JPS59106129A - 半導体装置選別機用ハンドラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体装置選別機用ノ・ンドラの構造に関す
るものである。

従来の半導体装置選別機用ハンドラは第１図に示すよう
に測定部式により測定され／と半導体装置（以下製品と
いう）を滑落させる垂直な投入シューｌ管１と、基台２
上の同一円周上に設置した多数の収納ビン３，３・・・
と、ホルダ４に傾斜状に固定され、各収納ビン３内に開
口した固定シュート管５，５・・・と、投入シュート管
１の軸芯を中心として１駆動源６により回動さぜられ、
投入シュー　ト管」を滑落する製品を各固定シュート管
５に振り分けて特定の収納ビン３内にイ共給する分類シ
ュート音・７とから構成されている。測定部ＡでｍｌＪ
定された製品は投入シュート管１へ投入された後、分類
シュート管７と該分類シュート管に連通したいずれかの
固定ノコーート管５とを通過して収納ビン３に落下し、
そこに貯留される。、駆動源６の機構は、投入シュート
管１より収納ビン３に至る管路を選別分Ｗ４数の数、例
えば２０前後形成するため、分類シュート管７と固定シ
ュート管５とを急、速にしかも正しく芯合わせする精密
で、かつ複雑な回転位置決め制御を必要とした。又、測
定された製品を正しく振り分けて収納ビン３に落下させ
るためには、投入シュート管１と分類シュー　ト管７と
を製品か通過するための時間０．２秒程度と、分類シュ
ート管７が測定部Ａにより定められた次の固定シュート
管５丑で最大半回転するに要する時間０．３秒程度との
和に安全係数として必要な］２程度を掛けた時間０．６
秒程度を測定時間に加える必要があった。更に、稀れに
ではあるが、製品が変形した＼め、投入シュート管１あ
るいは分類７ユート管７で製品が設定した時間内に通過
せず、指定された収納ビン以外の場所に落下することが
あった。

本発明は前記問題点を解消するもので、測定された半導
体装置を選別して投入シュート管より２以上の収納ビン
の内の特定の収納ビン中に分類貯留する半導体装置選別
機用ハンドラにおいて、投入シュート管及び各収納ビン
間を気密に保たせてそれぞれ別個に連通させる連通管路
と、各連通管路のいずれかを分類信号に従って前記投入
シュート管に接続させる管路切替装置と、収納ビン内を
吸引して投入シュート管より収納ビンに到る特定の連通
管路内に吸引力を生じさせる吸引装置とがら構成し、管
路の切替えに要する時間及び管路中を製品が通過する時
間を可及的短クシ、かつ別種の選別済の製品と混じる恐
れをなくす」＝うにしたことを！特徴とするものである
。

以下、本発明の一実施例を図によって説明する。

第２図において、固定摺動ベース８の」−面に投入／ニ
ー１・管］を垂直に％ｉ立し、該ベース７の下面に、分
＞５’ｔ　（お号によりその待機′位置より投入シュー
１・管１に向けて直線運動する管路切替装置としてのエ
ア７リンダ１０．１０・・を投入ツユ−１−管１を中心
にして放射状に設置し、各エアシリンダ１０のロットに
、ベース８の下面に清って気密に摺動し、かつ前記投入
シュート管１に別個に接続される分類シュートヘッド９
をそれぞれ数句ける。

多数の収納ビン３，３・・・は基台２上の同一円周上に
配置し、クランプ押ねじ］１で収納ビン３の開１」部を
収納ビン蓋部１３の下面にパツキン１２を介して気密に
圧接し、各収納ビン３に対応する蓋部１３に備えた導孔
３ａとシュートヘッド９との間を気密に保／こぜて可セ
′趨クーシュート′１↑１４て結合してその両者間に連
通管路を形成する。さらに、各収納ビン３内に吸引ノズ
ル１５を開口し、該吸引ノズル１５にバルブ］６を介し
て吸引管ヘッダ１７を結合し、さらに該吸引管ヘッダ１
７を吸引管１８に連通させ、吸引ポンプ１９を吸引管１
８に接続する。

第３図（ａ）　、　（ｂ）は収納ビン３内に貯留された
製品を外部に取出す構成を示すものである。収納ビン３
の内壁底部をロート状に絞り、その下部円π）部にこれ
を開閉するシャッタ２ｏを設け、かつ収納ビンの最下部
に集取バック２１を着脱可能に数句ける。図中Ａは半導
体装置を測定する測定部である。測定部Ａからはその測
定結果に基づく分類信号を出力し、選別機のハンドラを
制御する。

実施例において、測定部Ａで半導体装置の測定が行なわ
れるのに伴ない分類信号が出力し、その分類信号に基づ
きエアシリンダ１ｏの一つが作動して特定のシューＩ・
ヘッド９をその待機位置」＝り投入シュート管１側に向
けて直線運動させ、このシュートヘッド９と投入シュー
ト管１との芯合せを行なってその両者を接続する。一方
、投入シュー１・管］に結合されたシュートヘッド９と
収納ビン３とを結合する連通管路内は収納ビン３内を通
して吸引ポンプ１９で吸引されて大気圧より低くなって
いるため、その管路内では上から下に向けて常に吸引力
が加わるような管内流か生じている。

測定部Ａて測定されて半導体装置が投入／ニート管］内
に投入されると、その半導体装置は管路の管内流によっ
て強制的にシュートヘッド９及びシュート管１４を経て
収納ビン３内に急速に送り適寸れて貯留される。又、分
類シュートヘッド９の入口は垂直な投入シュート管１の
出口部に直接気密に接続されるだめ、製品は落下後、例
えば０．１秒程度あれば容易に分類シュートヘッド９に
至りシュート管１４を経て収納ビン３に滑落することに
なり、次の測定筒製品を選別するシーケンスに進むこと
が可能となり、選別機の能力はそれだけ垢１加する。更
に、投入／ニート管］は垂直で且つ短く、そのうえ投入
製品に対しては」二から下方に向けて常に空気圧による
背圧が加わるような管内流かあるので、製品の変形によ
る落下遅れにより誤って別のビンに入ってしまう確率も
従来に比較して１０分の１以下に減少できる。

収納ビン３内か半導体装置で満杯になったときは、バル
ブ１６を閉じて第３図（ｂ）に示すようにンヤツタ２０
を開いて製品（半導体装置）２２を果状バッグ２１に収
納し、新たな空の集収バック２１と取替えてこれを収納
ビン３の最丁部に取イマ１ける。

こヌに、収納ビン３の内壁をロート状にしであるため、
バルブ１６を閉じてシャッタ２０を開けるのみで収納ビ
ン３に貯まった製品２２を短時間に機外に取り出すこと
ができる。

以上説明したように本発明によれば、選別、殿用ハンド
ラの主要構造である分類シュートの切替（（′４造を従
来の回転式構造から、短ストロークの直線運動式構造に
変え、且つ投入製品に常に背圧が加わるような管路の気
密構造と吸引装置とを採用したため、従来に比較して分
類シュートヘッドのストロークが短くなり、管路の切替
え時間を短４ｉｉでき、かつ投入製品に常に吸引力を加
えて収納ビン内に滑落させることになり、収納ビンに送
り込む時間をＩＪ′、υ縮てき、装置の稼動効率を向」
−できる。

さらに投入製品に吸引力を加えているから、変形した製
品でも短時間で収納ビン内に送り込むことかでき、落下
遅れにより誤って別の収納ビン内に混入してし捷うのを
防止できるだめに、誤選別か少ない選別機用ハンドラを
低価格で提供できる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体装置選別機用ハンドラの構造図、
第２図は本発明の実施例を示す構造図、第３図は第１図
の実施例において製品を容易に取り出すようにした収納
ビン部の構造図である。 １・・投入シュート管、３・・収納ビン、９・・分類ン
ユートヘソｌ−１１０・・・エアシリンダ、１４・・可
撓性ツユ−（、％、１９・・・吸引ポンプ特許出願人　
　日本電気株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）測定された半導体装置を選別して投入シュート管
   より２以上の収納ビンの内の特定の収納ビン中に分類貯
   留する半導体装置選別機用ハンドラにおいて、投入シュ
   ート管及び各収納ビン間を気密に保たぜてそれぞれ別個
   に連通させる連通管路と、各連通管路のいずれかを分類
   信号に従って前記投入シュート管に接続させる管路切替
   装置と、収納ビン内を吸引して投入シュート管より収納
   ビンに到る特定の連通管路内に吸引力を生じさせる吸引
   装置とからなることを特徴とする半導体装置選別機用ノ
   ・ンドラ。