JPS5869703A - 間欠オゾン供給装置 - Google Patents
間欠オゾン供給装置Info
- Publication number
- JPS5869703A JPS5869703A JP16530681A JP16530681A JPS5869703A JP S5869703 A JPS5869703 A JP S5869703A JP 16530681 A JP16530681 A JP 16530681A JP 16530681 A JP16530681 A JP 16530681A JP S5869703 A JPS5869703 A JP S5869703A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- water
- ejector
- desorption
- adsorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は間欠オゾイ供給装置番こ関するものである。
火力発−1原子力発4あるいは化学工場等には多波の冷
却水が使用されているが、用水中の微生物や磯類によっ
てスライム障害が発生し、管路の閉基や熱交換率の低下
が起こっている。この抛の防止策としてIl#i一度オ
シン水の適用が考慮されて−る。この高崖度のオゾン水
を生成するためには、大容鎗のオゾン発生機を用いて生
成するよりも、小形で小容量のオゾン発生憎を用いて、
生成したオゾンを吸着剤に長時間にわたって蓄積し、こ
の蓄積したオゾンを吸着剤から一度に取り出し、嶋42
オゾン水を生成する、いわゆる間欠オゾン供給装置が設
備費および運転費の点からも有利である。
却水が使用されているが、用水中の微生物や磯類によっ
てスライム障害が発生し、管路の閉基や熱交換率の低下
が起こっている。この抛の防止策としてIl#i一度オ
シン水の適用が考慮されて−る。この高崖度のオゾン水
を生成するためには、大容鎗のオゾン発生機を用いて生
成するよりも、小形で小容量のオゾン発生憎を用いて、
生成したオゾンを吸着剤に長時間にわたって蓄積し、こ
の蓄積したオゾンを吸着剤から一度に取り出し、嶋42
オゾン水を生成する、いわゆる間欠オゾン供給装置が設
備費および運転費の点からも有利である。
従来の代表的な濶欠オゾン供給装置の一例を第1図につ
いて説明する。第1図1clは従来の間欠オゾン供給装
置を示すフロー図、441図1blはその吸脱着基を示
す垂直断面図、第1図1clはオゾン発生aを示す垂直
断面図であり、図において、田はオゾン発生機、(2;
はこのオゾン発生機で発生したオゾンを吸着して蓄積す
る吸脱看塔、(3)はこの吸脱着基から酸素ガスをオゾ
ン発生機Illに循環する循環ブロア、141はオゾン
発生機(■に酸素を供給する酸素供給装置、(5a)〜
(5c)は電磁弁、(6)は吸脱着基12)加熱用のブ
ライン槽、(7)はこのブライン槽から吸脱着基121
にブラインを供給するブラインポンプ、(8)は吸脱看
塔121冷却用の冷凍機、(9)は吸脱着基123から
オゾンを吸引するエゼクタ、IIQは送水ポンプで、エ
ゼクタ(9)に被処理水を供給するエゼクタポンプt−
兼ねる。(l1m)〜(lie)は電磁弁である。
いて説明する。第1図1clは従来の間欠オゾン供給装
置を示すフロー図、441図1blはその吸脱着基を示
す垂直断面図、第1図1clはオゾン発生aを示す垂直
断面図であり、図において、田はオゾン発生機、(2;
はこのオゾン発生機で発生したオゾンを吸着して蓄積す
る吸脱看塔、(3)はこの吸脱着基から酸素ガスをオゾ
ン発生機Illに循環する循環ブロア、141はオゾン
発生機(■に酸素を供給する酸素供給装置、(5a)〜
(5c)は電磁弁、(6)は吸脱着基12)加熱用のブ
ライン槽、(7)はこのブライン槽から吸脱着基121
にブラインを供給するブラインポンプ、(8)は吸脱看
塔121冷却用の冷凍機、(9)は吸脱着基123から
オゾンを吸引するエゼクタ、IIQは送水ポンプで、エ
ゼクタ(9)に被処理水を供給するエゼクタポンプt−
兼ねる。(l1m)〜(lie)は電磁弁である。
吸脱着412)は第1図1b−のように二重筒になって
おり、円筒(2a)Kはオゾン吸着剤(2b)が充填さ
れ、円筒(2a)と外筒(2c)の間にはブラインジャ
ケット(2d)が形成され、ブラインが充填されて、ブ
ラインコイル(2・)を介してブライン槽(6)に連絡
シティる。(2f)は円筒(2a)に巻かれた蒸発管で
、冷凍機(8)に連絡している。オゾン吸着剤(2b)
は一般fこシリカゲルが用いられ、ブラインとしてはエ
チレングリコール、アルコール類等の不凍液が使用され
る。
おり、円筒(2a)Kはオゾン吸着剤(2b)が充填さ
れ、円筒(2a)と外筒(2c)の間にはブラインジャ
ケット(2d)が形成され、ブラインが充填されて、ブ
ラインコイル(2・)を介してブライン槽(6)に連絡
シティる。(2f)は円筒(2a)に巻かれた蒸発管で
、冷凍機(8)に連絡している。オゾン吸着剤(2b)
は一般fこシリカゲルが用いられ、ブラインとしてはエ
チレングリコール、アルコール類等の不凍液が使用され
る。
オゾン発生機(1)は第1図(c)に示すように、高圧
電極管(1a)および接地電極管(1b)によって形成
される間隙で無声放電が行われるように構成されている
。(1c)は高圧ブッシング、(1d)は高圧ヒユーズ
、(1c)は絶縁ブロックである。
電極管(1a)および接地電極管(1b)によって形成
される間隙で無声放電が行われるように構成されている
。(1c)は高圧ブッシング、(1d)は高圧ヒユーズ
、(1c)は絶縁ブロックである。
なお上記循環プロア(3)、オゾン発生機(1)、オゾ
ン吸脱着塔(2)の順に1つの循環系を構成している。
ン吸脱着塔(2)の順に1つの循環系を構成している。
次ニ動作について説明する。この動作にはオゾンの吸着
動作および脱着動作の2動作が主としである。
動作および脱着動作の2動作が主としである。
初めに吸着動作について説明する。酸素供給装置(4)
より循環系内に常時一定の圧力で酸素を供給する。この
時の圧力は通常1.0 kg/cdOに維持されている
。電磁弁(5a) 、 (5b)は開いており、(5c
)は閉じて−る。循環ブロア(3)により循環系内に酸
素を流通させると、オゾン発生機(1)の放電空隙中音
通過する間に無声放電基こより酸素の一部がオゾンに変
換されて、オゾン化酸素となる。このオゾン化酸素は吸
脱着基(2)へ搬送される。オゾン吸脱着塔(2)内の
吸着剤は、オゾンを選択的に吸着し、残りの酸素は、電
磁弁(5a)を通り循環プロア(3)#こよりオゾン発
生機(I)に返送される。オゾンとして消費された酸素
は、酸素供給装置(4)より補充される。
より循環系内に常時一定の圧力で酸素を供給する。この
時の圧力は通常1.0 kg/cdOに維持されている
。電磁弁(5a) 、 (5b)は開いており、(5c
)は閉じて−る。循環ブロア(3)により循環系内に酸
素を流通させると、オゾン発生機(1)の放電空隙中音
通過する間に無声放電基こより酸素の一部がオゾンに変
換されて、オゾン化酸素となる。このオゾン化酸素は吸
脱着基(2)へ搬送される。オゾン吸脱着塔(2)内の
吸着剤は、オゾンを選択的に吸着し、残りの酸素は、電
磁弁(5a)を通り循環プロア(3)#こよりオゾン発
生機(I)に返送される。オゾンとして消費された酸素
は、酸素供給装置(4)より補充される。
このときオゾン吸着剤の温度は冷凍* 181により−
30〜−40℃程度に冷却されている。これは吸着剤の
オゾン吸着能力が温度により大きく変化すること番こよ
る。すなわち、温度を低くすると、オゾンの吸着量は増
加し、逆に温度が上昇するとオゾンの吸着量は減少する
からである。したがってオゾンを脱着する時は吸着剤の
温度を上昇させる。
30〜−40℃程度に冷却されている。これは吸着剤の
オゾン吸着能力が温度により大きく変化すること番こよ
る。すなわち、温度を低くすると、オゾンの吸着量は増
加し、逆に温度が上昇するとオゾンの吸着量は減少する
からである。したがってオゾンを脱着する時は吸着剤の
温度を上昇させる。
オゾン吸脱着塔(2)の吸着剤がオゾン飽和吸着量近く
まで吸着すると脱着動作へ移行する。脱着動作ではオゾ
ン発生機(11、循環ブロア(3)、冷凍機(8)が稼
動を停止し、11出弁(5a) 、 (5b)が閉じる
とともOこ、吸着剤に吸着されていたオゾンが脱着し易
いようにブライン槽(6)よりブラインポンプ(力にて
ブラインが供給され、熱が加えられて吸着剤の温度を上
昇させる。このように温度を上けると吸脱着基(2)の
内圧が上がり1.0−kfl/(ydGから2.0〜2
.5に9A−IIG程度になり昇温は完了する。脱着開
始とともに電磁弁(5c)が開き、送水ポンプa〔がエ
ゼクタ(9)側へ切り換わる。このとき電磁弁(lla
)および(llc)は開き、(llb)は閉じる。これ
によりオゾン吸脱着塔(2)内のオゾンを減圧吸引し、
エゼクタ(9)内で被処理水中に分散、溶解し、オゾン
処理水を作る。このとき減圧吸引することによる吸脱着
基(2)内の到達圧力はおおよそ一70cmHgとなる
。このように脱着が終了すると再び初期の吸着動作へと
移行して連続的に運転が繰り返される。
まで吸着すると脱着動作へ移行する。脱着動作ではオゾ
ン発生機(11、循環ブロア(3)、冷凍機(8)が稼
動を停止し、11出弁(5a) 、 (5b)が閉じる
とともOこ、吸着剤に吸着されていたオゾンが脱着し易
いようにブライン槽(6)よりブラインポンプ(力にて
ブラインが供給され、熱が加えられて吸着剤の温度を上
昇させる。このように温度を上けると吸脱着基(2)の
内圧が上がり1.0−kfl/(ydGから2.0〜2
.5に9A−IIG程度になり昇温は完了する。脱着開
始とともに電磁弁(5c)が開き、送水ポンプa〔がエ
ゼクタ(9)側へ切り換わる。このとき電磁弁(lla
)および(llc)は開き、(llb)は閉じる。これ
によりオゾン吸脱着塔(2)内のオゾンを減圧吸引し、
エゼクタ(9)内で被処理水中に分散、溶解し、オゾン
処理水を作る。このとき減圧吸引することによる吸脱着
基(2)内の到達圧力はおおよそ一70cmHgとなる
。このように脱着が終了すると再び初期の吸着動作へと
移行して連続的に運転が繰り返される。
なお、送水ポンプ01は常時電磁弁(llb)を開き送
水しており、オゾン注入時のみエゼクタ(9)側を通る
。第2図に本装置の運転シーケンス図を示す。
水しており、オゾン注入時のみエゼクタ(9)側を通る
。第2図に本装置の運転シーケンス図を示す。
前述した通り、オゾン吸着→予備加熱→脱着→酸素充填
→オゾン吸着の循環動作を繰り返す。一般にはオゾン吸
着が23時間、予備加熱がIO〜15分、脱着が5分、
酸素充填が40〜45分の24時間周期である。オゾン
吸着時間が長いため、オゾン発生機(11は小さくてす
み、そのため設備費が非常に少なくてすむのは、間欠オ
ゾン供給装置の大きな特色である。
→オゾン吸着の循環動作を繰り返す。一般にはオゾン吸
着が23時間、予備加熱がIO〜15分、脱着が5分、
酸素充填が40〜45分の24時間周期である。オゾン
吸着時間が長いため、オゾン発生機(11は小さくてす
み、そのため設備費が非常に少なくてすむのは、間欠オ
ゾン供給装置の大きな特色である。
しかし上述した従来の装置では被処理水量が比較的少な
い場合は良いが、被処理水量が多くなると、低揚程形の
送水ポンプではエゼクタのポンプとしては能力不足で、
エゼクタポンプと送水ポンプを兼ねるためには非常lこ
ポンプが大きくなり、また受・−容量も非常lこ大きく
なるという欠点があり、さら4こはパルプ類も大形化す
るため、イニシャルコストがどうしても高くなるという
欠点がbった。
い場合は良いが、被処理水量が多くなると、低揚程形の
送水ポンプではエゼクタのポンプとしては能力不足で、
エゼクタポンプと送水ポンプを兼ねるためには非常lこ
ポンプが大きくなり、また受・−容量も非常lこ大きく
なるという欠点があり、さら4こはパルプ類も大形化す
るため、イニシャルコストがどうしても高くなるという
欠点がbった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、メインの被処理水路から、エゼク
タ駆動水として一部の被処理水を専用エゼクタポンプで
取り出し、高須度オゾン水としてメインの被処理水路へ
戻し、処理水中のオゾン展度を定格濃度にすること番こ
より、イニシャルコストを下げ受電容量を小さくできる
間欠オゾン供給装置を提供することを目的としている。
めになされたもので、メインの被処理水路から、エゼク
タ駆動水として一部の被処理水を専用エゼクタポンプで
取り出し、高須度オゾン水としてメインの被処理水路へ
戻し、処理水中のオゾン展度を定格濃度にすること番こ
より、イニシャルコストを下げ受電容量を小さくできる
間欠オゾン供給装置を提供することを目的としている。
以下本発明の一実施例を第3図について説明する。第3
図は実施例のフロー図でおり、第1図と同一部分には同
一符号を付して、その説明を省略する。第3図にお―て
、0はメインの被処理水配管で、専用の送水ポンプa〔
が設けられている。03は被処理水配管aりからエゼク
タ(9)にエゼクタ駆動水を供給し、再び被処理水配管
ttaに戻すエゼクタ駆動水配管で、専用のエゼクタポ
ンプQ4)が設けられてiる。
図は実施例のフロー図でおり、第1図と同一部分には同
一符号を付して、その説明を省略する。第3図にお―て
、0はメインの被処理水配管で、専用の送水ポンプa〔
が設けられている。03は被処理水配管aりからエゼク
タ(9)にエゼクタ駆動水を供給し、再び被処理水配管
ttaに戻すエゼクタ駆動水配管で、専用のエゼクタポ
ンプQ4)が設けられてiる。
上記のように構成された間欠オゾン供給装置において、
オゾン吸着動作は第1図の場合と同様である。
オゾン吸着動作は第1図の場合と同様である。
オゾン脱着時にはオゾン発生機+11、冷凍機(8)を
止め、電磁弁(5a) 、(5b)を閉じて、プライン
ポンプ(7)を運転し、予備加熱を始める。吸脱着塔(
2)内の内圧が2.0〜2−5 kg/cdaになった
時点で予備加熱動作からオゾン脱着動作に入る。このと
き電磁弁(5c)が開き、エゼクタポンプQ4)が稼動
し始める。
止め、電磁弁(5a) 、(5b)を閉じて、プライン
ポンプ(7)を運転し、予備加熱を始める。吸脱着塔(
2)内の内圧が2.0〜2−5 kg/cdaになった
時点で予備加熱動作からオゾン脱着動作に入る。このと
き電磁弁(5c)が開き、エゼクタポンプQ4)が稼動
し始める。
これにより、メインの被処理水配管峙から被処理水の一
部がエゼクタ駆動水配管(13に入り、エゼクタポンプ
α4によってエゼクタ(9)に供給され、ここで吸脱着
塔(21からオゾンを吸引して分散、溶解し、オゾン水
として下流側の被処理水配管Oに戻され。
部がエゼクタ駆動水配管(13に入り、エゼクタポンプ
α4によってエゼクタ(9)に供給され、ここで吸脱着
塔(21からオゾンを吸引して分散、溶解し、オゾン水
として下流側の被処理水配管Oに戻され。
残部の被処理水をオゾン処理する。
ここでエゼクタポンプa◆と送水ポンプ0Iとの送水量
およびその揚程の特性の違いが問題となる。
およびその揚程の特性の違いが問題となる。
例えば、オゾン注入を1日1回5分間だけ5 ppm注
入とし、l系列の処理水量Yr15,000m” 、7
日とすると、送水ポンプnIとしては送水量10.4
II”/min。
入とし、l系列の処理水量Yr15,000m” 、7
日とすると、送水ポンプnIとしては送水量10.4
II”/min。
揚程約10m程度であるため、30祷の電動機を必要と
する。これをエゼクタポンプと兼用にするには揚程が2
5m程必要なため電動機が大きくなり7511を必要と
する。従来形と本方式とを電動機の受電容量で比較する
と、 相数 電圧 電動機 容量 エゼクタポンプ 30 440V 7501 8
9KVA従来形 兼送水ポンプ 本発明形 送水ポンプ 3421 220V
3001 36KVAエゼ/I’ポンプ 3525
220V 15KI 18KVAとなり、従来
形に比べ約40%もの受電容量の削減になる。ただしエ
ゼクタ駆動水はメインの被処理水量の40チ、つ箇り4
ぜ/mi nである。
する。これをエゼクタポンプと兼用にするには揚程が2
5m程必要なため電動機が大きくなり7511を必要と
する。従来形と本方式とを電動機の受電容量で比較する
と、 相数 電圧 電動機 容量 エゼクタポンプ 30 440V 7501 8
9KVA従来形 兼送水ポンプ 本発明形 送水ポンプ 3421 220V
3001 36KVAエゼ/I’ポンプ 3525
220V 15KI 18KVAとなり、従来
形に比べ約40%もの受電容量の削減になる。ただしエ
ゼクタ駆動水はメインの被処理水量の40チ、つ箇り4
ぜ/mi nである。
エゼクタの効率をアップすれば駆動水量を減らすことが
できるため、エゼクタ用ポンプの電動機を小さくするこ
とかで龜、さらに受電設備を小さくすることができる。
できるため、エゼクタ用ポンプの電動機を小さくするこ
とかで龜、さらに受電設備を小さくすることができる。
また当然ながらランニングコストも大幅に削減できる。
つまり従来形は75瞑のモータが常時動いているのに対
し、本発明形は301aIのモータは常時動いているが
、15弾のモータは1日約8分しか駆動しないため、年
間の消費電力を従来形と比較すると、少なくとも半分の
電力費ですむ。
し、本発明形は301aIのモータは常時動いているが
、15弾のモータは1日約8分しか駆動しないため、年
間の消費電力を従来形と比較すると、少なくとも半分の
電力費ですむ。
なお、上記実施例ではl系列、15.000 m”/日
の場合について説明したが、数系列にしてもよい。
の場合について説明したが、数系列にしてもよい。
またエゼクタ駆動水をメインの送水管の上流から取り、
下流にオゾン水として注入したが、逆にしてもよ(、上
記実施例と同様の効果を奏する。
下流にオゾン水として注入したが、逆にしてもよ(、上
記実施例と同様の効果を奏する。
この発明は火力発電、原子力発電、化学工場の冷却水処
理に限らず、他の用途における間欠オゾン供給装置にも
適用可能である。
理に限らず、他の用途における間欠オゾン供給装置にも
適用可能である。
以上のように、この発明によれば、エゼクタ用専用のポ
ンプを単独で動かし、しかも被処理水量の40%あるい
はそれ以下をエゼクタ駆動水として利用するようにした
ので、受電容量の低下および受電設備の小形化−こより
装置が安価にでき、また送水ポンプを低揚程にできるた
め、ランニングコストも従来形に比べて5096以下に
できるなどの効果がある。
ンプを単独で動かし、しかも被処理水量の40%あるい
はそれ以下をエゼクタ駆動水として利用するようにした
ので、受電容量の低下および受電設備の小形化−こより
装置が安価にでき、また送水ポンプを低揚程にできるた
め、ランニングコストも従来形に比べて5096以下に
できるなどの効果がある。
第1図(、)は従来の間欠オゾン供給装装置のフロー図
、第1図(b)はその吸脱着基の垂直断面図、第1図(
C)はオゾン発生機の垂直断面図、第2図は従来の運転
シーケンス図、第3図は本発明の一実施例の70−図で
ある。 (1)・・・オゾン発生機、(2)・・・吸脱着基、(
3)・・・循環プロア、(4)・・・酸素供給装置、(
8)・・・冷凍機、(9)・・・エゼクタ、111・・
・送水ポンプ、(13・・・被処理水配管、c1謙・・
・駆動水配管、(I4)・・・エゼクタポンプ。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −(外1名) 第2図
、第1図(b)はその吸脱着基の垂直断面図、第1図(
C)はオゾン発生機の垂直断面図、第2図は従来の運転
シーケンス図、第3図は本発明の一実施例の70−図で
ある。 (1)・・・オゾン発生機、(2)・・・吸脱着基、(
3)・・・循環プロア、(4)・・・酸素供給装置、(
8)・・・冷凍機、(9)・・・エゼクタ、111・・
・送水ポンプ、(13・・・被処理水配管、c1謙・・
・駆動水配管、(I4)・・・エゼクタポンプ。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −(外1名) 第2図
Claims (2)
- (1)酸素を原料としてオゾンを生成するオゾン発生機
と、冷却することによりオゾン発生機のオゾンを吸着し
、かつ加温・減圧することによりオゾンを脱着するオゾ
ン吸着物質が充填された塔部を有する吸脱着塔と、オゾ
ン吸着時基こオゾン吸着物質を冷却する冷凍機と、オゾ
ン脱着時lこオゾン吸着物質を加温するブライン槽と、
オゾン脱着時に吸脱着塔を減圧するエゼクタとを有する
間欠オゾン供給装置において、前記エゼクタの駆動水と
して被処理水の一部を供給する装置を備えたことを特徴
とする間欠オゾン供給装置。 - (2)被処理水配管の上流からエゼクタの駆動水として
一部給水し、オゾン含有処理水を上記地点より下流側に
注入して戻す手段を備えたことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の間欠オゾン供給装置。 1;31エゼクタの駆動性を供給する専用のエゼクタポ
ンプを備えたことを特徴とする特許請求の範囲第1ij
4筐たVi第2JAN4畝の間欠オゾン供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16530681A JPS5869703A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | 間欠オゾン供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16530681A JPS5869703A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | 間欠オゾン供給装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5869703A true JPS5869703A (ja) | 1983-04-26 |
Family
ID=15809823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16530681A Pending JPS5869703A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | 間欠オゾン供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5869703A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1986003698A1 (en) * | 1984-12-25 | 1986-07-03 | Kawasaki Steel Corporation | Method of cooling rolls in a cold rolling machine |
-
1981
- 1981-10-16 JP JP16530681A patent/JPS5869703A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1986003698A1 (en) * | 1984-12-25 | 1986-07-03 | Kawasaki Steel Corporation | Method of cooling rolls in a cold rolling machine |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2236459A1 (en) | Apparatus for producing high-concentration ozone gas and method of producing high-concentration ozone gas | |
CA2198521C (en) | Ozone storing method and ozone storage system | |
JPS6048444B2 (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
JP5506396B2 (ja) | オゾン濃縮装置 | |
US4453953A (en) | Intermittent ozone feeding apparatus | |
JP5892904B2 (ja) | オゾン供給システムおよび排水処理システム | |
US4552659A (en) | Apparatus for elimination of biofouling | |
JPS5869703A (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
JPS6356163B2 (ja) | ||
JPS6313927B2 (ja) | ||
JP3697058B2 (ja) | 高濃度オゾンガスの製造方法及びその装置 | |
JPS58204803A (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
JP4003097B2 (ja) | オゾン吸脱着装置 | |
JPS59193192A (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
JP4107631B2 (ja) | 濃縮オゾン製造装置 | |
JPS58213602A (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
JPH10156168A (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
JP3932616B2 (ja) | オゾン吸脱着装置 | |
JPH1143308A (ja) | オゾン製造装置 | |
JP3532334B2 (ja) | 間欠オゾン供給方法 | |
JP4101316B2 (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
JP3391540B2 (ja) | 活性水製造装置 | |
JPH02284B2 (ja) | ||
JPS61153399A (ja) | 水中微生物による熱交換機等機器類の目詰り防止用洗浄方法 | |
JPS61150709A (ja) | 冷間圧延機のロ−ル冷却水のオゾン処理方法 |