JPS5871540A - 電子線測定法による電位決定のための走査方法 - Google Patents

電子線測定法による電位決定のための走査方法

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JPS5871540A
JPS5871540A JP57168241A JP16824182A JPS5871540A JP S5871540 A JPS5871540 A JP S5871540A JP 57168241 A JP57168241 A JP 57168241A JP 16824182 A JP16824182 A JP 16824182A JP S5871540 A JPS5871540 A JP S5871540A
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JP
Japan
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electron beam
periodic signal
scanning
signal course
scanning method
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JP57168241A
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ユルゲン・フロ−ジエン
ブルクハルト・リシユケ
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Siemens Schuckertwerke AG
Siemens AG
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Siemens Schuckertwerke AG
Siemens AG
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/305—Contactless testing using electron beams

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子線測定技術にて電位を決定するための走
査方式であって、測定点で周期性信号経過を決定するた
めの走査方式〇で関する。
集積回路内部における信号経過の測定は集積度が増すに
つれてますます困難になる。電子プローグにより集積回
路表面における電位を測定することができる。大抵の集
積回路は動的な試験を必要とする。すなわち、試験中集
積回路は定格周波数で動作しなければならない。
電子線測定技術によシ時間周期性現象の電位：１ＩＩＩ
定のために、ストロボスコープ効果を利用して試験中定
格周波数で動作するスイッチング回路を準安定状態で電
位コントラストを捜方することは公→ 知である。この場合にパルス化された電子線が使用され
、これは回路周波数と同期して所定時点ｔ１で所定の測
定点（／（おけ乙回路電位を呼び出す。高い時間分解能
を得るために、パルス幅△ｔは回路信号（ストロボスコ
ープ照射）の周期よシも小さい。サンプリングオフログ
ラフの原理にしたがって１周期性測定信号からある位相
点（電子線の投入時点）が選ばれ、２次電子分光計装置
によりこの位相点の電圧値が求められる。投入時点（位
相）をゆっくりずらすことによって、測定すべき信号が
位相角の関数として走査される（ＩＥＥＥ、ＳＣ。
Ｖｏｌ、　５Ｃ−１３，Ｎｏ　３（１９７８）の第３１
９〜３２５頁に掲載されたＨ、Ｐ、Ｆｅｕｅｒｂａｕｍ
等による論文「Ｑｕａｎｌｊｔａｔｉｖｅ　Ｍｅａｓｕ
ｒｅｍｅｎｔ　ｗｉｔｈｈｉｇｈ　ｔｉｍｅ　ｒｅｓｏ
’１ｕｔｉｏｎ　ｏｆ　１ｎｔｅｒｎａｌ　ｗａｖｅ−
ｆｏｒｍｓ　Ｏｎ　ＭＯＳ　−ＲＡＭ５　ｕｓｉｎｇａ
　ｍｏｄｉｆｉｅｄｓｃａｎｎｉｎｇ　ｅ］、ｅｃｔｒ
ｏｎ　ｍ１ｃｒｏｓｃｏｐｅ　Ｊ　参照）。
この公知の方法の欠点は、電子グローブの短いパルス幅
のために、電位測定のための電子グローブにおける電子
線流の僅かの部分しか利用できないことにある。なぜな
らば、１次電子線が大部分の時間暗く制御されるからで
ある。それてよって測定時間が長くなる。
本発明の目的は、冒頭に述べたような走査方法において
、電子線電位測定の際における速度を明白に高めること
を可能にすることにある。
この目的は本発明によれば、周期性信号経過の一周期中
に、この周期性信号経過を多数回パルス状電子線によっ
て走査することによって達成される。
以下、図面を参照しながら本発明をさらに詳細に説明す
る。
第１図はパルス状電子線によｐ周期性信号経過Ｓを走査
する従来方法の原理を示す。周期性信号経過Ｓおよびパ
ルス状電子線Ｐが時間ｔに対する経過として示されてい
る。電子線測定器で測定を行なう回路はサイクリックに
運転され、電子線がパルス化される。サンプリングオシ
ログラフの原理にしたがって周期性信号経過Ｓから位相
点Ａがパルス状電子線Ｐの投入時点ｔ１として選ばれる
。
電子線測定器の２次電子分光計装置によってこの位相点
Ａの電圧値Ｕが求められる。高い時間分解能を得るため
にパルス幅△ｔは周期性信号の周期に対して小さい。投
入時点（位相）をゆっくりずらすことによって測定すべ
き周期性信号経過Ｓは位相角の関数として走査される。
測定経過はオシログラフまたはｘ　−ｙプロッタに記録
することができる。第１図から容易にわかるように、パ
ルス状電子線Ｐの短い幅のために、周期性信号経過Ｓを
測定するための電子グローブにおいては１次電子流の小
さな部分しか利用することができない。
第１図に明示するように電子線測定器の１次電子線は大
部分の時間暗く制御される。それによって測定時間が長
くなる。
第２図は′６４１Ｉ定時間を短縮する本発明による周期
性信号経過走査方法に関する。測定速度を高めるために
１回路の測定点における周期性信号経過Ｓが一周期中に
１回のみでなくて、多数回時点ｔｌ。
ｔ２・・・坏で読み込まれる。とくに、その場合に互い
に隣シ合う２つの走査時点の間の時間間隔は一定であり
、つまり ｉｍ＋１−ｔｍ　＝一定 である。第２図においては周期性信号経過Ｓは一周期内
に７回（時点ｔ１　、　ｔ２　、・・・ｔ７）走査され
る。
その際に現われる部分信号は中間記憶される。パルス状
電子線Ｐにおける互いに隣り合う２つのパルス間の最小
間隔は２次電子信号ＳＥの時間特性によって定められる
。なぜならば、パルス状電子線Ｐの新たな１次電子線パ
ルスの開始前に先行１次電子線パルスの２次電子信号Ｓ
Ｅが消えていなければならないからである。従来技術で
述べた走査方法に対応して、本発明の場合にもパルス状
電子線Ｐと回路信号あ周期性信号経過Ｓとの間の位相を
ずらすことによって回路測定点の時間的な電圧経過を時
間ｔの関数として測定することができる。周期性信号経
過Ｓを走査するための本発明の方法の場合には、投入時
点ｔ１．ｔ２・・・ｔｎの位相を周期性信号経過Ｓの全
周期にわたってずらす必要はない。とくにパルス状電子
線Ｐのパルス列の互いに隣り合う２つのパルス間の時間
的間隔が一定である場合には、パルス状電子線Ｐのパル
ス列よる走査方法の場合には周期性信号経過Ｓは少しず
つ測定されるので、周期性信号経過Ｓの走査中取り込ま
れて中間記憶される個々の部分信号は、パルス状電子Ｎ
ｐのパルス列のパルスの投入時点の位相７７トによって
周期性信号経過Ｓの全体が測定された後に、完全な周期
性信号経過Ｓが生じるように正しいＩｔ！ｉｌ！序で読
み出されなければならない。
本発明による方法によって測定時間１は従来技術に比べ
て数分の１に、すなわち 周期性信号経過Ｓの一周期当りのパルス状電子＋ｌＩＰ
のパルス数に短縮される。
本発明による方法は、例えば、先に引用したｆ１１行物
により公知の電子線測定器を若干変形した電子線測定器
で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図ＩＩまパルス状電子線により周期性信号経過を走
査するための従来方法の原理を説明−するための線図、
第２図は測定時間短縮のための本発明による周期性信号
経過走査方法の原理を説明−するための線図である。 Ｐ・・パルス状電子線、Ｓ・・・周期性は号経過、ＳＥ
・・・２次市、子信号、ｔ・・・時間。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ｌ）測定点で周期性信号経過を求めるべく電子線測定法
    にて電位を決定するための走査方法において、周期性信
    号経過の一周期中にこの周期性信号経過を多数回、パル
    ス状電子線によって走査することを特徴とする電子Ｍ測
    定法による電°位決定のための走査方法。 ２）パルス状電子線の互いに隣り合う２つのパルス間の
    時間的間隔は一定であることを特徴とする特許請求の範
    囲第１項記載の走査方法。 ３）パルス状電子線と周期性信号経過との間の位相のず
    らしによって周期性信号経過の全体を時間関数として測
    定することを特徴とする特許請求の範囲第１項または第
    ２項記載の走査方法。 ４）パルス状電子線と周期性信号経過との間のずらされ
    た位相の部分信号を中間記憶することを特徴とする特許
    請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の走査
    方法。
JP57168241A 1981-09-30 1982-09-27 電子線測定法による電位決定のための走査方法 Expired - Lifetime JPH0612659B2 (ja)

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DE31389929 1981-09-30
DE19813138992 DE3138992A1 (de) 1981-09-30 1981-09-30 Abtastverfahren zur schnellen potentialbestimmung inder elektronenstrahl-messtechnik
DE3138992.9 1981-09-30

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JPS5871540A true JPS5871540A (ja) 1983-04-28
JPH0612659B2 JPH0612659B2 (ja) 1994-02-16

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