JPS5888706A - カラ−映像装置とその製造方法 - Google Patents

カラ−映像装置とその製造方法

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JPS5888706A
JPS5888706A JP57195430A JP19543082A JPS5888706A JP S5888706 A JPS5888706 A JP S5888706A JP 57195430 A JP57195430 A JP 57195430A JP 19543082 A JP19543082 A JP 19543082A JP S5888706 A JPS5888706 A JP S5888706A
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filter
color
filter element
barrier layer
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JP57195430A
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English (en)
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ハワ−ド・カ−チス・ニ−ヅ
ロ−デウイ−ク・ブロク
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • H04N25/13—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements
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  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Color Electrophotography (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、架剤で色付けする方法を用いてそれぞれ異な
る色の光を通過させる少なくとも２つのフィルタ素子系
を形成させるようにした１つの層を有する色フィルタと
映像装置とを含むカラー映像装置、ならびにこの種装置
の製造方法に関するものである。
この種カラー映像装置に関しては、米国特許第４．０８
１，２７７号により公知であり、ビデオ画像の録画用に
使用されている。この既知の装置の場合は、感光素子系
を有する半導体層により該映像装置を形成し、前記感光
素子糸に直接色フィルタを取付けるようにしている。ま
た、前記色フィルタは、例えば、赤、緑および青のよう
な複数の色の光を通過させるフィルタ素子糸を有する１
つの層により形成している。この場合、正しいビデオ信
号を得るためには、色フィルタの各フィルタ素子を半導
体層の感光素子と正しい位置関係となるよう配置する必
要がある。
これらの色フィルタの製造に当っては、まず、半導体層
上に透明層を設けた後、その上にバリヤ層（障壁）を配
置し、次に写真石版工程を用いて前記バリヤ層に開口部
パターンを形成きせる。この場合、前記開口部パターン
は形成しようとする１つの色のフィルタ素子糸に対応せ
しめる。次いでバリヤ層の開口部に架剤を供給し、開口
部の下側にある透明層の領域に染色をほどこした後、バ
リヤ層を除去する。このような方法で、例えば、赤色光
を通過させる第１フイルタ素子糸を形成させた後、緑色
光および青色光を通すフィルタ素子系を形成するため、
前記工程を反復する。色フィルタはストライブフィルタ
またはモザイクフィルタとして形成するを可とする。
しかしながら、上述の方法により色フィルタを製造する
際は、感光素子に門するフィルタ素子の位置決め誤差と
色欠陥を生ずるという難点がある。
また、バリヤ層の開口部を介して透明層に染色する際に
は、開口部のすぐ下の領域だけに色付けすることが望ま
しいが、層に平行な方向への拡散により、架剤は当初予
定していた領域外に容易に浸透することとなり、その結
果、フィルタ素子の縁部）こ沿って異なる糸に属するフ
ィルタ素子の色かにじんだ領域が形成される。さらに、
一方では、透明層は、層に平行な方向における拡散がき
わめて小さいものでなければならず、他方においては、
梁側を容易に吸収しつるようなものでなければならない
という要求が課せられる。これら２つの要求を満たすと
いう観点からいえば、透明層用として好適な材料の数は
極度に制限される。
また、バリヤ層の開口部の縁部の尖鋭さを与えるために
は、バリヤ層には写真石版工程に対して大きな分解能を
４えるようにすることが必要であり、さらに、異なる色
の光を通過させるフィルタ素子糸は相互にきわめて正し
く境を接するようにしなければならず、また、６糸のフ
ィルタ素子の・位置は関連する感光素子に正しく対応さ
せる必要があることから、８つの写真石版工程はきわめ
て正確なことを必要とする。
本発明の目的は色欠陥の発生を大幅に抑制するよう形成
した色フィルタを具えたカラー映像装置を提供しようと
するものである。また、本発明は、簡単に製造が可能で
、かっ色フィルタのフィルタ素子を映像装置の感光素子
に対して正しく位置決めしつるようなカラー映像装置を
提供することを他の目的とする。
これがため、上述形式の本発明カラー映像装置において
は、該フィルタ素子を該層に設けた隔離領域により相互
に隔離するようにしたことを特徴とする。
このように、フィルタ素子間に隔離領域を設けることに
より、１つのフィルタ素子糸用の梁側が層に平行な方向
への拡散により他のフィルタ素子系の領域に入りこむこ
とを防止することができ、かくして、色フィルタにおけ
る色欠陥の発生を抑制することができる。また、この場
合には、層に平行な方向における拡散に関する制限がほ
とんどないため、染色しようとする層の材料に関する選
択の幅を大きくとることが可能となる。ざらに、本発明
色フィルタの場合は、δつの正確な写真石版工程の代り
に、隔離領域を設けるためだけの１っの正確な写真石版
工程を必要とするのみであり、したがって、フィルタ素
子と感光素子の関係位置の正確度を向上させることがで
きる。このように、必要とする正しい写真石版工程ステ
ップの数が少なくてすむことは、色フィルタの製造が簡
単になることを意味する。
また、本発明カラー映像装置の一実施例においては、該
隔離領域を層内に設けた溝部により形成したことを特徴
とする。かくすれば、１つのフィルタ素子から他のフィ
ルタ素子への梁側の拡散を不可能とするような隔離フィ
ルタ素子を与えることができる。
さらに、本発明カラー映像装置の他の実施例においては
、該隔離領域を、液体をほとんど通さないような構造に
変換した領域により形成したことを特徴とする。梁側を
容易に吸収するような層構造は、物理的または化学的に
、液体をほとんど通さないような構造に変換することが
できる。この不浸透構造も、梁側が１つのフィルタ素子
から他のフィルタ素子に拡散することを防止する機能を
有する。
フィルタ素子は、上述のように、フィルタ素子の寸法に
比しきわめて狭小な隔離領域により隔離することができ
る。きわめて高い品質を特徴とする特別の場合には、隔
離領域を介して流れ落ちる光が妨害効果をもたらす。し
たがって、その場合には、隔離領域のエリアにおけるゾ
ーンに不透光性をもたせるようにする必要がある。この
目的のため、本発明の他の実施例の場合は、隔離領域の
エリアに、例えば蒸着金属層のような不透光層を設ける
ようにしたことを特徴とする。
また、本発明カラー映像装置の他の実施例においては、
感光素子系を有する千尋体層により該映像装置を形成し
たことを特徴とする。この場合、映像装置は、センサの
構造に応じてストライプフィルタまたはモザイクフィル
タを含む半導体センサにより形成する。すなわち、スト
ライプフィルタは、例えば、いわゆるフレームトランス
７アセンサとして構成されたＣ０Ｄ（電荷結合装置）を
有するセンサに使用し、モザイクフィルタは、例えば、
集積光ダイオードを有するｘ−ｙセンサに使用する。
さらに、本発明の他の実施例においては、該色フィルタ
を該半導体層上に直接配置するようにしたことを特徴と
する。かくすれば、簡単な方法でそのフィルタ素子を半
導体層の感光素子と正しい位置関係に配置しつるような
色フィルタを提供することができる。また、本発明の他
の実施例によるときは、該色フィルタを透明基板上に配
置し、該基板を半導体層に固着させるようにすることも
できる。ただし、この場合は、色フィルタのフィルタ素
子を半導体層の感光素子に対して正しく位置決めするた
めの余分な工程を必要とする。
本発明は、それに限定されるものではないが、特に、感
光素子を有する半導体層の形状の映像装置用として適し
ている。例えば、本発明の他の実施例によるときは、窓
部を含み、該窓部の内側上に感光層を配置するようにし
た陰極線管により該映像装置を形成し、該感光層と該窓
部との間に色フィルタを配置するようにしている。この
実施例の場合は、該色フィルタを該陰極線管の窓部に直
接耐着することもでき、もしくは、該色フィルタを基板
上に配置した後、該基板を管の窓部に固着させるように
することもできる。
また、本発明Ｏこよる映像装置の製造方法は、ａ）基板
上に透明層を設ける工程と、 ｂ〕　該層内にフィルタ素子を形成するため、写真石版
工程を用いて該透明層に隔離領域のパターンを与える工
程と、 ○）該透明層上にバリヤ層を設ける工程と、ｄ）写真石
版工程を用いて、該バリヤ層に第１フイルタ素子糸に対
応する開口部パターンを４える工程と、 ｅ）該バリヤ層の開口部を介して該第１の糸のフィルタ
素子に梁側を供給する工程と、 ｆ）該バリヤ層を除去する工程と、 を含むことを特徴とする。
ただし、異なる色の光を通過させる他のフィルタ素子糸
の形成に際しては、上述方法の工程Ｃ）ないし工程ｆ）
を反復することが必要である〇本発明方法は、透明層に
隔離領域のパターンを４えるためにのみ、正確な写真石
版工程ステップを必要とするという利点を有する。また
、隔離フィルタ素子を形成するようにしているため、層
に平行な方向における拡散を小とする必要がなくなり、
したがって、染色しようとする透明層用の材料の選択に
大きな幅を与えることが可能となる。
また、隔離領域を設けるようにしているため、フィルタ
素子の寸法は完全に固定され、バリヤ層の開口部の寸法
により決める必要性はなくなる。かくして、バリヤ層内
の開口部の寸法をフィルタ素子の寸法より小さく選定す
るこ４ができ、したがって、正確な写真石版工程を用い
て開口部を設けることを要せず、ざらに、バリヤ層の分
解能も大きくするを要しない。
以下図面により本発明を説明する。
第１ａｌｌはいわゆるｘ−ｙセンサとして構成したカラ
ー映像装置の一部を示す断面図である。映像装置ｌは半
導体材料層２を含み、前記半導体層２内に多数の光ダイ
オード８を行列配置状に形成させる。色フィルタは前記
光ダイオード糸上に配置し、赤（Ｒ）、縁（Ｇ）および
青ＣＢ）のようなカラーを通過させるフィルタ素子糸４
によりこれらを形成する。種々の前記フィルタ素子糸４
は第１ｂ図に示すようにいわゆるモザイクフィルタを形
成する。第１ｂ図は第１図示装置の平面図である。
フィルタ素子４の各々は半導体層２内の関連の光ダイオ
ード８上に正しい関係位置となるよう配置し１光ダイオ
ード８の縁部上に伸長する溝部５により相互に隔離させ
るようにする。半導体層２は、例えば、約δ（）０μｍ
　の面積を有する５００×８００光ダイオード８を含み
、その上に、例えば、約１〜５μｍの幅を有する溝部５
で隔離したフィルタ素子４を配置する。
図示映像装置の作動は簡単にいえば次のとおり１である
。すなわち、撮像しようとする被写体は光ダイオード糸
δに表示され、その結果、光ダイオードδには電荷が生
ずる。一方、各光ダイオード８は、同じく半導体Ｎ２内
に形成した電界効果トランジスタ（図示を省略）を介し
てＸ導体およびＸ導体のマトリックスに接続されている
。かくして、形成された荷電像はＸ導体およびＸ導体を
正しいシーケンスで駆動することにより読取ることが可
能となる。
以下第２ａ図ないし第２ｄ図により半導体層２の感光素
子８の色フィルタの製造に関し詳細に説明することにす
る。まず始めに、約０．５〜３μｍの厚みを有する半導
体Ｎ２上に透明層１０を設ける（第２ａ図祢照）。層１
０もフォトレジスト層により形成するを可とする。この
場合、層１０それ自体を７オトレジスト層により形成し
ない場合は、透明層上にフォトレジスト層を設けるよう
にする。次いで、所要の溝部パターンを有し、かつ半導
体層２内の感光素子δに対し正しく位置決めされたフォ
トマスクを通じて透明層を露出させる・。
これを現像した後には、第２ｂ図に示すように、溝部５
で隔離されたフィルタ素子４が得られる。
このような溝部５を設けることにより、全フィルタ素子
４の位置は感光素子δに対して固定される。
次に、フォトレジスト層により形成するを可とする約０
．５〜２μｍの厚みのバリヤ層（障壁〕１］−を配置す
る（第２Ｃ図参照）。次いで、開口部パターンを有する
マスクを通してこの層１１を露出させ、この層】１を現
像して層内の開口部１２を得るようにする（第２ｄ図参
照）、前記開口部１２の寸法はフィルタ素子４の寸法よ
り小きくする。かくすれば、バリヤ層１】に開口部１２
を配置するに際して高度の正確さを必要とせず、さらに
、バリヤ層１］の分解能を大きくするを要しない。開口
部１２は、例えば、赤色光を通す東側で１色付けする必
要がある全フィルタ素子４上に配置する。東側は開口部
１２を介して４えるようにし、拡散によりフィルタ素子
４に染色するようにする。
溝部５の配置は、赤色の東側が予定外にフィルタ素子４
に入り込むことを防止している。かくして１、染色を終
った後、バリヤ層１１を取除く。次に、権々のフィルタ
素子糸４に対して、それぞれ緑色光および青色光を通す
東側に関するバリヤ層の配置ならびＧこ後続の工程を反
復して、第１ｂ図に示すようなモザイク色フィルタを得
ることができる。
以下、色フィルタを製造する上述方法について、特定例
に関し詳述することにする。
例Ｉ 透明なフォトレジスト層をスピンコーティングにより１
ないし２μｍの厚みで半導体層上に配置する。フォトレ
ジスト層は、例えば、コダック（Ｋｏｄａｋン社から商
品名ＫＰＲおよびＫＰＬで市販されているフォトレジス
トのようなポリビニール桂皮酸塩により形成するを可と
する。前記層は９０“Ｃの温度で１０分間乾燥し、次い
で、３ｏ。
〈λ＜　４００　ｎｍの波長を有するＵＶ光によりフォ
トマスクを通して８６秒間露出させる。次にフォトレジ
スト層の非Ｎ田部分をトルエン内で１２０秒現像して取
除き、溝部で隔離されたフィルタ素子を得る。ここで、
層を９０″Ｃで１０分間乾燥した後、バリヤ層として約
２μｍの厚みのフォトレジスト層を設ける。フォトレジ
スト層は、例えば、（ＮＨ４）ＢＯｒ、０７２％、ゼラ
チン７．５％および水９０．５％の重量パーセント組成
よりなるゼラチン重クロム酸フォトレジストにより形成
する。この場合、ゼラチン重クロム酸フォトレジストの
代りに、フィッシュグルー重クロム酸フォトレジストを
使用することもできる。層は、５０℃で１０分間乾燥し
た後、フォトマスクを通して１８０秒間ＵＶ光に曝らし
、非露出領域を１８０秒間水で洗滌する。
かくすれば、フィルタ素子上のバリヤ層には、最初に染
色しようとする開口部が得られる。染色は、基板上に設
けた重合体のバインダ層内に分散させる熱伝導染色によ
り行うようにする。例えば、青の染色の場合、層は、Ｂ
ＡＳＦ社から商品名ルラフィックスブ／ｌ／　−（Ｌｕ
ｒａｆｉｘ　Ｂｌｕｅ　）　Ｆ　−ＲＬで市販されてい
る東側５％、コダック（Ｋｏｄａｋ　）社から商品名テ
ナイト１１　（Ｔｅｎ１ｔａ　ＩＩ　）、Ｅ　ＡＢ　−
１３８１−２０で市販されているセルルーズ酪酸塩４％
、エチルアルコール８６％、エチルグリコール８６％お
よびアセトン１％の重量パーセント組成を有する。フィ
ルタ素子を有する半導体層に実際に染色する場合は、バ
インダ層を有する基板およびバリヤ層を加熱して水分お
よび溶剤の残滓を除去するようにする。次いで、バリヤ
層およびフィルタ素子を有する半導体層をバインダ層上
に置き、８分間２１０℃の温度まで加熱する。このよう
な高い温度のもとでは、架剤をバ・ｒンダ層からバリヤ
層の開口部の下側にあるフィルタ素子内に拡散させるこ
とができる。かくして染色した後、８０°Ｃの５０％水
酸化ナトリウム溶液内でバリヤ層を取除き、ついで、充
分に洗滌し、乾燥した後、赤色光および緑色光を通すフ
ィルタ素子に染色する工程を繰返えす。ただし、バイン
ダ層においては、青の架剤、ルラフィックスブ／ｌ／　
−（Ｌｕｒａｆｉｘ　Ｂ１ｕｅ′）Ｆ−ＲＬを、赤色光
通過フィルタ素子の場合は、ルラフイツクスレツド（Ｌ
ｕｒａｆｉｘ　Ｒｅｄ　）　ＲＦ　ニ置き換え、緑色通
過フィルタ素子の場合は、ルラフィックスブルーＦ−Ｒ
Ｌとルラフィックスイエロー　（Ｌｕｒａｆｉｘ　Ｙｅ
ｌｌｏｗ　）　ＲＬの混合物に置き換えなければならな
い。
例■ 透明なフォトレジスト層をスピンコーティングにより半
導体層上に配置する。フォトレジスト層は、例えば、（
ＮＨ４）２０ｒ、０７８．ｑ　ｑｒ、ノーランドブロタ
クツ社（Ｎｏｒｌａｎｄ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　Ｉｎｃ、
　）から市販されている商品名ノーランドフォトグレー
バグルー　（Ｎｏｒｌａｎｄ　ｐｈＯｔｏｇｒａＶｅｒ
Ｇ　Ｇｌｕｅ　）δ７，５％、アセトン６．８％および
水５８．５％の重量バーセン）　ｆｔｌ成を有するフィ
ッシュグルー重クロム酸フォトレジストにより形成する
。この場合、フィッシュグルー重クロム酸フォトレジス
トの代り【こ、ゼラチン重クロム酸フォトレジストを使
用することもできる。フォトレジスト層は５０℃の温度
で１０分間乾燥し、次いで、フォトマスクを通してＵＶ
光に１２０秒間露出させる。さらに、フォトレジスト層
を流水中で２分間現像した後、溝部で隔離された感光素
子を得る。ここでζ層を９０℃で１．０分間乾燥した後
、スピンコーティングによりバリヤ層として約１μｍの
厚みの７オトレジス）　ＪＨを設ける。このフォトレジ
スト層は、例えは、米国シップレイ社（Ｓｈｉｐ１８ｙ
ｃｏｍｐａｎｙ　）から商品名シップレイ（５ｈｉｐｌ
ｅｙ　）　Ａ　Ｚ　１８５０で市販されているようなナ
フトキノンダイヤザイド形（ｎａｐｌ’１ｔＯ−ｑｕｉ
ｎｏｎｅ　ｄｉａｚｉｄｅ　ｔｙｐｅ　）の正のフォト
レジストにより形成する。層はフォトマスクを通して曝
らした後、例えは、シップレイＡＺ現像液で現像し、次
いで、１２０°Ｃの温度で１０分間乾燥させ、かくして
、バリヤ層の開口部を得るようにする。フィルタ素子の
染色は先染め（ｗｏｏｌ　ｄｙｅｓ　）水溶液により行
う。赤色光通過フィルタ素子を染色する溶剤としては、
チバガイギ社（０ｉｂａ　Ｇｅｉｇｙ　）から市販され
ている商品名ネオボーラブυラントロツ）　Ｂ　（Ｎｅ
ｏｐｏｌａｒ　Ｂｒ１ｌｌａｎｔ　Ｒｏｔ　Ｂ　）　１
％、酢酸０．６％、酢酸ナトリウム０．８％および水９
７．６％□の重量パーセント組成を有するものが適当で
あり、青色光通過フィルタ素子を染色する溶剤としては
、サンドウズ社（５ａｎｄｏｚ　）から市販されている
商品名サンド−ラン・ウオルクブラウ（５ａｎｄｏｌａ
ｎ−Ｗｏｌｋｂｌａｕ　）　Ｎ　−Ｆ　ＲＬ　］％、酢
酸０．６％、酢酸ナトリウム０．８％および水９７．６
％の重量パーセント組成を有するものが適当であり、ま
た、緑色光通過フィルタ素子を染色する溶剤としては、
チバガイギ社（Ｃ１ｂａ　Ｇｅ１ｇＭ　）から市販され
ているソロフェニールターキッシュプラウ（５ｏｌｏｐ
ｈｅｎｙｌＴｕｒｋｉｓｃｈ　Ｂｌａｕ　）　Ｂ　ＲＬ
　Ｏ，８％、同じくチバガイギ社から市販されている商
品名工リオニールグリュ−ン（Ｅｒ１ｏｎｙｌ　ｇｒｕ
ｎ　）　４６　０．４％、サンドウズ社（５ａｎｄｏｚ
　）から市販されている商品名サンドーランエクトゲル
ブ（５ａｎｄｏｌａｎ　Ｅｃｈｔ　Ｇｅ１ｂ　）　ＰＬ
４００．３％、酢酸０．６％、酢酸ナトリウム０゜８％
および水９７．６％の重量パーセント組成を有するもの
が適当である。架剤は８０°Ｃの温度で５分間フィルタ
素子に供給するようゃこし、染色を終った後、アセトン
で洗滌することにより正のフォトレジストを取り除く。
以下第８図に示す他の実施例に関し詳述することにする
。第８図において、第１ａ図と同じ構成素子に関しては
同一符号数字を用いて表示しである。図示装置の場合は
、溝部５の領域における光ダイオード層δ上に、例えば
、０．１〜１μｍの厚さのニッケルよりなる金Ｍ層ｉ５
を蒸着させる。これは、狭い溝部５を通して光ダイオー
ド３に入射する光の妨害作用を防止する働きをする。第
１図、第２図および第３図に示す映像装置の場合は、感
光素子を有する層上に直接色フィルタを配置するように
しており、これは、正確に溝部のパターンを４えるよう
にした場合、フィルタ素子を感光素子に対して正しく位
置決めできるという利点を有する。しかし、これとは別
に、透明な基板上に色フィルタを配置し、フィルタ素子
および感光素子を一列に配列した後、半導体層に固着さ
せるようにすることもできる。
次に、本発明色フィルタの第２実施例の製造方法に関し
、第４図により詳細に説明する。図示のように、この場
合は、約０．５〜８μｍの厚さを有する透明なフォトレ
ジスト層２０をスピンコーティングにより半導体層２の
光ダイオード層上に配置する。層２０は負のフォトレジ
スト、すなわち、露出により不溶性となるような重合体
形式のフォトレジストによりこれを形成する。透明層２
０は、隔離領域パターンを有し、かつ光ダイオードδに
対し正しく位置決めされたフォトマスクを通して、例え
ばＵＶ光に露出させるようにする。この露出により、露
出隔離領域２２はフィルタ素子２１の非露出領域と異な
る構造を呈することになる。実際には、露出の結果、層
２０の重合体チェーン間にクロスリンクが形成され、重
合体は不溶性となる。また、かくして形成されたクロス
リンクにより、重合体の蜜度はかηＣり増え、駒２０は
露出隔離領域２２のエリヤにおいて液体をほとんど通さ
なくなる。さらに、フィルタ素子２１よりなる糸の染色
は、第２Ｃ図および第２ｄ図に関し前述したと同じ方法
で行うが、この場合には、フィルタ素子２１の材料を不
溶性にするため、バリヤ層を除去した後、ＵＶ光に曝ら
すようにすることが望ましい。
また、隔離領域のエリアＧこおける層を化学的方法を用
いて、はとんど液体を通さない構造に変換する方法で、
フィルタ紫子間に隔離領域を形成させるようにした未染
色透明層を使用することもできる。
上述の実施例においては、モザイクフィルタを含むダイ
オードを有するｘ−ｙセンサにより該映像装置を形成し
ているが、その構造船こ応じて、モザイクフィルタまた
はストライブフィルタを設けるを要する他の形式のセン
サに本発明を使用することもできる。例えば、ストライ
ブフィルタを４えるべく、いわゆるフレームトランス７
アセンサとして形成したＣＯＤ　（電荷結合装置）を有
するセンサに本発明を使用することもでき、もしくは、
モザイクフィルタを与える０ＩＤ（電荷注入装置）セン
サに本発明を使用することもできる。
次に、陰ｆｉ！ｉｉ線管の断面を示す第５ａ図により、
本発明カラー映像装置の第８実施例を詳細に説明する。
陰極線管８０は窓部８２を有するガラスエンベロープ８
１により形成し、窓部８２の内側に色フィルタ８９を取
付ける。色フィルタは、それぞれ、赤色光、緑色光およ
び青色光を通過させるストライブ状フィルタ素子８９Ｒ
，８９Ｇおよび８９Ｂにより形成したいわゆるストライ
プフィルタと呼ばれるものである。前記の各フィルタ素
子は溝部により隔離し、染色中に架剤が流れることをこ
より色欠陥が生じないようにしている。この場合、溝部
を設ける代りに、架剤をほとんど通ざないような構造を
有する隔離領域により各フィルタ素子を相互に隔離する
ようにすることもできる。
ストライブフィルタ８９はきわめて薄いガラス層４０で
被覆し、その上にδつの指状の透明な信号電極４δＲ，
４３Ｇおよび４８Ｂを設ける。フィルタ素子８９は前記
信号電極４８と正しい位置関係となるようこれらを配置
する。第５ｂ図はこれら８つの指状信号電極４８Ｒ，４
１Ｇおよび４８Ｂの形状を示す。また、前記信号電極４
δ上には光導電層４４を配置する。管は、ざらに、層４
４に指向する電子ビームを生成し、集束させるための陰
極δ６を具える。また、感光層４４上の電子ビームをほ
ぼ平行なうインのラスタにより伽向させるため、管の周
囲にはコイル糸８７を配置する。
かくすれば、撮像しようとする被写体は、色フィルタδ
９を通して感光層４４上に投影されるので、１曽４４の
自由表面には信号電極４８に供給される電位の制御のも
とに荷電像が形成される。この荷電像は走査ビームによ
り変形され、δつの各カラー用のビデオ信号は抵抗を介
して信号電極４８Ｒ２４’ｌＧおよび４３Ｂから抽出さ
れる。
第５ａ図示実施例においては、陰極線管の窓部上に色フ
ィルタを直接取り付けるようにしているが、ガラスプレ
ート上に色フィルタを配置し、該ガラスプレートを陰極
線管に固着させるようにすることもできる。
以上、赤色光、緑色光および青色光を通過させるフィル
タ素子を有するストライプフィルタまたはモザイクフィ
ルタにより色フィルタを形成した実施例につき記述して
きたが、本発明は原色光を通すフィルタ素子を有する色
フィルタに限定されるものでなく、シアン、マゼンダお
よびイエローのような補色光を通過させるフィルタ素子
、あるいは原色光を通過させるフィルタ素子と補色光を
通過させるフィルタ素子、あるいは原色光を通過させる
フィルタ素子と補色光を通過させるフィルタ素子の組合
わせにより前記色フィルタを構成することもできる。例
えば、色フィルタとしては、赤色光、緑色光およびシア
ン色光を通過させるフィルタ素子、または白色光、緑色
光およびシアン色光を通過させるフィルタ素子、もしく
は白色光、イエ四−色光およびシアン色光を通過させる
フィルタ素子を有するものを使用することも可能である
。
【図面の簡単な説明】
第１ａ図は本発明カラー映像装置の第１実施例の一部を
示す断面図、 第１ｂ図は第１ａ図示装置の平面図、 第２ａ図ないし第２ｄ図は第１ａ図示カラー映像装置の
各製造工程を示す図、 第８図は第１ａ図示カラー吠像装置の他の変形例の一部
を示す断面図、 第４図は本発明カラー映像装置の第２実施例の一部を示
す断面図、 第５ａ図は本発明カラー映像装置の第３実施例の断面図
、 第５ｂ図は第５ａ図示装置の線Ｖｂ−ｖｂによる断面図
である。 １・・・カラー映像装置　　２・・・半導体層８・・・
感光素子（光ダイオード） ４．２１・・・フィルタ素子　５・・・溝部１０、２０
・・・透明層　　　　１１・・・バリヤ層１２・・・開
口部　　　　　　１５・・・金属層２２・・・隔離領域
　　　　　３０・・・陰極線管８１・・・ガラス　エン
ベロープ δ２・・・窓部　　　　　　　８５・・・電極手段８６
・・・陰！＃８ｑ・・・偏向コイル糸８９、３９Ｒ，３
９Ｇ、　３９Ｂ・・・色フィルタ素子４０・・・薄層 壱δ、４δＲ，４８Ｇ、　４δＢ・・・信号電極４４・
・・光導電層。 特許出願人　　エヌ・ベー・フィリップス・フルーイラ
ンペンファブリケン

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　架剤で色付けする方法を用いてそれぞれ異なる色の
    光を通過させる少なくとも２つのフィルタ素子糸を形成
    させるようにした１つの層を有する色フィルタと映像装
    置とを含むカラー映像装置において、該層に設けた隔離
    領域により該フィルタ素子を相互に隔離するようにした
    ことを特徴とするカラー映像装置。 ａ　該隔離領域を該層に設けた溝部により形成したこと
    を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。 ＆　該隔離領域を液体をほとんど通さないような構造に
    変換させた領域により形成したことを特徴とする特許請
    求の範囲第１項記載の装置。 表　該隔離領域のエリアに不透光層を設げるようにした
    ことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項の
    いずれかに記載の装置。 ５　感光素子糸を有する半導体層により該映像装置を形
    成したことを特徴とする特許１ｔｆｆ求の範囲第１項な
    いし第４項のいずれかに記載の装置。 ＆　該色フィルタを該半導体層上にＷ接装置するように
    したことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の装置
    。 Ｉ　該色フィルタを透明基板上（こ配置し、該基板を該
    半導体層に回着させるようにしたことを特徴とする特許
    請求の範囲第５項記載の装置。 ８、　窓部を含み、該窓部の内側に感光層を配置するよ
    うにした陰極線管により該映像装置を形成したこと、該
    感光層と該窓部との間に・該色フィルタを配置するよう
    にしたことを特徴とする特ａ′Ｉ−請求の範囲第１項な
    いし第４項のいずれかに記載の装置。 ９、　該色フィルタを該陰極線管の余部に直接装着する
    ようにしたことを特徴とする特許十１求の範囲第８項記
    載の装置。 １０、該色フィルタを透明基板上に配置し、該基板を該
    陰極線管の窩部に固着させるようにしたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第８項記載の装置。 】１．　　架剤で色付けする方法を用いてそれぞれ異な
    る色の光を通過させる少なくとも２つのフィルタ素子糸
    を形成させるようにした１つの層を有する色フィルタと
    映像装置とを含むカラー映像装置において、該層に設け
    た隔離領域により該フィルタ素子を相互に隔離するよう
    にしたカラー映像装置を製造するにあたりａ）　　基板
    上に透明層を設ける工程と、ｂ）該層にフィルタ素子を
    形成させるため、写真石版工程を用いて該透明層に隔離
    領域のパターンを４える工程と、 Ｃ）　　該透明層−ににバリヤ層を設ける工程と、ｄ）
    写真石版工程を用いて該バリヤ層に第１フイルタ素子糸
    に対応する開口部パターンを４える工程と、 ｅ）該バリヤ層の開口部を介して該第１の糸のフィルタ
    素子に架剤を供給する工程と、ｆ）該バリヤ層を除去す
    る工程 とを含むことを特徴とするカラー映像装置の製造方法。 １区　　異なる色の光を通過きせる他のフィルタ素子糸
    を形成きせるため、工程Ｃ）ないし工程ｆ）を反復する
    ようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１１項記
    載の方法。
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