JPS5874087A - 薄膜太陽電池の製造方法 - Google Patents
薄膜太陽電池の製造方法Info
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- JPS5874087A JPS5874087A JP56172475A JP17247581A JPS5874087A JP S5874087 A JPS5874087 A JP S5874087A JP 56172475 A JP56172475 A JP 56172475A JP 17247581 A JP17247581 A JP 17247581A JP S5874087 A JPS5874087 A JP S5874087A
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光の入射側に透明導電膜を有する、例えばアモ
ルファスシリコン膜を利用した薄膜太陽電池の製造方法
に圓する０ このような太ｗ１１１１ｃ池は、例えば第１図に示すよ
うにガラス基板１の表面に電子ビーム蒸ｙＩＩ法などに
よってＩｎ５ＯＡ、 ８ｎＵ２．ＩＴＯ（Ｉｎｘ０ｓ−
８ｎ０２）などからなる透明導［１１１２を被着し、そ
の上に８ｉＨ４のグロー放電分解によってＰｉＮｌｌ造
あるいはｈＪｉＰ構造のアモルファスシリコン膜３を成
長させ、さらに金属電極膜４を設けることによって構成
される。この太陽電池のシリコン膜３にガラス６ｊｌお
よび透明導電膜２を通して入射した光により発生する光
起電力を、透明導電膜２の端子と金属電極膜４の端子と
から取り出す０このように構成した太陽電池は、電卓、
時計などの民生用機器の電源として使用される。当然の
ことながらこの太陽電池はその透明基板側を太陽光−あ
るいは室内光にさらして使用されるので、その基＆１の
＠力）ら見た外観は民生用機器全体の外貌に伴なう一品
価値に大きな影曽を及ぼす。
ルファスシリコン膜を利用した薄膜太陽電池の製造方法
に圓する０ このような太ｗ１１１１ｃ池は、例えば第１図に示すよ
うにガラス基板１の表面に電子ビーム蒸ｙＩＩ法などに
よってＩｎ５ＯＡ、 ８ｎＵ２．ＩＴＯ（Ｉｎｘ０ｓ−
８ｎ０２）などからなる透明導［１１１２を被着し、そ
の上に８ｉＨ４のグロー放電分解によってＰｉＮｌｌ造
あるいはｈＪｉＰ構造のアモルファスシリコン膜３を成
長させ、さらに金属電極膜４を設けることによって構成
される。この太陽電池のシリコン膜３にガラス６ｊｌお
よび透明導電膜２を通して入射した光により発生する光
起電力を、透明導電膜２の端子と金属電極膜４の端子と
から取り出す０このように構成した太陽電池は、電卓、
時計などの民生用機器の電源として使用される。当然の
ことながらこの太陽電池はその透明基板側を太陽光−あ
るいは室内光にさらして使用されるので、その基＆１の
＠力）ら見た外観は民生用機器全体の外貌に伴なう一品
価値に大きな影曽を及ぼす。
本発明はこのような民生機器などに用いられた場合にそ
の商品価値を高めるような外貌を有する薄膜太陽電池の
製造方法を提供することを目的とする。
の商品価値を高めるような外貌を有する薄膜太陽電池の
製造方法を提供することを目的とする。
この目的は半導体薄膜上に被着した透明導電膜を所望の
干渉色を呈する厚さまで腐食することによって達成され
る◎ 基体上に透明薄膜を被着した場合、透明薄膜の干渉色は
薄膜の厚さによって変化することが知られている。例え
ば屈折率約４のシリコン層の上に屈折率約２のＩＴＯＪ
ｌｊｉを重ねた場合、ＩＴＯ膜の厚さ１Ｒ１ｔｌｆ ５
ｏｏＡ：＋ｘう２ｓｏｏＡ＃ｃｆｔり場合、５００１に
おける干渉色は黄かつ色であるが、１０００ｘでは濃紫
色、１２５０ Ｘ テＧ；！ ｏ ＝−ｗルフル−１２
ｏｏｏＸでは薄い金色、２５００Ｘではオレンジ色を呈
する・さらに膜厚を大きくすればこの変化をくり返す◎
従って必要な導電性の得られる軸重で膜厚をｇ＊すれば
所望の干渉色を呈する透明導電膜で槓われた美麗な太陽
電池を得ることができる。し乃）しこの干渉色はＪＩＳ
厚に微妙に依存するため、藺品において要求される各太
陽電池の干渉色の均一性を達成することは極めて困−で
あり蒸着法、スパッタリング法あるいはＯＶＤ法のよう
に目視不能の密閉容器内で生成される透明４電展の膜厚
の梢慴な制御は不可能である◎本発明はこの問題を一駅
生成した透明導′＃ｌＩＬ膜を腐食によって所望の膜厚
まで薄くなることにより解決′したものである。腐食液
は、例えば、Ｉｎ２Ｏ２膜の、；゛彎合には王水、（ｔ
ｍｉ＊千塩化第二鉄）液あるいｇ−１０’Ｏｊ ４ガス
などを石いることができ、一定速度腐食により必要な場
合は目視を併用して所足の膜厚値才で落される・本発明
は第１図に示す構造を有する太陽′電池に限らず、第２
図に示すような構造を有する太陽電池にも実施するこ七
ができる。第２図においては、例えばステンレス鋼から
なる導電性基板５の上にアモルファスシリコン膜３を成
兼させ、その上に透明導電膜２を被着し、さらに蒸着な
どにより俗子状あるいは櫛の歯状に金稿電極膜４を設け
る〇この太−電池の場合は金属電極４の側から透明導電
１１！２を介して入射する光により光起電方が発生する
◇この透明導１ｍ膜の厚さをａ１１整することにより第
１図におけ木と同様に所望の色彩を有する太陽電池を製
造することができる。
干渉色を呈する厚さまで腐食することによって達成され
る◎ 基体上に透明薄膜を被着した場合、透明薄膜の干渉色は
薄膜の厚さによって変化することが知られている。例え
ば屈折率約４のシリコン層の上に屈折率約２のＩＴＯＪ
ｌｊｉを重ねた場合、ＩＴＯ膜の厚さ１Ｒ１ｔｌｆ ５
ｏｏＡ：＋ｘう２ｓｏｏＡ＃ｃｆｔり場合、５００１に
おける干渉色は黄かつ色であるが、１０００ｘでは濃紫
色、１２５０ Ｘ テＧ；！ ｏ ＝−ｗルフル−１２
ｏｏｏＸでは薄い金色、２５００Ｘではオレンジ色を呈
する・さらに膜厚を大きくすればこの変化をくり返す◎
従って必要な導電性の得られる軸重で膜厚をｇ＊すれば
所望の干渉色を呈する透明導電膜で槓われた美麗な太陽
電池を得ることができる。し乃）しこの干渉色はＪＩＳ
厚に微妙に依存するため、藺品において要求される各太
陽電池の干渉色の均一性を達成することは極めて困−で
あり蒸着法、スパッタリング法あるいはＯＶＤ法のよう
に目視不能の密閉容器内で生成される透明４電展の膜厚
の梢慴な制御は不可能である◎本発明はこの問題を一駅
生成した透明導′＃ｌＩＬ膜を腐食によって所望の膜厚
まで薄くなることにより解決′したものである。腐食液
は、例えば、Ｉｎ２Ｏ２膜の、；゛彎合には王水、（ｔ
ｍｉ＊千塩化第二鉄）液あるいｇ−１０’Ｏｊ ４ガス
などを石いることができ、一定速度腐食により必要な場
合は目視を併用して所足の膜厚値才で落される・本発明
は第１図に示す構造を有する太陽′電池に限らず、第２
図に示すような構造を有する太陽電池にも実施するこ七
ができる。第２図においては、例えばステンレス鋼から
なる導電性基板５の上にアモルファスシリコン膜３を成
兼させ、その上に透明導電膜２を被着し、さらに蒸着な
どにより俗子状あるいは櫛の歯状に金稿電極膜４を設け
る〇この太−電池の場合は金属電極４の側から透明導電
１１！２を介して入射する光により光起電方が発生する
◇この透明導１ｍ膜の厚さをａ１１整することにより第
１図におけ木と同様に所望の色彩を有する太陽電池を製
造することができる。
以上述べたように、本発明によって１！！！遺される太
陽電池は膜厚を祠祭することによって微妙に変えられる
干渉色をもつ透＃ＪＡ４ ’［ＪＩＳを備え、美麗な外
観を有する庵のであり、しかも従来の太陽電池、；１．
・ の特性を維持□で１きるので、特に民生用機器に組込ま
れて総合的な□“デザインにマツチした太陽電池として
商品価値を高めるために有効ｌこ用いることができる。
陽電池は膜厚を祠祭することによって微妙に変えられる
干渉色をもつ透＃ＪＡ４ ’［ＪＩＳを備え、美麗な外
観を有する庵のであり、しかも従来の太陽電池、；１．
・ の特性を維持□で１きるので、特に民生用機器に組込ま
れて総合的な□“デザインにマツチした太陽電池として
商品価値を高めるために有効ｌこ用いることができる。
第１図およびＭ２図は本発明を適用できる太陽電池の二
種類の構造を示す断面図である。 ２：透明導電膜、３：アモルファスシリコン膜。 ん１ 第１２層 第２図
種類の構造を示す断面図である。 ２：透明導電膜、３：アモルファスシリコン膜。 ん１ 第１２層 第２図
Claims (1)
- １）光電変換活性領域を備えた半導体薄膜の光の入射側
に透明導電膜が設けられるものを製造する方法において
、半導体薄膜上に被着した透明導電膜を所望の干渉色を
呈する厚さまで腐食すること□を特徴とする薄膜太陽電
池の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56172475A JPS5874087A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | 薄膜太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56172475A JPS5874087A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | 薄膜太陽電池の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5874087A true JPS5874087A (ja) | 1983-05-04 |
Family
ID=15942671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56172475A Pending JPS5874087A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | 薄膜太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5874087A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02237172A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-19 | Mitsubishi Electric Corp | 多層構造太陽電池 |
| WO2000013237A1 (fr) * | 1998-08-26 | 2000-03-09 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Dispositif photovoltaique |
| US6459035B2 (en) * | 1999-12-27 | 2002-10-01 | Asulab S.A. | Photovoltaic cell having a colored appearance, particularly for a watch dial |
-
1981
- 1981-10-28 JP JP56172475A patent/JPS5874087A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02237172A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-19 | Mitsubishi Electric Corp | 多層構造太陽電池 |
| WO2000013237A1 (fr) * | 1998-08-26 | 2000-03-09 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Dispositif photovoltaique |
| US6395973B2 (en) | 1998-08-26 | 2002-05-28 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Photovoltaic device |
| US6459035B2 (en) * | 1999-12-27 | 2002-10-01 | Asulab S.A. | Photovoltaic cell having a colored appearance, particularly for a watch dial |
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