JPS5895224A - 赤外線検出素子 - Google Patents
赤外線検出素子Info
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- JPS5895224A JPS5895224A JP56193897A JP19389781A JPS5895224A JP S5895224 A JPS5895224 A JP S5895224A JP 56193897 A JP56193897 A JP 56193897A JP 19389781 A JP19389781 A JP 19389781A JP S5895224 A JPS5895224 A JP S5895224A
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- Japan
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- conductive adhesive
- electrodes
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- electrode
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は赤外線検出素子に関するもので、リード線を使
用しないようにすることにより機械的な振動に対して十
分な弓％度をもたせ、高信頼性を実現する赤外線検出素
子を得ることを目的とする。
用しないようにすることにより機械的な振動に対して十
分な弓％度をもたせ、高信頼性を実現する赤外線検出素
子を得ることを目的とする。
一般に焦電型赤外線検出素子は、焦電係数の大きな誘電
体単結晶を、１０〜３０ミクロンと薄く研磨した薄膜、
あるいは焦電効果を有する高分子薄膜の両面にＡｕ 、
Ｎｉ−０ｒ 、 Ａ／等の金拠を蒸着し電極とし、次
に各電極にリード線を設けて構成し、赤外線照射によっ
て素子が温度上昇し、この温度変化による焦電効果とし
て素子両面上の電極間に生じる電圧を検出する。
体単結晶を、１０〜３０ミクロンと薄く研磨した薄膜、
あるいは焦電効果を有する高分子薄膜の両面にＡｕ 、
Ｎｉ−０ｒ 、 Ａ／等の金拠を蒸着し電極とし、次
に各電極にリード線を設けて構成し、赤外線照射によっ
て素子が温度上昇し、この温度変化による焦電効果とし
て素子両面上の電極間に生じる電圧を検出する。
このような焦電型赤外線検出素子の従来例を第１図に示
す。図において、１は焦電効果を有する薄膜素子で、両
面に、Ａｕ、Ｎｉ−Ｃｒ、ムｊ等の金属電極２，２１が
蒸着されている。５は熱伝導性の悪い絶縁体の支持台、
６は金属パッケージ、７゜７１はリード取り出し端子、
１０は絶縁体である。
す。図において、１は焦電効果を有する薄膜素子で、両
面に、Ａｕ、Ｎｉ−Ｃｒ、ムｊ等の金属電極２，２１が
蒸着されている。５は熱伝導性の悪い絶縁体の支持台、
６は金属パッケージ、７゜７１はリード取り出し端子、
１０は絶縁体である。
電極２，２１よりリード線８，８１を設けるには、超音
波ボンディングや導電性接着剤によりあらかじめ素子１
の電極２，２１にある長さのり一ト線８．８１を取り出
し、素子１の熱容量を増やさない様に素子１を絶縁物で
出来た支持台５の上に、接着剤９で点接触保持した後、
金属パッケージ６のリー ド取り出し端子７，７１とリ
ード線８１８１とを、超音波ボンディングや導電性接着
剤を用いて結線する方法が取られている。しかし、超音
波ボンディングによる結線は、リード線８，８１に超音
波の圧力荷重を加えリード線８，８１を極度に変形させ
て圧着することにより結合しているため、リード線８，
８１は結合部分が細くなり機械的振動に対して非常に弱
くなってし甘う。
波ボンディングや導電性接着剤によりあらかじめ素子１
の電極２，２１にある長さのり一ト線８．８１を取り出
し、素子１の熱容量を増やさない様に素子１を絶縁物で
出来た支持台５の上に、接着剤９で点接触保持した後、
金属パッケージ６のリー ド取り出し端子７，７１とリ
ード線８１８１とを、超音波ボンディングや導電性接着
剤を用いて結線する方法が取られている。しかし、超音
波ボンディングによる結線は、リード線８，８１に超音
波の圧力荷重を加えリード線８，８１を極度に変形させ
て圧着することにより結合しているため、リード線８，
８１は結合部分が細くなり機械的振動に対して非常に弱
くなってし甘う。
壕だ、リード取り出し端子子、７１と素子１とは絶縁物
で出来だ支持台５で金属パッケージどと一体となってい
るので機械的な振動が与えられた時の動きは同じである
がリード取り出し端子７゜７１と素子１とを結んでいる
リード線８，８１に対する衝撃の影響はかならずしも同
一とは限らず、超音波ボンディングや導電性接着剤で結
線した結合部分は振動の衝撃が一点に加わるため切断し
たり、結合部分からリード線８，８１がはずれたりして
素子１の電極２，２１間に生じる電圧を検出することが
不可能となってしまう。
で出来だ支持台５で金属パッケージどと一体となってい
るので機械的な振動が与えられた時の動きは同じである
がリード取り出し端子７゜７１と素子１とを結んでいる
リード線８，８１に対する衝撃の影響はかならずしも同
一とは限らず、超音波ボンディングや導電性接着剤で結
線した結合部分は振動の衝撃が一点に加わるため切断し
たり、結合部分からリード線８，８１がはずれたりして
素子１の電極２，２１間に生じる電圧を検出することが
不可能となってしまう。
本発明は、以上のような欠点を除去したもので、リード
線を使用せず、素子及びリード取り出し端子、パッケー
ジを一体にするようにマウントすることにより機械的振
動に対して性能を向上しだ赤外線検出素子を提供しよう
とするものである。
線を使用せず、素子及びリード取り出し端子、パッケー
ジを一体にするようにマウントすることにより機械的振
動に対して性能を向上しだ赤外線検出素子を提供しよう
とするものである。
第２図に本発明の一実施例を示す。図中第１図と同一部
分子は同一符号を付して説明を省略する。
分子は同一符号を付して説明を省略する。
なお、赤外線受光側の電極２としては赤外線の吸収係数
の大きな金属を、反対側の電極２１としては赤外線の反
射係数の大きな金属を使用するとよい。６０は略中央部
の素子１を配する部分に穴６１を穿った熱伝導性の悪い
絶縁体で作製した支持台で、その上に互いに独立した導
電性パターン４゜４１が形成されている。この支持台５
０をリード取り出し端子７，７１に挿入し、リード取り
出し端子７，７１と導電性パターン４，４１とを半田付
けにより電気的に導通させて固定する。焦電効果を有す
る誘電体単結晶あるいは高分子薄膜による素子１の両面
にＡｕ 、 Ｎｉ −Ｏｒ 、ム１等の金属を薄く蒸着
し電極２，２１を設け、絶縁体支持台５の表面上で゛導
電性パターン４１と電極２１とを導電性接着剤３１で電
気的に導通させて装着する。
の大きな金属を、反対側の電極２１としては赤外線の反
射係数の大きな金属を使用するとよい。６０は略中央部
の素子１を配する部分に穴６１を穿った熱伝導性の悪い
絶縁体で作製した支持台で、その上に互いに独立した導
電性パターン４゜４１が形成されている。この支持台５
０をリード取り出し端子７，７１に挿入し、リード取り
出し端子７，７１と導電性パターン４，４１とを半田付
けにより電気的に導通させて固定する。焦電効果を有す
る誘電体単結晶あるいは高分子薄膜による素子１の両面
にＡｕ 、 Ｎｉ −Ｏｒ 、ム１等の金属を薄く蒸着
し電極２，２１を設け、絶縁体支持台５の表面上で゛導
電性パターン４１と電極２１とを導電性接着剤３１で電
気的に導通させて装着する。
さらに薄膜状素子１の赤外線受光側の電極２も導電性パ
ターン４と導電性接着剤３で電気的に導通させると赤外
線検出素子を完成する。また、この導電性接着剤３の代
りに短かい全線を使用して導電性パターン４と電極２と
をボンディングにより結線し導電性接着剤等でボンディ
ング部分をモールドしてもよい。この様にすることによ
り熱的にも分離した上、十分な強度をもった素子の接着
が可能となる。
ターン４と導電性接着剤３で電気的に導通させると赤外
線検出素子を完成する。また、この導電性接着剤３の代
りに短かい全線を使用して導電性パターン４と電極２と
をボンディングにより結線し導電性接着剤等でボンディ
ング部分をモールドしてもよい。この様にすることによ
り熱的にも分離した上、十分な強度をもった素子の接着
が可能となる。
以上の様に本発明は焦電効果を有する薄膜の両面に金属
電極を設け、両方の電極を表面に独立した導電性パター
ンを有する絶縁体支持台に導電性接着剤で独立して接着
することにより、リード線を使用せず、リード部分を薄
膜状の素子と一体にすることにより機械的な振動に対し
て十分弓吊度をもだせることができ、信頼度の高い赤外
線検出素子を提供するものである。
電極を設け、両方の電極を表面に独立した導電性パター
ンを有する絶縁体支持台に導電性接着剤で独立して接着
することにより、リード線を使用せず、リード部分を薄
膜状の素子と一体にすることにより機械的な振動に対し
て十分弓吊度をもだせることができ、信頼度の高い赤外
線検出素子を提供するものである。
第１図は従来の赤外線検出素子の断面図、第２図は本発
明の一実施例における赤外線検出素子の断面図である。 １・・・・・・焦電効果を有する薄膜素子、２，２１・
・・・・・電極、３，３１・・・・・・導電性接着剤、
４，４１・・・・・・導電性パターン、５・・・・・支
持台、６・・・・・・金属パッケージ、７，７１・・・
・・・リード取り出し端子、８゜８１・・・・・・リー
ド線、９・・・・・・絶縁性接着剤、１０・・・・絶縁
体、５０・・・・支持台、５１・・・・・・穴。
明の一実施例における赤外線検出素子の断面図である。 １・・・・・・焦電効果を有する薄膜素子、２，２１・
・・・・・電極、３，３１・・・・・・導電性接着剤、
４，４１・・・・・・導電性パターン、５・・・・・支
持台、６・・・・・・金属パッケージ、７，７１・・・
・・・リード取り出し端子、８゜８１・・・・・・リー
ド線、９・・・・・・絶縁性接着剤、１０・・・・絶縁
体、５０・・・・支持台、５１・・・・・・穴。
Claims (1)
- 複数のリード取り出し端子を有するパッケージに、複数
の導電性パターンを形成した絶縁体支持台を固定し、前
記端子と導電性パターンをそれぞれ電気的に接続し、上
記支持台上に両面に電極を形成した焦電効果を有する薄
膜素子を設け、この薄膜素子の各電極を上記導電性パタ
ーンに導電性接着剤で接着したことを特徴とする赤外線
検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193897A JPS5895224A (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | 赤外線検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193897A JPS5895224A (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | 赤外線検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5895224A true JPS5895224A (ja) | 1983-06-06 |
| JPS6140930B2 JPS6140930B2 (ja) | 1986-09-11 |
Family
ID=16315557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56193897A Granted JPS5895224A (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | 赤外線検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5895224A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61140927U (ja) * | 1985-02-22 | 1986-09-01 | ||
| JPS61144447U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-06 | ||
| EP0558766A1 (en) * | 1991-09-24 | 1993-09-08 | Nohmi Bosai Kogyo Kabushiki Kaisha | Pyroelectric element |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4800883B2 (ja) * | 2006-09-06 | 2011-10-26 | 日置電機株式会社 | 赤外線センサの製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5043983A (ja) * | 1973-08-21 | 1975-04-21 | ||
| JPS54141690A (en) * | 1978-04-26 | 1979-11-05 | Murata Manufacturing Co | Infrared ray detector and making method thereof |
| JPS5627640U (ja) * | 1979-08-07 | 1981-03-14 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5221409A (en) * | 1975-08-08 | 1977-02-18 | Mitsubishi Gas Chemical Co | Production of specific paper |
-
1981
- 1981-12-01 JP JP56193897A patent/JPS5895224A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5043983A (ja) * | 1973-08-21 | 1975-04-21 | ||
| JPS54141690A (en) * | 1978-04-26 | 1979-11-05 | Murata Manufacturing Co | Infrared ray detector and making method thereof |
| JPS5627640U (ja) * | 1979-08-07 | 1981-03-14 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61140927U (ja) * | 1985-02-22 | 1986-09-01 | ||
| JPS61144447U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-06 | ||
| JPH049560Y2 (ja) * | 1985-02-28 | 1992-03-10 | ||
| EP0558766A1 (en) * | 1991-09-24 | 1993-09-08 | Nohmi Bosai Kogyo Kabushiki Kaisha | Pyroelectric element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6140930B2 (ja) | 1986-09-11 |
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