JPS5871536A - Ｘ線像増倍管の入力面及びその製造方法 - Google Patents

Ｘ線像増倍管の入力面及びその製造方法

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JPS5871536A
JPS5871536A JP16896281A JP16896281A JPS5871536A JP S5871536 A JPS5871536 A JP S5871536A JP 16896281 A JP16896281 A JP 16896281A JP 16896281 A JP16896281 A JP 16896281A JP S5871536 A JPS5871536 A JP S5871536A
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JP
Japan
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input
plate
base plate
ray
input surface
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JP16896281A
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JPH0125181B2 (ja
Inventor
Takashi Noji
隆司 野地
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
    • H01J29/36—Photoelectric screens; Charge-storage screens
    • H01J29/38—Photoelectric screens; Charge-storage screens not using charge storage, e.g. photo-emissive screen, extended cathode
    • H01J29/385—Photocathodes comprising a layer which modified the wave length of impinging radiation

Landscapes

  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はＸ線像増倍管の入力面及びその製造方法に関
する。
一般にＸ線像増倍管例えばＸ線螢光増倍管は、医療用を
主に工業用非破壊検査などＸ線工業テレビを併用して広
範囲に応用されている。この種のＸＩＩ螢光増倍管は第
１図に示すように構成され、真空容器である主としてガ
ラスよシなる外囲器１の入力側内部には入力面互が配設
されている。一方、外囲器１の出力側内部には、陽極３
が配設されると共に出力面ｆが形成−され、更に外囲器
１内部の側壁に沿って集束電極５が配設されている。そ
して、使用時にＸ線発生器（図示せず）から放射された
Ｘ線は被写体を透過して入力面互に達し、入力面互から
出た光電子が集束電極５によシ集束され、陽極３によシ
加速されて出力面りを励起し、この出力面ｆには、輝度
増強された光出力像が再現される。
ところで入力面は球面状のＡｔ基板６にＣａｒの入力螢
光体層７が蒸着によ）形成され、この人力螢光体層７に
光電ＷＪ８が形成されている。この場合、入力螢光体層
７を高解像度化する手法は次の■、■に分れる。
■ＡＬ基板６表面に凹凸を形成して、高真空中で蒸着す
る（ＡＬ２０３ブロック）。
■Ａｊ基板６は平滑なｔｔ、入力螢光体層７自体を光案
内作用をもつ柱状結晶構造とする。
これらは、基板自体は特に注目せず、■の場合はプロ、
り化、■では平滑度が重点であった。
ところが、特に■の場合、Ａｔ基板６が平滑であると、
ＣＩ！■の付着力（剥離の発生）とＡｔの圧延ロール筋
が入力螢光体層７に転写される場合がある。更に、これ
らを解決して高解像度の蒸着膜を形成するには、Ａｔ基
板６０表面処理をする必要がある。
尚、第１図中、９．１０は出力面ヱを構成する基板と出
力螢光体層である。
この発明は上記事情に鑑みなされたもので、解像度およ
びコントラストを向上したＸ！Ｉ像増倍管の入力面及び
その製造方法を提供することを目的とする。
以下、５ＴｊｉＪを参照して仁の発明の一実施例を詳ｍ
ｒｔｃｖｉｔＩ１１する。仁の発明のＸ線螢光増倍管の
入力画は第２図に示すように構成され、球面状ＡｔｔＩ
板１１０表面（出方側の面）Ｋは、例えば略５優ＮａＯ
Ｈ液によるエツチングが施され、基板１１内の不純物１
２が融けずに表面に析出して残される。この場合、不純
物１２は例えばＳｔ。
Ｆ・＋Ｃｕなどで平均粒径が０．１〜７μｍの斑点状に
なっており、色は黒色ないしは褐色である。このような
不純物１２が残ったＡｔ基板１１表面には、Ｃｍ１１ｇ
光材料が真空中（１，０−３〜１０−’　Ｔｏｒｒ　）
で蒸着されて、久方ｗ光体層１３が形成される。
この場合、（、ｓｒ結晶柱が前記不純物１２上に成長す
る訳である。こうして形成され九人カ螢光体層ｌｓ上に
は、光電面１４が形成されている＠崗、μ基板１１は、
紅メーカーでの製造時より下＊０如き不純物（８１，Ｆ
ｅ・・・）を含んでいる。
この発ｖＩＯＸ線像増倍管の入力画及びその製造方法は
上記説明及び図示のように構成され、Ａｔ基板１１表面
には黒色ないし拡褐色の不純物１２が斑点状に析出し、
一部は付着状態で残っているため、入力螢光体層１３の
基板１１＠へ向かう一部発光が吸収されてコントラスト
が著しく向上する。又、不純物１２の平均粒径が０１〜
７μｍであシ、この斑点状の不純物１２の上にＣａＩ螢
光材料が成長するので、ライトガイドとしてのＣｓＩ結
晶柱が容易にできる。これによって解像度が向上する。
尚、上記実施例において、Ａｔ基板１１の表面にエツチ
ングを施す前に、真空処理又はアニールを行なってもよ
い。また、エツチング時間が長いほど表面に析出して残
る不純物粒子の量は多く、密度も高くなるので、黒化度
も増し、ＣＩＩＩ結晶柱も高密度に形成される。
以上説明したようにこの発明によれば、解像度、コント
ラストのよいＸ線像増倍管の入力面及びその製造方法を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はＸ線像増倍管（Ｘ線螢光増倍管）を示す概略構
成図、第２図はこの発明の一実施例に係る入力面を示す
断面図である。 １１・・・Ａｔ基板、１２・・・不純物、１３・・・入
力螢光体層（ＣｓＩ結晶柱）、１４・・・光電面。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　　ＡＪ板の表面に該基板内不純物の粒子の一部
    を残し、その上にＣｓＩ螢光材料を蒸着して入力螢光面
    を形成してなることを特徴とするＸ線像増倍管の入力面
    。
  2. （２）　　前記不純物の平均粒径が０．１〜７μｍであ
    る特許請求の範囲第１項記載のＸ線像増倍管の入力面。
  3. （３）　　ＡＪ板に入力螢光面を形成するＸ線像増倍管
    の入力面の製造方法において、前記入力螢光面を形成す
    る前に、前記ＡＡ基板の表面に該基板内の不純物が析出
    して残るようにエツチングを施すことを特徴とするＸ５
    ｔｓ増倍管の入力面の製造方法。
  4. （４）前記エツチングは略５　％ＮａＯＨ液で行なう特
    許請求の範囲第３項記載のＸ＊＊増倍管の入力面の製造
    方法。
JP16896281A 1981-10-22 1981-10-22 Ｘ線像増倍管の入力面及びその製造方法 Granted JPS5871536A (ja)

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FR8217529A FR2515423B1 (fr) 1981-10-22 1982-10-20 Ecran d'entree pour tube amplificateur de brillance et procede pour la realisation d'un tel ecran

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JPS5871536A true JPS5871536A (ja) 1983-04-28
JPH0125181B2 JPH0125181B2 (ja) 1989-05-16

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FR2515423B1 (fr) 1985-10-25
JPH0125181B2 (ja) 1989-05-16
FR2515423A1 (fr) 1983-04-29

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