JPS5897971A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS5897971A JPS5897971A JP56196061A JP19606181A JPS5897971A JP S5897971 A JPS5897971 A JP S5897971A JP 56196061 A JP56196061 A JP 56196061A JP 19606181 A JP19606181 A JP 19606181A JP S5897971 A JPS5897971 A JP S5897971A
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- JP
- Japan
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- registers
- transfer
- charge transfer
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- register
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/713—Transfer or readout registers; Split readout registers or multiple readout registers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/72—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors using frame transfer [FT]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体基板上に配列した多数個の光電変換素子
に複数本の電荷転送レジスタが並列配置されてなる撮像
部を備え九固体撮像装置に関する。
に複数本の電荷転送レジスタが並列配置されてなる撮像
部を備え九固体撮像装置に関する。
１１１図に従来の固体撮像装置の一例を模式的に示し、
第２図にその撮像部を示す。これ等の図に於いて、（１
）は画像が結像される撮像部であシ、その構成は＠２図
に示す如く、半導体基板を複数本のチャンネルストッパ
領域（２１（２）・・・で区画してなる並列した複数本
のチャンネル領域（３）（３）・・・と、この半導体基
板上に絶縁膜を介して設けられ、上記チャンネル領域（
３）（３）・・・と直交する如く、配列された複数本の
上下電極対（４１（５）、（４）（５）、・・・・・・
と、がらなっている。該上下電極対（４）（５）、（４
）（５）、・・・・・・の内、下電極（５）・・・には
例えばポリシコンからなる透明電極が用いられ、上電極
（４）・・・にはアルミニウムの如き、不透明電極が用
いられており、各チャンネル領域（３）（３）・・・の
下電極（５）・・・位置が光電変換部（ａ）・・・を構
成すると共に、各チャンネル領域がＣ０Ｄ（電荷結合素
子）型の受光転送レジスタ（旬・・・を構成している。
第２図にその撮像部を示す。これ等の図に於いて、（１
）は画像が結像される撮像部であシ、その構成は＠２図
に示す如く、半導体基板を複数本のチャンネルストッパ
領域（２１（２）・・・で区画してなる並列した複数本
のチャンネル領域（３）（３）・・・と、この半導体基
板上に絶縁膜を介して設けられ、上記チャンネル領域（
３）（３）・・・と直交する如く、配列された複数本の
上下電極対（４１（５）、（４）（５）、・・・・・・
と、がらなっている。該上下電極対（４）（５）、（４
）（５）、・・・・・・の内、下電極（５）・・・には
例えばポリシコンからなる透明電極が用いられ、上電極
（４）・・・にはアルミニウムの如き、不透明電極が用
いられており、各チャンネル領域（３）（３）・・・の
下電極（５）・・・位置が光電変換部（ａ）・・・を構
成すると共に、各チャンネル領域がＣ０Ｄ（電荷結合素
子）型の受光転送レジスタ（旬・・・を構成している。
（６）は該撮像部（１）で得られる光電荷を一時的に蓄
積する蓄積部であシ、撮像部（１）と同一構成をなし、
撮像部（１）の複数の受光転送レジスタ（旬・・・の各
終端がこの蓄積部（６）の複数の蓄積転送レジスタ（０
）・・・の始端に結合されている。（７）は該蓄積部（
６）に一時的に貯えられた光電荷を出力する為の出力部
であり、蓄積部（６）の複数の電荷蓄積レジスタ（０）
・・・の各終端がこの出力部（７）の出力転送レジスタ
（中の各ピットに結合されていゑ。
積する蓄積部であシ、撮像部（１）と同一構成をなし、
撮像部（１）の複数の受光転送レジスタ（旬・・・の各
終端がこの蓄積部（６）の複数の蓄積転送レジスタ（０
）・・・の始端に結合されている。（７）は該蓄積部（
６）に一時的に貯えられた光電荷を出力する為の出力部
であり、蓄積部（６）の複数の電荷蓄積レジスタ（０）
・・・の各終端がこの出力部（７）の出力転送レジスタ
（中の各ピットに結合されていゑ。
斯る従来の固体撮像装置は、電荷蓄積期間に於いて、撮
像部（１）の光電変換部（川・・・Ｋ光電荷を貯え、次
の電荷転送期間に於いて、撮像部（１）及び蓄積部（６
）の各“転送レジスタ（至）（０１・・・にパルスφｂ
、φｂ及びφ０、φ０を印加せしめて、上記光電荷を蓄
積部（６）Ｋ転送導入する。そして次の電荷蓄積期間に
於いて、蓄積部（６）の各蓄積転送レジスタ（Ｃ１・・
・に２相のクロックパルスφＣ１φ０を印加せしめて、
これ等各蓄積転送レジスタ（Ｑ）・・・から得られる１
ビット分づつの光電荷を、２相のクロックパルスφｄ、
φｄで高速駆動する出力転送レジスタ（山に依って、外
部へ転送出力する。
像部（１）の光電変換部（川・・・Ｋ光電荷を貯え、次
の電荷転送期間に於いて、撮像部（１）及び蓄積部（６
）の各“転送レジスタ（至）（０１・・・にパルスφｂ
、φｂ及びφ０、φ０を印加せしめて、上記光電荷を蓄
積部（６）Ｋ転送導入する。そして次の電荷蓄積期間に
於いて、蓄積部（６）の各蓄積転送レジスタ（Ｃ１・・
・に２相のクロックパルスφＣ１φ０を印加せしめて、
これ等各蓄積転送レジスタ（Ｑ）・・・から得られる１
ビット分づつの光電荷を、２相のクロックパルスφｄ、
φｄで高速駆動する出力転送レジスタ（山に依って、外
部へ転送出力する。
斯様な従来の固体撮像装置をテレビカメラとして使用す
る場合、テレビＩ［ｒｆｌの水平方向について５７０ｉ
１１累が必要であり、即ち、受光転送レジスタが５７０
本必要であり、水平方向のスキャン時間が約５０μ８θ
Ｃである為、上記出力転送レジスタ（ｄ）の２相のクロ
ックパルスφｄ、φｄの周波数は約１１ＭＨｚとなる。
る場合、テレビＩ［ｒｆｌの水平方向について５７０ｉ
１１累が必要であり、即ち、受光転送レジスタが５７０
本必要であり、水平方向のスキャン時間が約５０μ８θ
Ｃである為、上記出力転送レジスタ（ｄ）の２相のクロ
ックパルスφｄ、φｄの周波数は約１１ＭＨｚとなる。
しかしながら斯様なＣＣＤ型の電荷転送レジスタに於い
ては、１０１１ＡＨ２以上の高周波数のクロックパルス
φ９、φｄｌで高速駆動すると、電荷の移動がこの高周
波数に追従できなくなる為、電荷転送効率が急激に劣化
し、正常な画像信号が得られない不都合があった。
ては、１０１１ＡＨ２以上の高周波数のクロックパルス
φ９、φｄｌで高速駆動すると、電荷の移動がこの高周
波数に追従できなくなる為、電荷転送効率が急激に劣化
し、正常な画像信号が得られない不都合があった。
本発明は斯る不都合を解消する目的で為されたものであ
ル、２本の出力転送レジスタを用いる事に依って、この
各レジスタを駆動するクロックパルスの周波数を半減せ
しめた固体撮像装置を提供するものである。
ル、２本の出力転送レジスタを用いる事に依って、この
各レジスタを駆動するクロックパルスの周波数を半減せ
しめた固体撮像装置を提供するものである。
１ｇ３図に本発明の固体撮像装置の一実施例を示し、第
４図にその撮像部を示す。これ等の図に於いて、α◇は
画像が結ｆ象される撮像部であり、第４図から明らかな
如く、第２図に示した従来例と異なる所は、隣接するチ
ャンネル領域０１．＠、毎に上下電極対（４）（５）の
相対位置が反転している点であり、この為、奇数列のチ
ャンネル領域（財）Ｋ構成された各光電変換部（ａｌ）
・・・での光電荷を転送するＣＣＤ型のＩｌｌの受光転
送レジスタ（ｂｌ）・・・と、偶数列のチャンネル領域
（２）Ｋ構成された各光電変換部Ｃ−）・・・での光電
荷を転送するＣＣＤ型の第２の受光転送レジスタ（ｂり
・・・と、の転送方向が互いに逆向きとなってい石。参
〇は４１ｉ１の蓄積部でＴｏ）、上記撮像Ｎ（ロ）の４
１１の受光転送レジスタ（ｂｌ）・・・の一方の終端部
にその始端部が夫々結合し九第１の蓄積転送レジスタ（
Ｏｘ ）・・・が並列配置されている。輪はＩＩ２の蓄
積部であシ、上記撮像Ｓ（ロ）の第２の受光転送レジス
タ（鴇）・・・の他方の終端部にその始端部を夫々結合
した４１１２の蓄積転送レジスタ（Ｃｍ）・・・が並列
配置されている。尚、これ等両蓄積転送レジスタ（Ｃ１
）・・・、（Ｃｍ）・・・は、第１図の従来例の蓄積転
送レジスタと同様に２相のクロックツ（ルスφｏ１φｏ
Ｋ依って駆動されるが、両者の蓄積転送レジスタ（Ｑｔ
）・・・、（Ｃ３）・・・の転送方向は互いに逆向きＫ
なっている。（ハ）（２）は夫々Ｉ１１及びＩＩ２の出
力部であり、Ｉｌｌの出力部ｎ。
４図にその撮像部を示す。これ等の図に於いて、α◇は
画像が結ｆ象される撮像部であり、第４図から明らかな
如く、第２図に示した従来例と異なる所は、隣接するチ
ャンネル領域０１．＠、毎に上下電極対（４）（５）の
相対位置が反転している点であり、この為、奇数列のチ
ャンネル領域（財）Ｋ構成された各光電変換部（ａｌ）
・・・での光電荷を転送するＣＣＤ型のＩｌｌの受光転
送レジスタ（ｂｌ）・・・と、偶数列のチャンネル領域
（２）Ｋ構成された各光電変換部Ｃ−）・・・での光電
荷を転送するＣＣＤ型の第２の受光転送レジスタ（ｂり
・・・と、の転送方向が互いに逆向きとなってい石。参
〇は４１ｉ１の蓄積部でＴｏ）、上記撮像Ｎ（ロ）の４
１１の受光転送レジスタ（ｂｌ）・・・の一方の終端部
にその始端部が夫々結合し九第１の蓄積転送レジスタ（
Ｏｘ ）・・・が並列配置されている。輪はＩＩ２の蓄
積部であシ、上記撮像Ｓ（ロ）の第２の受光転送レジス
タ（鴇）・・・の他方の終端部にその始端部を夫々結合
した４１１２の蓄積転送レジスタ（Ｃｍ）・・・が並列
配置されている。尚、これ等両蓄積転送レジスタ（Ｃ１
）・・・、（Ｃｍ）・・・は、第１図の従来例の蓄積転
送レジスタと同様に２相のクロックツ（ルスφｏ１φｏ
Ｋ依って駆動されるが、両者の蓄積転送レジスタ（Ｑｔ
）・・・、（Ｃ３）・・・の転送方向は互いに逆向きＫ
なっている。（ハ）（２）は夫々Ｉ１１及びＩＩ２の出
力部であり、Ｉｌｌの出力部ｎ。
Ｉｌｌの出力転送レジスタ（ｄｌ）・・・の各ピットに
は、上記４１１の蓄積部−の＠１の蓄積転送レジスタ（
０１）・・・の各終端部が結合しておシ、即ち、この＠
１の蓄積転送レジスタ（０１）・・・を介して撮像部α
カの奇数列目のＩｌｌの受光転送レジスタ（ｂｌ）が連
結されている。これと同様［１１２の出力部（２）の第
２の出力転送レジスタ（６４）の各ピッ）ＫＦｉ、上記
第２の蓄積部−のＩＩ２の蓄積転送レジスタ（Ｏｓ）を
介して撮像Ｓ（ロ）の偶数列目の第２の受光転送レジス
タ（’ｂｘ）が連結されている。即ち、これ等＠１及び
第２の出力転送レジスタ（ｄｌ）、（４）のピット数は
上記撮像部（ロ）の全受光転送レジスタ（ｂｔ） （％
）−・・の数の半数となｐ、この為、これ等出力転送レ
ジスタを駆動する２相のクロックパルスφ′ｄ、φｔの
周波数もまた、１１１図に示した従来例の出力部（７）
の出力転送レジスタ（Φを駆動する２相のクロックパル
スφｄ、φｄの１／！である。
は、上記４１１の蓄積部−の＠１の蓄積転送レジスタ（
０１）・・・の各終端部が結合しておシ、即ち、この＠
１の蓄積転送レジスタ（０１）・・・を介して撮像部α
カの奇数列目のＩｌｌの受光転送レジスタ（ｂｌ）が連
結されている。これと同様［１１２の出力部（２）の第
２の出力転送レジスタ（６４）の各ピッ）ＫＦｉ、上記
第２の蓄積部−のＩＩ２の蓄積転送レジスタ（Ｏｓ）を
介して撮像Ｓ（ロ）の偶数列目の第２の受光転送レジス
タ（’ｂｘ）が連結されている。即ち、これ等＠１及び
第２の出力転送レジスタ（ｄｌ）、（４）のピット数は
上記撮像部（ロ）の全受光転送レジスタ（ｂｔ） （％
）−・・の数の半数となｐ、この為、これ等出力転送レ
ジスタを駆動する２相のクロックパルスφ′ｄ、φｔの
周波数もまた、１１１図に示した従来例の出力部（７）
の出力転送レジスタ（Φを駆動する２相のクロックパル
スφｄ、φｄの１／！である。
斯様な構成の本発明の固体撮像装置をテレビカメラとし
て使用する場合、撮像部（１１）の受光転送レジスタ（
１）ｔ）、（−）・・・を交互に５７０本並列配置し、
これ等の１１１の受光転送レジスタ（’ｂ、）・・・と
Ｉｌｌの受光転送レジスタ（−）・・・からの光電荷を
振り分けて蓄積する第１及びＩｌｌの蓄積部■、−には
夫々２８５本の第１及び１１２の蓄積転送レジスタ（０
１）・・・、（Ｃ３）・・・が並列配置される。そして
、４Ｍ１及び第２の蓄積部岐、輪を担当する第１及び第
２の出力部（ハ）、（ハ）の各出力転送レジスタ（ｄｌ
）、（−）は２８５ビツト構成のものを用いる事になる
。従って、電荷蓄積期間中和各党電変換部（ａｌ）・・
・、（−）・・・に貯えられた各電荷は、２相のクロッ
クパルスφｂ、φｂ及びφＣ１φＧを同期せしめて各２
８５本の第１及び第２の受光転送レジスタ（ｂｌ）・・
・、（１）ａ） −・・と各２８５本の第１及び第２の
蓄積転送レジスタ（Ｃ１）・・・、（（１１）・・・を
駆動する事に依シ、夫々の第１及び第２′の蓄積部ｅｅ
、ｔｉａに導入される。そして次の電荷蓄期間、即ち電
荷出力期ＫＫ於いて、２相のクロックパルスφ０．φＣ
を２０ＫＨｚの周波数に切シ換え、第１及び第２の蓄積
部■輪の各２８５本の第１及び第２の蓄積転送り７ネレ
ジスタ（０凰）・・・、（（４） から５０μ８θ０
毎＃／ｃ１ピット分の光電荷を＄１゛及び第２の出力部
（ハ）（２）の各２８５ビツト構成の＠１及び第２の出
力転送レジスタ（ｄｌ）、Ｃ−）の各ピッ）Ｋ導入する
。これ等両出力転送レジスタ（ｆｌｉｔ）、（へ）は、
約６ＭＨｚの周波数の２相のクロックパルスφ′ｄ、φ
′ｄに依って駆動され、各２８５ビット分、合計５７０
ピット分の光電荷が５０μｓｅｃ毎に全で外部へ転送出
力される。
て使用する場合、撮像部（１１）の受光転送レジスタ（
１）ｔ）、（−）・・・を交互に５７０本並列配置し、
これ等の１１１の受光転送レジスタ（’ｂ、）・・・と
Ｉｌｌの受光転送レジスタ（−）・・・からの光電荷を
振り分けて蓄積する第１及びＩｌｌの蓄積部■、−には
夫々２８５本の第１及び１１２の蓄積転送レジスタ（０
１）・・・、（Ｃ３）・・・が並列配置される。そして
、４Ｍ１及び第２の蓄積部岐、輪を担当する第１及び第
２の出力部（ハ）、（ハ）の各出力転送レジスタ（ｄｌ
）、（−）は２８５ビツト構成のものを用いる事になる
。従って、電荷蓄積期間中和各党電変換部（ａｌ）・・
・、（−）・・・に貯えられた各電荷は、２相のクロッ
クパルスφｂ、φｂ及びφＣ１φＧを同期せしめて各２
８５本の第１及び第２の受光転送レジスタ（ｂｌ）・・
・、（１）ａ） −・・と各２８５本の第１及び第２の
蓄積転送レジスタ（Ｃ１）・・・、（（１１）・・・を
駆動する事に依シ、夫々の第１及び第２′の蓄積部ｅｅ
、ｔｉａに導入される。そして次の電荷蓄期間、即ち電
荷出力期ＫＫ於いて、２相のクロックパルスφ０．φＣ
を２０ＫＨｚの周波数に切シ換え、第１及び第２の蓄積
部■輪の各２８５本の第１及び第２の蓄積転送り７ネレ
ジスタ（０凰）・・・、（（４） から５０μ８θ０
毎＃／ｃ１ピット分の光電荷を＄１゛及び第２の出力部
（ハ）（２）の各２８５ビツト構成の＠１及び第２の出
力転送レジスタ（ｄｌ）、Ｃ−）の各ピッ）Ｋ導入する
。これ等両出力転送レジスタ（ｆｌｉｔ）、（へ）は、
約６ＭＨｚの周波数の２相のクロックパルスφ′ｄ、φ
′ｄに依って駆動され、各２８５ビット分、合計５７０
ピット分の光電荷が５０μｓｅｃ毎に全で外部へ転送出
力される。
本発明の固体撮像装置は、以上の説明から明らかな如く
、撮像部の奇数列目及び偶数列目の光電変換素子が結合
した電荷転送レジスタの転送方向を互いに興ならしめ、
上記奇数列目の電荷転送レジスタの各終端にその各ビッ
トが結合したＩｌｌの出力電荷転送レジスタに依って、
奇数列目の電荷転送レジスタから送ら五て来る電荷を転
送出力すると共に、上記偶数列目の電荷転送レジスタの
各終端にその各ビットが結合した＠２の出力電荷転送レ
ジスタから送られて来る電荷を転送出力するものである
ので上記４ｊＩＳ１及び＠２の出力電荷転送レジスタの
ビット数は、夫々上記撮像部の電荷転送レジスタの配列
数の半数となり、これ等２本の出力電荷転送レジスタを
駆動する為のクロックパルス周波数を、従来用いられて
いた１本の出力電事ができる。従って、多数の画素を必
要とする固体撮像装置にあっては、これ等両出力電荷転
送レジスタでの電荷の追従遅れが解消できる為、電荷飯
送効率の大巾な向上が計れ良質の画像信号を得り事がで
きる。
、撮像部の奇数列目及び偶数列目の光電変換素子が結合
した電荷転送レジスタの転送方向を互いに興ならしめ、
上記奇数列目の電荷転送レジスタの各終端にその各ビッ
トが結合したＩｌｌの出力電荷転送レジスタに依って、
奇数列目の電荷転送レジスタから送ら五て来る電荷を転
送出力すると共に、上記偶数列目の電荷転送レジスタの
各終端にその各ビットが結合した＠２の出力電荷転送レ
ジスタから送られて来る電荷を転送出力するものである
ので上記４ｊＩＳ１及び＠２の出力電荷転送レジスタの
ビット数は、夫々上記撮像部の電荷転送レジスタの配列
数の半数となり、これ等２本の出力電荷転送レジスタを
駆動する為のクロックパルス周波数を、従来用いられて
いた１本の出力電事ができる。従って、多数の画素を必
要とする固体撮像装置にあっては、これ等両出力電荷転
送レジスタでの電荷の追従遅れが解消できる為、電荷飯
送効率の大巾な向上が計れ良質の画像信号を得り事がで
きる。
＠１図は従来の固体撮像装置の平面模式図、第２図は従
来装置の撮像部の平面図、第３図は本発明の固体撮像装
置の一実施例の平面模式図、１１４図は本発明装置に用
いられる撮像部の一実施例の平面図、を示している。 （１）（ロ）・・・撮像部、（６）ＩＥｌｍ−蓄積部、
（７）（ハ）（２）・・・出力部、（ａ） ＣＢ−ｓ
） （ａ４） ・・・光電変換部、（ｂｌ （Ｔｈ）
（ｂ＊） −・・受光転送レジスタ、（Ｑ） （０１）
（Ｑり・・・蓄積転送レジＸ ｆｉ 、（ｄＪ （ｄ
ｔ） （ｄＢ）・・・出方転送レジスタ。
来装置の撮像部の平面図、第３図は本発明の固体撮像装
置の一実施例の平面模式図、１１４図は本発明装置に用
いられる撮像部の一実施例の平面図、を示している。 （１）（ロ）・・・撮像部、（６）ＩＥｌｍ−蓄積部、
（７）（ハ）（２）・・・出力部、（ａ） ＣＢ−ｓ
） （ａ４） ・・・光電変換部、（ｂｌ （Ｔｈ）
（ｂ＊） −・・受光転送レジスタ、（Ｑ） （０１）
（Ｑり・・・蓄積転送レジＸ ｆｉ 、（ｄＪ （ｄ
ｔ） （ｄＢ）・・・出方転送レジスタ。
Claims (1)
- （１） 各ビット毎に光電変換素子を結合した複数本
の電荷転送レジスタが並列配置されてなる撮像部と、該
撮像部の奇数列目の電荷転送レジスタの一方の端部に各
ビットが結合された＠１の出力電荷転送レジスタと、上
記撮像部の偶数列目の電荷転送レジスタの他方の端部に
各ビットが結合された第２の出力電荷転送レジスタと、
からなシ、上記撮像部の奇数列目及び偶数列目の電荷転
送レジスタの転送方向を互いに異ならしめ、奇数列目の
電荷転送レジスタに依って転送されて来る電荷を上記Ｉ
１１の出力電荷転送レジスタを介して外部へ読み出すと
共Ｋｇ４数列数列型荷転送レジスタに依って転送されて
来る電荷を上記ＩＩ２の出力電荷転送レジスタを介して
外部へ読み出す事を特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196061A JPS5897971A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196061A JPS5897971A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897971A true JPS5897971A (ja) | 1983-06-10 |
Family
ID=16351543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56196061A Pending JPS5897971A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897971A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60250787A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-11 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
| US4837630A (en) * | 1986-08-22 | 1989-06-06 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Solid-state imaging apparatus with a plurality of CCD storage sections |
| JPH03190171A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-20 | Samsung Electron Devices Co Ltd | Ｃｃｄ型固体撮像素子 |
-
1981
- 1981-12-04 JP JP56196061A patent/JPS5897971A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60250787A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-11 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
| US4837630A (en) * | 1986-08-22 | 1989-06-06 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Solid-state imaging apparatus with a plurality of CCD storage sections |
| JPH03190171A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-20 | Samsung Electron Devices Co Ltd | Ｃｃｄ型固体撮像素子 |
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