JPS5888241A - 除振台の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は懺礪を１置したテーブルな！２気パ洋鰻直によ
って支持し、この璧気バネＩｊｉ装置に９！気を出入さ
せてテーブルをｊＩ＆準位瞳位置り獣伽頼直のｖｊＩ１
４１方ｆｆ１Ｋｌ！スル。

光学愼磐、槓Ｗ掬定−１ＩＣの製造鰻筺、′−子−Ｉｌ
−轡の憬憔は、その使用時きわめて倣少な振動や変位が
生じてもその作業に支障をさたし、めるいは枳品が不良
品となる恐れかめる。このような振動等の影譬からａｍ
を保線するために、第１凶のように愼ｇ１を＃氷台２に
鎮せることが打なわれている。

この除振台のうちでも敵も除１ｍ幼釆の謙れているもの
の一つとして、空気バネ餉［Ｋよって除振台２の上回の
デープル３な支持したものかめる。

このような誠蕪酋は、テーブルな支持する璧気バネ装蝋
に空気な出入させる升を設ける一方、テーブル下圓にｍ
階するテーブル変位慣知用プランジャーによって、ｉｎ
率位置がらのテーブルの位置ずれ負に応じて弁の開閉を
行なう。これによって、空気バネｌｔｈｉｗＬが上下に
１１１動しレベルの１１１１Ｅが竹なわれて、テーブル
が基準位置に、（３１婦するというもので、Ｍ／Ｌば米
１４１奸第３，７３０，４７３号ａｍ沓ＫＶ躯されてい
る。

このような従来の除振台は、テーブル下−に接してテー
ブルの位置すれ量を検出するプランジャーに対して原画
からの＊＊＊が体ゎらないような嶺雑な憬構を必費とす
る。しがも、ｆＩ勘の性質によっては、このような刈箪
をとってもプランジャー′に通じてｌｌ１Ｌ！Ｉｂがテ
ーブルに伝わるという欠点がめった・ また、基準位置からのテーブルの位置ずれ量が大きいと
きはプランジャーが大きく移動して弁に大量の空気が流
れ早くテーブルのレベルを修正するよう作動するが１位
置ずれ菫が愼少になるにつれて弁の闘藏が小さくなシ、
１１Ｌ終的Ｋｊ＆阜位置ヘテーブルが議鱒するｌでには
相当の黄時閣を費するという一点がめった。

不発明は上にの点に着目してなされたもので、久のよう
な目的を達成する−ので参る。

本発明の絹ｌの目的は、テーブルの位置すれ瀘な非修触
状賭で検出して、空気バネ装櫨を適切に駆動する除振台
の制一方法を提供することにるる。

本発明の第２の目的は、テーブル上の機械の１重が震動
したときもそれに対応して除振台に重過のレベル−１１
１Ｅ慎能を付与する除振台の劉一方ｆ、を提供すること
Ｋある、 本発明の第３の目的＃ｉは振合のレベル詞螢の楕政を十
分に尚くする除振台のＩＩＱＩ１１方法をＩＩｋ供する
ことにある。

本発明の第４の目的ｌｌ１ａ１６運で基準位置に復帰す
る除振台の制一方法を提供することにめる。

第２図は本発明の方法を実見した除振台をテーブル２１
の上方から見たｔので、テーブル２１の四隅に仝気バネ
装置２２．２３．２４．２５がそれぞれ配置されテーブ
ル２１を支持して−る。また、このテーブル２１の基＊
位置からの位にずれ菫を＃＃定するための３−のセンサ
２８．２Ｔ、２Ｂがテーブル２１の下方に配置されてい
る。

＊−でるる。

図に＆−て、テーブル３１は空気バネ装電３２により支
持されている。この空気バネＭＷ　３２は、テーブル下
！ｕＫｉｌするダイヤフラム３２１　と、仁れを支える
空気室３２２と、暦４２３とを有している。そして、９
気Ｎ３２２にはそこへ加圧空気な１入するための１気口
３２４とそこから空気を掛出するための排気口′４２５
とが設けられている、また１ｇ！、気憲３２２の上部の
ダイヤフラム４２１との境界櫨３２＠には所定１極の貢
遍孔な有するオリフィス３２１が取り付けられている。

一方、空気バネＭ１１３２の一方に張り出したアーム３
３上−には、テーブル３１の下山と虐定閾噛を開けてセ
ンサ３４が取り付けられている。仁のセンナ３４は依遅
するようにセンサ３４の王国とテーブル３１４０下圓と
の閾噛を稽曹に細足し。

この情報ｖｉ１１１−Ｗ＆櫨３５に送る。劃−餉皺３５
では、こＥ［＠に轟つきテーブル３１を上昇さぜるべき
か下降させるぺさかを判断し、併気ｆｆ３＠４ｔ、＜Ｆ
ｉ奴気升３１を作動させる。排気口３２ｓＫＦｉ併気升
３６が遅結されているので、排気弁３６が開放動作すれ
ば空気ｉｉｌ　３２２内の空気は排出され、これに伴っ
てダイヤフラム３２１が−みテーブルａｉＦｉ下神する
。ま九、吸気弁３７が開放動作すると、コンプレツナ３
＠内に蓄積された加圧空気が吸気口３２４を通じて空気
富３２２に流入し、オリフィス３２１を遍じてダイヤフ
ラム３２１を伸量させるので、テーブル３１＃ｉ上昇す
る、このような動作をテーブルを支持する４台のも空気
バネ鋏１１［Ｋよって行なうことにょ９、テーブルを床
面から所定のレベルに富ＫＭ持することができる。

第４図は、第２図に示したような４台の空気バネ鰻電を
３＠のセンサによって側御する方法をボすブロック図で
める。この凶ｒｔ纂２図と対応させるため、対応するセ
ンサや空気バネｉＩｋｗＬには四−の符号な何した。

図において、センサス１はテーブルの位置すれ菫に対応
する情報Ａを制＃装櫨４１に込り、ここでレベル＆１４
ｇ１Ｋ必冑な上昇パルス人士めるいに下降パル１人−を
発する。これに裏ってｌａ気升４２りる一Ｆｉ併′；＆
升４３が開放作動し、仝気バネ餉に２４のレベルを１１
１１４肇する。センサ２８についてもｉ１１律でめる。

−万、セン？２６は空気バネ装置２２と２３との中間に
おいてテーブルの位置丁れ童を構出するので、その情報
に基く上昇パルスＣ＋めるいは下降パルスＣ−は、２酋
の璧気バネ鉄直を１η１時にレベル１１Ｍ１Ｅするよう
にする。こｉ″Ｌは、２苗の＃ｔｗＩＬの９！気量なパ
イプ勢で遅幀して、谷ｌ−の吸気弁と排気弁をとりつけ
ることにより造ＩＢ、逼れる。

さて、それではＡ１１ｆｔ１９に上記のセンナがテーブ
ルの位置ずれ友をどのように恨知し、またこのような沫
掘台によれば、テーブルはとの根板の変址に刈してレベ
ル値増機舵な七するかを以下に脱明、する。

第５図にセンサの作１ｌＩＩｌ腺塩を示すブロック図で
める、 凶に２いて、センサ５１は発振回縁５１１　と。

この％伽電處が供縮されるコイル５１２お工ひコン１／
サコ１３との共振Ｌｇｌ路と、この共堀回鮎に處れる亀
眞を取り出して１１６ｔＬｌ！Ｌ流に叢供する愛眞回鮎
５１４とから構成されている、また、セ／す５１の費に
回路５１４からの出力は、侶号グープル５２を弁してｉ
ｌｌｊ１Ｍｌ鱗電５３円のＡｌｋｌコンバ−タｂ３１　
に送られる。

このセンサ５１は夾除にガえは仄のように作動する。

発掘回路５１１を約２００に肚の崗改畝で帖掘８ゼ、２
５０μｈのコイル５１２と０．Ｏ１μに゛のコン１ンサ
５１３とを並夕Ｕ接続した共ｈｔ口鮎にその晃愼ｍｌＬ
流を惧縮する。そして１例えは第６図のようにコイル６
２は一往棒のテーブル下１１６１　（わるいはテーブル
下興に設けた蝉牡棒似）に近域してと０何汀りれている
。第６図のような状聰で、テーブル６１か上昇または下
降なすると、コイルｂ２のインピーダンスが変化するｃ
ｇって、＃Ｊ７図に示すように上配共＆−鮎のインピー
ダンスｚはコイルのインダクタンスＬの変化に応じて、
２υｏ随に刈する共振点１１を憾大亀とする五石対碌の
ｌ−となる。ここで、コイル６２とテーブル６１との距
離がｌＯｍのときインダクタンスＬが第７図のＡ　、ａ
での瀧になるようにｌ錯建畝を設定すれは、共振１ｇｌ
鮎のインピーダンスは、テーブル６１が上昇すると上が
り、下降すると下がるようになる。

憾って、この共振Ｌｇ１ｗｌに２００陽の一定の発氷電
比が加わっていればここに＠ｎる電流がリニアにに化し
、これを姫流しｔＩＩ号はテーブルのレベルと対比した
嘘となる。上記Ｈボしたセンナによれは、テーブルとコ
イルとの間隔がｌＯ襲のとき畳ｇＬｌ路の直流出力電圧
に２．５■で、これが１５襲になったときは出力電圧は
０．５ｖというように艮灯にテーブルのレベルの構出な
することかでｔ！た。

しかも第５図のようにＩＩＩ＃鉄賑ｂ３へ地負される佃
方ケーブルｂ２Ｋに１１ｔＩｔ、ｔｌｌＬ比が加わるの
みでノイズに対して丼冨に独い利点を壱する。

１掘ｔ・に＊累される性能はその細道に応じて休々でめ
るが、上記ｏ７ｊ法によりセンサから侍らｆした０〜５
Ｖ＠＠の直置電圧をム／硬に侠してれ１鉤をおこなえば
２０μ程腋の位１丁れ１１４　ｍ１１足が用ＩＩヒでめ
る。

以上のようなセンサの出力を処理して升の開閉な割ｍす
る１」＃装置な第８図によって説明する。

第８図は、側獅装櫨のブロックダイヤグラムでめる。こ
の１ＩＩＪＩＩ４１皺直は、センナ８０１からの１匹出
力電圧偏号人をム／Ｌ）コンバータａＬＩ２によってデ
ジタル変侠しそのｊ＠号をＣＰＬＩ　　８０３　　の加
令によってパスライン６０４に込り出す。このパスライ
ンにはプログラム等が蕾き込まれたル（ＪＭ　８０５や
制卿定直寺を記博するＲＡＭ　　靭０ｔｉ　　や、升の
訓＃田方１に帖するＩ１０ポート１０７が襞絖されてい
る。ｃｐｕ　　８ｏａ　　ａ、センｔ８０１により倚た
データと、本末テーブルが位置丁べ＠蕪＄鼠直に対応す
るデータとｔ比軟し１．排気弁ａｌＬＨＩを−くべきか
鯰気ｙｆａｏｓ　ｔ’ｓ＜べきかな判断し、上昇パルス
Ａ　＋ｏるいは下岬パルスＡ−Ｙ出力する。この上昇パ
ルス人士めるいは下帥パルス人−によって１、ドライブ
＠錯ｌ５ｌｅ、１１１が作動する。

このドライブ回路８１０，８１１に、排気弁８０８やｔ
ａ気升６０９の作動する例えは２４Ｖの電圧をｕｈ、ｕ
＊’ｌＩ’する。そして、このドライブＬｇｌ命８１０
．８１１　　Ｕ崗知のトランジスタを用いたスイッチ回
路で構成することができる。

＃４９Ｌｌ！Ｊおよび第１０図は、拍単位置９１↓り下
１り するレベルａ１４ｇ！不費の＊＊即ち基準慎域Ｓ５まで
引上ける方法を説明するための、それぞれチーフルのレ
ベルト、ｔｉ！ｉ気パルプを作動させる上昇／＜　／Ｌ
／スの時闇震化を示している、 第９凶に２いて、テーブルははじめ、位置Ｓ２にめるが
、楽１０図のように吸気弁なＴ秒間開放させると、ｌｌ
１ｂ速婁域９３の上端日４まで上昇する。

これ〆より上方の砿迷慎城Ｓらでに、チーフルのハンチ
ングＩＬ′仰えるために上昇速廣を低下させる。

このため、＋ａａ＊のＩｔ！ｌ！ｌの開叔時ｒｔｔ＋＆
炊＜　ｔｆＮとし、こ扛を次定時閣にＩＬＩＩ！ｌづつ
作動させて、為準−城８５にテーブルのレベルが復噂し
たときに作動を停止させるようにする。

以上のように、２櫨の上昇ｉ＆直−城な収けることにエ
リ、テーブルは目的とする＊早犠填Ｖこす鼻やかにかつ
ハンチングなく上昇する。なお恢込するように＃、年−
域の上−にも２槍の下神連腋鍋城ｆｋ：ｔｉｒｊること
が好ましいことはいうｌで％ない。

ここで、具体的に吸気弁や排気弁の作動とチーフルの上
下軸について夾−の数櫨を用いてｄ曲する。

央−によれば、テーブル上の憬惚の１重が１２０〜のと
き、璧気バネｉＩｔ皺の空気量の空気比な３時／ｄとし
た一合、吸気弁な第１１図のように上昇パルスＡ＋によ
って２００ｍ５ｅｃ開放させるとテーブルが４００μｍ
上昇し、排気弁を下−）くルスＡ−に工って５０　ｍ　
＆ｅ１ｃｍ　ＭさせるとＩｔ’ｌｌ悼にデープルが４０
０μｍ　１岬した。

このよりに、テーブルの上の蝋績の鳳凰が全Ａバネ鋏直
に＠按刀ｌわっているので、テーフ゛ルに四じ量の変位
を行なわさせようとした場合、必胃な吸気弁と排気弁の
作動ＩＨＭＩは大きく相違する。そ。

して、テーブルのｗｉｔが変化すればそれぞれの甑もこ
れに伴って変化する。

るテーブルの単位上昇ｍめるいは単位下痺量即ち単位躯
動重は一定であることが好ましい、本発明においては、
テーブルの使用状婦でテストパルス＆１ｉｉＬｊａ弁中
癖気弁に加えてそれに伴なうテーブルの上昇るるいは下
神重＆＃ｊ定する。そし１、これによって得たデータか
ら単位駆動１１に対応する弁の作一時間ｌＩｌ＆ｔ−算
出して、定直として第８凶の側御装置のＲＡＭ　　ｓｏ
ｓ　　等にに慎するという方法によって上記の間組＆−
解因している。

第１２図はこの定直の決定作業時のテーブルのレベル変
化＆表わすものでわるＣ 趙＊龜域１２１内にテーブルが静止している一ＫＡ十で
示す上昇パルス１２２によりテーブルを繭−りで示すよ
うに一楓噛上弁させてそのレベル変化量を１１１３定す
る。このパルスの時間暢とレベル餐化量とから朗定の準
位上昇ｔを得る上昇パルス−の暢を其田する。次にＡ−
で示す下降パルス１２３を同様にして加え、単位下神童
を得る下降パルスの−を３４出する。これらのＭ％を第
８図のルＡＭ８０６　に状勢し、テーブルの上昇るるい
は下肯廖令がｅｉ’ｕ　　ｇｏｓ　　から出力されるた
びＫ　ｌ／（Ｊボートから単位駆動量に相当する上昇パ
ルスるるいは下降パルスが完せられる。

このような足＆！Ｌ決定拝麺を、テーブルの使用時遍宜
何なえば、テーブル上に１直した憬砿のム重に応じて、
遺百すればテーブルの使用状謙に応じて迩切な定数を設
定することができる。

さて、上述のようにすれば上昇パルスと下降パルスとに
よって吸気弁めるいは％気弁を作動させてテーブルを上
下させることができるが、−虹にソレノイドな用いたｆ
Ｐはソレノイドに所足時間以上のパルスを加えなければ
これが作動しないｅガ又は、不発９４：＠等の使用した
升は、ＤＣｚ＋、Ｖで５０ｒｕｓｅｃ以上の−のパルス
を加えなけれは作製しない。ところか、５９ｍ躯のパル
スにより９Ｆが５０ｍ　ｓｓｃ　＠放されれは、テーブ
ル上の嶺執の重電が大きいと例えば上昇時は１００１１
ｍ、下降＃Ｆｉ４００１１ｍのレベル減化が生じ、ｊｋ
卑憤職の−が２００μｍ揚直でるる場合には、テーブル
なこの愼域円に安定に保持することが不可能になる。

そこで本発明においては、１ｇ１３図に示すように、上
昇パルスと下降パルスとを組み合せて発することにより
上述の開港を解決している。

図において、上昇パルスム十ｔ’　２００ｍＷ−発して
吸気弁を２００ｍ式開放し、その５００ｍＷ−後に下降
パルスを５０ｍ式発して排気弁を５Ｑｍｓ６ｃ作ｗＪさ
せる・劉＃装置がこのようなパルスを晃してから弁が作
動を細始するまでは約１０ｍ５ｅｃでめり、この応答時
間のすれは図上大きなものでなりから各パルスのみを表
示し弁のｗａ閉作動の懺示ｒｉ雀略する・ ところが、獣気升６Ｌいは排気弁の−ずれの１曾も、こ
れが作動してからそれによって！２気バネ餉瀘の空気量
内の空気が＃ＩＩＩしてテーブルを東除に上下１１ｂ嘔
せるまでは酌３秒閥を資するので、獣気弁およびまたは
排気弁の作ｌｌｌ１−始以健テーブルが寮−に上昇また
嬬下降を開始する以前に、吸気弁νよびまたＦｉ排気弁
を同時にめるいは所定間−をわけて作動させると、これ
らの作１１Ｊを合計した量の空気の流入あるいは＊ｔｔ
ｓが行なわれたとＩＩ！ｌｉｔの結果が生じる。即ち、
この耐釆＃１１３図のｗａｇ１３１　のように、テーブ
ルはガえば準ＩＩＩＡＫ上昇をし、礁気升める％Ａは排
気弁のいずれか一方のみの作−によっては得られなりｈ
Ｉｉ［少な上昇量を倚ることができる。これによって上
述の単位駆動量を得るようにすれば、きわめて＾積置の
レベル−餐が号簡となる。

第１３図に示したようなＩＭＩ１１方法を採用するにめ
たっては、組み合せて発する上昇パルスと下降パルスの
暢を多らかしめ決定して、蛾過な組合せを見つける作業
を必費とする。この方法を絽奉４図によって説明する。

まず、除振台の使用拭謙において、デープルが一早愼域
にるるとき、図のように一２００ｍ露の上昇パルスを発
する。仄Ｋ例えば３００ｍ式遅れ１−５０ｍ算の下降パ
ルスな発する。そして、＃９３秒依に生じるテーブルの
レベル変化を調定する。久に上昇パルスの−は変えずに
下降パルスの−を義ｅｃ　＆Ｏｒｎｗ；、７０ｍ５ｅｃ
と広けていき、テーブルのレベル変化七下神パルスの輪
との■係を１ｉｉＥ１５図のようにプーットする。ｆｆ
１−的には、この関係を利用し１１１に気弁と排気弁な
總１３図のように組合せて作−させるととによって、弁
の応＄９総にと右されずにテーブルのきわめて微少な変
位の修正も回部となる、 さて、不発明者等の試作した第６図で説明したふうなセ
ンナによれは、テーブルのレベル減化の＃１定の幽界は
約２０μｍでめつ九九め、　２００ｍ躯の上昇パルスと
６５　ｍ　ｓａｃの下ｐ４　パルスの組合せによって３
０ｆｉｍの率位上昇童な得、また、２ｏｏｍｓｇの上昇
パルスと１１０ｍ１ｅＣの下降パルスとを組合せて３０
μｍの単位下神童を倚て、テーブルの基準ｗＩＮｔの内
情の低遮懺填用として設足した。なお、この一連の作条
ｒｉ、第８図の側御装置のｈυＭ８０５に１憶させたパ
ルス幅の決定用プログラムによって、例えば所芝の−の
上昇パルスをパラメータとして下呻パルス幅に所定範囲
で駆に裳吏し、そのときのテーブルのレベル変化をめら
がしめ設定しｋｃＯＭ　　８０５　　に１憶させた単位
駆動賃と比軟して、過切なパルス−を選定し、とのＩ［
を凡人Ｍ８Ｑ６に配備させるという方法によｐ行なう。

第１６図は、このような処理な宣む制＃餉にの１０グラ
ムフケ−チャートである。

この方法はまず、除振台のテーブル上に４！！ｗ嶺械を
躯せて使用を開始する友めに制ａｉｉ直のＩＩＩＬ源を
入れた倣、−儀台が使用される１ａｉｉｉに上述の処理
を行なうようにしたものでるる。

なお、本図は、纂８図のブロックタイヤグラムを奈無し
ながら説明する。

図において、創１１装置の電確な入れると、駒ＭａＯ５
Ｋｌき込まれたプログラムがスタートし、まず、ＫＬ）
Ｍ　　ａｌａｓ　　から、４ＩＩ早テータとしてろらか
しめここに壷き込まれた率位上昇箪ｓ？Ｌひ単位下１４
重に対応する上昇パルスと工時パルスの貴さデータがル
ＡＭ　Ｋ転送される。、仄に、ＣＰＵはセンナ８０１の
データＡＶ試みテーブルの：に重位置と比較して位置ず
れ友を算出する、そして、通常空気バネ輌値上のテーブ
ルは、不使用時最下−位置にあるので、その位置が＾逐
愉ＩＣＫあるが低速領域にるるかを判断する。そして、
これがｊｉｌＩ連愉域にるると判定して吸気弁をＯＮと
しプログラムはＬＯＯｉ’点にもどる。ＫＫ、別のセン
ナからくるデータＢを航み上記と同様の処理を行ない、
さらにデータＣの処理を行った債再びデータ人を絖む。

このとき、先の地層の結果を−ベて、テーブルが低速＊
域に入ったところで吸気弁な−たんＯＦ　ｋ’とし、仄
に単位上昇量な得る上昇パルスをｌ″ｌ）発する、この
パルス−は嶺準データを使用して決定するＣ以下同様に
上記のような位置ずれ菫の慣出と上昇パルス発生のサイ
クＡ／ｌ−〈り遮してテーブルｖ２ｉ＆卑懺填にまで引
龜上ける。

との法ｍＫなったとき、単位ＩＩＡ駿重、即ち単位上昇
量と単位下痺重を設定する処理な６つたかどうかを刊に
し、この処理に入る。

ｍ１６図のプログラムの８ｇＴ、点以下ではテーブルが
基準領域に６．６場合にのみ、第１２図でボしたように
上昇パルス人＋と下呻パルス人−とを組み合せて発し、
これによって生じるテーブルの単位駆動型が部上かどう
かを判定する。

例えに上昇パルス２００　ｍ５ｅｃで、下呻パルス１１
０ｍ５ｅｃのときテーブルが３５μｍ下呻し１場合、率
位駆動皺な３０μｍと設定している場合は１痺パルス−
を１ｍ５ａ：菖少させて丹びテーブルのｔ位置を測定す
る、このようにして単位駆動型を得るための上４パルス
と工時パルスの−の組み合せのデータが決定したら、ス
タート歯切ＲＡＭＫＩき込まれた憚準データな査き換え
る。そして、単位編鯛東決定騎みとし、丹びプログラム
が１ｉＥＴ点へ入ることを防止するつ との浚は、テーブル−ｆｉ基Ｊ１１１憤填から外れたか
どうかをもセンナ毎にチェックして、そのりと必紫な畝
だけ上昇パルスめるいは工時パルスを晃してテーブルを
為革填填に儀帰さぜる・逼冨・ゞ４クロコンビエータを
用いたこのような几塩は窒気バネ鍮櫨の応４に比べて龜
わめて嫡違に行なわれるので、センナの畝がさらに多く
めった場合も見かけ上Ｉｆｉも空気バネ装置がほとんど
同時に上昇あるいは１神動作することとなる。

県１７Ｗｔｌ、基準領域１１１の上下に隣接する低速領
域１７２．１１３のレベル１１４．１１５にあるテーブ
ルを、それぞれ５回の率位駆鋺によってｊ＆阜’ＩＫ填
１１１へ憤帰させたところを示す。また、纂１８凶は、
例えば基準領域１８１の下−の低運賞域１８２をさらに
２つの速１ｉ＋領域１８３．１８４に区分し、それぞれ
率位駆麹重を異ならせた場合を示す。

第１８図においては、単位上昇量を２ｍ設けているので
、絡ｌの低速１域１１４にまで１痺したテーブルを第２
の低速領域１８３まで比軟的＾運で復帰させ、かつ第２
の低違狐城１８３０−を十分に挾くして全体としてテー
ブルの応吾を述くすることができるＣ 第１９図は本発明の方法に便用するセンナの変形ガを示
し、これｒｉ元字的にテーブルの位置な慣…するもので
るる。

この例においては、発光素子ｌＩＭ勧回路１３Ｔにより
発元本子１８５．１９６な作動させて元ｔ％耐すセ、テ
ーブル１９（ｌ　ｃｏ下ｌＸ１ｖｃトり付け＊１ｌｌｌ
ｉ３．１９４　により反射した元なまず２久元イメージ
七ンサ１８１で支ける。これからテーブル１９０の平向
の傾きを知ることができる、２次元イメー　７センサは
テーブルが水平状態からどれたけ丁れているかのナータ
′を軸Ｉ！４１偵４１１９１に送り、テーブル１９０を
ｘｉｆに傷帰場ぜる。水平になったテーブルＴｌの疵１
す３に所定位置から所定ｐ４直で発地素子１９６によっ
て元を蟻て一久凡のイメージセンサ１９２で受ければ、
その父九位砥のずれからテーブルのレベルを愼出するこ
とができる。

以上のように本発明の方＠によれは、テーブルと非扱厚
な状婦でテーブルの位置を一槓にで愼出し、テーブルな
基葉位置に慎細嘔せることがでさる。そして、その仮襟
に景する時間も褒米の慎憔式のもｑ〕に比べてはるかに
短−することができる。

さらに本％明の力泳によｔ′ＬＦｉ、比軟的藺半なフロ
グラムによってｓａｇのレベル劃−をコンピュータ錫塩
することができる。

なお、本発明框上述の実施例に限定されることなく例え
ば久のように変形することができる。

１）センｆはｗｌに容量の変化な利用する方法等、ｙｔ
Ｌ像物の距離な非接触で検出するものに電きかえること
ができる。

２）空気バネｔ装置に、つり下げ式等に変叉することが
できる。

３）ｗ＃蕪装は過賞そのプログラムな叢夾し、例えはオ
ペレータが指示し友とき随時率位躯釦重を設定する九ｍ
を行なったり、各逃場６賛を表示する装置を付加するこ
とができる。

４）また、上昇時と下神時の単位駆動菫な公費に応じて
相違させることもできる。

【図面の簡単な説明】

ｍ１図は本発−の方法の実施に好處する獣振合のｔＩｉ
＋傭図、ａＫ２図は本発明の方法を爽にした一懺酋の上
＠図、−３図に！？！気バネ装に周辺の惚叢図、第４図
ｒｉ空気バネ鉄直の劃−万汰ｔボすブロック図、−５凶
はセンナのブロック図、第り、７図はセンサの作ＩＩａ
鳳ｍ貌明図、第８図は側御鉄源のブロック図、＃Ｌ９図
はテーブルのレベル家化凶、第１０図はこれに対応する
上昇パルスを不し、第１１図は同−ｍ陶菫を憎るための
上昇パルスト下神パルスを示し、８３１２図は上昇パル
スと１神パルスによるテーブルのレベル変化な一足する
貌明図、第１３図は上昇パルスと１呻パルス＃を組付せ
た鮎米午じるテーブルのレベル変化をｙｒ＜　Ｌ、　、
　畠１４゜１５図は上昇パルスと１神パルスの比を決め
る作条のＷＩｔｌｌ）１図、第、１６図はａｍ−路のレ
ベル側−フローチャート、第１７．１８図は単位駆動パ
ルスによるテーブルのレベル変化を示し、＃４１９図に
センナの変形ガをボしている。 ２１．３１・・・テーブル ２２．２３．２４．２５．３２・・・空気バネ鯛籠２藝
、２１．２Ｌ３４．５１・・・センナ３２４　・・・・
・・収気口 ３２５　・・・・・・併気口 ３１．４２．４４．４ｉ　・・・吸気弁３６．４３．４
５．４１　・・・排気升ａ６，４１．ａ３　−３１１ｊ
御ＩｉＬｍｌＯ・・・・・・着単位置 穆Ｓ、１２１．１１８．１８１・・・蕪卑執域Ａ＋　・
・・上昇パルス Ａ−・・・下呻バルス 第４図 第７図 第７図 コイルのインダクタンス 第２図 第４図 第１２図 ＨすＭ ＃　１３　ｍ 第１７図 第１ｑ１．；１ ｇ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　レベル制御をされるべきテーブルと、このテーブ
   ルを支持する空気バネ装置と、前記テーブルの基準位置
   からの位置ずれ量を検出するセンサーと、前記空気バネ
   装置に加圧空気を送り込む吸気口に連結された吸気弁と
   、前記空気バネ装置の排気口に連結された排気弁とを有
   する除振台において、前記基準位置にテーブルを復帰さ
   せるための前記吸気弁およびまたは排気弁を作動させる
   時間幅を前記位置ずれ量から算出し、前記吸気弁および
   または排気弁を動作させて前記テーブルのレベルを調整
   する方法において、前記吸気弁およびまたは排気弁の作
   動開始以後テーブルが実際に上昇または下降を開始する
   以前に、吸気弁およびまたは排気弁を同時にあるいは所
   定時間間隔を開けて作動させることを特徴とする除振台
   の制御方法。 ２、＠気弁または排気弁が作動を終了した後所定間隔を
   おいてテーブルが実際に上昇または下降を開始する以前
   に、排気弁または吸気弁を作動させることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の除振台の制御方法。 以下余白 ゛　　　　　　　　、　　　　　　　　　　　　　“