JPS5877610A - 光ビ−ム拡がり角測定装置 - Google Patents
光ビ−ム拡がり角測定装置Info
- Publication number
- JPS5877610A JPS5877610A JP17765881A JP17765881A JPS5877610A JP S5877610 A JPS5877610 A JP S5877610A JP 17765881 A JP17765881 A JP 17765881A JP 17765881 A JP17765881 A JP 17765881A JP S5877610 A JPS5877610 A JP S5877610A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light beam
- divergence angle
- measuring device
- semiconductor laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
源から発射された光ビームの拡がり角を短時間で正確に
測定することができるようにした光ビーム拡がり角測定
装置に関する。
測定することができるようにした光ビーム拡がり角測定
装置に関する。
光学式ピデオ・オーディオディスクプレーヤに用いられ
る半導体レーザ等の光源は、光ビームの拡が９角が判ら
ないと光学系の設計ができないの゛で、使用する光源全
てについて元ビーム拡がり角度を正確に測定１，ておく
必要がある。特に、光学系で重要なコリメータレンズの
焦点距離は、対物レンズに入射する光ビームの径をもと
に算出するため、上記光ビーム拡がり角度の測定は十分
な精度で行なわなければならない。又、半導体レーザは
一般に１その出射側と反対側にパワ自動調整用のＰ工Ｎ
−フォトダイオードを設けるのが普通であり、とのＰ工
Ｎフォトダイオードでの反射光が半導体レーザの出射と
ームに重ねられる結果、得られたビームの強度分布が正
規のガウス分布からずれてしまうことがあり、そのため
Ｋも半導体レーザの光ビーム拡がり角は全数検査する必
要があった。
る半導体レーザ等の光源は、光ビームの拡が９角が判ら
ないと光学系の設計ができないの゛で、使用する光源全
てについて元ビーム拡がり角度を正確に測定１，ておく
必要がある。特に、光学系で重要なコリメータレンズの
焦点距離は、対物レンズに入射する光ビームの径をもと
に算出するため、上記光ビーム拡がり角度の測定は十分
な精度で行なわなければならない。又、半導体レーザは
一般に１その出射側と反対側にパワ自動調整用のＰ工Ｎ
−フォトダイオードを設けるのが普通であり、とのＰ工
Ｎフォトダイオードでの反射光が半導体レーザの出射と
ームに重ねられる結果、得られたビームの強度分布が正
規のガウス分布からずれてしまうことがあり、そのため
Ｋも半導体レーザの光ビーム拡がり角は全数検査する必
要があった。
第１“図は、従来の光ビーム拡がり角測定装置の一例の
斜視図を示す。図中、光ビーム拡がり角を測定する半導
体レーザ／ｉｆ、垂直軸の周りに旋回可能な円盤状の保
持台２の中央部に取付けてあり、その前方に設けたスリ
ット付きの光検出器３にて光出力が検出される。保持台
２は、シンクロナスモータダの回転なウオームｊとウオ
ームホイル６を介して伝達されて旋回し、そのときに得
られた時間対光出力の関係から角度対光出力の関係、即
ち元ビーム拡がり角が算出される。一般Ｋ、半導体レー
ザｌの遠視野パターンは楕円形であり、保持台２のＹ軸
と２軸は楕円形の短・長軸に合致させる必要があるため
、保持台２はＸ軸の周り罠も回動調整できるようにしで
ある。
斜視図を示す。図中、光ビーム拡がり角を測定する半導
体レーザ／ｉｆ、垂直軸の周りに旋回可能な円盤状の保
持台２の中央部に取付けてあり、その前方に設けたスリ
ット付きの光検出器３にて光出力が検出される。保持台
２は、シンクロナスモータダの回転なウオームｊとウオ
ームホイル６を介して伝達されて旋回し、そのときに得
られた時間対光出力の関係から角度対光出力の関係、即
ち元ビーム拡がり角が算出される。一般Ｋ、半導体レー
ザｌの遠視野パターンは楕円形であり、保持台２のＹ軸
と２軸は楕円形の短・長軸に合致させる必要があるため
、保持台２はＸ軸の周り罠も回動調整できるようにしで
ある。
しかして、上記従来の光ビーム拡がり角測定装置７は、
半導体レーザｌを旋回させて光ビームの拡がり角を測定
する構成であるため、−回の測定に時間がかかるという
欠点や、さらＫは測定を開始するスタート点をなんらか
の方法で補正しなければならなかったり、或いは旋回中
に減速歯車機構のバックラッシュが原因で半導体レーザ
ｌの回転角度ＫＩＭ差が生ずることがある等の欠点があ
った。又、シンクロナスモータダの精度上の限界から旋
回開始時点や終了時点での誤差が避けられず、従って、
正確な元ビーム拡がり角を測定するのが峻しい欠点があ
った。
半導体レーザｌを旋回させて光ビームの拡がり角を測定
する構成であるため、−回の測定に時間がかかるという
欠点や、さらＫは測定を開始するスタート点をなんらか
の方法で補正しなければならなかったり、或いは旋回中
に減速歯車機構のバックラッシュが原因で半導体レーザ
ｌの回転角度ＫＩＭ差が生ずることがある等の欠点があ
った。又、シンクロナスモータダの精度上の限界から旋
回開始時点や終了時点での誤差が避けられず、従って、
正確な元ビーム拡がり角を測定するのが峻しい欠点があ
った。
本発明は上記従来の欠点を除去したものであり、光ビー
ムの拡がり角を測定しようとする光源を囲んで複数の光
ファイバを放射状に配置し、元ファイバの光出射端に設
けた光センナにより各光ファイバを介して検出された光
の強度を検出する構成とすることによし、光ビームの拡
がり角な短時間で正確に検出できるようＫした光ビーム
拡がり角測定装置を提供することを目的とする。
ムの拡がり角を測定しようとする光源を囲んで複数の光
ファイバを放射状に配置し、元ファイバの光出射端に設
けた光センナにより各光ファイバを介して検出された光
の強度を検出する構成とすることによし、光ビームの拡
がり角な短時間で正確に検出できるようＫした光ビーム
拡がり角測定装置を提供することを目的とする。
以下、図面を参照して本発明の一実施例につき説明する
。第２図は本発明になる光ビーム拡がり角測定装置の一
実施例の平面図、第３．弘図は夫夕その半導体レーザ部
分の正面図及び縦断面図を示す。
。第２図は本発明になる光ビーム拡がり角測定装置の一
実施例の平面図、第３．弘図は夫夕その半導体レーザ部
分の正面図及び縦断面図を示す。
第２図中、半導体レーザ／／は、その中心軸の周りにの
み回動できる保持台１２上に取付けられ、保持台１２の
回動角にして０度とり０度の２箇所でＹ軸及び２軸に関
する光ビーム拡がり角が測定される。半導体レーザ／／
自体は、第３，４！図に示した如く、保持台７２に着脱
自在のケース１３に組込んであり、ケース１３前面の窓
／Ｊａからレーザ光線が出射する。／ダはヒートシンク
スタンドで、その端部に８１ サブストレートｌｊとＬ
Ｄチップ／６が組付けである。１７はパワ自動調整用の
ＰＩＮフォトダイオードである。
み回動できる保持台１２上に取付けられ、保持台１２の
回動角にして０度とり０度の２箇所でＹ軸及び２軸に関
する光ビーム拡がり角が測定される。半導体レーザ／／
自体は、第３，４！図に示した如く、保持台７２に着脱
自在のケース１３に組込んであり、ケース１３前面の窓
／Ｊａからレーザ光線が出射する。／ダはヒートシンク
スタンドで、その端部に８１ サブストレートｌｊとＬ
Ｄチップ／６が組付けである。１７はパワ自動調整用の
ＰＩＮフォトダイオードである。
ここで、半導体レーザ／ｌの周りＫは複数の光ファイバ
／ｌを、各光入射端／ｌｈが半導体レーザｌｌの中心な
放射状に曲むよ５にして設けてあり、光ファイバ／ｌの
光出射ｔ／４／ｌｂは一定のピッチで直線上に配置しで
ある。
／ｌを、各光入射端／ｌｈが半導体レーザｌｌの中心な
放射状に曲むよ５にして設けてあり、光ファイバ／ｌの
光出射ｔ／４／ｌｂは一定のピッチで直線上に配置しで
ある。
／ｑは光センサで、上記光出射端／Ｉｂから出射される
元の強度分布を検出するものであるＯ本実施例の場合、
光センサ１９としては光ファイ／＜／ｌと同数の画素子
を前記ピッチと同一ピッチで配設したスキャニングタイ
プのＣＣＤセンサな用いてお怜、その出力な調整できる
よう光七ンサｌデと光出射端／１ｂの間にはフィルタＩ
が介在させである。
元の強度分布を検出するものであるＯ本実施例の場合、
光センサ１９としては光ファイ／＜／ｌと同数の画素子
を前記ピッチと同一ピッチで配設したスキャニングタイ
プのＣＣＤセンサな用いてお怜、その出力な調整できる
よう光七ンサｌデと光出射端／１ｂの間にはフィルタＩ
が介在させである。
光センサ１９で検出された各光出射端ｌｌｂの光強度は
、２軸表示プロセッサ２／に送られたのち、２軸レコー
ダｎに表示される。
、２軸表示プロセッサ２／に送られたのち、２軸レコー
ダｎに表示される。
このようＫ、上記構成になる元ビーム拡がり角測定装置
２Ｊ４ｃよれば、半導体レーザ／／から放射されて扇形
状に拡がる光ビームの強度分布は、Ｙ軸（又は２軸）上
の全ての放射角度につき同時に測定することができ、従
って、従来の装置７等と比較し、短時間で極めて簡単、
かつ正確に元ビームの拡がり角を測定子ることができる
０ なお、上記実施例では、光センサ／９として光ファイバ
／Ｉと同数の画素子をもつＣＣＤセンサを用いたが、例
えば画素子の数が光ファイ（１ｇの数より少ないＣＣＤ
センサを用いる場合には、第３図に示す如く、光ファイ
バ／ｌの光出射端／ｌｂと光セ／すｌデとの間に集光レ
ンズ２ダを設けるとよい。この場合、光出射端１Ｉｔｂ
は直線上に配置するのではなく、集光レンズ３の凸レン
ズ面に合わせて湾曲させて配置させるとよい。
２Ｊ４ｃよれば、半導体レーザ／／から放射されて扇形
状に拡がる光ビームの強度分布は、Ｙ軸（又は２軸）上
の全ての放射角度につき同時に測定することができ、従
って、従来の装置７等と比較し、短時間で極めて簡単、
かつ正確に元ビームの拡がり角を測定子ることができる
０ なお、上記実施例では、光センサ／９として光ファイバ
／Ｉと同数の画素子をもつＣＣＤセンサを用いたが、例
えば画素子の数が光ファイ（１ｇの数より少ないＣＣＤ
センサを用いる場合には、第３図に示す如く、光ファイ
バ／ｌの光出射端／ｌｂと光セ／すｌデとの間に集光レ
ンズ２ダを設けるとよい。この場合、光出射端１Ｉｔｂ
は直線上に配置するのではなく、集光レンズ３の凸レン
ズ面に合わせて湾曲させて配置させるとよい。
又、光ファイバ／ｌの光出射端ｌざｂと光センサｉｑと
の間に拡散板（図示せず）を設けることＫより、光ファ
イバ／ｌの数或いはピッチとは無関係の画素子をもつ光
センナを用いることができる。
の間に拡散板（図示せず）を設けることＫより、光ファ
イバ／ｌの数或いはピッチとは無関係の画素子をもつ光
センナを用いることができる。
又、使用する光ファイバ／Ｉの光入射端／Ｊａは、第６
図に示す如く、凸レンズ形状とするとよく、これＫよ妙
手導体レーザ／／から出射した丸線が、光ファイバ／Ｉ
の光入射端／ｊａで半導体レーザ／／側に反射されるの
な良好に防止することができる。
図に示す如く、凸レンズ形状とするとよく、これＫよ妙
手導体レーザ／／から出射した丸線が、光ファイバ／Ｉ
の光入射端／ｊａで半導体レーザ／／側に反射されるの
な良好に防止することができる。
以上説明したように、本発明になる光ビーム拡がり角測
定装置によれば、光ビームを発射する光源を中心とする
円周上Ｋ、複数の光ファイバの光入射端を夫々光源に向
けて配置し、各党ファイバの光出射端から出射される光
線の強度を検出する光センサとから構成しているため、
光源から放射されて扇形状に拡がる光ビームの強度分布
な一軸上の全ての放射角度につき同時に測定することが
でき、これＫより光源を一定角度ずつずらしながら単一
の光検出器で一点一点検出する従来の装置に比較し、短
時間で極めて簡単、かつ正確に光ビームの拡がり角を測
定することができる等の優れた効果を奏する。
定装置によれば、光ビームを発射する光源を中心とする
円周上Ｋ、複数の光ファイバの光入射端を夫々光源に向
けて配置し、各党ファイバの光出射端から出射される光
線の強度を検出する光センサとから構成しているため、
光源から放射されて扇形状に拡がる光ビームの強度分布
な一軸上の全ての放射角度につき同時に測定することが
でき、これＫより光源を一定角度ずつずらしながら単一
の光検出器で一点一点検出する従来の装置に比較し、短
時間で極めて簡単、かつ正確に光ビームの拡がり角を測
定することができる等の優れた効果を奏する。
第１図は従来の元ビーム拡がり角測定装置の一例の斜視
図、第２図は本発明になる元ビーム拡がり角測定装置の
一実施例の平面図、第３．４！図は夫々その半導体レー
ザ部分の正面図及び縦＠面図、第５図は上記光ビーム拡
がり角測定装置の一変形例の要部平面図、第を図は光フ
ァイバの趨向の一実施例の斜視図である。 ／／・・・半導体レーザ、７ｇ・・・光ファイバ、／ｌ
ａ・・・光入射端、ｌざｂ・・・光出射端、／？・・・
光センサ、お・・・光ビーム拡がり角測定装置。 第１図 第２図 翌 第４図 第３図 １ 第５図
図、第２図は本発明になる元ビーム拡がり角測定装置の
一実施例の平面図、第３．４！図は夫々その半導体レー
ザ部分の正面図及び縦＠面図、第５図は上記光ビーム拡
がり角測定装置の一変形例の要部平面図、第を図は光フ
ァイバの趨向の一実施例の斜視図である。 ／／・・・半導体レーザ、７ｇ・・・光ファイバ、／ｌ
ａ・・・光入射端、ｌざｂ・・・光出射端、／？・・・
光センサ、お・・・光ビーム拡がり角測定装置。 第１図 第２図 翌 第４図 第３図 １ 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光ビームを発射する光源と、光入射端を該光源を囲んで
放射状に配置され、光出射端を所定ピッチで並べて配置
【７た複数の元ファイバと、該光ファイバの光出射ｆｆ
ＡＫ設けられ出射光の強度を検出する光センサとから構
成してなる光ビーム拡がり角測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17765881A JPS5877610A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | 光ビ−ム拡がり角測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17765881A JPS5877610A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | 光ビ−ム拡がり角測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5877610A true JPS5877610A (ja) | 1983-05-11 |
Family
ID=16034834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17765881A Pending JPS5877610A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | 光ビ−ム拡がり角測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5877610A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04147030A (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-20 | Honda Motor Co Ltd | ヘッドライトの光軸測定方法及び光軸調整方法並びにヘッドライトの位置測定方法 |
| CN102589482A (zh) * | 2011-12-14 | 2012-07-18 | 长春理工大学 | 一种宽光谱激光束散角测量系统 |
| JP2021092563A (ja) * | 2019-12-05 | 2021-06-17 | 致茂電子股▲分▼有限公司Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ． | 光電子ユニット用測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034847A (ja) * | 1973-07-31 | 1975-04-03 | ||
| JPS5625206B2 (ja) * | 1976-12-30 | 1981-06-11 |
-
1981
- 1981-11-04 JP JP17765881A patent/JPS5877610A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034847A (ja) * | 1973-07-31 | 1975-04-03 | ||
| JPS5625206B2 (ja) * | 1976-12-30 | 1981-06-11 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04147030A (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-20 | Honda Motor Co Ltd | ヘッドライトの光軸測定方法及び光軸調整方法並びにヘッドライトの位置測定方法 |
| JP2566847B2 (ja) * | 1990-10-09 | 1996-12-25 | 本田技研工業株式会社 | ヘッドライトの光軸測定方法及び光軸調整方法並びにヘッドライトの位置測定方法 |
| CN102589482A (zh) * | 2011-12-14 | 2012-07-18 | 长春理工大学 | 一种宽光谱激光束散角测量系统 |
| JP2021092563A (ja) * | 2019-12-05 | 2021-06-17 | 致茂電子股▲分▼有限公司Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ． | 光電子ユニット用測定装置 |
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