JPS5862548A - 欠点検出装置 - Google Patents
欠点検出装置Info
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- JPS5862548A JPS5862548A JP16185981A JP16185981A JPS5862548A JP S5862548 A JPS5862548 A JP S5862548A JP 16185981 A JP16185981 A JP 16185981A JP 16185981 A JP16185981 A JP 16185981A JP S5862548 A JPS5862548 A JP S5862548A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/93—Detection standards; Calibrating baseline adjustment, drift correction
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、シート物等の被検査面をｍ［４Ｆ７により
充電的に走査して欠点を検出する装置に関する。
充電的に走査して欠点を検出する装置に関する。
例えば第１図に示すように、銀像装置１と光源２との間
に紙やフィルム等のシー１−状の被検査物３を配し、透
過光弐に被検査物３を走査し、ピンホール４の如き欠点
を検出する場合、基本的に次のような信号処理を行なう
。
に紙やフィルム等のシー１−状の被検査物３を配し、透
過光弐に被検査物３を走査し、ピンホール４の如き欠点
を検出する場合、基本的に次のような信号処理を行なう
。
上記ｍ徴素子１がＣＯＤ （電荷結合素子）等の半導体
イメージセンサを用いて構成される場合、その映像信号
は第２図に例示するように高周波パルスの形で出力され
る。この波形図は一走査分の映像信号ｖＳを示しており
、Ｅは被検査物３の正掌部分の明かるさに対応した地合
レベルであり、この地合レベルＥには周知のように棟々
の要因にＪ、り低周波数の変動が現れる。また、ｎは被
検査物３のピンホール４に対応する欠点信号で、ピンホ
ール４を通して強い光が撮像装置１に入射するため、欠
点信号ｎは地合レベルＥより高レベルのパルス状の信号
となる。
イメージセンサを用いて構成される場合、その映像信号
は第２図に例示するように高周波パルスの形で出力され
る。この波形図は一走査分の映像信号ｖＳを示しており
、Ｅは被検査物３の正掌部分の明かるさに対応した地合
レベルであり、この地合レベルＥには周知のように棟々
の要因にＪ、り低周波数の変動が現れる。また、ｎは被
検査物３のピンホール４に対応する欠点信号で、ピンホ
ール４を通して強い光が撮像装置１に入射するため、欠
点信号ｎは地合レベルＥより高レベルのパルス状の信号
となる。
この欠点信号ｎを弁別するために映像信号ＶＳを適宜な
しきい値で２値化する訳だが、浮動２１ｉａ化どして良
く知られているように映像信号ＶＳを適宜に積分すると
ともに適宜にレベルシフ１−スることにより、映像信号
ＶＳ中の地合レベルＥの変動に追従するしきい値信号Ｓ
Ｈを作り、これで２１１ｒ１化を行なっている。第３
図はしきい値信＠Ｓ１１を得る回路の要部である上記積
分回路の具体例である。この回路において、映像信号ｖ
ＳがダイオードＤのカソード側に印加され、、映像信号
＼／Ｓの瞬時電圧がコンデンサＣの充電電圧Ｖｃ （
この回路の出力電圧である）以上のとき、ダイオードＤ
および抵抗Ｒ１を通してコンデンサＣへ充電電流が流れ
、映像信号■Ｓの順次電圧が電圧ＶＣ以下のとき、コン
デンサＣから抵抗Ｒ２に放電電流が流れる。ここで抵抗
Ｒ１およびＲ２を適宜に選んで、コンデンサＣに対する
充電経路の時定数を比較的小さく、放電経路の時定数を
比較的大きく設定する。出力電圧Ｖｃは第２図に示すよ
うに地合レベルＥの低周波数の変動に追従し、かつパル
ス状の欠点信号ｎには余り応答しない波形となる。
しきい値で２値化する訳だが、浮動２１ｉａ化どして良
く知られているように映像信号ＶＳを適宜に積分すると
ともに適宜にレベルシフ１−スることにより、映像信号
ＶＳ中の地合レベルＥの変動に追従するしきい値信号Ｓ
Ｈを作り、これで２１１ｒ１化を行なっている。第３
図はしきい値信＠Ｓ１１を得る回路の要部である上記積
分回路の具体例である。この回路において、映像信号ｖ
ＳがダイオードＤのカソード側に印加され、、映像信号
＼／Ｓの瞬時電圧がコンデンサＣの充電電圧Ｖｃ （
この回路の出力電圧である）以上のとき、ダイオードＤ
および抵抗Ｒ１を通してコンデンサＣへ充電電流が流れ
、映像信号■Ｓの順次電圧が電圧ＶＣ以下のとき、コン
デンサＣから抵抗Ｒ２に放電電流が流れる。ここで抵抗
Ｒ１およびＲ２を適宜に選んで、コンデンサＣに対する
充電経路の時定数を比較的小さく、放電経路の時定数を
比較的大きく設定する。出力電圧Ｖｃは第２図に示すよ
うに地合レベルＥの低周波数の変動に追従し、かつパル
ス状の欠点信号ｎには余り応答しない波形となる。
この信号Ｖｃを適宜に増幅したり、あるいは一定電圧を
加算することによりレベルシフトし、地合レベルＥより
僅かに大きいしきい値信号ＳＨが得られるのである。
加算することによりレベルシフトし、地合レベルＥより
僅かに大きいしきい値信号ＳＨが得られるのである。
以上が欠点弁別の基本である。ところで、ｍｓ装置１の
出力には周知のように各走査の間で映像信号がなくなる
期間（帰線期間に相当するもので、ここではブランク期
間と称す）が含まれる。このブランク期間において上記
積分回路のコンデンサＣの充電電荷が放電するため、積
分出力ＶＣは徐々に低下し、しきい値信号ＳＨも低下す
る。このブランク期間でのしきい値の低下による誤弁別
を防く目的で、従来は、ブランク期間ではしぎい値信号
Ｓ Ｈのレベルを保持する回路や、一定電ｙ１を積分回
路の出力に加えてその一定電圧に保持する回路が一般的
に採用されているが、その効果は以下に説明するように
充分でない。
出力には周知のように各走査の間で映像信号がなくなる
期間（帰線期間に相当するもので、ここではブランク期
間と称す）が含まれる。このブランク期間において上記
積分回路のコンデンサＣの充電電荷が放電するため、積
分出力ＶＣは徐々に低下し、しきい値信号ＳＨも低下す
る。このブランク期間でのしきい値の低下による誤弁別
を防く目的で、従来は、ブランク期間ではしぎい値信号
Ｓ Ｈのレベルを保持する回路や、一定電ｙ１を積分回
路の出力に加えてその一定電圧に保持する回路が一般的
に採用されているが、その効果は以下に説明するように
充分でない。
第４図はブランク期間ＢＬにてしきい値信号８１１のレ
ベルを保持する方式における映像信号ｖＳとしきい値信
号ＳＨの関係を示し、また第５図はフランク期間８１−
にて一定電圧ｖ１を積分回路の出力に加え一定電圧■１
に保持する方式におトＪる映像信号ｖＳとしき、い値信
号ＳＨの関係を示す。
ベルを保持する方式における映像信号ｖＳとしきい値信
号ＳＨの関係を示し、また第５図はフランク期間８１−
にて一定電圧ｖ１を積分回路の出力に加え一定電圧■１
に保持する方式におトＪる映像信号ｖＳとしき、い値信
号ＳＨの関係を示す。
なお、両図における映像信号■Ｓは上記のように高周波
パルスで出力される信号の包絡線で表されＣいる。
パルスで出力される信号の包絡線で表されＣいる。
第４図（ａ）に示した例は映像信号■Ｓの地合レベルが
各走査の冒頭部分で比較的高く、走査終了部分で比較的
低くなるような一定の傾向を持つ傾きを示している場合
の例であり、逆に第４図（１１）の例は映像信号ｖＳの
地合レベルが走査終了部分で比較的低く、走査終了部分
で比”較的高い場合の例である。ここで、ブランク期間
ＢＬでしきい値信号ＳＨを保持するようにした場合、第
４図（ａ）の例では映像信号ＶＳの冒頭部分で欠点がな
いにも係わらず欠点弁別信号を出力してしまい、逆に第
４図（ｂ）の例では、映像信号■Ｓの冒頭部分に比較的
小さな欠点信号があってもこれが検出されないといった
問題を生ずる。
各走査の冒頭部分で比較的高く、走査終了部分で比較的
低くなるような一定の傾向を持つ傾きを示している場合
の例であり、逆に第４図（１１）の例は映像信号ｖＳの
地合レベルが走査終了部分で比較的低く、走査終了部分
で比”較的高い場合の例である。ここで、ブランク期間
ＢＬでしきい値信号ＳＨを保持するようにした場合、第
４図（ａ）の例では映像信号ＶＳの冒頭部分で欠点がな
いにも係わらず欠点弁別信号を出力してしまい、逆に第
４図（ｂ）の例では、映像信号■Ｓの冒頭部分に比較的
小さな欠点信号があってもこれが検出されないといった
問題を生ずる。
また、第５図に示すようにブランク期１６３Ｌに一定電
圧を積分出力に加え一定電圧■１に保持する方式では、
同図（ａ ）のように被検査物、光源等の変化により映
像信号ｖＳの全体的なレベルが変化した場合、ブランク
期間ＢＬにて積分回路の出力に加え得る一定電圧■１を
変えないと、走査冒頭部分の欠点を検出できないという
問題点がある。また同図（ｂ）に示すようにブランク期
間Ｂ［が短くなった場合、積分回路が一定電圧Ｖ１まで
充電できず、走査冒頭部分で誤った欠点弁別をしてしま
うという問題点もあった。
圧を積分出力に加え一定電圧■１に保持する方式では、
同図（ａ ）のように被検査物、光源等の変化により映
像信号ｖＳの全体的なレベルが変化した場合、ブランク
期間ＢＬにて積分回路の出力に加え得る一定電圧■１を
変えないと、走査冒頭部分の欠点を検出できないという
問題点がある。また同図（ｂ）に示すようにブランク期
間Ｂ［が短くなった場合、積分回路が一定電圧Ｖ１まで
充電できず、走査冒頭部分で誤った欠点弁別をしてしま
うという問題点もあった。
これらの問題を解決するために、従来、走査冒頭部分の
映像信号レベルを、包格線信号を作る第１の積分回路と
は別の第２の積分回路に保持し、ブランク期間に第１の
積分回路を上記第２の積分回路に保持されたレベルに充
電するという６式があるが、走査周期が長く、ブランク
期間が長くなった場合、コンデン十ノを用いた積分回路
ではレベルの保持が旺しく、また、その保持したレベル
を他Ｉノの積分回路に急速充電することが難しいという
問題点ｈ（ある。
映像信号レベルを、包格線信号を作る第１の積分回路と
は別の第２の積分回路に保持し、ブランク期間に第１の
積分回路を上記第２の積分回路に保持されたレベルに充
電するという６式があるが、走査周期が長く、ブランク
期間が長くなった場合、コンデン十ノを用いた積分回路
ではレベルの保持が旺しく、また、その保持したレベル
を他Ｉノの積分回路に急速充電することが難しいという
問題点ｈ（ある。
この発明は上述した従来の問題点に名みなされ１、、ｔ
）のであり、その目的は、映像信号の各走査面の−Ｉブ
ランク期間全く影響されず映像１式号の１杏冒頭部分の
レベルを追従記憶し、かつその記憶し！ごレベルを基に
包絡ｖＡ倍信号作り、その信号からしきい値信号を発生
し、その結宋誤弁別の少い高昂１σな欠点検出が行なえ
るようにした欠点検出装置６を提供することにある。
）のであり、その目的は、映像信号の各走査面の−Ｉブ
ランク期間全く影響されず映像１式号の１杏冒頭部分の
レベルを追従記憶し、かつその記憶し！ごレベルを基に
包絡ｖＡ倍信号作り、その信号からしきい値信号を発生
し、その結宋誤弁別の少い高昂１σな欠点検出が行なえ
るようにした欠点検出装置６を提供することにある。
以下、この発明の実施例を図面に基づいてα軸に説明す
る。 、１ 第６図はこの発明に係る欠点検出装置の一実施例を示す
ブロック図であり、第７図および第８図はこの欠点検出
装置の各部の信号波形を示す。ＣＯＤイメージセンサ等
からなる搬像素子５は駆動回路１２からの制御信号を受
けて動作し、例えば第１図に示した態様で被検査物３土
を光電的に繰り返し走査する。
る。 、１ 第６図はこの発明に係る欠点検出装置の一実施例を示す
ブロック図であり、第７図および第８図はこの欠点検出
装置の各部の信号波形を示す。ＣＯＤイメージセンサ等
からなる搬像素子５は駆動回路１２からの制御信号を受
けて動作し、例えば第１図に示した態様で被検査物３土
を光電的に繰り返し走査する。
ｍｓ素子５から出力されて増幅器６で増幅された映像信
号ｖＳは、欠点弁別用比較器１６において後述のように
して得られるしきい値信号Ｓ Ｎとレベル比較され、こ
れにより２値化された弁別信号ＯＵＴが出力される。こ
の発明に係る欠点検出装置は、アップダウンカウンタ１
１と、このカウンタ１１のデジタル計数出力を記憶する
ためのメモリ１７と、上記カウンタ１１のデジタル、計
数出力をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器１４と、
このＤ／Ａ変換器１４の出力信号すと上記映像信号ＶＳ
のレベル比較をする比較器７と、上記ｌ１ｉｉ９素子５
による走査期間中に上記カウンタ１１を上記比較器７の
出力相１．″：応じてｖｓ＞ｂのときは所定速喰でアッ
プカウントさせるとともに、ｖＳ〈ｌ）のときは所定速
度でダウンカウントさせるアップク゛ウン制御手段と、
４−記縮像素子５による各走査の開始直後に上記カウン
タ１１の出力を上記メモリ１７に記憶させる記憶タイミ
ング制御手段と、上記搬像素子５による各走査面のブラ
ンク期間中ζこＬ記メモリ１７の記憶データを−に記ｈ
ウンタ１１にプリセットさせるプリセットタイミング制
御手段とを備え、Ｖ記１’）、’Ａ変換器１４の出力信
１】１）を増幅器１５によって適宜に増幅して上記しき
いｂｒ＋信号ＳＨを１！ノるようにしている。
号ｖＳは、欠点弁別用比較器１６において後述のように
して得られるしきい値信号Ｓ Ｎとレベル比較され、こ
れにより２値化された弁別信号ＯＵＴが出力される。こ
の発明に係る欠点検出装置は、アップダウンカウンタ１
１と、このカウンタ１１のデジタル計数出力を記憶する
ためのメモリ１７と、上記カウンタ１１のデジタル、計
数出力をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器１４と、
このＤ／Ａ変換器１４の出力信号すと上記映像信号ＶＳ
のレベル比較をする比較器７と、上記ｌ１ｉｉ９素子５
による走査期間中に上記カウンタ１１を上記比較器７の
出力相１．″：応じてｖｓ＞ｂのときは所定速喰でアッ
プカウントさせるとともに、ｖＳ〈ｌ）のときは所定速
度でダウンカウントさせるアップク゛ウン制御手段と、
４−記縮像素子５による各走査の開始直後に上記カウン
タ１１の出力を上記メモリ１７に記憶させる記憶タイミ
ング制御手段と、上記搬像素子５による各走査面のブラ
ンク期間中ζこＬ記メモリ１７の記憶データを−に記ｈ
ウンタ１１にプリセットさせるプリセットタイミング制
御手段とを備え、Ｖ記１’）、’Ａ変換器１４の出力信
１】１）を増幅器１５によって適宜に増幅して上記しき
いｂｒ＋信号ＳＨを１！ノるようにしている。
実施例について詳述すると、タイミング回路１３からは
、駆動回路１２にて作られる餡像素了５の上沓クロック
イ１４号と同期した２・相のクロックｆｇ弓１’１．Ｔ
２が出力される。第７図に示づＪ、うに、クロック信号
１２は映像信号ｖＳ中に含まれている各絵素パルスの立
ち下がり直後に発生する極めて幅の狭いパルス信号であ
り、またクロック化Ｙ］［１は、クロック化ｇＴ２より
極く僅かに〃れて′Ｉｆ、牛するやはり幅の狭いパルス
信号である。クロック信号Ｔ１．Ｔ’！は搬像素子５の
走査が行われている期間にのみ発生し、各走査面のブラ
ンク期間ＢＬでは発生しない。
、駆動回路１２にて作られる餡像素了５の上沓クロック
イ１４号と同期した２・相のクロックｆｇ弓１’１．Ｔ
２が出力される。第７図に示づＪ、うに、クロック信号
１２は映像信号ｖＳ中に含まれている各絵素パルスの立
ち下がり直後に発生する極めて幅の狭いパルス信号であ
り、またクロック化Ｙ］［１は、クロック化ｇＴ２より
極く僅かに〃れて′Ｉｆ、牛するやはり幅の狭いパルス
信号である。クロック信号Ｔ１．Ｔ’！は搬像素子５の
走査が行われている期間にのみ発生し、各走査面のブラ
ンク期間ＢＬでは発生しない。
また、タイミング回路１３からは搬像素子５の走査と同
期して、走査開始直後に・−発のパルス信号ＴＷが出力
されるとともに、走査終了直後に一発のパルス信号ＴＰ
が出力される。歩査開始直後のパルス信号ＴＷは上記メ
モリ１７に対して書込みパルス信号として印加され、走
査終了直後のパルス信号ＴＰは上記カウンタ１１にプリ
セット信号として印加される。
期して、走査開始直後に・−発のパルス信号ＴＷが出力
されるとともに、走査終了直後に一発のパルス信号ＴＰ
が出力される。歩査開始直後のパルス信号ＴＷは上記メ
モリ１７に対して書込みパルス信号として印加され、走
査終了直後のパルス信号ＴＰは上記カウンタ１１にプリ
セット信号として印加される。
映像信号ＶＳとＤ／Ａ変換器１４の出力信号すとをレベ
ル比較する比較器７の出力信号Ｃが７リツプフＯツブ８
のセット入力側に印加され、上配り０ツク信号Ｄ１がこ
のフリップ７０ツブ８のリセット入力側に印加される。
ル比較する比較器７の出力信号Ｃが７リツプフＯツブ８
のセット入力側に印加され、上配り０ツク信号Ｄ１がこ
のフリップ７０ツブ８のリセット入力側に印加される。
これにより、映像信号ｖＳ中のある絵素パルスのレベル
が信号すのレベルより大きい場合、第７図Ｃに示すよう
に比較器７からパルス信号が生じ、この信号によってフ
リップ７０ツブ８がセットされる。逆に映像信号ｖＳ中
のある絵素パルスのレベルが信号すより低い場合、比較
器７の出力信号ＣはＬレベルのままで、フリップ７０ツ
ブ８はクロック信号Ｔ１によってリセットされたままと
なる。フリップ７０ツ１８のセット出力Ｑはアントゲ−
１−９に印加され、リセット出力◇はアンドゲート１０
に入力される。
が信号すのレベルより大きい場合、第７図Ｃに示すよう
に比較器７からパルス信号が生じ、この信号によってフ
リップ７０ツブ８がセットされる。逆に映像信号ｖＳ中
のある絵素パルスのレベルが信号すより低い場合、比較
器７の出力信号ＣはＬレベルのままで、フリップ７０ツ
ブ８はクロック信号Ｔ１によってリセットされたままと
なる。フリップ７０ツ１８のセット出力Ｑはアントゲ−
１−９に印加され、リセット出力◇はアンドゲート１０
に入力される。
２つのアンドグー１−〇、１０にはタイミング回路１３
からの上記クロック信号＃Ｔ２が入力される１、そして
、アンドゲート９の出力信８がカウンタ１１のアップカ
ウント入力となり、アンドゲート１０の出力信号がカウ
ンタ１１のダウンカラン（・入力となる。、１記の構成
において、映像仁弓ＶＳ中の各絵素パルスのレベルがｒ
） 、’ Ａ ３６換ａｌ／１の出力信号すより大きい
と、そのような絵素パルスが発生する麿にフリップフロ
ップ８がセラ１〜され、その度にアンドゲート９からパ
ルス信号ＩＪ Ｐが出力され、イの度にカウンタ１１が
１づつアップカウントされる。そのため、カウンタ１１
の出ノｌ庖アナログ変換してなる信号すのレベルも増加
１、） しでいく。−上記とは逆に映像信号ｖＳ中の絵素パルス
のレベルが信号すより低い場合、フリップ７０ツブ８が
リセットされたままとなり、その状態でクロツタ信＠Ｔ
２が発生するため、このようなレベルの低い絵素パルス
が発生する麿にアンドゲート１０からパルス信号ＤＷが
出力され、その麿にカウンタ１１が１づつダウンカウン
トされる。
からの上記クロック信号＃Ｔ２が入力される１、そして
、アンドゲート９の出力信８がカウンタ１１のアップカ
ウント入力となり、アンドゲート１０の出力信号がカウ
ンタ１１のダウンカラン（・入力となる。、１記の構成
において、映像仁弓ＶＳ中の各絵素パルスのレベルがｒ
） 、’ Ａ ３６換ａｌ／１の出力信号すより大きい
と、そのような絵素パルスが発生する麿にフリップフロ
ップ８がセラ１〜され、その度にアンドゲート９からパ
ルス信号ＩＪ Ｐが出力され、イの度にカウンタ１１が
１づつアップカウントされる。そのため、カウンタ１１
の出ノｌ庖アナログ変換してなる信号すのレベルも増加
１、） しでいく。−上記とは逆に映像信号ｖＳ中の絵素パルス
のレベルが信号すより低い場合、フリップ７０ツブ８が
リセットされたままとなり、その状態でクロツタ信＠Ｔ
２が発生するため、このようなレベルの低い絵素パルス
が発生する麿にアンドゲート１０からパルス信号ＤＷが
出力され、その麿にカウンタ１１が１づつダウンカウン
トされる。
その結果、カウンタ１１の出力をアナログ変換してなる
信号すのレベルも減少する。
信号すのレベルも減少する。
上記のようにして、映像信号ＶＳのレベルが信号すより
大きければ信号すのレベルが増加させられ、逆に信号す
より映像信号ＶＳのレベルが小さければｔｒ、＠ｂのレ
ベルが減少させられる。この結果、Ｄ／Ａ変換器１４の
出力信号すは映像信号■Ｓの包絡線信号に略等しくなる
。
大きければ信号すのレベルが増加させられ、逆に信号す
より映像信号ＶＳのレベルが小さければｔｒ、＠ｂのレ
ベルが減少させられる。この結果、Ｄ／Ａ変換器１４の
出力信号すは映像信号■Ｓの包絡線信号に略等しくなる
。
また、撮像素子５による走査開始直後にタイミング回路
１３から書込みパルスＴＷが出力され、これによってそ
の時点のカウント１１のデジタル計数出力がメモリ１７
に記憶される。また、囲体素子５による各走査の終了直
後にタイミング回路１３からプリセットパルスＴＰが出
力され、これによってメモリ１７に記憶されているデー
タがカウンタ１１にプリセットされ、次の走査時にこの
プリセットされたデータを初期伯とし、１述した、Ｊう
な包Ｍ線信号を作る回路動作が行われる。
１３から書込みパルスＴＷが出力され、これによってそ
の時点のカウント１１のデジタル計数出力がメモリ１７
に記憶される。また、囲体素子５による各走査の終了直
後にタイミング回路１３からプリセットパルスＴＰが出
力され、これによってメモリ１７に記憶されているデー
タがカウンタ１１にプリセットされ、次の走査時にこの
プリセットされたデータを初期伯とし、１述した、Ｊう
な包Ｍ線信号を作る回路動作が行われる。
１配のようにして各走査冒頭部分の映像祖号のレベルを
基準にして、その変動に追従した包Ｍ線信シシの作成動
作が行われる。ぞの結果、第８図に示１ように、映像信
号ｖＳの地合レベルが走査量７Ｂ２から走査終了に向け
て一定の傾きを有している場合（ａ）、（ｂ）であって
も、従来のように走−１冒頭部分にてしきい値信号８１
−１が映像信号ＶＳ（、ニクロスしたりあるいは逆に大
きく掛離れたりしく誤弁別を生じてしまうことがなくな
る。同図（Ｃ）のように映像信号ｖＳのレベルが大ぎく
変化した場合でも、同様にしきい値１８号Ｓ Ｈがこれ
に追従し、誤弁別を生じることがない。また、メ［す１
７へのデジタルデータの書込みおよびイの”ｉ″ジタル
データカウンタ１１へのプリセラ！・は一時にして行わ
れるので、同図（Ｃ）に示した１うにブランク期１１８
Ｌが極端に短くなっても回答問題は生じない。
基準にして、その変動に追従した包Ｍ線信シシの作成動
作が行われる。ぞの結果、第８図に示１ように、映像信
号ｖＳの地合レベルが走査量７Ｂ２から走査終了に向け
て一定の傾きを有している場合（ａ）、（ｂ）であって
も、従来のように走−１冒頭部分にてしきい値信号８１
−１が映像信号ＶＳ（、ニクロスしたりあるいは逆に大
きく掛離れたりしく誤弁別を生じてしまうことがなくな
る。同図（Ｃ）のように映像信号ｖＳのレベルが大ぎく
変化した場合でも、同様にしきい値１８号Ｓ Ｈがこれ
に追従し、誤弁別を生じることがない。また、メ［す１
７へのデジタルデータの書込みおよびイの”ｉ″ジタル
データカウンタ１１へのプリセラ！・は一時にして行わ
れるので、同図（Ｃ）に示した１うにブランク期１１８
Ｌが極端に短くなっても回答問題は生じない。
なお、上記の実施例では＊像信号■Ｓの地合レベルＥよ
りレベルが大きくなる欠点信号の弁別について説明した
が、地合レベルＥよりレベルが下がる欠点信号の弁別に
ついても上記と同様であることは言うまでもない。
りレベルが大きくなる欠点信号の弁別について説明した
が、地合レベルＥよりレベルが下がる欠点信号の弁別に
ついても上記と同様であることは言うまでもない。
以上詳細に説明したように、この発明に係る欠点検出装
置にあっては、コンデンサを含む積分回路によって映像
信号の地合レベル変動に追従した包格縮信号得るのでは
なくて、アップダウンカウンタによってデジタル的に映
像信号の地合レベル信号に追従したデータを得、これを
Ｄ／Ａ変換して包格線信号を得るようにし、かつ、走査
開始直後のカウンタの出力をメモリに記憶し、その記憶
データを走査終了後のブランクｍ門にて上記カウンタに
プリセットするようにしているので、種々の要因によっ
て生ずる映像信号の低周波数のレベル変動に全く影響さ
れず、極めて高精度な欠点弁別が行なえるようになる。
置にあっては、コンデンサを含む積分回路によって映像
信号の地合レベル変動に追従した包格縮信号得るのでは
なくて、アップダウンカウンタによってデジタル的に映
像信号の地合レベル信号に追従したデータを得、これを
Ｄ／Ａ変換して包格線信号を得るようにし、かつ、走査
開始直後のカウンタの出力をメモリに記憶し、その記憶
データを走査終了後のブランクｍ門にて上記カウンタに
プリセットするようにしているので、種々の要因によっ
て生ずる映像信号の低周波数のレベル変動に全く影響さ
れず、極めて高精度な欠点弁別が行なえるようになる。
第１図は欠点検出装置の概要の説明図、第２図は映像信
号の波形例を示す図、第３図は従来のしきい値信号を１
！するための回路の要部を示１図、第４図および第５図
【、１従来の問題肖を示・１波形図。 第６図は本発明による欠点検出装置の 実施例の１１１
ツク図、第７図および第８図は第６図に小寸本発明の装
置の各部の波形を示寸図である。 １ｊ・・・・・・・・鯖像索Ｙ ７・・・・・・・・・比較器 １１・・・・・・）１ツノ゛グウンカウンタ１／′ｌ・
・・・・・ｒ）／Δ変換器 １Ｇ・・・・・・欠自弁別用比鴨器 １７・・・・・・メモリ ＼ｌＳ・・・・・・映像（呵；号 Ｓｉｔ・・・・・・しきいＩｆ百、１２］ＯＵ １’・
・・・・・欠点弁別１１．？号笛１図 症、２図 第３図 ）。
号の波形例を示す図、第３図は従来のしきい値信号を１
！するための回路の要部を示１図、第４図および第５図
【、１従来の問題肖を示・１波形図。 第６図は本発明による欠点検出装置の 実施例の１１１
ツク図、第７図および第８図は第６図に小寸本発明の装
置の各部の波形を示寸図である。 １ｊ・・・・・・・・鯖像索Ｙ ７・・・・・・・・・比較器 １１・・・・・・）１ツノ゛グウンカウンタ１／′ｌ・
・・・・・ｒ）／Δ変換器 １Ｇ・・・・・・欠自弁別用比鴨器 １７・・・・・・メモリ ＼ｌＳ・・・・・・映像（呵；号 Ｓｉｔ・・・・・・しきいＩｆ百、１２］ＯＵ １’・
・・・・・欠点弁別１１．？号笛１図 症、２図 第３図 ）。
Claims (1)
- （１） 被検査面を１１１１１手段により光電的に走り
し、得られる１Ｍ！ｆ！１１信号と適宜なしきい姶信号
とを欠り、ｊ弁別用比較器にてレベル比較することによ
り、被検査面の欠点を検出する装置であって、アップタ
ウンカウンタと、このカウンタのデジタルｔｌ数出１）
を記憶するためのメモリと４１．記カウンタのＹジタル
計数出力をアナログ信号に変換１ろｌ） −／へ変換器
と、このＤ／ＡＩ！！に器の出力信号すと］二記映１１
！信ｇａのレベル比較を覆る比較器と、ト配優隆手段の
走査期間中に上記カウンタを上記比較器の出力に応じて
ａ＞ｂのときは所定速喧でｊシラｌ“カウントさせると
ともに、ａ、＜ｂのときは所定、速−１ａ’（−ダウン
カウントさせるアップダウンｖ１一手段と、上記１［手
段による各走査の開始直後に土。−カウンタの出力を［
記メモ・りに記憶させる記憶りｆミンク制御手綾と、上
記Ｉｌ像手段による各走査間のブランク期間中に上記メ
モリの記憶データを上記カウンタにプリセラ１−させる
プリセットタイミング制御手段とを備え、上記Ｄ／ＡＩ
Ｍ器の出力信号を適宜に増幅または減衰またはレベルシ
フトすることによって上記しきい値信号を（ワることを
特徴とする欠点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16185981A JPS5862548A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 欠点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16185981A JPS5862548A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 欠点検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5862548A true JPS5862548A (ja) | 1983-04-14 |
| JPH0350217B2 JPH0350217B2 (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=15743308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16185981A Granted JPS5862548A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | 欠点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5862548A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4732662B2 (ja) * | 2000-04-06 | 2011-07-27 | セイコーインスツル株式会社 | 電子時計の電池保持構造 |
-
1981
- 1981-10-09 JP JP16185981A patent/JPS5862548A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4732662B2 (ja) * | 2000-04-06 | 2011-07-27 | セイコーインスツル株式会社 | 電子時計の電池保持構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0350217B2 (ja) | 1991-08-01 |
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