JPS5867034A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤポンディング方法、特にワイヤルーズの
形成方法に関する。
形成方法に関する。
従来、第1ポンド点と第2ボンド点との間に張られたワ
イヤループの形成は、ワイヤの挿通されたキャピラリが
第1ポンド点から第2ボンド点に移動する間にワイヤが
巻回されたスプールとキャピラリとの閣でワイヤに対し
てスプール方向のテンションをかけて形成される。例え
ばワイヤに対してエア又はN、ガス等の気体を吹き付け
、又はワイヤに直接ワイヤガイドを押付けて行われる。
イヤループの形成は、ワイヤの挿通されたキャピラリが
第1ポンド点から第2ボンド点に移動する間にワイヤが
巻回されたスプールとキャピラリとの閣でワイヤに対し
てスプール方向のテンションをかけて形成される。例え
ばワイヤに対してエア又はN、ガス等の気体を吹き付け
、又はワイヤに直接ワイヤガイドを押付けて行われる。
しかしながら、前者の方法は気体の吹き出しを常に安定
した状11に保つことが困難であり、また後者の方法も
同様にワイヤガイドとワイヤとの摩擦力を常に一定に保
つことが困難であるので、ワイヤループ長さが変化し、
均一なワイヤループ形状が得られないと共に、摩擦力を
微調整することができないという欠点があった。また第
1ポンド点と第2ボンド点との段差の有無及び段差の大
きさによってワイヤループ長さを変えなければならない
が、前記方法では品種を交換する毎にワイヤに対するテ
ンションを調整する必要があり、またその調整に熟練及
び多大な時間を必要とする欠点があった。
した状11に保つことが困難であり、また後者の方法も
同様にワイヤガイドとワイヤとの摩擦力を常に一定に保
つことが困難であるので、ワイヤループ長さが変化し、
均一なワイヤループ形状が得られないと共に、摩擦力を
微調整することができないという欠点があった。また第
1ポンド点と第2ボンド点との段差の有無及び段差の大
きさによってワイヤループ長さを変えなければならない
が、前記方法では品種を交換する毎にワイヤに対するテ
ンションを調整する必要があり、またその調整に熟練及
び多大な時間を必要とする欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、常
に均一なワイヤループ形状を自動的に形成することがで
きるワイヤボンディング方法を提供することを目的とす
る。
に均一なワイヤループ形状を自動的に形成することがで
きるワイヤボンディング方法を提供することを目的とす
る。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第1図は本発明の方法によってボンディングされたワイ
ヤループ形状を示す。第1ボンド点1を基準として、ワ
イヤループ高さをa1第2ボンド点2の高さをbとする
と、(イ)はa)bの場合、(ロ)はa(bの場合、(
ハ)はa = bの場合をそれぞれ示す。このようζこ
形成されたワイヤループ3の長さl、の近似値は、第1
ボンド点lと第2ボンド点2、・の水平方向の長さをC
とすると、次式で表わされる。
ヤループ形状を示す。第1ボンド点1を基準として、ワ
イヤループ高さをa1第2ボンド点2の高さをbとする
と、(イ)はa)bの場合、(ロ)はa(bの場合、(
ハ)はa = bの場合をそれぞれ示す。このようζこ
形成されたワイヤループ3の長さl、の近似値は、第1
ボンド点lと第2ボンド点2、・の水平方向の長さをC
とすると、次式で表わされる。
/、 = a+ (a−b)’ −1−c”
・・・(1)ここで、bは約0.25〜0.3tma度
に形成されるが、後述するように第1ボンド点lにボン
ド後、くためのXY方向の動きのタイミング及びワイヤ
の剛性等によって決るもので、実験的に予め求められた
既知の値である。
・・・(1)ここで、bは約0.25〜0.3tma度
に形成されるが、後述するように第1ボンド点lにボン
ド後、くためのXY方向の動きのタイミング及びワイヤ
の剛性等によって決るもので、実験的に予め求められた
既知の値である。
次に前記したワイヤループ長さ右を形成する方法を第2
図により説明する。まず第2図(イ)に示す如くワイヤ
4の先端にボールが形成された状態でキャピラリ5が第
1ボンド点lの上方に移動する。
図により説明する。まず第2図(イ)に示す如くワイヤ
4の先端にボールが形成された状態でキャピラリ5が第
1ボンド点lの上方に移動する。
次に同図(d)に示す如くワイヤ切断用クランパー6が
111、続いてキャピラリ5及びワイヤ切断用クランパ
ー6が共に下降する。ワイヤ保持用クランパー7はワイ
ヤ4を7〜8gの弱いクランプ力で保持したままキャピ
ラリ5の下降スピードよりわずかに遅いスピードで下降
する。これはキャピラリ5の先端下に形成されているボ
ールがキャピラリ5のセンターに位置するようにワイヤ
4にテンションを与えるためである。キャピラリ5は更
に下降して同図(ハ)に示す如く第1ボンド点1に接地
し、ボンディングを行う。この時、ワイヤ切断用クラン
パー6及びワイヤ保持用クランパー7も下降を停止し、
ワイヤ保持用クランパー7が開く。
111、続いてキャピラリ5及びワイヤ切断用クランパ
ー6が共に下降する。ワイヤ保持用クランパー7はワイ
ヤ4を7〜8gの弱いクランプ力で保持したままキャピ
ラリ5の下降スピードよりわずかに遅いスピードで下降
する。これはキャピラリ5の先端下に形成されているボ
ールがキャピラリ5のセンターに位置するようにワイヤ
4にテンションを与えるためである。キャピラリ5は更
に下降して同図(ハ)に示す如く第1ボンド点1に接地
し、ボンディングを行う。この時、ワイヤ切断用クラン
パー6及びワイヤ保持用クランパー7も下降を停止し、
ワイヤ保持用クランパー7が開く。
第1ボンド終了後、同図に)に示す如くキャピラリ5、
ワイヤ切断用クランパー6及びワイヤ保持用クランパー
7が上昇し、上昇途中又は最高上昇位置でXY駆動装置
(図示せず)によりキャピラリ5が水平移動し、同図(
ホ)に示す如く第2ボンド点2の上方に位置する。次に
ワイヤ保持用クランパー7が閉じる。前記同図に)に示
すキャピラリ5の上昇位置より同図(ホ)に移るタイミ
ングは第1図で述べたようにワイヤループ高さaを決め
る要素となる。次に同図(へ)に示す如くキャピラリ5
及びワイヤ切断用クランパー6が下降し、同時にワイヤ
保持用クランパー7も下降する。そして、キャピラリ5
が第2ボンド点に接地し、ボンディングを行う。この同
図(ホ)から同図(へ)の動作において、第1ボンド点
1から第2ボンド点2までのワイヤ長さ、即ちワイヤル
ープ長さ11が(1)式で示した長さになるようlこ、
ワイヤ保持用クランパー7はキャピラリ5からワイヤ4
を引き戻す。これはキャピラリ5の下降長さよりワイヤ
保持用フランパーツの下降長さを小さく設定することに
より達成される。
ワイヤ切断用クランパー6及びワイヤ保持用クランパー
7が上昇し、上昇途中又は最高上昇位置でXY駆動装置
(図示せず)によりキャピラリ5が水平移動し、同図(
ホ)に示す如く第2ボンド点2の上方に位置する。次に
ワイヤ保持用クランパー7が閉じる。前記同図に)に示
すキャピラリ5の上昇位置より同図(ホ)に移るタイミ
ングは第1図で述べたようにワイヤループ高さaを決め
る要素となる。次に同図(へ)に示す如くキャピラリ5
及びワイヤ切断用クランパー6が下降し、同時にワイヤ
保持用クランパー7も下降する。そして、キャピラリ5
が第2ボンド点に接地し、ボンディングを行う。この同
図(ホ)から同図(へ)の動作において、第1ボンド点
1から第2ボンド点2までのワイヤ長さ、即ちワイヤル
ープ長さ11が(1)式で示した長さになるようlこ、
ワイヤ保持用クランパー7はキャピラリ5からワイヤ4
を引き戻す。これはキャピラリ5の下降長さよりワイヤ
保持用フランパーツの下降長さを小さく設定することに
より達成される。
このことを更に詳記すると、第1ボンド点1からキャピ
ラリ5の下端までのワイヤ長さを、同図(ホ)の状態に
おいては!、°、同図(へ)の状態においては!1(第
1図及び(1)式の!、と同じ)、キャピラリ5の下端
からワイヤ保持用クランパー7までのワイヤ長さを、同
図(ホ)の状態においてはぢ、同図(へ)の状態におい
ては12とし、また同図(ホ)においてキャピラリ5の
上昇高さをhlとすると、 4t−麿+禮「−y丁V ・・・(2)It’ +
It’ = It+4 ・・・(3)又は
/、’−1,= 7.−1.’ =差動量 ・・・(
3)”となる。。
ラリ5の下端までのワイヤ長さを、同図(ホ)の状態に
おいては!、°、同図(へ)の状態においては!1(第
1図及び(1)式の!、と同じ)、キャピラリ5の下端
からワイヤ保持用クランパー7までのワイヤ長さを、同
図(ホ)の状態においてはぢ、同図(へ)の状態におい
ては12とし、また同図(ホ)においてキャピラリ5の
上昇高さをhlとすると、 4t−麿+禮「−y丁V ・・・(2)It’ +
It’ = It+4 ・・・(3)又は
/、’−1,= 7.−1.’ =差動量 ・・・(
3)”となる。。
即ち、(3i式の差動量= 11’−1,たけキャピラ
リ5の下降長さよりワイヤ保持用クランパー7の下降長
さを小さくすることにより適切なワイヤループ長さ!、
が形成される。
リ5の下降長さよりワイヤ保持用クランパー7の下降長
さを小さくすることにより適切なワイヤループ長さ!、
が形成される。
(3)°式に(1)式及び(2)式を代入すると、差動
量=!、′−ノ、=イ雇−zTマー4丁=的ワ7・・・
(4) となる。
量=!、′−ノ、=イ雇−zTマー4丁=的ワ7・・・
(4) となる。
そこで、キャピラリ5、ワイヤ切断用クランパー6及び
ワイヤ保持用クランパー7の駆動部の動きを制御するマ
イクロコンピュータに予め品種毎のa、b、、c及びh
lを入力しておくと、(4)式によりキャピラリ5の下
降長さに対するワイヤ保持用クランパー7の下降長さが
算出され、適切なワイヤループ長さ!、が自動的に得ら
れる。
ワイヤ保持用クランパー7の駆動部の動きを制御するマ
イクロコンピュータに予め品種毎のa、b、、c及びh
lを入力しておくと、(4)式によりキャピラリ5の下
降長さに対するワイヤ保持用クランパー7の下降長さが
算出され、適切なワイヤループ長さ!、が自動的に得ら
れる。
第2ボンド終了後、同図(ト)の如くキャピラリ5とワ
イヤ切断用クランパー6がわずか上昇シ、ワイヤ切断用
クランパー6が閉じる。続いてキャピラリ5、ワイヤ切
断用クランパー6及びワイヤ保持用クランパー7が上昇
し、ワイヤ切断用クランパー6によりワイヤ4を切断す
る。次に同図(4)の如くトーチ8によりキャピラリ5
先端にボールを形成する。そして、前記動作を繰返して
次の第1ボンド点と第2ボンド点にワイヤを接続する。
イヤ切断用クランパー6がわずか上昇シ、ワイヤ切断用
クランパー6が閉じる。続いてキャピラリ5、ワイヤ切
断用クランパー6及びワイヤ保持用クランパー7が上昇
し、ワイヤ切断用クランパー6によりワイヤ4を切断す
る。次に同図(4)の如くトーチ8によりキャピラリ5
先端にボールを形成する。そして、前記動作を繰返して
次の第1ボンド点と第2ボンド点にワイヤを接続する。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるワイヤボン
ディング方法によれば、ワイヤ保持用り一77パーの下
降長さをコンピュータで算出し、その算出された長さだ
けワイヤ保持用クランノ(−が下降してワイヤループを
形成するので、品種に応じた最適のワイヤループが自動
的に形成される。
ディング方法によれば、ワイヤ保持用り一77パーの下
降長さをコンピュータで算出し、その算出された長さだ
けワイヤ保持用クランノ(−が下降してワイヤループを
形成するので、品種に応じた最適のワイヤループが自動
的に形成される。
第1図K)X(ハ)は本発明の方法によってボンディン
グされたワイヤループ形状を示す説明図、第2図(イ)
〜(イ)は本発明の方法の一実施例を示す工種説明図で
ある。 1・・・第1ボンド点、 2・・・第2ボンド点、3
・・・ワイヤループ、 4・・刃イヤ、 5・・・
キャピラリ、 6・・・ワイヤ切断用クランノく−
、7・・・ワイヤ保持用クランパー、 ト・・ワイヤ
ループ高さ、 b・・・第2ボンド点の高さ、C・・
・第1ボンド点と第2ボンド点の水平方向の長さ、hl
・・・ワイヤ保持用クランノ(−が閉じた時のキャピラ
リの高さ。 (二 (l\) (ト) 第2図 ) (*) (へ)(
4−)
グされたワイヤループ形状を示す説明図、第2図(イ)
〜(イ)は本発明の方法の一実施例を示す工種説明図で
ある。 1・・・第1ボンド点、 2・・・第2ボンド点、3
・・・ワイヤループ、 4・・刃イヤ、 5・・・
キャピラリ、 6・・・ワイヤ切断用クランノく−
、7・・・ワイヤ保持用クランパー、 ト・・ワイヤ
ループ高さ、 b・・・第2ボンド点の高さ、C・・
・第1ボンド点と第2ボンド点の水平方向の長さ、hl
・・・ワイヤ保持用クランノ(−が閉じた時のキャピラ
リの高さ。 (二 (l\) (ト) 第2図 ) (*) (へ)(
4−)
Claims (1)
- スプールに巻回されたワイヤをワイヤ保持用クランパー
及びワイヤ切断用クランパーを通してキャピラリに挿通
し、2つのポンド点間にワイヤを前記キャピラリで接続
するワイヤポンディング方法において、ワイヤループ高
さ、第1ポンド点ト第2ボンド点の段差及び水平方向の
長さ、第2ボンド点の上方で前記ワイヤ保持用クランパ
ーが閉じた時のキャピラリの高さ等のデータを予めマイ
クロコンピュータに入力し、マイクロコンピュータによ
って第2ボンド点の上方で前記ワイヤ保持用クランパー
が閉じた後より該ワイヤ保持用クランパーが前記キャピ
ラリの下降長さより少なく下降する長さを前記予め入力
されたデータに基いて算出し、この算出された値だけ下
降させてワイヤループを形成することを特徴とするワイ
ヤポンディング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56166697A JPS5867034A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56166697A JPS5867034A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5867034A true JPS5867034A (ja) | 1983-04-21 |
JPS6347144B2 JPS6347144B2 (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=15836061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56166697A Granted JPS5867034A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5867034A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4597522A (en) * | 1983-12-26 | 1986-07-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wire bonding method and device |
US20110000951A1 (en) * | 2008-03-17 | 2011-01-06 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Wire payout measurement and calibration techniques for a wire bonding machine |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01267143A (ja) * | 1988-04-16 | 1989-10-25 | Tohoku Ricoh Co Ltd | ラベルプリンタにおけるラベル紙検知方式 |
-
1981
- 1981-10-19 JP JP56166697A patent/JPS5867034A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4597522A (en) * | 1983-12-26 | 1986-07-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wire bonding method and device |
US20110000951A1 (en) * | 2008-03-17 | 2011-01-06 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Wire payout measurement and calibration techniques for a wire bonding machine |
US8302841B2 (en) * | 2008-03-17 | 2012-11-06 | Kulicke And Soffa Industries | Wire payout measurement and calibration techniques for a wire bonding machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6347144B2 (ja) | 1988-09-20 |
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