JPS61134294A - 情報の記録・消去方法 - Google Patents

情報の記録・消去方法

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JPS61134294A
JPS61134294A JP59255301A JP25530184A JPS61134294A JP S61134294 A JPS61134294 A JP S61134294A JP 59255301 A JP59255301 A JP 59255301A JP 25530184 A JP25530184 A JP 25530184A JP S61134294 A JPS61134294 A JP S61134294A
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Hisashi Ando
寿 安藤
Yoshihira Maeda
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正一 永井
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  • Inorganic Chemistry (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ° 〔発明の利用分野〕 本発明は新規な情報記録再生装置用記録媒体に係り、特
に光・熱エネルギーが与えられることにより合金の結晶
構造の変化にともなう分光反射率変化を利用した情報記
録再生装置に使用するディスクに関する。
〔発明の背景〕
近年、情報記録の高密度化、デジタル化が進むにつれて
種々の情報記録再生方式の開発が進められている。特に
レーザの光エネルギーを情報の記録、消去、再生に利用
した光ディスクは工業レアメタルA80 、1983 
(光ディスクと材料)に記載されている二うに磁気ディ
スクに比べ、高い記録密度が可能であり、今後の情報記
録の有力な方式である。このうち、レーザによる再生装
置はコンパクト・ディスク(CD)として実用化されて
いる。一方、記録可能な方式には追記型と書き換え可能
型の大きく2つに分けられる。前者は1回の書き込みの
みが可能であ夛5消去はできない。
後者はくシ返しの記録、消去が可能な方式である。
追記型の記録方法はレーザ光により記録部分の媒体を破
壊あるいは成形して凹凸をつけ、再生にはこの凹凸部分
でのレーザ光の干渉による光反射量の変化を利用する。
この記録媒体にはTeやその合金を利用して、その溶解
、昇華による凹凸の成形が一般的に知られている。この
種の媒体では毒性など若干の問題を含んでいる。書き換
え可能型の記録媒体としては光磁気材料が主流である。
この方法は光エネルギーを利用してキュリ一点あるいは
補償点温度付近で媒体の局部的な磁気異方性を反転させ
記録し、その部分での偏光入射光の磁気ファラデー効果
及び磁気カー効果による偏光面の回転量にて再生する。
この方法は書き換え可能型の最も有望なものとして数年
後の実用化を目指し精力的な研究開発が進められている
。しかし、現在のところ偏光面の回転量の大きな材料が
なく多層膜化などの種々の工夫をしても8/N、C/N
などの出力レベルが小さいという大きな問題がある。そ
の他の書き換え可能型方式として記録媒体の非晶質と結
晶質の可逆的相変化による反射率変化を利用したものが
ある。例えばNational’l’echnical
 Report VoL 2945(1983)に記載
TeOxに少量のGeおよびSnを添加した合金がある
しかし、この方式は非晶貧相の結晶化温が低く、常温に
おける相の不安定さがディスクの信頼性に結びつく大き
な問題点である。
一方、色調変化を珊瑚した合金として、特開昭57−1
40845がある。この合金は(12〜15)wt%A
t −(1〜5 ) w t%Ni−残Cuよりなる合
金でマルテンサイト変態温度を境にして、赤から黄金色
に可逆的に変化することを利用したものである。マルテ
ンサイト変態は温度を低下にともなって必然的に生ずる
変態のため、マルテンサイト変態温度以上に保持した状
態で得られる色調はマルテンサイト変調温度以下にもっ
てくることはできない。また逆にマルテンサイト変態温
度以下で得られる色調のものをマルテンサイト変態温度
以上にすると、変態をおこして別の色調に変化してしま
う。したがって、マルテンサイト変態の上下でおこる2
つの色調は同一温度で同時に得ることはできない。した
がってこの原理では記録材料として適用することはでき
ない。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、エネルギー入射効率の高い記録層を備
えた情報記録媒体を提供するにある。
〔発明の概要〕
(発明の要点) 本発明は、光エネルギーの入射による加熱によって情報
を記録する記録層を有する情報記録媒体において、前記
記録層の光エネルギー入射側に該入射光エネルギーの干
渉層及び吸収層の少なくとも一方が設けられていること
を特徴とする情報記録媒体にある。
何らかの手段により、情報記録媒体からの反射エネルギ
ーを少なくできれば、記録層に入力する熱量が増加し、
記録層の温度が急速に上昇し、高速書込が可能となると
ともに、より少ない入射エネルギーで書込み又は消去が
可能となるため、情報記録再生媒体の書込み感度又は消
去感度が高くなる。
(吸収層、干渉層) 第2図山)に示す如く、記録層1の入射エネルギー側に
入射エネルギーを吸収する物質からなる吸収層3を設け
ると、入射エネルギーの多くの部分が、吸収層3におい
て吸収されて熱エネルギーに変化し、吸収層3の温度が
急激に上昇する。その結果、吸収層3から記録層1へ多
くの熱エネルギーが熱伝導によシ伝達され、記録層1の
温度も、吸収層3のない場合に比較して、急速にかつ高
温度まで上昇する。この吸収層3の厚さとしては情報記
録再生媒体の表面反射率(反射エネルギー/入射エネル
ギーの比)が、5%〜80%となるような厚さが望まし
い。反射率が5%未満になると、反射光の強度が小さく
なるため、記録部分と未記録部分の反射光強度を比較し
て記録信号全読取る記録信号再生時の信号対雑音比(8
/N比)が劣下してしまい不利である。また反射率が、
80%を越えると入射エネルギーの多くが、吸収層3に
おいて熱エネルギーに変わることなく反射されてしまう
ため、吸収層3の温度が上がらなくなる。
その結果、記録層1への熱エネルギーの伝達がほとんど
なくなシ、情報記録再生媒体の書込感度又は消去感度の
増加は期待できない。吸収層として電磁波(例えば、レ
ーザ光・光)を熱エネルギーに変換するものである。
情報記録再生媒体の表面反射率を低減する手段として、
入射エネルギーの干渉効果を利用する方法がある。
酸化タンタル、アルミナ等の50′X以上のエネルギー
透過性の膜とするのが好ましい。その厚さは50〜50
0nmが好ましく、無色が好ましい。
たとえば、第2図(a)のように記録層1のエネルギー
入射側に適当な厚さの無色透明な干渉層2を設けると、
入射エネルギーの何割かは、この干渉層2の表面で反射
される。残りの入射エネルギーは、干渉層2の内部まで
入シ込み、記録層1まで到達する。この到達し次入射エ
ネルギーの何割かは記録層1の表面で反射されて、干渉
層2を逆に通過して干渉層20表面に到達する。この時
、入射エネルギーが電磁波のように波動性を有している
と前記の干渉層2の表面での反射エネルギーの波と、記
録層1の表面で反射してきたエネルギーの波が干渉を起
こす。前記2つのエネルギーの波の位相がエネルギーの
波の波長の半分だけずれているとエネルギー波の山と谷
の部分が相殺し合って、エネルギー波の振幅が、減少す
る。このことは、実質的に情報記録再生媒体の表面から
反射して返ってくるエネルギーが減少することを意味す
る。すなわち、干渉層2の厚さを適切な値にすれば、エ
ネルギー反射率を下げることができる。この場合、干渉
層2部分での光の吸収はきわめて少ないから、入射エネ
ルギーから反射エネルギーを差し引いた残シのエネルギ
ーは全て記録層1で吸収され、記録層1の温度は干渉層
2がない場合に比較して、より急速に高温度にまで上昇
する。
前記の最適な干渉層の厚さは、干渉の理論によって導か
れる次式によって定めることができる。
λ d=−(2m+1)        ・・・・・・(1
)nI (m=o、1,2.3・・・) ここで、 d:干渉層の厚さ、 nI :干渉層の屈折率 λ:エネルギー波の波長 又、干渉膜の屈折率の最適な値n 、/は干渉の理論か
ら同様に導かれ次式で表わされる。
n1′=f耳   ゛   ・・・・・・・・・・・・
(2)ここで、 n2 :記録層1の屈折率 前記した反射率を低減させる層は、入射エネルギー吸収
層又は干渉層として、単独の機能を有するものであった
が、1つの層に、干渉層としての機能と、吸収層として
の機能を同時に持たせることも可能である。
吸収層としては酸化チタン、酸化クロム、酸化鋼、四三
酸化鉄等の薄膜を使用することができ、半透過性が好ま
しい。特に、着色されたもので、黒体となっているもの
が好ましく、光に対して10〜30%のエネルギー吸収
性を有し、50X以下の透過性を有するものが好ましい
。厚さは5Qnm以下、より好ましくは30〜5Qnm
である。
吸収層として着色を有するものを用いるときは情報の記
録側と反対側より再生するのがよい。
このような干渉・吸収層2′を第2図(C)の様に記録
層1のエネルギー入射側に形成すれば、記録層1への熱
エネルギーの入力は増大し、情報記録再生媒体の記録感
度を向上させることができる。
これまで、述べてきた反射防止膜は全て一層構造であっ
たが、第2図(d)の様に吸収層3と干渉層2′t−そ
れぞれ別の層を用いる2層構造にすることも可fIピで
ある。
これまで、記録層1の前面に反射防止層を形成し、実質
的に記録層1に入力する熱エネルギーを増加させること
により、記録層1の温度を急速にかつ、高温度まで上昇
させ得ることを述べてきたが、さらに記録層の温度を増
加させ得る手段がある。それは、第3図(a)のように
記録層1を囲むように熱絶縁層5を形成する方法である
。一般に記録層は薄い之めそれ自体では機械的強度が低
いから第3図(C)のように金属板、ガラス板、プラス
チック板等の支持層7の上に形成することが多い。
このような構造の場合、記録層から支持層へ熱エネルギ
ーが流れて、支持層7が記録層1の冷却体として働く。
そのため、記録層1の温度が上がりにくくなる。この熱
エネルギーの流失を防止するためには、記録層と支持層
の間に熱絶縁層5を設けることが効果がある。又、熱エ
ネルギーは記録層から前記とは逆方向の支持層の反対側
にも流れるから、この流失も防止すれば、より効果があ
る。
記録層の上面に干渉層がある場合には、干渉層と記録層
を囲むように熱絶縁層を設ける。熱吸収層が記録層の上
面(エネルギー入射g14)にある場合には、熱吸収層
からの熱エネルギーの流失を防止するため、第3図(a
)のように熱吸収層3のエネルギー入射側に熱絶縁層5
を設けることが効果がある。
熱絶縁層は熱をしやへいするためのもので、5iChガ
ラス、アルミナ等の酸化物が好ましい。
ところで、前記の記録層を支持する支持層は、エネルギ
ー入射側と反対側にあると考えたが、逆にエネルギー入
射側に支持層(基板)を設けることも可能である。この
ような構造の場合には、支持層は入射エネルギーを透過
する無色透明な膜、例えば、ガラス板やプラスチック板
を用いる。ところでこのように記録層とエネルギー入射
面の間に、透明層を設けることは別の効果がある。すな
わち、情報記録媒体は外気にさらされるため、空気中の
ちりが付着したり、入間の指紋が付着することが多い。
このような状態で、記録したデータを再生すると雑音が
多くなり、8/N比が低下してしまう。しかし、第1図
(e)のように0.5〜2.01程度の透明層4が記録
層の上面にあると、ちりや、指紋は(記録層1から離れ
た)透明層4の表面に付着する。情報記録再生媒体上の
記録データを再生する装置は、顕微鏡と同様な光学系を
持ち、記録層の微小領域を観察し、記録層1の場所によ
る反射率の変化を観察して、記録データを再生する。こ
の時、光学系の焦点を記録層1に結ぶと、透明層4の表
面のちシや、指紋は焦点深度の範囲外になるため、ボケ
た像となり、再生信号に悪影響を与えず、S/N比の低
下もない。
上記のように支持層が、記録層のエネルギー入射側にあ
る場合には、記録層の下面(エネルギー入射面と反対側
)に熱絶縁層を設け、空気中への熱流失を防止する。又
、干渉層又は吸収層として熱絶縁性の高い物質を用いれ
ば、膜構成を簡易化できる。
基板には、ガラス、セラミックス、ポリメチルメタアク
リレート、ポリスチレン、ポリカーボネート等のプラス
チック等が使用される。これらの基板は無色透明である
のが好ましい。
保護層6は記録層1の外部機器との接触によって生ずる
きすの形成を保護、記録層1上に付着するほこりから保
護するもので、8IChガラス、アルミナ等の酸化物が
使用される。その厚さは数十nm〜21が好ましい。
本発明の情報記録媒体は干渉層及び吸収層が設けられた
側にエネルギーを入射して記録再生又は消去することが
でき、更に再生を干渉層及び吸収層を設けた側とは反対
側から行うことができる。
この反対側での再生に当っては基板を前述の無色透明な
ものとすればよい。記録側と反対側での再生に当って光
を使用する場合は記録層に対して無色透明な基板、保護
膜等の膜で光透過性の高いものを選ぶべきである。
(記録層) 本発明の記録層は、固体状態で室温より高い第1の温度
(高温)及び第1の温度より低い温度(低温)状態で異
なった結晶構造を有し、前記高温からの急冷によって室
温で平衡相である結晶構造と異なる結晶構造を有する金
属又は合金が好ましい。
本発明に係る合金は高温の固相状態からの急冷によシ同
一温度で少なくとも2種の分光反射率を有し、可逆的に
分光反射率を変えることのできるものである。すなわち
、本発明に係る合金は固相状態で少なくとも2つの温度
領域で結晶構造の異なった相を有し、それらの内、高温
相を急冷した状態と非急冷の標準状態の低温相状態とで
分光反射率が異なり、高温相温度領域での加熱急冷と低
温相温度領域での加熱冷却により分光反射率が可逆的に
変化するものである。
本発明の可逆的反射率の変化についてその原理を第4図
を用いて説明する。図はX−Y二元系合金の状態図で6
’lα固溶体とβ、r金属間化合物が存在する。A組成
の合金を例にとると、この合金は固相状態において、β
単相、(β+γ)相及び(α+γ)相がある。結晶構造
はα、β、rのそれぞれ単相状態で異なり、これら単独
及び混合相においてそれぞれ光学的性質、たとえば分光
反射率は異なる。このような合金はTl@度、一般的に
室温であるが、(α+γ)相が安定である。
これをT4温度まで加熱急冷するとβ相がT1@度まで
急冷する。この状態は(α+γ)相とは異なるため、分
光反射率も異なってくる。この急冷β相合金をT、温度
以下のTz温度まで加熱冷却するとβ相は(α+γ)相
に変態し、分光反射率は最初の状態に戻る。このような
2つの加熱冷却処理を繰返すことにより、分光反射率を
可逆的に変化させることが可能である。
本発明の記録層の合金例は次の通りである。
銀を主成分とし、亜鉛30〜46wt%、アルミニウム
6〜l Qwt%の1種を含む合金、銅を主成分とし、
アルミニウム10〜20wt%、インジウム20〜40
 w t%、錫16〜35wt%の1種を含む合金、金
を主成分とし、アルミニウムZ5〜5wt%を含む合金
、又はこれらの合金に少量の■、Ib、Hb、■b、y
b、yb。
Vl a+■a族元素の1種以上を含むことができる。
その含有量は好ましくは10wt%以下である。
記録密度として、20メガピット/需2以上となるよう
な微小面積での情報の製作には0.01〜0.2μmの
膜厚とするのがよい。記録層として気相あるいは液相か
ら直接急冷固化させて所定の形状にすることが有効であ
る。これらの方法にはPVD法(蒸着、スパッタリング
法等) 、CVD法、溶湯を高速回転する高熱伝導性を
有する部材からなる、特に金属ロール円周面上に注湯し
て急冷凝固させる溶湯急冷法、電気メッキ、化学メッキ
法等がある。粉末状の材料を利用する場合、基板上に塗
布して基板上に接着することが効果的である。塗布する
場合、粉末を加熱しても反応などを起こさないバインダ
ーがよい。また、加熱による材料の酸化等を防止するた
め、材料表面、基板上に形成し九膜あるいは塗布層表面
をコーティングすることも有効である。
粉末は、溶湯を気体又は液体の冷媒とともに噴霧させて
水中に投入させて急冷するガイアトマイズ法によって形
成させることが好ましい。その粒径は0゜IW以下が好
ましく、特に粒径1μm以下の超微粉が好ましい。
膜は前述の如く蒸着、スパッタリング、CvD電気メッ
キ、化学メッキ等によって形成できる。
特に、0.1μm以下の膜厚を形成するにはスパッタリ
ングが好ましい。スパッタリングは目標の合金組成のコ
ントロールが容易にできる。
(用途) 本発明の情報記録媒体は、加熱急冷によって部分的又は
全体に結晶構造の変化による電磁波の分光反射率、電気
抵抗率、屈折率、偏光率、透過率等の物理的又は電気的
特性を変化させ、これらの特性の変化を利用して記録、
表示、センサー等の素子に使用することができる。
情報等の記録の手段として、電圧及び電流の形での電気
エネルギー、電磁波(可視光、輻射熱、赤外線、紫外線
、写真用閃光ランプの光、電子ビーム、陽子線、アルゴ
ンレーザ、半導体レーザ等のレーザ光線、熱等)を用い
ることができ、特にその照射による分光反射率の変化を
利用した光ディスクに利用するのが好ましい。光ディス
クには、ディジタルオーディオディスク(DAD又はコ
ンパクトディスク)、ビデオディスク、メモリーディス
クなどがあり、これらに使用可能である。本発明の記録
媒体は再生専用凰、追加記録型、書換聾ディスク装置に
それぞれ使用でき、特に書換型の記録及び再生の原理の
例は次の通シである。先ず、記録媒体を局部的に加熱し
該加熱後の急冷によって高温度領域での結晶構造を低温
度領域で保持させて所定の情報を記録し、又は高温相を
ベースとして、局部的に加熱して高温相中に局部的に低
温相によって記録し、記録部分に光を照射して加熱部分
と非加熱部分の光学的特性の差を検出して情報を再生す
ることができる。更に情報として記録された部分を記録
時の加熱温度よシ低い温度又は高い温度で加熱し記録さ
れた情報を消去することができる。光はレーザ光線が好
ましく、特に短波長レーザが好ましい。本発明の加熱部
分と非加熱部分との反射率が50Qnm又は800nm
付近の波長において最も大きいので、このような波長を
有するレーザ光を再生に用いるのが好ましい。記録、再
生には同じレーザ源が用いられ、消去に記録のものより
エネルギー密度を小さくした他のレーザ光を照射するの
が好ましい。
また、本発明の記録媒体を用いたディスクは情的に変え
ることができるので塗料を使用せずに文字、図形、記号
等を記録することができ、それらの表示は目視によって
識別することができる。また、これらの情報は消去する
ことができ、記録と消去の〈υ返し使用のほか、永久保
存も可能である。 ディスフ゛レイ未2!lてイ吏吊で
・yう。
〔発明の実施例〕
(実施例1) Ag−40重量%Zn合金t” N 2 ガス雰囲気で
カーボンボート中で溶解し、約100wφ×10tのス
パッタ蒸着用のターゲットを作製した。このターゲット
を用い、第5図の(a)のような膜構成の記録媒体を作
製したち25m+φx1.2tのガラス基板10の上に
、スパッタ出力140〜200W。
基板加熱温度200Cの条件で、Ag−40重量%Z 
n[8’e約100 n mスパッタ蒸着した。容器内
は10−?Torr程度まで真空排気後、Arガスt 
5〜30 mTorr導入し、DCマグネト07凰スパ
ッタ法を用いた。更にこの合金膜の上に、レーザ光の干
渉層9として厚さ約5QQnmをT a 20 sをス
パッタ蒸着し九。このTa205スノくツタ蒸着には約
5%の02を導入し、RF型スノくツタ法を用いた。
以上のようにして作製した25間φの記録媒体の表面は
銀白色を呈した。この記録媒体を電気炉中で約350C
に加熱し、これを急冷(水冷)したところ、合金膜は銀
白色かるピンク色に変化することが分かった。これはA
g−40重量%7.nのβ相が急冷によってβ′相に相
変化している之めである。更にこの急冷された記録媒体
を、電気炉中で約2000に加熱し、それを除冷(空冷
)したところ、ピンク色からもとの銀白色に変化し、こ
れはβ′から 相に変化しているためである。
ちなみ【レーザ光による記録、消去特性もこのことと対
応する。例えば、Arレーザのパワーを10〜50mW
、 ビーム径t−1〜5μの条件で記録媒体上に照射し
た場合が記録状態である。この時記録部は銀白色からピ
ンク色【変化する。更に、この記録部を50〜100m
Wのパワーで、ディフォーカスしパワー密度の低いビー
ムを照射したところ、ピンク色からもとの銀白色に戻シ
、消去が確認された。このように記録媒体の記録、消去
の特性評価方法としては、レーザ光を用いることの他に
、簡易的に上記のような熱処理による方法も有効である
第11図の(a)、 (b)は、上記のような熱処理方
法により作製した記録媒体の分光反射特性を示す。
第11図O(b)が第5図17) (a)の干渉膜9 
(Ta20515QQnm厚さ)を付加した膜構成にお
ける分光反射特性であυ、著しい干渉が生じていること
が分かる。第11図の(a)はガラス基板10の上にA
g−40重量%Zn合金膜8のみをスパッタ蒸着したも
ので記録部、未1己録部とも反射率が高い。
これに対し、0))図は干渉の谷を利用しているが、A
rv−ザ(λムr=488nm)及び半導体レーザ(λ
c=830nm)の各波長のところで著しく反射率が下
がっていることが分かる。すなわち、(a)図の干渉層
なしの場合に比べて、レーザ光の投入エネルギーが記録
媒体中に効率良く吸収され、少ないパワーで記録、消去
が達成されることを意味する。なお、ここでは、干渉層
9を高屈折率のTa205とし、500nmとしている
。同様K、このような光の干渉を用いた他の例を第5図
の(b)〜(d)に示す。干渉層9としては屈折率が大
で、透過性のあるものが望ましい。(b)はAt203
を干渉層とした場合であシ、膜厚を干渉条件に合わせれ
ば同様に反射率が下がる。(C)及び(d)は記録合金
膜をCu−14重量%At−4重量%Ni12に置き換
えた場合であシ、第12図の(a)は干渉膜9なし、Φ
)は干渉膜(TazOs 、500nm厚さ)を付加し
た膜構成における分光反射特性を示す。この場合も第1
0図のAg−40重量%Zn合金膜8と同様に、Arレ
ーザ及び半導体レーザの各波長のところで反射率が著し
く下がっていることが実施例1と同様に、第6図の(a
)はガラス基板10の上にスパッタ蒸着によりAg−4
0重量%Zn合金膜8(膜厚10100nを設け、更に
その上にCr−0X(クロム酸化物)13を真空蒸着法
により5〜10nm設けた。このCr−0xは前記した
ように、反射率の高い金属情報記録層上に熱吸収層とし
て付加したものである。上述した結晶−結晶の相変化合
金膜においては、それ自身が高い反射率を有するため、
レーザ光の入熱効率が悪い。これをカバーするために記
録層上にCr・0x13を設けているのである。第13
図は、熱吸収層がある場合と、ない場合との分光反射特
性を比較したものである。この図から分かるように約3
00〜11000nの波長域において、熱吸収層付きの
膜構成のものが反射率が下がることが分かる。更に、第
6図の(b)は記録層をCu−14重量%At−4重量
%Niとし、同様にCr・OXを付加したものである。
この場合もやは9反射率を下げる効果があることが分か
った。又、(C)、 (d)は熱吸収層13を他にCu
2O14やFe5On 15に置き換えた場合であるが
、同じように反射率を下げる効果がみられる。
(実施例3) 実施例1と同様に第7図は、ガラス基板10の上にスパ
ッタ蒸着によりAg−40重置火7.n合金膜8を約1
100n設け、更にその上にCr−0Xを10〜2Qn
m真空蒸着法により設けた。このCr・OXは第13図
に示した熱吸収層という性質を持たせる他に、更に厚さ
を増させて、同時に干渉による反射率の低下も狙ったも
のである。このCr −Qxは透過性を有するとともに
屈折率が大きいため、わずかの膜厚で大きな干渉効果が
得られた。第14図は熱吸収及び干渉の両効果を狙った
上記膜構成の場合と、記録層8のみの場合との分光反射
特性を示す。この図から分かるように、500〜110
00nの波長領域において干渉効果により反射率が著し
く下がると同時に、吸収効果もみられ、全体の反射率が
下がっていることが分かシ。この点では、TazOaと
同様にC,r−Qxも反射率を下げ、レーザ光の入熱効
率を増大させるのに適したものであシ、第7図のような
膜構成は非常に実用的なものであると言える。
(実施例4) 実施例1と同様に、第8図はガラス基板20の上にスパ
ッタ蒸着によりAg−40重量%7.n合金膜8を約1
100n設け、更にその上にCr−Qx13t−約5n
m真空蒸着法により設け、更に又、高速スパッタ蒸着を
用いて、その上に50μmの5iChlOを設けた。こ
の場合、Cr・OXは実施例2の熱吸収層に相当するも
のであるが、部厚ぐ膜付けした810>は透明保護層で
あり、記録媒体の保護の効果以外に、ある程度の大きさ
を有するV−ザ光が記録膜上で急速にしぼられるため、
再生時において、ある寸法以下のゴミ、ホコリなどによ
るSN低下を防ぐ効果を有する。この透明保護層の別の
構成としては、(b)図に示すように、記録膜8及び干
渉層9の上に、更にガラス基板10を接着する方法もあ
る。すなわち、ガラス基板10(厚さi、 21EI+
 )自体が上記透明保護層として8N比低下を防ぐ効果
を発揮することができる。
(実施例5) 実施例1と同様に、第9図の(a)はガラス基板10の
上にスパッタ蒸着によりAg−40重量%Zn合金膜8
を約1100n設け、その上に熱吸収層のCr・0x1
3を5nm真空蒸着し、更にその上に干渉層のTazO
sQをスパッタ蒸着にて約500nm設けたものである
。この膜構成によれば、干渉効果k T a 20 s
に分担させ、次に熱吸収効果をCr・Oxに分担させる
ことによって、記録層8にレーザ光の投入エネルギーを
効率良く伝えることが可能である。(b)図は、同様に
、熱吸収層をCuz014とし、更に干渉層をAtzO
s 11としたもので、やはシ、互いに熱吸収と干渉効
果を分担し、レーザ光による入熱効率を上げるのに役立
つ膜構成であるう (実施例6) 実施例1と同様に、第10図はPMMA17基板上にス
パッタ蒸着により5iOzlOを約1100n設け、そ
の上にAg−40重量%Zn8tl−約1100n設け
、更にその上に熱吸収層のCr・0X13を約5nm設
け、この上にもう一度5i(hl。
を約1100n設ける。すなわち、記録層と熱吸収層を
熱絶縁効果の高い5i0210によってサンドインチし
た膜構成である。この8i0zloは熱吸収層及び記録
層内で発熱したエネルギーを分散させないで、相変化に
寄与する入熱分布をせまく、効率良くしようとするもの
である。
(実施例7) 第1図は本発明の情報記録媒体の部分断面構成図である
。本実施例は前述の実施例で記載した方法と同様に製造
される。シリカガラス基板7に対してトラッキング用溝
19がエツチング等によって形成され、その上に実施例
1と同様にAg−35重量%Zn合金が約lQQnmの
厚さに設けられ、その上にTa205からなる干渉層9
が約500 n mの厚さに設けられ、次いでPMMA
の透明層4が設けられている。本衷施例によれば、レン
ズ20によってフォーカスされたレーザ光18による光
エネルギーを干渉層2によって有効に記録層1に与える
ことができるので小さいエネルギーで情報の記録、再生
、消去が可能となる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、特に結晶−結晶間の相変化による分光
反射率差を利用した光デイスク記録媒体としてエネルギ
ーの利用効率の高い膜構成が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の情報記録媒体の部分断面斜視図、第2
図及び第3図は本発明の情報記録媒体の断面構成図、第
4図は本発明の記録層に係る二元合金系の平衡状態図、
第5図〜第10図は本発明の実施例に示した情報記録媒
体の断面構成図、第11図〜第14図は分光反射率特性
を示す線図である。 1・・・記録層、2・・・干渉層、2′・・・干渉及び
吸込層、3・・・熱吸収層、4・・・透明層、5・・・
熱絶縁層、6・・・保護層、7・・・媒体支持層、8・
・・Ag  40Zn。 9−Ta2’s %  10−8iOz 、11−Al
tos、12・ Cu−15%At−4%Ni合金、1
3 ・・・Cr −Ox、 14−Cu2O,15−F
e3O4,16−Ta205−x 、 17・”PMM
A、  18−レーザ光、19・・・トラッキング用溝
、20・・・レンズ。 13 図 に)6b) (C)          (4) 第4図 弔 5I2Il (CL)(b) <c)          <d> 第6 図 (α)(b) 算q 図 尊−8図 (b) 第9 口 (幻 (b) ■11 図 (a) (b) 波長(外電) 茎!20 (α) (b) 弧長(7t7t) ¥13 C 算74図 波長(n夙つ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、エネルギーの入射による加熱によつて情報を記録す
    る記録層を有するものにおいて、前記記録層のエネルギ
    ー入射側に該入射エネルギーの干渉層及び吸収層の少な
    くとも一方が設けられていることを特徴とする情報記録
    媒体。 2、前記記録層は高温の固体状態からの急冷により室温
    での平衡相と異なる結晶構造を形成する金属又は合金か
    らなる特許請求の範囲第1項に記載の情報記録媒体。 3、前記記録層上に熱吸収層及び干渉層の順に設けられ
    ている特許請求の範囲第1項又は第2項に記載の情報記
    録媒体。 4、前記干渉層は酸化タンタル、酸化クロム、酸化チタ
    ン、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムから選ばれる特許
    請求の範囲第1項〜第3項のいずれかに記載の情報記録
    媒体。 5、前記吸収層は酸化クロム、酸化銅及び四三酸化鉄か
    ら選ばれる特許請求の範囲第1項〜第4項のいずれかに
    記載の情報記録媒体。 6、前記干渉層及び吸収層の少なくとも一方が前記記録
    層の支持体である特許請求の範囲第1項〜第5項のいず
    れかに記載の情報記録媒体。 7、基体上に、エネルギーの入射による加熱によつて情
    報を記録する記録層を有するものにおいて、前記記録層
    のエネルギー入射側に該入射エネルギーの干渉層及び吸
    収層の少なくとも一方が設けられていることを特徴とす
    る情報記録媒体。 8、前記基体は円盤又はテープである特許請求の範囲第
    7項に記載の情報記録媒体。 9、前記基板にはトラッキング用溝が設けられている特
    許請求の範囲第8項に記載の情報記録媒体。 10、エネルギーの入射による加熱によつて情報を記録
    する記録層を有するものにおいて、前記記録層のエネル
    ギー入射側に該入射エネルギーの干渉層及び吸収層の少
    なくとも一方が設けられ、前記干渉層及び吸収層の前記
    エネルギー入射側及び前記記録層のエネルギー入射側の
    反対側の少なくとも一方に熱絶縁層が設けられているこ
    とを特徴とする情報記録媒体。 11、前記記録層のエネルギー入射側に熱吸収層、干渉
    層及び熱絶縁層が順次設けられている特許請求の範囲第
    10項に記載の情報記録媒体。 12、高温の固体状態からの急冷によつて室温での平衡
    相と異なる結晶構造を形成する金属又は合金からなる情
    報記録層であつて、少なくとも記録された情報を再生す
    る側の記録層上に光透過性で外気をしや断する保護層が
    設けられていることを特徴とする情報記録媒体。 13、前記記録層は薄膜であつて円盤又はテープ状の基
    板上に設けられている特許請求の範囲第12項に記載の
    情報記録媒体。
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