数だけ供給する事により、メモリ一部2に残っていた
電荷をアイソレート部51〜53、水平レジスタ31〜
33、クリアゲートCLを通じてクリアトレインCDに
捨てると共に、撮像部1の電荷をメモリ一部2に移送し
、記、憶する。その後、第6図(b)に示す如く、時刻
t3以降においてメモリ一部2の最終行の蓄積電荷情報
を1ラインずつクロックパルスφSによりシフトすると
共にクロックパルスφTを図示の如く供給する事により
水平方向の情報を分離入力部17及びアイソレータ51
〜53及び3木の水平シフトレジスタ31〜33の夫々
に3画素毎に振り分けて入力し、更に、時刻t4以降に
谷本Xp (う;くど731,3ンく、33にり[Jヅ
タバ−[スψL 、φ、・、φ3を図71’<の如<1
クイIJJ−揉るJsによりEの情(′μを順次読み出
す。
、二、−で、特C1111[刻t4う〜・t4間の動イ
′1、即ち、メモリ一部2の最終の1ラインの情報を分
PM入力1″X1+ 1.7及びアイツレ−1一部51
〜5:3を通しで、−3木の水−1ノシフトし・マスタ
31〜33の夫々に適宜振り分けて人力する際の動作に
ついて第°5図及び第6図(b)を参11すし乍ら、i
’/シ<説明する。尚、1)(1中の為、第5図中、I
 、 II 、及びIllで示すメモリー’−r:B 
2の3つの列に於ける′Ili: (7Xr情報の移動
についてのみ説明するが、もとより、同様の動作か他の
各組(3列1組)の各列に於いても同蒔に慈起されてい
るものであるqlyは几う迄もない。
先ず、水平同期信じ−H、S Y N Cにほぼ回期し
て11ν刻L3に於てクロックパルスφ丁がハイになる
と、メモリ一部2の最終の1ライン中の116゜117
、1113の部分に蓄積されでいた電荷か人々分屋入力
部17中の111.114.115で示す部分に移動し
、その後、このクロックパルスφTかロウになると、こ
、ttらIll、 114. lHiの::++分番、
゛移った゛屯イ1(■は更に人)/ 110.113.
108 T小ず部分に移動する。次いて、2つ[[の、
クロックパルスφTか1;イ1リ−さねると、分画入力
部17の106の部分番こあった電荷、即し、当初、メ
モ1)−yr++ 2のIて示1−り(Iの11)II
の部分番こ蓄積されていたIl!、前がアイツレ−b 
yXg 53の105で示す部分を通して水平レジスタ
33の104で示すtfl!分に移動し、また、この時
、分離入力i’iB l 7の111.114の?′イ
1(分にあった電荷か夫)z 109. +12で示す
部分を通じて108.106で・■\ず部分番−移動す
る。次いで、3つ11のクロックパルスφTか1(IJ
す、されると、水平レジスタ33の104のrjB分に
あった電荷がアイソレート部52の103で・「、すB
)(分を通して水平レジスタ32の102で小ずτ(b
力に移動すると」丸に、分離入力部17の106の部分
にあった電荷、即ち、当初、メモリーi;]12の]1
て小す夕1jの1. l 7の部分に蓄JJ’、Lされ
ていた′1Fし荷かアイツレ−1・部分5:3の105
で示す″部分を通じて水平しマスタ33の104で示す
部分に移動し、また、この(Hh、分順入カフ:H17
の108のrjト分にあっl−電荷か107で示す部分
を通じて106で・Jクス部分に移動する。次いで4つ
1−1のクロックパルスφTが1(イ(与されると、木
」iレジスタ32の102のfif1分にあった゛電荷
がアイツレ−I一部51の101で示す部分を通して水
中レジスタ31の100で示す部分番こ移動し、ここで
蓄積されると共に、水中レジスタ33の104の部分に
あった′電荷がアイソレート部52の103の部分を通
じて水−・(・レジスタ32の102のt″イ1分に移
動し、ここてに・積され、そし、て、この時、分NF入
力部17の1013の部分にあった71i荷、即ち、当
初、メモリ一部20illで示す列の1.16の部分に
蓄積されていた′電荷かアイソレート部53の105て
示す部分を通じて水平レジスタ33の104の部分に移
動し、ここで蓄積される。
以上の様番こし7て、メモリーr:++ 2の最終のI
ニラインにM−植されていた電荷は分離人力部17を介
する事により列1 、 if 、 Illの名グループ
% +こ専用の水中うフ]・レジスタ31〜33に夫7
7分配されて人力される。従って例えばf(、G 、 
Bのストライプフィルターを、列IのグループかI)、
列I(のグループかG、夕)]1HのグループかBに対
1+1、するよう貼イ・j(−すると、水平レジスタ3
jには■(、木−11i: (、・シスタ32じはG、
水中レジスタ33にはBに附記。
したj1!、荷か蓄積される。
妃の後、1)5刻t4以降に名水中レジスタ3】。
32.33に人力され?:?li荷か沫ノ?クロンクツ
々ルスφ1〜’b、を附5されることしこより読み出さ
れてい(か、この11−、クロツクパルスφTかロウ(
こMllt Jlされるためにアイソし・−1・i”;
851〜53は何れもバリアとり、て機能し、従って、
各水1Ilvシスタ31,32,33ての′iL荷の水
平転送に際し、省水へ(l−1,ジスタ31,32.3
3間での電荷のイ1巳人か良好(−防1トされる様にな
る。
そこで、水平し・マスタ31〜33を通してのメモり一
部2の1水中−ライン分の′IL何の読み出j7が、柊
rすると、第6図(b)に小側様に、メモリ一部2に幻
してクロツクパルスψSか1(イ1与されて、看水・)
・ティンの7シト積′屯荷が1水トライン分、1F直力
回番二社・動J−る小(JよりlIA終の1ライン番こ
liたな市荷が取り込まれ、しかる後、上述の時刻t3
〜t4間の動作が行われる事によりこの新たなlライフ
分の蓄積電荷が水平レジスタ31〜33に分配して入力
される。
以」二の様な動作を繰り返し行う事によりメモリ一部2
の全てのラインの蓄積電荷が各色毎に分離されて読み出
される様になる(第6図(b)の○UTI−OUT3)
尚、上記実施例では水平レジスタ31〜33に於ける入
力電荷の水平転送に際し、第6図(b)に示す如く、各
レジスタ31,32.33に対するクロックパルスφ1
 、φ2 、φ3.の位相を異ならしめて3色の信号が
異なった位相で得られる様にしているが、もとより、こ
の時のクロックパルスφl〜φ3の位相をそ・ろえて、
3色の信号が同相で得られる様にしても良いものであり
、後の信号処理との関係で3色の信号の読み出し方は任
意に選択出来るものである。
さて、以上に説明した実施例にあっては、撮像部lの1
水平ライン分の情報を3分割して夫々を3木の水平レジ
スタ31〜33の夫りで分担し・て読み出すものである
から、撮像部1の水平方向の画素数に対し水平レジスタ
31〜33の各構成ビyト数は大略】/3で済み;従っ
て、夫々にトイ]与すべきクロックパルスφ1〜φ3の
周波数を大略1/3に出来る事になり、これにより省電
力化と共に、ノイ只の低減、転送効率の向上が可能とな
り、且つ、アイソレート部51〜53により電荷の水平
転送時の各水平レジスタ31,32゜33間での電荷の
混入等も防止され、良好な読み出し信刊が得られる。
尚、実施例としてはフレームトランスファー型CODに
ついてのみ述へたが、インターライン型のCCDやCP
 D (Charge Priming Device
)にも全く同しように適用しうる車は言うまでもない。
又、水平シフトレジスタは色分離フィルター等の色分N
[の為の光学部材により分離された各色についての電荷
を夫々別々に取り込んで読み出す為のものであって、色
分離フィルターとしては補色フィルタ等の組み合わせを
用いても良いことば言うまでもない。又、スI・ライブ
状のカラーフィルターでなくてモザイク状のカラーフィ
ルターであっても良い。
又、水平レジスタは3木でなくても2本にし、色信号を
分離して各水平レジスタに収納するだけでも水平レジス
タに対するクロックパルスのクロ・ンク周波数を半分に
出来るものである。勿論色分離光学部材による分離色が
3色以上あればそれに応じて水平レジスタを3本以上に
しても良い。
又、本実施例では不要電荷クリアの為にクリアドレイン
CDやクリアゲートCLを設けたが、これらがなくても
色情報の分離は可能である。尚、水平レジスタ31〜3
3に対する分離入力部17はゲート電極により構成して
も良い。
(効果) 本発明の固体撮像素子によれば各色信号を分離する為の
サンプルホールド回路が不要若しくは極めて簡素化され
るので信号処理系の構成が簡略化され、しかも、各色情
報を読み出す際の各色情報間での混合の問題も十分に回
避されて、良好な色情報を44Fる事か出来る様になる
。又、各水乎読み出し部の読み出しクロック周波数を大
幅に低減する小が出来るので撮像部での水平方向の画素
数を増大しても転送効率を良好に保持出来、又、ノイズ
を低減化出来ると共に、省電力化も図れる等、多くの効
果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のフレームトランスファー型CODの構成
図、 第2図はストライブ状カラーフィルターの例を示す図・ 第3図は従来のカラー撮像信号の処理系の構成例を示す
図、 第4図は本発明に係る固体撮像素子の一実施例を示す図
、 第5図は第4図示素子の要部の構成図、第6図Ca)及
び(b)は夫々類素子の垂直転送タイミング及び水平転
送タイミングを示す図、第7図は前記素子を用いたカラ
ー撮像システムの構成の一例を示す図である。 1−−−撮像部、r)−−−ス+リ 部、1.7−−−
−分画入力部、331〜33−−−−i−1っ7.み出
[一部(水中ビ、〕[・し−うスタ)  、  51−
53−−−−アfソL、−1・部、41〜43−−−−
出力ア゛2プ。 出願人  ギヤ、ノ ン株式会ン1 己ミ1.;Iお

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)入射光を複数種の着色光に分離する色分離光学部
    材を介して受光することにより夫々の着色光に相応した
    電気的情報を形成する撮像部と、該撮像部で形成された
    該電気的情報を読み出すための複数の読み出し部と、該
    撮像部で形成された該電気的情報を各着色光の種類毎に
    、前記読み出し部の夫々に振り分けて入力するための入
    力部と、各読み出し部での情報の移動に際し、各読み出
    し部を夫々他伜魂に対してアイソレートするためのアイ
    ソレート部とを具えた固体撮像素子。
  2. (2)夫々入用光に一相応した電気的情報を形成する行
    及び列に沿った画素の配列を有する撮像部と、該撮像部
    で形成された電気的情報を読み出すだめの少なくとも3
    つの読み出し部と、該撮像部に於ける画素の配列をその
    列に関して少なくとも3つの群に分割し、前記電気的情
    報を各群毎に、前記読み出し部の夫々に振り分けて入力
    するための入力部と、各読み出し部での情報の移動に際
    し、各読み出し部を夫々他に対してアインレ−1・する
    ためのアイソレート部とを具えた固体撮像素子。
JP57216391A 1982-12-07 1982-12-10 固体撮像装置及びカメラ Granted JPS59106148A (ja)

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JP57216391A JPS59106148A (ja) 1982-12-10 1982-12-10 固体撮像装置及びカメラ
US06/474,048 US4513313A (en) 1982-12-07 1983-03-10 Solid state imaging device
GB08332366A GB2134347B (en) 1982-12-07 1983-12-05 Solid state image pick-up arrangement
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