JPS5894253U - 高温顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

図は本考案に係る高温顕微鏡の一実施例を示すもので、
第１図は全体の構成図、第２図は試料の保持部分を示す
縦断面図、第３図は第２図におけるＡ−Ａ線断面図であ
る。 １・・・・・・陰極、２・・・・・ゼーム成形電極、３
・・・・・・陽極、４・・・・・・フィラメント加熱電
源、５・・・・・・トランース、６・・・・・・可変高
圧電源、７・・・・・・昇圧トランス、８・・・・・・
整流器、９・・・・・・電子ビーム、１４・・・・・・
試料、１５・・・・・・温度検出器、１６・・・・・・
偏差増幅器、１７・・・・・・温度設定器、１８・・・
・・・試料保持体、１９・・・・・・保持片、２０・・
・・・・室、２１・・・・・・極細管。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）試料を高温に加熱して観察等を行なう高温顕微鏡
   において、電子ビームを試料の１面に直接照射して加熱
   する加熱装置と、この電子ビームを集束および偏“向さ
   せる集束コイルおよび偏向コイルと、前記試料の他面を
   観察する観察装置と、加熱する温度をあらかじめ設定す
   る温度設定器と、前記試料の温度を直接検出する温度検
   出器と、前記温度設定器の設定温度と前記温度検出器の
   検出温度とを比較し、その差異に基づいて、前記検出温
   度を前記設定温度に一致させるように、前記加熱装置に
   おける前記電子ビームの照射状態を制御する制御装置と
   を具備したことを特徴とする高温顕微鏡。
2. （２）電子ビームの密度分布が、中央部が粗、周側部が
   密となっている実用新案登録請求の範囲（１）記載の高
   温顕微鏡。