JPS58700Y2 - 電着装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、電極の形状を網目にすることによって再現
性よく均一にガラスを電着するようにした電着装置に関
するものである。

従来、半導体装置の製造において、シリコンウェハのＰ
−Ｎ接合面の露出した部分に表面安定化保護膜でパッシ
ベーションする場合、信頼性、経済性などの面から粉末
ガラスを使ったガラスパッシベーションが行われている
が、その方法としては電着法以外にもドクターブレード
法その他のいろいろな方法がある。

しかし、その中でも電着法がよく用いられており、これ
は半導体等の被着対象物に対して選択的にガラスを付着
させることができ、また被着対象物の両面に同時にガラ
スの付着が行えるという利点があるためである。

しかしながら、従来の電着装置を用いてガラスパッシベ
ーションを行った場合、第４図の曲線Ｉのように被着対
象物の周辺部で、ガラス膜厚が大きくなってしまう。

この点で電着装置、特に電極の構造が各方面で検討され
てきた。

なお、第４図で横軸に被着対象物の表面における中心か
らの距離、縦軸にガラス膜厚の大きさをとったものであ
る。

第１図に示すように、従来の電着装置は被着対象物１お
よびその両面より約１ｃｎｎ離して平板電極２を設けた
ものを攪拌された電着液３に浸入させ、被着対象物１を
正の、平板電極２には負の直流電圧２００ボルトを印加
し、電気泳動現象を利用して被着対象物１に粉末ガラス
を付着させるものである。

この装置においては電着液３の流れは矢印Ａのようにな
り、被着対象物１に対して平行に流れることになる。

上記のように平板電極２を用いた場合、次のような欠点
がある。

１、被着対象物１の周辺部分で電界が強くなり、中心部
にくらべ周辺部分のガラス付着量が多くなる。

そのため第４図の曲線■に示すようにガラス膜厚が中心
部と周辺部で異なり、ガラス割れをしばしば生じる原因
になっている。

２、平行電極板２と被着対象物１の間の電着液３が、第
１図の矢印Ａのように被着対象物１に対し、平行に流れ
る場合、ガラス膜厚は流れの方向に沿って勾配が生じ、
上記１．と同様の現象を引き起す。

この考案は、上記欠点を除去するためになされたもので
ある。

以下この考案について説明する。第２図はこの考案の原
理説明のためのもので、第１図の従来の電着装置と相違
するところは、網目状電極２′を用い、かつ凸面状とし
た点である。

このように網目状電極２′を用いると矢印Ｂの方向、つ
まり被着対象物１の面に対して垂直に当るように電着液
３が流れる。

また電極が網目状であるため電着液３の流れがスムーズ
になるため、攪拌速度が均一になりガラスの付着むらが
なくなる。

第３図はこの考案の一実施例を示すもので、網目状電極
２′の形状を被着対象物１に対して凸面状になるように
したものである。

この構成によると被着対象物１の周辺部では網目状電極
２′との距離が長くなるので、電界が弱まり被着対象物
１の全面に加わる電界の強さがさらに均一になり、ガラ
ス膜厚を均一にできる。

また電極を網目状にすると、凸面状に成形するのが容易
になる。

また、被着対象物１に加わる電界の強さが均一になり、
第４図の曲線ＩＩに示すようにガラス膜厚を均一にでき
る。

以上説明したように、この考案は網目状電極を用い、ま
た、その形状を被着対象物に対し凸面状としたので、被
着対象物の全面に加わる電界の強さが均一になり、しが
ち凸面状に形成するに対し、電極が網目状であるため、
従来の板状のものと異なりきわめて加工が容易である実
用的効果がある。

また、網目状電極の網目の大きさを中心部では小さく、
周辺部では大きくしたので、網目状電極の凸面状の形状
と相まってさらに均一なガラス膜厚を得ることができる
利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の電着装置の構造を示す斜視略図、第２図
はこの考案の原理説明のための斜視略図、第３図はこの
考案の一実施例の構造を示す斜視略図、第４図は被着対
象物のガラス膜厚の分布を示すグラフである。 図中、１は被着対象物、２′は網目状電極、３は電着液
である。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電気泳動現象を利用して粉末ガラスを被着対象物に付着
   させる装置において、前記被着対象物に対向する電極を
   網目状電極とし、その形状を前記被着対象物に対し凸面
   状とし、かつ網目の大きさを中心部では小さく、周辺部
   では大きくしたことを特徴とする電着装置。