JPS5892921A - 赤外線検知装置の組立方法 - Google Patents
赤外線検知装置の組立方法Info
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- JPS5892921A JPS5892921A JP56193302A JP19330281A JPS5892921A JP S5892921 A JPS5892921 A JP S5892921A JP 56193302 A JP56193302 A JP 56193302A JP 19330281 A JP19330281 A JP 19330281A JP S5892921 A JPS5892921 A JP S5892921A
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- Japan
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- cold shield
- shield plate
- glass mask
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
- H01L31/02164—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors for shielding light, e.g. light blocking layers, cold shields for infrared detectors
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
０）発明の技術分野
本発明は赤外線検知装置の組立方法に係り、特に冷却基
台上の赤外線検知素子に対して入視先の視野を規定する
スリットを有するコールド・シールド板を精度よく位置
合せする方法の改良に関するものである。
台上の赤外線検知素子に対して入視先の視野を規定する
スリットを有するコールド・シールド板を精度よく位置
合せする方法の改良に関するものである。
■）従来技術と問題点
一般に赤外線検知装置は、赤外線透光窓を設けたガラス
等からなる外管と、該透光１１に対向して赤外線検知素
子を載置した冷却基台が配設された内管とからなる二重
管構造の気密客器を主体としてなり、液体窒素等の冷媒
やジュールトムソン型の冷却器等を用い、前記冷却基台
を介して赤外線検知素子を常温よ抄もかなり低温に冷却
して動作させている。
等からなる外管と、該透光１１に対向して赤外線検知素
子を載置した冷却基台が配設された内管とからなる二重
管構造の気密客器を主体としてなり、液体窒素等の冷媒
やジュールトムソン型の冷却器等を用い、前記冷却基台
を介して赤外線検知素子を常温よ抄もかなり低温に冷却
して動作させている。
一方かかる赤外線検知装置においては前記透光窓をとお
して検知素子部に入射する赤外線の視野角をできるだけ
狭めて検知対象物から放射される赤外線以外の余分な背
景輻射線を排除するために第１図に示すように赤外線検
知素子ｌ及び電極導出端子板２が載置された冷却基台８
上に、外管４に設けられたー外線透光慧６より入射する
入射光の範囲を規定するスリット６Ｃを有するコールド
・シールド板６ｂとコールド・シールド筒体６ａからな
るコールド・シールド本体６を図示のように配置して前
記検知素子ｌを覆う構造とし、該検知素子ｌと共にコー
ルド・Ｖ−ルド本体６も冷却し、該コールド・シールド
本体６自身が赤外線輻射体となることの防止をはかつて
いる、７は内管である。
して検知素子部に入射する赤外線の視野角をできるだけ
狭めて検知対象物から放射される赤外線以外の余分な背
景輻射線を排除するために第１図に示すように赤外線検
知素子ｌ及び電極導出端子板２が載置された冷却基台８
上に、外管４に設けられたー外線透光慧６より入射する
入射光の範囲を規定するスリット６Ｃを有するコールド
・シールド板６ｂとコールド・シールド筒体６ａからな
るコールド・シールド本体６を図示のように配置して前
記検知素子ｌを覆う構造とし、該検知素子ｌと共にコー
ルド・Ｖ−ルド本体６も冷却し、該コールド・シールド
本体６自身が赤外線輻射体となることの防止をはかつて
いる、７は内管である。
ところで上述のようにコールド・シールド本体６を赤外
線検知素子ｌが載置された冷却基台８上に配置するに際
しては、前記赤外線検知素子ｌの中心と、対向するシー
ルド・シールド本体６におけるコールド・シー／Ｌ／／
Ｉ／ド板６ｂのスリット６ｃとの中心を一致させて配置
することが肝心であり、徒来においては第１図の縦断面
図及びＩ −１’切断線に沿う横断面を表す第２図に示
すように前記赤外線検知素子１が載置された冷却基台８
上にまずシールド・シールド筒体６ａを図示しないねじ
止め等圧より固定し、骸コーμド・シールド筒体６ａ上
に、前記素子ｌの外形よりも大きいスリブ）６０を沖央
に穿設したシールド・シールド板６ｂを載せ、例えば実
体顕微鏡を用いて前記素子ｌがスリット６Ｃ内の真下、
中央に位置するようにシールド・シールド板６ｂを水平
方向に移動調節して位置合せを行い、該コールド・シー
ルド板６ｂを前記シールド筒体６ａ上に接着剤等によっ
て固定するようにしていた、しかしながら、上述した前
記素子ｌに対するコ〜μド・シールド板６ｂのスリブ）
６Ｃの位置合せ方法にあっては、基準となる前記素子１
の外形パターンとスリットａｏ形状が同一パターン形状
でないため精度のよい位置合せができないといった難点
があった。
線検知素子ｌが載置された冷却基台８上に配置するに際
しては、前記赤外線検知素子ｌの中心と、対向するシー
ルド・シールド本体６におけるコールド・シー／Ｌ／／
Ｉ／ド板６ｂのスリット６ｃとの中心を一致させて配置
することが肝心であり、徒来においては第１図の縦断面
図及びＩ −１’切断線に沿う横断面を表す第２図に示
すように前記赤外線検知素子１が載置された冷却基台８
上にまずシールド・シールド筒体６ａを図示しないねじ
止め等圧より固定し、骸コーμド・シールド筒体６ａ上
に、前記素子ｌの外形よりも大きいスリブ）６０を沖央
に穿設したシールド・シールド板６ｂを載せ、例えば実
体顕微鏡を用いて前記素子ｌがスリット６Ｃ内の真下、
中央に位置するようにシールド・シールド板６ｂを水平
方向に移動調節して位置合せを行い、該コールド・シー
ルド板６ｂを前記シールド筒体６ａ上に接着剤等によっ
て固定するようにしていた、しかしながら、上述した前
記素子ｌに対するコ〜μド・シールド板６ｂのスリブ）
６Ｃの位置合せ方法にあっては、基準となる前記素子１
の外形パターンとスリットａｏ形状が同一パターン形状
でないため精度のよい位置合せができないといった難点
があった。
（４）発明の目的
本発明は上述の点に鑑みなされたもので、その目的は、
スリットを有するコールド・シールド板を赤外線検知素
子上にシールド・シールド筒体を介在させて配設するＫ
あたり、前記検知素子と同一のパターンからなる位置合
せパターンを有するガラスマスクを用いて精度よく位置
合せし得る赤外線検知装置の組立方法を提供すゐにある
。
スリットを有するコールド・シールド板を赤外線検知素
子上にシールド・シールド筒体を介在させて配設するＫ
あたり、前記検知素子と同一のパターンからなる位置合
せパターンを有するガラスマスクを用いて精度よく位置
合せし得る赤外線検知装置の組立方法を提供すゐにある
。
（５） 発明の構成
かかる目的を達成するために本発明は、予め複数個の合
せマークを上面に設けたコールド・ｙ−μド板上に、前
記合せマークと対応する合せマークと中心に赤外線検知
素子と同様パターンからなる位置合せパターンを有する
ガラスマスクを仮付けし、赤外線検知素子−が載置せる
冷却基台上に固定されたコールド・シールド筒体上に、
前記ガラスマスクの位置合せパターンを赤外線検知素子
と合致させた状頗でシールド・ｙ−Ａ／ド板を固定配置
するようにしたことを特徴としている。
せマークを上面に設けたコールド・ｙ−μド板上に、前
記合せマークと対応する合せマークと中心に赤外線検知
素子と同様パターンからなる位置合せパターンを有する
ガラスマスクを仮付けし、赤外線検知素子−が載置せる
冷却基台上に固定されたコールド・シールド筒体上に、
前記ガラスマスクの位置合せパターンを赤外線検知素子
と合致させた状頗でシールド・ｙ−Ａ／ド板を固定配置
するようにしたことを特徴としている。
（６）発明の実施例
以下図面を用いて本発明の一実施例について詳細に説明
する。なお第１図及び第２図と同等部分には同符号を付
している、 まず第３図に示すように、中心部にスリブ）６０が穿設
されたコール下・ｙ−／Ｉ／ド板６ｂの上面に図示の如
く複数の合せ凹マーク８１を選択エツチング法によって
設けておく。また本発明の目的を達成せしめる補助合せ
具とし・て第４図に示すように中心部に赤外線検知素子
ｌと同様の素子パターンからなる位置合せパターン４２
と、該パターン４２の周囲に前記シールド・シールド板
６ｂ上の各合せ凹マーク８１に対応する合せマーク４８
を設けたガラスマスク４１を用意しておく。次いで第５
図に示すように前記コールド・シールド板６ｂ上に・用
意されたガラスマスク４１を双方の各合せ凹マーク８１
と対応する合せマーク４８が一致した状頗に重ね合せて
例えばワックス等で両者を仮固定する。この工程は通常
のマスクアフイナと呼ばれるマスク合せ装置によって容
易に行うことができ、シールド・シールド板６ｂのスリ
ット６Ｃ内の中心にガラスマスク４１側の前記位置合せ
パターン４２が正確に位置するように合せられている。
する。なお第１図及び第２図と同等部分には同符号を付
している、 まず第３図に示すように、中心部にスリブ）６０が穿設
されたコール下・ｙ−／Ｉ／ド板６ｂの上面に図示の如
く複数の合せ凹マーク８１を選択エツチング法によって
設けておく。また本発明の目的を達成せしめる補助合せ
具とし・て第４図に示すように中心部に赤外線検知素子
ｌと同様の素子パターンからなる位置合せパターン４２
と、該パターン４２の周囲に前記シールド・シールド板
６ｂ上の各合せ凹マーク８１に対応する合せマーク４８
を設けたガラスマスク４１を用意しておく。次いで第５
図に示すように前記コールド・シールド板６ｂ上に・用
意されたガラスマスク４１を双方の各合せ凹マーク８１
と対応する合せマーク４８が一致した状頗に重ね合せて
例えばワックス等で両者を仮固定する。この工程は通常
のマスクアフイナと呼ばれるマスク合せ装置によって容
易に行うことができ、シールド・シールド板６ｂのスリ
ット６Ｃ内の中心にガラスマスク４１側の前記位置合せ
パターン４２が正確に位置するように合せられている。
しかる後図示しないマスク合せ装置の上下、水平移動調
整台上に、第６図に示す形で赤外線検知素子１が載置さ
れた冷却基台８に予め取付けられたコールド・シールド
筒体６ａを内管７ごと配置すると共に、その上面にコー
ルド・シールド板６ｂとガラスマスク４１の前記組合せ
体を保持し、図示しない装置の顕微鏡と前記調整台との
操作によって前記ガラスマスク４１の位置合せパターン
４２に、その直下の前記検知素子ｌの素子パターンが合
致するように位置合せを行ううかかる状頗の前記コール
ド・シールド板６ｂをコールド・シールド筒体６ａ上部
に接着剤等によつ゛て固着した後仮固定されたガラスマ
スク４１を除去する。
整台上に、第６図に示す形で赤外線検知素子１が載置さ
れた冷却基台８に予め取付けられたコールド・シールド
筒体６ａを内管７ごと配置すると共に、その上面にコー
ルド・シールド板６ｂとガラスマスク４１の前記組合せ
体を保持し、図示しない装置の顕微鏡と前記調整台との
操作によって前記ガラスマスク４１の位置合せパターン
４２に、その直下の前記検知素子ｌの素子パターンが合
致するように位置合せを行ううかかる状頗の前記コール
ド・シールド板６ｂをコールド・シールド筒体６ａ上部
に接着剤等によつ゛て固着した後仮固定されたガラスマ
スク４１を除去する。
かくすればコールド・シールド板６ｂのスリブ）６０を
、対向する前記検知素子１に対して精度よく位置合せす
ることができ、かつ容易にコールド・シールド板６ｂを
固定することが可能となる。
、対向する前記検知素子１に対して精度よく位置合せす
ることができ、かつ容易にコールド・シールド板６ｂを
固定することが可能となる。
（７）発明の効果
以上の説明から明らかなように本発明の方法によれば、
スリブＦを有するコールド・シールド板を赤外線検知素
子上にコールド・Ｖ−μド筒体實介して配置するに際し
、前記検知素子パターンと同一の位置合せパターンを有
するガラスマスクを用いることにより、前記−知素子に
対してコールド・シールド板のスリブ）の位置合せが精
度よく行える利点を有し、実用上極めて効果的である、
スリブＦを有するコールド・シールド板を赤外線検知素
子上にコールド・Ｖ−μド筒体實介して配置するに際し
、前記検知素子パターンと同一の位置合せパターンを有
するガラスマスクを用いることにより、前記−知素子に
対してコールド・シールド板のスリブ）の位置合せが精
度よく行える利点を有し、実用上極めて効果的である、
第１図及び第２図は、従来の赤外線検知装置の組立方法
を説明するための要部縦断面図及び第１ＩＬ 図のＩ −１’切断線沿う横断面図、第８図、３％ｉｌ
及び第１図は、本発明に係る赤外線検知装置の組立方法
を順に説明するための各上面図及び要部縦断面図である
。 図において、１は赤外線検知素子、８は冷却基台、６ａ
はコールド・シールド筒体、６ｂはコールド・Ｖ−〜ド
板、６０はスリット、３１はコールド・シールド［、，
６ｂの合せ凹マーク、４１はガラスマスク、４２は位置
合せパターン、４８はガラスマスク４１の合せマークを
示す。 第１図 へ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
を説明するための要部縦断面図及び第１ＩＬ 図のＩ −１’切断線沿う横断面図、第８図、３％ｉｌ
及び第１図は、本発明に係る赤外線検知装置の組立方法
を順に説明するための各上面図及び要部縦断面図である
。 図において、１は赤外線検知素子、８は冷却基台、６ａ
はコールド・シールド筒体、６ｂはコールド・Ｖ−〜ド
板、６０はスリット、３１はコールド・シールド［、，
６ｂの合せ凹マーク、４１はガラスマスク、４２は位置
合せパターン、４８はガラスマスク４１の合せマークを
示す。 第１図 へ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- 赤外線検知素子が載置された冷却基台上に同室されたコ
ールド・シールド筒体上忙、該検知素子に対する入射光
の視野規定用スリットを中心に有するコールド・シール
ド板を配設するに際し、予め複数個の合せマークを上面
に設けたコールド・シールド板上に前記合せマークと対
応する合せマークと、中心に前記赤外線検知素子と同様
パターンとが形成された位置合せパターンを有するガラ
スマスクを仮付けし、前記コールド・シールド筒体上に
ガラスマスクの位置合せパターンを赤外線検知素子と合
致させた状態でコールド・シールド板を固定支持するよ
うにしたことを特徴とする赤外線検知装置の組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193302A JPS5892921A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 赤外線検知装置の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193302A JPS5892921A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 赤外線検知装置の組立方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892921A true JPS5892921A (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=16305645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56193302A Pending JPS5892921A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 赤外線検知装置の組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5892921A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6467186B2 (en) | 1990-08-29 | 2002-10-22 | Hitachi, Ltd. | Transferring device for a vacuum processing apparatus and operating method therefor |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP56193302A patent/JPS5892921A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6467186B2 (en) | 1990-08-29 | 2002-10-22 | Hitachi, Ltd. | Transferring device for a vacuum processing apparatus and operating method therefor |
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