JP2871741B2 - 固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents
固体撮像装置の駆動方法Info
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Description
光部に適用したインターライントランスファ方式の電荷
結合型固体撮像装置で露光し、該露光によって受光エレ
メントと感光部に発生した信号電荷を面順次に読出すた
めの駆動方法に関する。
電荷転送エレメントを感光部に適用した電荷結合型固体
撮像装置として、本発明者が特願昭和63−169052号、特
願昭63−173658号などに於いて開示したものがある。
明すると、行方向(図の縦方向)及び列方向(図の横方
向)に沿ってN行M列の多数の受光エレメントがマトリ
クス状に配列され、行方向に並ぶ各受光エレメント群に
隣接するM本の垂直電荷転送路l1,l2,l3……lMが形成さ
れている。受光エレメントはフォトダイオードで実現さ
れており、夫々の上面には緑の分光特性を有するモイザ
イク状カラーフィルタ(図中の符号Gで示す)と青の分
光特性を有するモイザイク状カラーフィルタ(図中の符
号Bで示す)が交互に配列され、垂直電荷転送路l1,l2,
l3……lMの上面には赤の分光特性を有するストライプ状
のカラーフィルタが積層されている。そして、図中の斜
線領域で示すチャンネルストップにより、トランスファ
ゲートとなる部分を除き、上記各受光エレメント及び垂
直電荷転送路が分離されている。
て並ぶ受光エレメント群に対応して列方向へ延びるN個
の転送電極g1〜gNが行方向へ並設され、図中の上から奇
数行目の転送電極g1,g3,g5〜gN-1に2相駆動方式の一方
の駆動信号φV1が印加され、偶数行目の転送電極g2,g4,
g6〜gNに2相駆動方式の他方の駆動信号φV2が印加され
る。
れたトランスファゲート(図中のTG1を代表して示す)
を制御信号φPに同期して導通又は非導通の制御を行う
ためのゲート電極(図中の一点鎖線で示す)が積層され
ている。
(a)に示すように成っている。即ち、第6図(a)は
第4図のX−X線における転送電極g1〜g6に対応する部
分の断面構造を代表して示しており、各転送電極に対応
する転送エレメントは基板の不純物濃度と同じ部分と、
イオン注入によって高濃度化された部分から成ってい
る。
に均一の電圧を印加しても、各電荷転送エレメントには
一対ずつのポテンシャルレベルの差が発生する。尚、第
6図(b)は露光時でのポテンシャルプロフィールを示
し、深いポテンシャル井戸に各赤の画素信号に相当する
信号電荷が集積することとなる。
介して水平電荷転送路が形成されている。
転送エレメント群に垂直電荷転送路l1〜lMの最終の電荷
転送エレメントが接続し、2相駆動方式の駆動信号
φH1,φH2が印加されて信号電荷を図中の左方向へ転送
するための転送電極が積層されている。
形成されている出力アンプでインピーダンス変換を行う
ことにより、信号電荷を電圧又は電流の色信号にして出
力する。
トに基づいて説明する。
とにより垂直電荷転送路の各電荷転送レベルを第6図
(b)に示すポテンシャルに設定して適宜の期間露光を
行い、被写体光学像に対応する信号電荷を各受光エレメ
ント及び感光部で集積させる。露光完了時点を第5図の
t0とし、信号読出しを同時点t0から開始するものとして
以下説明する。
信号電荷を第1の期間T1において読出し、次に、青の信
号電荷を第2の期間T2において読出し、最後の期間T3で
青の信号電荷を読出す所謂面順次走査読出しを行う。
尚、ゲート電極CHは、所定のタイミングのゲート制御信
号φGに同期して電荷転送路を導通にすることにより、
垂直電荷転送路から転送されてくる信号電荷を水平電荷
転送路へ転送する。
方式のブランキング期間に相当する期間t0〜t1におい
て、垂直電荷転送路l1〜lMを最終端の感光部に集積して
いる赤の信号電荷を駆動信号φV1,φV2に同期して水平
電荷転送路へ転送し、次の1水平走査期間t1〜t2におい
て水平電荷転送路が駆動信号φH1,φH2に同期して水平
電荷転送することにより、1水平ライン分の赤に関する
色信号を読出し、各画素に対応して読み出される順番
で、図示しないA/D変換器により複数ビットのデジタル
信号に変換して、RAMなどで構成されたメモリ装置(図
示せず)に記憶する。
に示すように各電荷転送エレメントのポテンシャル井戸
に集積された信号電荷Q1,Q2,Q3……QNは、期間t0〜t1の
転送動作時に第6図(c)に示すように相互に隣合う同
士で混合されて全体的に1水平ライン分だけ転送され、
期間t1〜t2の読出しにおいては第4図に示す転送電極gN
及びgN-1下の横M列分の感光部に蓄積されていた赤の信
号電荷(例えば、第1列目ではQN-1+QN)が読み出され
る。
(d)に示すように第2回目の垂直電荷転送が行われ、
次の水平走査期間t3〜t4で、転送電極gN-2及びgN-3下の
横M列分の感光部に蓄積されていた赤の信号電荷(例え
ば、第1列目ではQN-2+QN-3)が読み出され、同様にし
てメモリ装置に記憶される。以下、赤に関する全ての色
信号の読出しが完了するまで同様の処理が繰り返され
る。
t5とする)、次に、青の色信号が読み出される。即ち、
まずブランキング期間t5〜t7において、駆動信号φV1,
φV2に基づいて垂直電荷転送路が1水平ライン分の電荷
転送動作を行うと同時に、一方の駆動信号φV1が“H"レ
ベルになるのに同期してゲート信号φPを“L"レベルに
する(時点t6)ことにより青に関する全てのトランスフ
ァゲートを導通状態にして、それらの受光エレメントの
信号電荷を隣の垂直電荷転送路の所定の転送エレメント
へ移す。そして、次の水平走査期間t7〜t8において、水
平電荷転送路が1水平ライン分の水平電荷転送を行い、
青の色信号データを記憶するためのメモリ装置に順次記
憶する。ただし、ブランキング期間t5〜t7においては、
第4図中の偶数行目に位置する青の受光エレントの信号
電荷が同行目の転送電極g2,g4〜gNの下の電荷転送エレ
メントに移るだけであるので、期間t7〜t8において出力
される信号は画像に関係の無い無意味な情報である。
V1,φV2に同期して1水平ライン分だけ全体的に電荷転
送することにより、第N行目の青の受光エレントに係る
色信号を水平電荷転送路へ転送し、次の水平走査期間t9
〜t10において水平読出しが行われる。
ての色信号を読出すと共に、メモリ装置に記憶する(時
点t11において、読出しが完了するものとする)。
信号が読み出される。即ち、まずブランキング期間t11
〜t13において、駆動信号φV1,φV2に基づいて垂直電荷
転送路が1水平ライン分の電荷転送動作を行うと同時
に、他方の駆動信号φV2が“H"レベルになるのに同期し
てゲート信号φPを“L"レベルにする(時点t12)こと
により緑に関する全てのトランスファゲートを導通状態
にして、それらの受光エレメントの信号電荷を隣の垂直
電荷転送路の所定の転送エレメントへ移す。そして、次
の水平走査期間t13〜t14において、水平電荷転送路が1
水平ライン分の水平電荷転送を行い、緑の色信号データ
を記憶するためのメモリ装置に順次記憶する。ただし、
ブランキング期間t11〜t13においては、第4図中の奇数
行目に位置する緑の受光エレントの信号電荷が同行目の
転送電極g1,g3〜gN-1の下の電荷転送エレメントに移る
だけであるので、期間t13〜t14において出力される信号
は画像に関係の無い無意味な情報である。
φV1,φV2に同期して1水平ライン分だけ全体的に電荷
転送することにより、第N−1行目の緑の水平エレント
に係る色信号を水平電荷転送路へ転送し、次の水平走査
期間t15〜t16において水平読出しが行われる。
ての色信号を読出すと共に、メモリ装置に記憶する(時
点t17において、読出しが完了するものとする)。
を行うことにより、1フレーム画相当の色信号データを
得ることができる。又、垂直電荷転送路も感光部として
いるので、フォトダイオードで形成された受光エレント
の開口率を向上させたり、全体の画素数を増加させるこ
とができる等の特徴を有している。
る駆動方法によれば、次に述べる色ずれを招来する問題
があった。
緑に関する第1回目に読み出されるデータは無意味な情
報であり、したがって、第7図に示すように、各色ごと
に設けられたメモリ装置には、赤に関する色信号データ
は先頭のメモリアドレスADR=1から順次に格納される
のに対して、青と緑に関する色信号データは1水平ライ
ン分(即ち、ADR=1〜M)だけずれたメモリアドレスA
DR=M+1から順次に格納される。尚、第7図中の各メ
モリアドレスに示したSR(i,j)は赤に関する色信号デ
ータ、SB(i,j)は青に関する色信号データ、SG(i,j)
は緑に関する色信号データを示すものとする。尚、符号
i,jは任意の自然数である。
らメモリアドレス順に各色信号データを読出すと、第7
図から明らかなように、赤の色信号データと青及び緑の
色信号データが1行分(即ち、1画素分)のずれを生じ
ることなり、色ずれの原因となる。即ち、色再現を行う
には、例えば第8図(a)に示すように、相互に対向関
係にある最も近接した空間領域中にある受光エレメント
及び感光部ごとに発生した3種類の色信号データで再現
しなければならないが、従来の駆動方法によれば第8図
(b)に示すように、ずれた関係となるので、メモリ装
置から順次に読み出した赤、青、緑の色信号データ順に
色再現処理を行うと色ずれを発生する。
基づいて説明した従来例では、第4図に示すように奇数
行に位置する転送電極g1,g3,g5……gN-1に、φV1の駆動
信号、偶数行に位置する転送電極g2,g4,g6……gNにφV2
の駆動信号を印加しており、更に、第9図(a)に示す
ように、各ブランキング期間では駆動信号φV2を先に
“H"レベルにしてから、次に駆動信号φV1を“H"レベル
にして垂直電荷転送を行うので、第6図(c)に示すよ
うに、(Q1+Q2),(Q3+Q4),(Q5+Q6),……,
(QN-1+QN)の組み合わせで混合された信号電荷が赤に
関する各画素ごとの色信号として読み出される。
各ブランキング期間において駆動信号φV1を先に“H"レ
ベルにしてから、次に駆動信号φV2を“H"レベルにして
垂直電荷転送を行うと、第10図(b)〜(d)に示すよ
うに、垂直電荷転送路の各電荷転送エレメントに集積す
る信号電荷は、(Q2+Q3),(Q4+Q5),(Q6+Q7),
……,(QN-2+QN-1)の組み合わせで混合されて読み出
される。
駆動信号φV1とφV2の位相の違いによって赤の画素位置
が半ピッチ分ずれることとなり、もし仮に前述の第1の
問題点が払拭されたとしても色ずれの問題を招来するこ
ととなる。
されたものであり、相互に隣接関係にある受光エレメン
ト及び感光部に発生した色信号データをその空間位置を
崩さずに面順次で読み出すことにより、色再現処理を行
う際に色ずれを発生させないようにする固体撮像装置の
駆動方法を提供することを目的とする。
列方向に沿ってマトリクス状に配列される受光エレメン
ト群と、これらの行方向に並ぶ受光エレメント群毎に隣
接して形成されると共に各受光エレメントに対向する電
荷転送エレメントを感光部とする垂直電荷転送路を備
え、上記受光エレメントと感光部を赤(R)、青
(B)、緑(G)又はそれらの補色の色信号を発生する
エレメントとして配列した電荷結合型固体撮像装置に被
写体光学像を露光し、まず上記垂直電荷転送路に発生し
た信号電荷を垂直電荷転送路に介して出力し、次に上記
受光エレメントに発生した信号電荷を垂直電荷転送路を
介して出力することにより、各色毎に面順次の信号読出
しを行う固体撮像装置の駆動方法において、前記垂直電
荷転送路の感光部に発生する信号電荷の読取りのための
垂直電荷転送を、最初の1水平ライン分だけ停止するよ
うにした。
直電荷転送路の出力側端からの一対ずつの電荷転送エレ
メント毎に集積して転送するように駆動信号を印加する
ようにした。
ば、赤、青、緑の面順次読出しを行っても、最も空間的
に近接した赤、青、緑の画素ごとの配列に対応して各色
信号が読み出されるので、読み出された順番で各色信号
による色再現を行った場合に色ずれを生じることがな
い。
て説明する。尚、本発明の駆動方法を適用する電荷結合
型固体撮像装置の構造は、第3図及び第4図に示すもの
同様のインターライントランスファ方式のものとする。
信号電荷を第1の期間T1において読出し、次に、青の信
号電荷を第2の期間T2において読出し、最後の期間T3で
緑の信号電荷を読出す所謂面順次走査読出しを行う。
尚、ゲート電極CHは、所定タイミングのゲート制御信号
φGに同期して電荷転送路を導通にすることにより、垂
直電荷転送路から転送されてくる信号電荷を水平電荷転
送路へ転送する。
3,g5……gN-1にφV1の駆動信号、偶数行に位置する転送
電極g2,g4,g6……gNにφV2の駆動信号を印加してこれら
の駆動信号に基づいて信号読出しを行う場合の具体的な
タイミングチャートを示す。
ッター(図示せず)を或る露光時間だけ開動作させるこ
とにより、被写体光学像に対する信号電荷を受光エレメ
ント及び垂直電荷転送路の感光部に集積させ、該露光時
間の経過に同期して機械式シャッターを閉動作させる。
この閉動作の完了が第1図の時点t0であるとする。そし
て、時点t0から色信号の読出し処理を開始する。
ビジョン方式のブランキング期間に相当する期間t0〜t1
において、従来とは異なり、第1回目の垂直電荷転送処
理を行わない。
転送路に駆動信号φH1,φH2に同期した水平電荷転送動
作を行わせる。
係わらない無意味な情報データが赤に関するメモリ装置
に記憶される。
送路l1〜lMの最終端の感光部に集積している赤の信号電
荷を駆動信号φV1,φV2に同期して水平電荷転送路へ転
送し、次の1水平走査期間t3〜t4において水平電荷転送
することにより、1水平ライン分の赤に関する色信号を
読出し、各画素に対応して読み出される順番でA/D変換
器(図示せず)により複数ビットのデジタル信号に変換
して、メモリ装置に記憶する。したがって、第2回目の
読出しにおいては、第4図に示す転送電極gN及びgN-1下
の横M列分の感光部に蓄積されていた赤の信号電荷が読
み出されることとなり、更に、期間t2〜t3での電荷転送
では赤の信号電荷は全体的に次のラインへ移動する。
全ての色信号の読出しが完了するまで繰り返す。
t5とする)、次に、青の色信号が読み出される。即ち、
まずブランキング期間t5〜t7において、駆動信号φV1,
φV2に基づいて垂直電荷転送路が1水平ライン分の電荷
転送動作を行うと同時に、一方の駆動信号φV2が“H"レ
ベルになるのに同期してゲート信号φPを“L"レベルに
する(時点t6)ことにより青に関する全てのトランスフ
ァゲートを導通状態にして、それらの受光エレメントの
信号電荷を隣の垂直電荷転送路の所定の転送エレメント
へ移す。そして、次の水平走査期間t7〜t8において、水
平電荷転送路が1水平ライン分の水平電荷転送を行い、
青の色信号データを記憶するためのメモリ装置に順次記
憶する。ただし、ブランキング期間t5〜t7においては、
第4図中の偶数行目に位置する青の受光エレントの信号
電荷が同行目の転送電極g2,g4〜gNの下の電荷転送エレ
メントに移るだけであるので、期間t7〜t8において出力
される信号は画像に関係の無い無意味な情報である。
V1,φV2に同期して1水平ライン分だけ全体的に電荷転
送することにより、第N行目の青の受光エレントに係る
色信号を水平電荷転送路へ転送し、次の水平走査期間t9
〜t10において水平読出しが行われる。
ての色信号を読出すと共に、メモリ装置に記憶する(時
点t11において、読出しが完了するものとする)。
信号が読み出される。即ち、まずブランキング期間t11
〜t13において、駆動信号φV1,φV2に基づいて垂直電荷
転送路が1水平ライン分の電荷転送動作を行うと同時
に、他方の駆動信号φV1が“H"レベルになるのに同期し
てゲート信号φPを“L"レベルにする(時点t12)こと
により緑に関する全てのトランスファゲートを導通状態
にして、それらの受光エレメントの信号電荷を隣の垂直
電荷転送路の所定の転送エレメントへ移す。そして、次
の水平走査期間t13〜t14において、水平電荷転送路が1
水平ライン分の水平電荷転送を行い、緑の色信号データ
を記憶するためのメモリ装置に順次記憶する。ただし、
ブランキング期間t11〜t13においては、第4図中の奇数
行目に位置する緑の受光エレントの信号電荷が同行目の
転送電極g1,g3〜gN-1の下の電荷転送エレメントに移る
だけであるので、期間t13〜t14において出力される信号
は画像に関係の無い無意味な情報である。
φV1,φV2に同期して1水平ライン分だけ全体的に電荷
転送することにより、第N−1行目の緑の受光エレント
に係る色信号を水平電荷転送路へ転送し、次の水平走査
期間t15〜t16において水平読出しが行われる。
ての色信号を読出すと共に、メモリ装置に記憶する(時
点t17において、読出しが完了するものとする)。
を行うことにより、1フレーム画相当の色信号データが
メモリアドレス順にメモリ装置に蓄えられる。
のように、各色ごとのメモリ装置には、いずれの色信号
データも最初の1水平ライン分(即ち、ADR=1〜M)
後のメモリアドレスADR=M+1から順次に格納され
る。
第1列目の垂直電荷転送路l1に係る色信号データを代表
して述べれば、赤の信号電荷を第6図(b)〜(d)に
示したのと同様のポテンシャルプロフィールによって読
み出すこととなるので、第2図の色信号データSR(N,
1)は(QN-1+QN)、SR(N−1,1)は(QN-3+QN-2)、
……、SR(1,1)は(Q1+Q2)の組み合わせの混合電荷
に基づいたデータとなり、他の列の垂直電荷転送路の赤
の色信号データも同様となる。したがって、この具体例
による読出しを行うと、第8図(a)に示すように、相
互に隣接関係にある緑と青の受光エレメント及び赤の感
光部の位置関係に対応した順番で各色信号データがメモ
リ装置に格納されることとなる。
メモリアドレス順に色信号を読み出すと、第3図に示す
相互に隣接関係にある受光エレメント及び感光部に対応
して読み出されるので、順次に色再現処理を行ったとき
に色ずれを生じない。
目の転送電極g1,g3,g5,……,gN-1に駆動信号φV2を印加
し、偶数行目の転送電極g2,g4,g6,……,gNに駆動信号φ
V1を印加する場合の駆動方法を示す。
間において駆動信号φV1が先に“H"レベルとなり、次に
駆動信号φV2が“H"レベルと成ることにより垂直転送を
行う。
により赤に関する信号電荷が第6図(b)に示すように
集積され、更に第6図(c)及び(d)に示すように、
相互に隣接関係にある信号電荷同士が混合されて転送さ
れる。したがって、メモリ装置には第2図に示すのと同
一の配列で各色信号データが保持されると同時に、第8
図(a)に示すように、相互に隣接関係にある緑と青の
受光エレメント及び赤の感光部の位置関係に対応した順
番で各色信号データがメモリ装置に格納されることとな
る。そして、メモリ装置からアドレス順に読み出して色
再現処理を行うと、第4図に示す相互に隣接関係にある
受光エレメント及び感光部に対応して読み出されるの
で、色ずれを生じない。
の感光部に発生する赤に関する信号電荷の読取りのため
の垂直電荷転送処理を最初の1回だけ停止したので、相
互に隣接関係なる赤、青、緑の受光エレメント及び感光
部の配列順に対応した面順次走査読出しを行うことがで
きる。
合の駆動信号を、最も水平電荷転送路に近接する転送電
極に印加する駆動信号から順番に印加するようにしたの
で、必ず、最も空間的に近接した青と緑の受光エレメン
ト及び赤の感光部ごとの色信号が面順次で読み出される
こととなるので、色再現時の色ずれを生じないで済む。
めのタイミングチャート; 第2図は実施例の駆動方法によって読み出される色信号
データを格納するメモリ装置のメモリマップ; 第3図は一実施例の駆動方法の第2具体例を説明するた
めのタイミングチャート; 第4図はインターライントランスファ方式の固体撮像装
置の構造を示す構造説明図; 第5図は第4図に示す固体撮像装置の従来の駆動方法を
示すタイミングチャート; 第6図から第10図は従来の問題点を説明するための説明
図である。 図中の符号; g1〜gN;転送電極 l1〜lM;垂直電荷転送路 CH;ゲート電極 φV1,φV2;駆動信号 φH1,φH2;駆動信号 φP;ゲート信号
Claims (2)
- 【請求項1】行および列方向に沿ってマトリクス状に配
列される受光エレメント群と、これらの行方向に並ぶ受
光エレメント群毎に隣接して形成されると共に各受光エ
レメントに対向する電荷転送エレメントを感光部とする
垂直電荷転送路を備え、上記受光エレメントと感光部を
赤(R)、青(B)、緑(G)又はそれらの補色の色信
号を発生するエレメントとして配列した電荷結合型固体
撮像装置に被写体光学像を露光し、まず上記垂直電荷転
送路に発生した信号電荷を垂直電荷転送路を介して出力
し、次に上記受光エレメントに発生した信号電荷を垂直
電荷転送路を介して出力することにより、各色毎に面順
次の信号読出しを行う固体撮像装置の駆動方法におい
て、 前記垂直電荷転送路の感光部に発生する信号電荷の読取
りのための垂直電荷転送を、最初の1水平ラインの期間
において停止し、次の1水平ラインの期間より行うこと
を特徴とする固体撮像装置の駆動方法。 - 【請求項2】行および列方向に沿ってマトリクス状に配
列される受光エレメント群と、駆動信号に従ってこれら
の行方向に並ぶ受光エレメント群に対向する位置に電荷
転送エレメント群を形成させる転送電極を有すると共に
これらの電荷転送エレメントを感光部とする垂直電荷転
送路を備え、上記受光エレメントと感光部を赤(R)、
青(B)、緑(G)又はそれらの補色の色信号を発生す
るエレメントとして配列した電荷結合型固体撮像装置に
被写体光学像を露光し、まず上記垂直電荷転送路に発生
した信号電荷を転送電極に印加される駆動信号に従って
出力し、次に上記受光エレメントに発生した信号電荷を
垂直電荷転送路を介して出力することにより、各色毎に
面順次の信号読出しを行う固体撮像装置の駆動方法にお
いて、 前記露光により感光部に集積した信号電荷を、垂直電荷
転送路の出力側端からの一対ずつの電荷転送エレメント
毎に集積して転送するように駆動信号を印加することを
特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1227397A JP2871741B2 (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 固体撮像装置の駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1227397A JP2871741B2 (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 固体撮像装置の駆動方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0391390A JPH0391390A (ja) | 1991-04-16 |
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1989
- 1989-09-04 JP JP1227397A patent/JP2871741B2/ja not_active Expired - Lifetime
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