JP2000298067A - 分光器およびそれを用いた光スペクトラムアナライザ - Google Patents
分光器およびそれを用いた光スペクトラムアナライザInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ビーム整形ディフューザを用いて分光器に入射
された光の発散角を大きくすると共にビーム形状を任意
の形状に整形することにより、光学系の小型化や調整を
容易にし、光学系の信頼性を高め、高ダイナミックレン
ジが実現でき、測定精度を増すことのできる分光器およ
び光スペクトラムアナライザを提供する。 【解決手段】入射端よりコリメーティングレンズを介し
て入射光を回折格子に入射し、前記回折格子から出射さ
れる光を複数の受光素子を配列してなるアレイ素子で検
出するようにした分光器において、前記コリメーティン
グレンズの入射端側にビームを拡散すると共にそのビー
ム形状を任意の形状に整形することのできるビーム整形
ディフューザを配置する。
された光の発散角を大きくすると共にビーム形状を任意
の形状に整形することにより、光学系の小型化や調整を
容易にし、光学系の信頼性を高め、高ダイナミックレン
ジが実現でき、測定精度を増すことのできる分光器およ
び光スペクトラムアナライザを提供する。 【解決手段】入射端よりコリメーティングレンズを介し
て入射光を回折格子に入射し、前記回折格子から出射さ
れる光を複数の受光素子を配列してなるアレイ素子で検
出するようにした分光器において、前記コリメーティン
グレンズの入射端側にビームを拡散すると共にそのビー
ム形状を任意の形状に整形することのできるビーム整形
ディフューザを配置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、分光器に関し、詳
しくは光学系の小型化および測定精度の改善に関するも
のである。
しくは光学系の小型化および測定精度の改善に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来より分光器はよく知られており、そ
の一つにポリクロメータ方式の分光器がある。図３は、
ポリクロメータ方式の分光器を内蔵した光スペクトラム
アナライザの一実施例を示す原理構成図である。図にお
いて、１０は分散素子とアレイ素子を有する分光器、２
０は分光器１０のアレイ素子の駆動および信号読み出し
を行う駆動装置、３０は演算装置、４０は表示装置であ
る。
の一つにポリクロメータ方式の分光器がある。図３は、
ポリクロメータ方式の分光器を内蔵した光スペクトラム
アナライザの一実施例を示す原理構成図である。図にお
いて、１０は分散素子とアレイ素子を有する分光器、２
０は分光器１０のアレイ素子の駆動および信号読み出し
を行う駆動装置、３０は演算装置、４０は表示装置であ
る。
【０００３】分光器１０は、スリット１１、コリメーテ
ィングレンズ１２、分散素子である回折格子１３、フォ
ーカシングレンズ１４、アレイ素子１５、光シャッター
１６、偏光解消素子１７から構成される。
ィングレンズ１２、分散素子である回折格子１３、フォ
ーカシングレンズ１４、アレイ素子１５、光シャッター
１６、偏光解消素子１７から構成される。
【０００４】スリット１１の入射口を通して入射された
被測定光１はコリメーティングレンズ１２で平行光とな
る。コリメーティングレンズ１２を透過した光は、偏光
解消素子１７を透過し分散素子１３に入射する。偏光解
消素子１７を透過することにより波長分散素子、特に回
折格子の偏光依存性が除去される。
被測定光１はコリメーティングレンズ１２で平行光とな
る。コリメーティングレンズ１２を透過した光は、偏光
解消素子１７を透過し分散素子１３に入射する。偏光解
消素子１７を透過することにより波長分散素子、特に回
折格子の偏光依存性が除去される。
【０００５】分散素子１３の出射光はフォーカシングレ
ンズ１４でアレイ素子１５上に収束する。この場合、分
散素子１３は固定されていて、アレイ素子１５に当たる
光スポットの位置は被測定光の波長に対応してずれる。
ンズ１４でアレイ素子１５上に収束する。この場合、分
散素子１３は固定されていて、アレイ素子１５に当たる
光スポットの位置は被測定光の波長に対応してずれる。
【０００６】なお、偏光解消素子１７は、コリメーティ
ングレンズ１２と波長分散素子１３の間に設置してある
が、波長分散素子１３に光が入射される前なら分光器１
０のどこに設置してもよい。また、被測定光１は、図４
に示すように光ファイバ１８を用いて入射させてもよ
い。
ングレンズ１２と波長分散素子１３の間に設置してある
が、波長分散素子１３に光が入射される前なら分光器１
０のどこに設置してもよい。また、被測定光１は、図４
に示すように光ファイバ１８を用いて入射させてもよ
い。
【０００７】光シャッター１６は被測定光を遮ぎり、そ
の時の光素子１５の暗電流レベルを測定することができ
る。この値を被測定値から減算することにより、暗電流
のドリフトの影響を除去でき、高精度な測定が実現でき
る。
の時の光素子１５の暗電流レベルを測定することができ
る。この値を被測定値から減算することにより、暗電流
のドリフトの影響を除去でき、高精度な測定が実現でき
る。
【０００８】アレイ素子１５は、短冊状、点状の受光部
（素子または受光素子という）が配列されたものであ
る。各素子の位置が波長に対応しており、各素子の光強
度を検出しプロットすることにより光スペクトラムが測
定・表示できる。また、各素子の出力から、例えばガウ
シアン分布を仮定して、レーザ光の中心波長を精度よく
内挿することもできる。
（素子または受光素子という）が配列されたものであ
る。各素子の位置が波長に対応しており、各素子の光強
度を検出しプロットすることにより光スペクトラムが測
定・表示できる。また、各素子の出力から、例えばガウ
シアン分布を仮定して、レーザ光の中心波長を精度よく
内挿することもできる。
【０００９】分散素子である回折格子１３に入射する光
のビーム径は、理論的には干渉がおこる大きさのビーム
径でよい。しかし、現実には回折格子の表面に傷、むら
等がある。これらの影響を軽減する為には、ビーム径を
できるだけ大きくする必要がある。
のビーム径は、理論的には干渉がおこる大きさのビーム
径でよい。しかし、現実には回折格子の表面に傷、むら
等がある。これらの影響を軽減する為には、ビーム径を
できるだけ大きくする必要がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな分光器では次のような課題がある。 １．光学系の小型化に関する課題 回折格子１３に入射するビーム径を大きくするには、図
３ではスリット１１とコリメーティングレンズ１２間の
距離、図４では光ファイバの出射端とコリメーティング
レンズ間の距離を長くする必要がある。
うな分光器では次のような課題がある。 １．光学系の小型化に関する課題 回折格子１３に入射するビーム径を大きくするには、図
３ではスリット１１とコリメーティングレンズ１２間の
距離、図４では光ファイバの出射端とコリメーティング
レンズ間の距離を長くする必要がある。
【００１１】この距離ｘは、図５に示すように光軸２に
対するビームの発散角をθ、コリメーティングレンズで
のビーム半径をｙとすると式(1)で表される。 x = y / tanθ …(1)
対するビームの発散角をθ、コリメーティングレンズで
のビーム半径をｙとすると式(1)で表される。 x = y / tanθ …(1)
【００１２】コリメーティングレンズ１２と回折格子１
３間、回折格子１３とフォーカシングレンズ１４間は、
互いの部品が干渉しないところまで近づけることが可能
であり、フォーカシングレンズに焦点距離の短いレンズ
を用いればフォーカシングレンズ１４とアレイ素子１５
間を短くすることができる。
３間、回折格子１３とフォーカシングレンズ１４間は、
互いの部品が干渉しないところまで近づけることが可能
であり、フォーカシングレンズに焦点距離の短いレンズ
を用いればフォーカシングレンズ１４とアレイ素子１５
間を短くすることができる。
【００１３】光ファイバとコリメーティングレンズ間を
短くするには、この間に一枚又は複数枚のレンズを入れ
ることにより可能である。しかし以下の問題が生じる。 レンズ自身に約数mmの厚みがあり、複数枚のレンズで
はさらに厚みが増し、距離が必要となる。 レンズの中心をビームが透過しない場合は光軸がずれ
てしまうため、レンズと光軸の位置を正確に調整する必
要があり、調整が煩雑になる。
短くするには、この間に一枚又は複数枚のレンズを入れ
ることにより可能である。しかし以下の問題が生じる。 レンズ自身に約数mmの厚みがあり、複数枚のレンズで
はさらに厚みが増し、距離が必要となる。 レンズの中心をビームが透過しない場合は光軸がずれ
てしまうため、レンズと光軸の位置を正確に調整する必
要があり、調整が煩雑になる。
【００１４】２．測定精度に関する課題 光強度のパワー、波長、S/N比の測定は、アレイ素子
の各素子の光強度を検出して行う。図６に示すように、
アレイ素子はΔｘ幅の受光素子１００が隙間無く連続し
て一方向に並んでいるのではなく、Δｄ幅の間隔をもっ
て不連続的に並んでいる。
の各素子の光強度を検出して行う。図６に示すように、
アレイ素子はΔｘ幅の受光素子１００が隙間無く連続し
て一方向に並んでいるのではなく、Δｄ幅の間隔をもっ
て不連続的に並んでいる。
【００１５】そのため、各素子の出力から、例えばガウ
シアン分布を仮定してレーザ光の中心波長等を精度よく
内挿することが可能である。しかし、入射された光のビ
ーム形状が仮定した形状と異なる場合は、測定に誤差を
生じる原因となってしまう。
シアン分布を仮定してレーザ光の中心波長等を精度よく
内挿することが可能である。しかし、入射された光のビ
ーム形状が仮定した形状と異なる場合は、測定に誤差を
生じる原因となってしまう。
【００１６】回折格子に入射される光の形状により、
回折後の干渉パターンが異なる。滑らかに光強度がビー
ムの中心から減衰することが望ましい。何故ならビーム
の光強度を滑らかに減衰させることにより回折後の干渉
パターンのサイドローブを抑圧し高ダイナミックレンジ
を実現できる。しかし、光ファイバの端面状態等によっ
て光の形状が異なった場合、レンズでは形状の補正がで
きないため、測定に誤差を生じる原因となってしまう。
回折後の干渉パターンが異なる。滑らかに光強度がビー
ムの中心から減衰することが望ましい。何故ならビーム
の光強度を滑らかに減衰させることにより回折後の干渉
パターンのサイドローブを抑圧し高ダイナミックレンジ
を実現できる。しかし、光ファイバの端面状態等によっ
て光の形状が異なった場合、レンズでは形状の補正がで
きないため、測定に誤差を生じる原因となってしまう。
【００１７】３．光学系の信頼性に関する課題 図６に示すように、受光素子のｙ軸方向に被測定光１の
ビームが変動していきビームが長さΔｙの受光素子１０
０から外れると測定が不可能となる。図６の場合は、そ
れぞれΔｙ１、Δｙ２までビームが変動しても受光素子
から外れない。
ビームが変動していきビームが長さΔｙの受光素子１０
０から外れると測定が不可能となる。図６の場合は、そ
れぞれΔｙ１、Δｙ２までビームが変動しても受光素子
から外れない。
【００１８】ビーム径を小さくすれば変動分に余裕がで
きるが、光強度を検出して演算を行うには、複数素子に
ビームを照射する必要が有りビーム径の大きさは決まっ
てしまう。
きるが、光強度を検出して演算を行うには、複数素子に
ビームを照射する必要が有りビーム径の大きさは決まっ
てしまう。
【００１９】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、ビーム整形ディフューザを用いて分光器に入射さ
れた光の発散角を大きくすると共にビーム形状を任意の
形状に整形することにより、光学系の小型化や調整を容
易にし、光学系の信頼性を高め、高ダイナミックレンジ
が実現でき、測定精度を増すことのできる分光器および
光スペクトラムアナライザを提供することにある。
ので、ビーム整形ディフューザを用いて分光器に入射さ
れた光の発散角を大きくすると共にビーム形状を任意の
形状に整形することにより、光学系の小型化や調整を容
易にし、光学系の信頼性を高め、高ダイナミックレンジ
が実現でき、測定精度を増すことのできる分光器および
光スペクトラムアナライザを提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項１の発明では、入射端よりコリメーテ
ィングレンズを介して入射光を回折格子に入射し、前記
回折格子から出射される光を複数の受光素子を配列して
なるアレイ素子で検出するようにした分光器において、
前記コリメーティングレンズの入射端側にビームを拡散
すると共にそのビーム形状を任意の形状に整形すること
のできるビーム整形ディフューザを配置したことを特徴
とする。
るために、請求項１の発明では、入射端よりコリメーテ
ィングレンズを介して入射光を回折格子に入射し、前記
回折格子から出射される光を複数の受光素子を配列して
なるアレイ素子で検出するようにした分光器において、
前記コリメーティングレンズの入射端側にビームを拡散
すると共にそのビーム形状を任意の形状に整形すること
のできるビーム整形ディフューザを配置したことを特徴
とする。
【００２１】このようなビーム整形ディフューザを用い
ることにより、入射された光の発散角を大きくできるの
で光路を短縮し光学系を小型化できる。また、レンズを
使用するのと比較して光学系の調整が容易である。
ることにより、入射された光の発散角を大きくできるの
で光路を短縮し光学系を小型化できる。また、レンズを
使用するのと比較して光学系の調整が容易である。
【００２２】この場合、請求項２のようにビーム整形デ
ィフューザにより光強度をガウシアンビーム形状に類似
させ、 回折後の干渉パターンのサイドローブを抑圧す
る。これにより高ダイナミックレンジを実現することが
できる。
ィフューザにより光強度をガウシアンビーム形状に類似
させ、 回折後の干渉パターンのサイドローブを抑圧す
る。これにより高ダイナミックレンジを実現することが
できる。
【００２３】また、請求項３のように、ビーム整形ディ
フューザによりビーム形状を楕円形に整形してビームが
アレイ素子から外れ難くする。これにより、光学系の信
頼性を高めることができる。
フューザによりビーム形状を楕円形に整形してビームが
アレイ素子から外れ難くする。これにより、光学系の信
頼性を高めることができる。
【００２４】請求項４のように、上記のような分光器を
用いれば、光学系の小型化を図った光スペクトラムアナ
ライザが実現できる。この場合、請求項５のように、ビ
ーム整形ディフューザにより任意形状のビームを整形す
ることにより、波長、パワー、ＳＮ比等を求める際にア
レイ素子上で収束するビーム形状を精度良く補正するこ
とができる。
用いれば、光学系の小型化を図った光スペクトラムアナ
ライザが実現できる。この場合、請求項５のように、ビ
ーム整形ディフューザにより任意形状のビームを整形す
ることにより、波長、パワー、ＳＮ比等を求める際にア
レイ素子上で収束するビーム形状を精度良く補正するこ
とができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は光スペクトラムアナライザにおいて使
用される本発明の分光器の一実施例を示す構成図であ
る。なお、従来例と同一の要素については説明を省略す
る。
説明する。図１は光スペクトラムアナライザにおいて使
用される本発明の分光器の一実施例を示す構成図であ
る。なお、従来例と同一の要素については説明を省略す
る。
【００２６】本発明は、ビームの形状を任意の形状、例
えば楕円形に整形することのできるビーム整形ディフュ
ーザ５０を入射スリットとコリメーティングレンズ１２
の間、又は光ファイバの出射端とコリメーティングレン
ズ１２の間に設置することを特徴とする。
えば楕円形に整形することのできるビーム整形ディフュ
ーザ５０を入射スリットとコリメーティングレンズ１２
の間、又は光ファイバの出射端とコリメーティングレン
ズ１２の間に設置することを特徴とする。
【００２７】このビーム整形ディフューザ５０は、厚さ
１mm以下の半透明な板の表面に微細な凹凸をランダムに
配置して形成したものであり、ビームを拡散すると共に
そのビーム形状を任意の形状に整形する。機能的には凹
レンズと同様な働きをする。このビーム整形ディフュー
ザを透過した後の発散角すなわち拡散角は、凹凸の形状
を変えることにより１°〜８０°程度の範囲内で任意に
設定できる。本実施例では拡散角２０°のものを用いて
いる。
１mm以下の半透明な板の表面に微細な凹凸をランダムに
配置して形成したものであり、ビームを拡散すると共に
そのビーム形状を任意の形状に整形する。機能的には凹
レンズと同様な働きをする。このビーム整形ディフュー
ザを透過した後の発散角すなわち拡散角は、凹凸の形状
を変えることにより１°〜８０°程度の範囲内で任意に
設定できる。本実施例では拡散角２０°のものを用いて
いる。
【００２８】光ファイバを用いた場合の光学系におい
て、シングルモードの光ファイバの端面から出射される
発散角は約7度である。コリメーティングレンズ１２に
おけるビーム半径を１０mmとするには、式（１）より光
ファイバの出射端とコリメーティングレンズ１２間の距
離を約８１mmとする必要がある。
て、シングルモードの光ファイバの端面から出射される
発散角は約7度である。コリメーティングレンズ１２に
おけるビーム半径を１０mmとするには、式（１）より光
ファイバの出射端とコリメーティングレンズ１２間の距
離を約８１mmとする必要がある。
【００２９】図１において、ビーム整形ディフューザ５
０を光ファイバの入射端から１０mmの位置に設置し、ビ
ーム整形ディフューザ５０透過後の発散θｏが次式(2)
で与えられるものとすると、光ファイバの出射端とコリ
メーティングレンズ１２間の距離は約３３mmと半分以下
に抑えられる。 θｏ＝√（（入射項の発散角度）2＋（ビーム整形ディフューザの拡散角）2） …(2) ただし、記号√は式全体にかかる平方根記号である。
０を光ファイバの入射端から１０mmの位置に設置し、ビ
ーム整形ディフューザ５０透過後の発散θｏが次式(2)
で与えられるものとすると、光ファイバの出射端とコリ
メーティングレンズ１２間の距離は約３３mmと半分以下
に抑えられる。 θｏ＝√（（入射項の発散角度）2＋（ビーム整形ディフューザの拡散角）2） …(2) ただし、記号√は式全体にかかる平方根記号である。
【００３０】ビーム整形ディフューザ５０に発散角のさ
らに大きなものを使用すれば距離をより短くすることが
できるため、光学系の小型化が容易に実現できる。ま
た、ビーム整形ディフューザ５０は、光軸に対して垂直
に設置してあればよく、レンズを用いた場合のように光
軸がレンズの中心にくるように調整する必要はない。
らに大きなものを使用すれば距離をより短くすることが
できるため、光学系の小型化が容易に実現できる。ま
た、ビーム整形ディフューザ５０は、光軸に対して垂直
に設置してあればよく、レンズを用いた場合のように光
軸がレンズの中心にくるように調整する必要はない。
【００３１】また、整形ディフューザ５０は、図１のｘ
軸、y軸に対してはビームが外れない範囲に調整するだ
けでよく、レンズを用いて前記と同様の効果を得る場合
に比べて調整が簡便である。
軸、y軸に対してはビームが外れない範囲に調整するだ
けでよく、レンズを用いて前記と同様の効果を得る場合
に比べて調整が簡便である。
【００３２】このビーム整形ディフューザ５０を用い
て、回折格子に入射される光の形状を整形し、ビームの
中心部から周辺部へ向かって滑らかに光強度が減衰する
ようにし、ガウシアンビームと形状を類似させると、回
折後の干渉パターンのサイドローブを抑えることがで
き、高ダイナミックレンジが可能となる。
て、回折格子に入射される光の形状を整形し、ビームの
中心部から周辺部へ向かって滑らかに光強度が減衰する
ようにし、ガウシアンビームと形状を類似させると、回
折後の干渉パターンのサイドローブを抑えることがで
き、高ダイナミックレンジが可能となる。
【００３３】なお、ここで言うダイナミックレンジと
は、単色光を入射したときに現れる線スペクトルの中心
波長のパワーレベルと、その中心波長からわずかに離れ
た波長における迷光のレベルとの差のことである。
は、単色光を入射したときに現れる線スペクトルの中心
波長のパワーレベルと、その中心波長からわずかに離れ
た波長における迷光のレベルとの差のことである。
【００３４】アレイ素子上で収束するビーム形状は、コ
リメーティングレンズ１２に入射する前の形状の相似形
となる。光スペクトラムアナライザにおいては、このよ
うなビーム整形ディフューザ５０を用いてビームを既知
の形状にすることにより、アレイ素子上で収束したビー
ム形状から演算により波長、パワー、Ｓ／Ｎ比等を求め
る際に補正を精度よく行うことができる。
リメーティングレンズ１２に入射する前の形状の相似形
となる。光スペクトラムアナライザにおいては、このよ
うなビーム整形ディフューザ５０を用いてビームを既知
の形状にすることにより、アレイ素子上で収束したビー
ム形状から演算により波長、パワー、Ｓ／Ｎ比等を求め
る際に補正を精度よく行うことができる。
【００３５】図２は、ビーム整形を楕円とした場合の、
アレイ素子上の収束ビーム形状を示すものである。y軸
方向の径を小さくしているので、Δｙ３（＞Δｙ１）、
Δｙ４（＞Δｙ２）と変動分に余裕ができている。x軸
方向については、図６での場合と同様に(n+1)番目、(n+
2)番目、(n+3)番目から検出される光強度に変化はな
く、ビーム形状を変更したことによる測定精度の低下は
無い。
アレイ素子上の収束ビーム形状を示すものである。y軸
方向の径を小さくしているので、Δｙ３（＞Δｙ１）、
Δｙ４（＞Δｙ２）と変動分に余裕ができている。x軸
方向については、図６での場合と同様に(n+1)番目、(n+
2)番目、(n+3)番目から検出される光強度に変化はな
く、ビーム形状を変更したことによる測定精度の低下は
無い。
【００３６】上記実施例では透過光学系を使用した場合
について説明したが、本発明はミラー等を使用した反射
光学系を使用した構成についても同様に適用できる。
について説明したが、本発明はミラー等を使用した反射
光学系を使用した構成についても同様に適用できる。
【００３７】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
ような効果がある。 分光器に入射された光の発散角をビーム整形ディフュ
ーザにより大きくできるので、分光器に入射した入射部
とコリメーティングレンズの間の距離を短くでき、光学
系を小型化できる。
ような効果がある。 分光器に入射された光の発散角をビーム整形ディフュ
ーザにより大きくできるので、分光器に入射した入射部
とコリメーティングレンズの間の距離を短くでき、光学
系を小型化できる。
【００３９】分光器の入射部とコリメーティングレン
ズの間の距離を短くする場合、レンズを使用するのと比
較して本発明のようにビーム整形ディフューザを使用し
た方が光学系の調整が容易である。 ビーム整形ディフューザ透過後のビーム形状を任意の
形状に整形できるので、光強度がビーム中心から滑らか
に減衰するビームを回折格子に入射でき、回折後の干渉
パターンのサイドローブを抑圧し高ダイナミックレンジ
を実現できる。
ズの間の距離を短くする場合、レンズを使用するのと比
較して本発明のようにビーム整形ディフューザを使用し
た方が光学系の調整が容易である。 ビーム整形ディフューザ透過後のビーム形状を任意の
形状に整形できるので、光強度がビーム中心から滑らか
に減衰するビームを回折格子に入射でき、回折後の干渉
パターンのサイドローブを抑圧し高ダイナミックレンジ
を実現できる。
【００４０】ビーム整形ディフューザ透過後のビーム
形状を任意の形状に整形できるので、アレイ素子上で収
束するビーム形状の補正を精度良く行うことができ、測
定精度が高くなる。 ビーム整形ディフューザ透過後のビーム形状を任意の
形状に整形できるので、アレイ素子上で形成されるビー
ムの形状を楕円形とすることによりビームが受光素子か
ら外れにくくなり、光学系の信頼性が高くなる。
形状を任意の形状に整形できるので、アレイ素子上で収
束するビーム形状の補正を精度良く行うことができ、測
定精度が高くなる。 ビーム整形ディフューザ透過後のビーム形状を任意の
形状に整形できるので、アレイ素子上で形成されるビー
ムの形状を楕円形とすることによりビームが受光素子か
ら外れにくくなり、光学系の信頼性が高くなる。
【図１】本発明に係る分光器の一実施例を示す構成図で
ある。
ある。
【図２】ビーム整形を楕円とした場合の、アレイ素子上
の収束ビーム形状を示す図である。
の収束ビーム形状を示す図である。
【図３】従来のポリクロメータ方式の分光器を内蔵した
光スペクトラムアナライザの一実施例を示す原理構成図
である。
光スペクトラムアナライザの一実施例を示す原理構成図
である。
【図４】光ファイバ１８を用いて入射する場合の構成を
示す図である。
示す図である。
【図５】入射光の発散角についての説明図である。
【図６】アレイ素子とビームの関係を説明するための図
である。
である。
１ 被測定光 １０ 分光器 １２ コリメーティングレンズ １３ 回折格子 １４ フォーカシングレンズ １５ アレイ素子 １６ 光シャッター １７ 偏光解消素子
Claims (5)
- 【請求項１】入射端よりコリメーティングレンズを介し
て入射光を回折格子に入射し、前記回折格子から出射さ
れる光を複数の受光素子を配列してなるアレイ素子で検
出するようにした分光器において、 前記コリメーティングレンズの入射端側にビームを拡散
すると共にそのビーム形状を任意の形状に整形すること
のできるビーム整形ディフューザを配置したことを特徴
とする分光器。 - 【請求項２】前記ビーム整形ディフューザによりビーム
の光強度をガウシアンビーム形状に類似させ滑らかに減
衰するようにしたことを特徴とする請求項１記載の分光
器。 - 【請求項３】前記ビーム整形ディフューザによりアレイ
素子に照射されるビーム形状を楕円形に整形し、その楕
円の長径がアレイ素子の配列方向と平行となるようにし
たことを特徴とする請求項１記載の分光器。 - 【請求項４】前記請求項１ないし３記載の分光器を用
い、この分光器のアレイ素子の出力信号に基づき、入射
光の波長、パワー、ＳＮ比の特性を求めるように構成し
たことを特徴とする光スペクトラムアナライザ。 - 【請求項５】ビーム整形ディフューザにより任意形状の
ビームに整形し、その形状から波長、パワー、ＳＮ比を
求める際に前記ビーム形状により補正を行うようにした
ことを特徴とする請求項４記載の光スペクトラムアナラ
イザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11106810A JP2000298067A (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 分光器およびそれを用いた光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11106810A JP2000298067A (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 分光器およびそれを用いた光スペクトラムアナライザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000298067A true JP2000298067A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14443212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11106810A Pending JP2000298067A (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 分光器およびそれを用いた光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000298067A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102967367A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-13 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种紫外二维全谱高分辨光学系统 |
| WO2022185565A1 (ja) * | 2021-03-04 | 2022-09-09 | 株式会社島津製作所 | 分光測定装置 |
-
1999
- 1999-04-14 JP JP11106810A patent/JP2000298067A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102967367A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-13 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种紫外二维全谱高分辨光学系统 |
| CN102967367B (zh) * | 2012-12-05 | 2014-09-24 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种紫外二维全谱高分辨光学系统 |
| WO2022185565A1 (ja) * | 2021-03-04 | 2022-09-09 | 株式会社島津製作所 | 分光測定装置 |
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