JPS5871195A - 光学的情報記録媒体 - Google Patents
光学的情報記録媒体Info
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- JPS5871195A JPS5871195A JP56169883A JP16988381A JPS5871195A JP S5871195 A JPS5871195 A JP S5871195A JP 56169883 A JP56169883 A JP 56169883A JP 16988381 A JP16988381 A JP 16988381A JP S5871195 A JPS5871195 A JP S5871195A
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- G11B7/2533—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising resins
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- Inorganic Chemistry (AREA)
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- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、記録された情報を光学的に読取り可能な光学
的情報記録媒体に係り、符に光、熱等のエネルギービー
ムの照射により記鈴腺の光反射率の変化として情報を記
録するようにした光学的情報ｍｌ録媒体に関する。
的情報記録媒体に係り、符に光、熱等のエネルギービー
ムの照射により記鈴腺の光反射率の変化として情報を記
録するようにした光学的情報ｍｌ録媒体に関する。
光学的１′Ｈ報記録媒体として、従来、第１図に示すよ
うに基板１上に形成された記録膜２ｖｃエネルギービー
ムを照射し、記録されるべき情報に対応したビット３列
を形成するようにしたものがおる。このような光学的情
報記録媒体において、従来より記録膜２としてテルル（
Ｔｅ ）を使用することが知ら扛ている。Ｔｅ膜は非常
に低いエネルギーで所望の孔（ビット）全形成でき、こ
の棟の用途においては高感匿材料として極めて有望であ
る。ここで感度とは 単位面積当りの記録Ｓ（この場合
はビット）形成に要するエネルギー（ｍＪ１０ｎ２）で
足表される。
うに基板１上に形成された記録膜２ｖｃエネルギービー
ムを照射し、記録されるべき情報に対応したビット３列
を形成するようにしたものがおる。このような光学的情
報記録媒体において、従来より記録膜２としてテルル（
Ｔｅ ）を使用することが知ら扛ている。Ｔｅ膜は非常
に低いエネルギーで所望の孔（ビット）全形成でき、こ
の棟の用途においては高感匿材料として極めて有望であ
る。ここで感度とは 単位面積当りの記録Ｓ（この場合
はビット）形成に要するエネルギー（ｍＪ１０ｎ２）で
足表される。
しかしながら、Ｔｅは大気中に放置された場合、酸素や
水分により酸化され、透明になる厩舎が速い。記録膜と
して使用する場合、膜厚は７００Ｘ程度と極めて薄いた
め、膜の酸化で生じた透明度の増加に起因する感紅の劣
化は著しい。すなわち、膜が酸化されると融解、蒸発温
Ｋが上昇するとともに、透明化により元号のエネルギ−
の吸収が少なくなるため、ビット形成に要す気に放置し
た場合、約５時間で感度が約２０％低下し、約１５時間
で約５０％低下してしまう。
水分により酸化され、透明になる厩舎が速い。記録膜と
して使用する場合、膜厚は７００Ｘ程度と極めて薄いた
め、膜の酸化で生じた透明度の増加に起因する感紅の劣
化は著しい。すなわち、膜が酸化されると融解、蒸発温
Ｋが上昇するとともに、透明化により元号のエネルギ−
の吸収が少なくなるため、ビット形成に要す気に放置し
た場合、約５時間で感度が約２０％低下し、約１５時間
で約５０％低下してしまう。
このため、Ｔｅ膜の酸化防止のために糧々の対策がとら
れている。その一つである安定無機物質でＴｅ膜をコー
ティングする方法は、Ｔｅ膜の酸化防止には有効である
が、感度を低下させてし１つことと高価であることのた
め、実用化されていない。一方、グラスチックコーティ
ングは熱伝導率が小はいことから感度を損なう度合が小
さく有利であるが、酸素や水を比較的容易に透過させる
ため、Ｔｅ膜の酸化防止にはめまや役立たない。
れている。その一つである安定無機物質でＴｅ膜をコー
ティングする方法は、Ｔｅ膜の酸化防止には有効である
が、感度を低下させてし１つことと高価であることのた
め、実用化されていない。一方、グラスチックコーティ
ングは熱伝導率が小はいことから感度を損なう度合が小
さく有利であるが、酸素や水を比較的容易に透過させる
ため、Ｔｅ膜の酸化防止にはめまや役立たない。
また、このような光学的情報記録媒体は第１図に示すよ
うにビット３０周辺が盛り上ってしまい、再生信号のノ
イズレベルヲ旨くする欠点をもっている。
うにビット３０周辺が盛り上ってしまい、再生信号のノ
イズレベルヲ旨くする欠点をもっている。
不発明は上記問題を解決するためになされたもので、嶋
感鍵、艮寿命かつ低ノイズの光学的情報記録媒体を提供
することを目的とする。
感鍵、艮寿命かつ低ノイズの光学的情報記録媒体を提供
することを目的とする。
本発明に係る光学的情報記録媒体は、特に基板上に被着
された記録膜にエネルギビームの照射により情報を光反
射率の変化として記録するものでろって、記録膜を低融
点金属膜たはその合金と、ＣおよびＨ全含有する膜によ
って形成したことを特徴としており、これによって高感
匿、長寿命かつ低ノイズの長１’ｆｌ兼ね備えたもので
ある。ここで低融点金属としては、膜形成技術および記
録特性から２５〜６００℃の融点をもつ金属が用いられ
る。このような低融点金属としては、例えばＣｄ ＋
Ｉｎ ＋ Ｓｎ ＋ Ｚｎ ＋ Ｐｂ＋Ｂｉ 、 Ｔｅ
等がめる。これらの金属を単体で用いてもよいが、それ
らの合金を用いることもできる。
された記録膜にエネルギビームの照射により情報を光反
射率の変化として記録するものでろって、記録膜を低融
点金属膜たはその合金と、ＣおよびＨ全含有する膜によ
って形成したことを特徴としており、これによって高感
匿、長寿命かつ低ノイズの長１’ｆｌ兼ね備えたもので
ある。ここで低融点金属としては、膜形成技術および記
録特性から２５〜６００℃の融点をもつ金属が用いられ
る。このような低融点金属としては、例えばＣｄ ＋
Ｉｎ ＋ Ｓｎ ＋ Ｚｎ ＋ Ｐｂ＋Ｂｉ 、 Ｔｅ
等がめる。これらの金属を単体で用いてもよいが、それ
らの合金を用いることもできる。
以下、図面を参照しながら、不発明の実施例全詳細に説
明する。
明する。
第２図は本発明の一実施例を示す断面図である。図にお
いて、１１は基板で本実施例では合゛成樹脂の１つであ
るアクリル板を用い、るものとする。しかし、他の合成
ｗ側板またはガラス板であってもよく、情報の記録およ
び読取り方法によって適宜選択することが可能である。
いて、１１は基板で本実施例では合゛成樹脂の１つであ
るアクリル板を用い、るものとする。しかし、他の合成
ｗ側板またはガラス板であってもよく、情報の記録およ
び読取り方法によって適宜選択することが可能である。
そして、この基板１１上にＣおよびＨ’ｚ含む低融点金
属膜からなる記録Ｂｘ１２が形成さ７′Ｌる。この記録
膜１２は記録すべき情報に応じて変調（オン、オフ）さ
れたレーデビーム等のエネルギービーム１３が照射され
ることによってそのエネルギービームが照射された部分
１４の光反射率′が増大する。すなわち、情報は記録膜
１２の光反射率の変化として記録さｇる。なお、この記
録膜１２の膜厚は、高光反射部１４において十分な光反
射率が得られるように２００Ｘ以上であることが望まし
い。
属膜からなる記録Ｂｘ１２が形成さ７′Ｌる。この記録
膜１２は記録すべき情報に応じて変調（オン、オフ）さ
れたレーデビーム等のエネルギービーム１３が照射され
ることによってそのエネルギービームが照射された部分
１４の光反射率′が増大する。すなわち、情報は記録膜
１２の光反射率の変化として記録さｇる。なお、この記
録膜１２の膜厚は、高光反射部１４において十分な光反
射率が得られるように２００Ｘ以上であることが望まし
い。
例えば低融点金属としてＴｅを選んだ場合、記録膜１２
はＴｏをターゲットとしてＣおよびＨを含むガス、例え
ばメタン（ＣＨ４）とアルゴン（Ａｒ ）との混合ガス
中でス・母ツタリングすることにより得られる。ここで
Ｔｅ膜中のＣ，Ｈの含５− 有量は、ＣＨ４とＡｒとの混合比および印加高向波電力
により目出に制御でき、例えばＣＨ４／Ａｒ−１の混合
比で１”］ ０．３ Ｗ ／ｃｎｒ２の高尚ｖ（１３，
５６■ｈ）電力をＴｅターガツトと基＆１１との間に印
加するとＴｅに対して原子数比で０．２のＣｉ金含有た
族を形成することがでさな。この場合、膜の組成式はｒ
ｅ１−ｘＣｘ（Ｈ）と書き表イクすことがででき、膜が
化学１んに最も安定するＨの含有量はＸによって決まる
。ここでは膜中にボ索ガス（Ｈ２）が発生するほど多量
に含有きぜない限９、Ｈ含有量は江慈ＶＣ選ぶことがで
きる。ざらに膜厚はス・母ツタリング時間に比例するの
で、目出に制御できる。
はＴｏをターゲットとしてＣおよびＨを含むガス、例え
ばメタン（ＣＨ４）とアルゴン（Ａｒ ）との混合ガス
中でス・母ツタリングすることにより得られる。ここで
Ｔｅ膜中のＣ，Ｈの含５− 有量は、ＣＨ４とＡｒとの混合比および印加高向波電力
により目出に制御でき、例えばＣＨ４／Ａｒ−１の混合
比で１”］ ０．３ Ｗ ／ｃｎｒ２の高尚ｖ（１３，
５６■ｈ）電力をＴｅターガツトと基＆１１との間に印
加するとＴｅに対して原子数比で０．２のＣｉ金含有た
族を形成することがでさな。この場合、膜の組成式はｒ
ｅ１−ｘＣｘ（Ｈ）と書き表イクすことがででき、膜が
化学１んに最も安定するＨの含有量はＸによって決まる
。ここでは膜中にボ索ガス（Ｈ２）が発生するほど多量
に含有きぜない限９、Ｈ含有量は江慈ＶＣ選ぶことがで
きる。ざらに膜厚はス・母ツタリング時間に比例するの
で、目出に制御できる。
第３図はｍ朋７０℃、相対湿［８５％の雰囲気中で時間
経過に対する感にの劣化の状態、すなわち寿命特性を、
従来のＴｅ単体からなる記録膜の場合Ａと不発明による
記録膜の場合Ｂとについて比較して示す図でめる。この
図における感度の劣化は、記録に必安なエネルギーの通
数の初期１区に対する変化として表わされており、６一 Ａ、Ｂいずれも記録膜がアクリル基板上に形成された場
合を示す。
経過に対する感にの劣化の状態、すなわち寿命特性を、
従来のＴｅ単体からなる記録膜の場合Ａと不発明による
記録膜の場合Ｂとについて比較して示す図でめる。この
図における感度の劣化は、記録に必安なエネルギーの通
数の初期１区に対する変化として表わされており、６一 Ａ、Ｂいずれも記録膜がアクリル基板上に形成された場
合を示す。
この図かられかるように、Ｔｅ単体からなる記録膜の場
合、Ａで示すように時間経過とともに感度が劣化する。
合、Ａで示すように時間経過とともに感度が劣化する。
これは時間とともに局部的な透明領域（シミ）が生する
ためで、約１７０時間経過後には記録膜全面にわたって
座式が劣化する。これに対し、不発明の実施例によるＣ
およびＨを含有するＴｏ薄膜からなる記録膜の場合は、
Ｂで示すように１０００時間経過後もＴｅ単体からなる
記録膜に見られた様なシミは全く昭められず、常にほぼ
一定の感度を保持しており、長寿命化を達成することが
わかる。
ためで、約１７０時間経過後には記録膜全面にわたって
座式が劣化する。これに対し、不発明の実施例によるＣ
およびＨを含有するＴｏ薄膜からなる記録膜の場合は、
Ｂで示すように１０００時間経過後もＴｅ単体からなる
記録膜に見られた様なシミは全く昭められず、常にほぼ
一定の感度を保持しており、長寿命化を達成することが
わかる。
第４図（、）は温度７（）℃、相対湿度８５％の条件下
で２０時間経過後のアクリル基板上の従来のＴｅ単体か
らなる記録膜の表面状態を示す光学顕微鏡写真で、同図
（ｂ）は同条件下で１０００時間放置された不発明の実
施例によるＣおよびＨを含有する゛ｒｅ薄膜からなる記
録膜の表面状態を示す。倍率は（ａ） 、 （ｂ）共に
５０倍でおる。
で２０時間経過後のアクリル基板上の従来のＴｅ単体か
らなる記録膜の表面状態を示す光学顕微鏡写真で、同図
（ｂ）は同条件下で１０００時間放置された不発明の実
施例によるＣおよびＨを含有する゛ｒｅ薄膜からなる記
録膜の表面状態を示す。倍率は（ａ） 、 （ｂ）共に
５０倍でおる。
上述した本発明による記録膜への情報の記録は、例えば
レーザービームのようなエネルギービームを照射するこ
とにより膜の表向近傍の屈折率が変化し、深さ方向に屈
折率勾配が生じて光反射率が５０チから８０チに厖大す
ることで達成される。この場合の記録膜の感度、すなわ
ち単位面積当りの高反射部（光反射率８０％の部分）の
形成に要するエネルギー（ｍＪ／ｃＩｎ２）は従来のＴ
ｅ膜単体の記録膜の感度と同等かまたはわずかに上まわ
る値を示すことが確認ざｎた。すなわち、本発明による
光学的記録媒体は時間経過に対する感度の劣化が少ない
ばかりでなく、高感度という特長も兼ね備えている。さ
らに、本発明は原理的にＴａ膜単体の記録膜におけるビ
ットの周囲の盛り上りによるノイズレベルの増加という
問題がなく、低ノイズ化も可能である。
レーザービームのようなエネルギービームを照射するこ
とにより膜の表向近傍の屈折率が変化し、深さ方向に屈
折率勾配が生じて光反射率が５０チから８０チに厖大す
ることで達成される。この場合の記録膜の感度、すなわ
ち単位面積当りの高反射部（光反射率８０％の部分）の
形成に要するエネルギー（ｍＪ／ｃＩｎ２）は従来のＴ
ｅ膜単体の記録膜の感度と同等かまたはわずかに上まわ
る値を示すことが確認ざｎた。すなわち、本発明による
光学的記録媒体は時間経過に対する感度の劣化が少ない
ばかりでなく、高感度という特長も兼ね備えている。さ
らに、本発明は原理的にＴａ膜単体の記録膜におけるビ
ットの周囲の盛り上りによるノイズレベルの増加という
問題がなく、低ノイズ化も可能である。
なお、記録膜中のＣの含有量はＴｅに対して原子数比で
０．０５未満では上述した効果が認められず、また０８
を越えると感にの低下が見られた。この点は記録膜にＴ
ｅ以外の低融点金属らるいはその合金を用いた場合も同
様である。従って、記録膜中のＣの含有量は金属元素の
総量に対し原子数比で０．０５〜０８の範囲にすること
が望ましい。
０．０５未満では上述した効果が認められず、また０８
を越えると感にの低下が見られた。この点は記録膜にＴ
ｅ以外の低融点金属らるいはその合金を用いた場合も同
様である。従って、記録膜中のＣの含有量は金属元素の
総量に対し原子数比で０．０５〜０８の範囲にすること
が望ましい。
上記実施例では記録膜をＣＨ４とＡｒとの混合ガス中で
反応性スノやツタリングケ行なうことにより形成したが
、ＣＨ４とＴｅの蒸気とをノラズマ状にして基板にＣお
よびＨを含むＴｅ膜からなる記録膜を形成することも可
能である。また、Ｔｅ （ＣＨ５）２ （ジメチルテル
ル）やＴｅ（Ｃ２Ｈ５）２ （ジエチルテルル）を用い
た気相成長またはノラズマ気相成長によっても、同様の
記録膜を形成することが可能である。さらに他の方法と
してＴｃ＋＋Ｃ，Ｈ原子の一部または全部をイオン化し
てビーム状として基板上に積もらせるようにしてもよい
。
反応性スノやツタリングケ行なうことにより形成したが
、ＣＨ４とＴｅの蒸気とをノラズマ状にして基板にＣお
よびＨを含むＴｅ膜からなる記録膜を形成することも可
能である。また、Ｔｅ （ＣＨ５）２ （ジメチルテル
ル）やＴｅ（Ｃ２Ｈ５）２ （ジエチルテルル）を用い
た気相成長またはノラズマ気相成長によっても、同様の
記録膜を形成することが可能である。さらに他の方法と
してＴｃ＋＋Ｃ，Ｈ原子の一部または全部をイオン化し
てビーム状として基板上に積もらせるようにしてもよい
。
低融点金属としては、ｚｎ（融点＝３１９℃）、Ｃｄ（
３２０’Ｃ）等もＴｏと全く同様にＣＨ４とＡｒの混合
ガス中でス・ぐツタリングして、上記特性と同等の特性
を有するｄＣＣ腹膜得ることができる。
３２０’Ｃ）等もＴｏと全く同様にＣＨ４とＡｒの混合
ガス中でス・ぐツタリングして、上記特性と同等の特性
を有するｄＣＣ腹膜得ることができる。
９−
また、Ｂｉ２Ｔｅ５（５８５℃）、ＩｎＳｂ （５３５
℃）等の合金も低融点として知られ、上記同様ス・９ツ
タリング法により上記特性の記録膜を形成することがで
きる。Ｂｉ（２７１℃）はスノ！ツタリングは不可能で
あるが、反応性蒸着によって上記特性を有する記録膜を
形成することができる。
℃）等の合金も低融点として知られ、上記同様ス・９ツ
タリング法により上記特性の記録膜を形成することがで
きる。Ｂｉ（２７１℃）はスノ！ツタリングは不可能で
あるが、反応性蒸着によって上記特性を有する記録膜を
形成することができる。
また、上記ＣＨ４ガスは、Ｃ２■Ｉ４（エチレン）ｙス
やＣ２Ｈ２（アセチレン）ガスで置き換えることも可能
である。
やＣ２Ｈ２（アセチレン）ガスで置き換えることも可能
である。
第１図は従来の光学的情報記録媒体の断面図、第２図は
本発明の一実施例を説明するための断面図、第３図は本
発明の記録媒体と従来の記録媒体との寿命特性を比較し
て示す図、第４図（、）（ｂ）は従来の記録媒体と本発
明の記録媒体における記録膜表面状態を示す顕微鏡写真
でろる。 １１・・・基板、１２・・・記録膜、１３・・・エネル
ギービーム、１４・・・高光反射部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 粋１ｅ６ ｈ’ｓ、 （ｈ ） 第４図 （ａ） （ｂ） ５２４−
本発明の一実施例を説明するための断面図、第３図は本
発明の記録媒体と従来の記録媒体との寿命特性を比較し
て示す図、第４図（、）（ｂ）は従来の記録媒体と本発
明の記録媒体における記録膜表面状態を示す顕微鏡写真
でろる。 １１・・・基板、１２・・・記録膜、１３・・・エネル
ギービーム、１４・・・高光反射部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 粋１ｅ６ ｈ’ｓ、 （ｈ ） 第４図 （ａ） （ｂ） ５２４−
Claims (1)
- （１）基板と、この基板上に被着されエネルギービーム
の照射により情報を光反射率の変化として記録する記録
膜とからなる光学的情報記録媒体において、前記記録膜
は２５〜６００℃の融点をもつ金属またはその合金と、
ＣおよびＨを含有するものであることを特徴とする光学
的情報記録媒体。 り２） 記録膜中のＣの含有量は金属元素の総量に対
して原子数比で０．０５〜０．８でめることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56169883A JPS5871195A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 光学的情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56169883A JPS5871195A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 光学的情報記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5871195A true JPS5871195A (ja) | 1983-04-27 |
Family
ID=15894715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56169883A Pending JPS5871195A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 光学的情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5871195A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59160841A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-11 | Toshiba Corp | 光学的記録媒体膜 |
| JPS60124290A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学記録媒体の製造方法 |
| EP0317368A2 (en) * | 1987-11-20 | 1989-05-24 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Process for preparation of optical recording medium |
| EP0339889A2 (en) * | 1988-04-22 | 1989-11-02 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optical recording media and process for preparing same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS545742A (en) * | 1977-06-15 | 1979-01-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | Recording material |
| JPS5662192A (en) * | 1979-10-29 | 1981-05-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Medium for optical recording use and preparation thereof |
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1981
- 1981-10-23 JP JP56169883A patent/JPS5871195A/ja active Pending
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