JPH0325741B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0325741B2
JPH0325741B2 JP15718981A JP15718981A JPH0325741B2 JP H0325741 B2 JPH0325741 B2 JP H0325741B2 JP 15718981 A JP15718981 A JP 15718981A JP 15718981 A JP15718981 A JP 15718981A JP H0325741 B2 JPH0325741 B2 JP H0325741B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
level
defect
comparator
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP15718981A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5858448A (ja
Inventor
Kenji Ogino
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Priority to JP15718981A priority Critical patent/JPS5858448A/ja
Publication of JPS5858448A publication Critical patent/JPS5858448A/ja
Publication of JPH0325741B2 publication Critical patent/JPH0325741B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/93Detection standards; Calibrating baseline adjustment, drift correction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、シート物等の被検査面を撮像手段
により光電的に走査して欠点を検出する欠点検出
回路に関する。
例えば第1図に示すように、撮像装置1と光源
2との間に紙やフイルム等のシート状の被検査物
3を配し、透過光式に被検査物3を走査し、ピン
ホール4の如き欠点を検出する場合、基本的に次
のような信号処理をなう。
上記撮像装置1がCCD(電荷結合素子)等の半
導体イメージセンサを用いて構成される場合、そ
の映像信号は第2図に例示するように高周波パル
スの形で出力される。この波形図は1走査分の映
像信号VSを示しており、Eは被検査物3の正常
部分の明るさに対応した地合レベルであり、この
地合レベルEには周知のように種々の要因により
低周波数の変動が現れる。また、nは被検査物3
のピンホール4に対応する欠点信号で、ピンホー
ル4を通して強い光が撮像装置1に入射するた
め、欠点信号nは地合レベルEより高レベルのパ
ルス状の信号となる。
この欠点信号nを弁別するために、映像信号
VSを適宜なしきい値で2値化する訳だが、浮動
2値化として良く知られているように、映像信号
VSを適宜に積分するとともに適宜にレベルシフ
トすることにより、映像信号VS中の地合レベル
Eの変動に追従するしきい値信号SHを作り、こ
れで2値化を行なつている。第3図はしきい値信
号SHを得る回路の要部である上記積分回路の具
体例である。この回路において、映像信号VSが
ダイオードDのカソード側に印加され、映像信号
VSの瞬時電圧がコンデンサCの充電電圧Vc(こ
の回路の出力電圧である)以上のとき、ダイオー
ドDおよび抵抗R1を通してコンデンサCへ充電
電流が流れ、映像信号VSの瞬時電圧が電圧Vc以
下のとき、コンデンサCから抵抗R2に放電電流
が流れる。ここで、抵抗R1およびR2を適宜に
選んで、コンデンサCに対する充電経路の時定数
を比較的小さく、放電経路の時定数を比較的大き
く設定すると、出力信号Vcは第2図に示すよう
に地合レベルEの低周波数の変動に追従し、かつ
パルス状の欠点信号nには余り応答しない波形と
なる。この信号Vcを適宜に増幅したり、あるい
は一定電圧を加算することによりレベルシフト
し、地合レベルEより僅かに大きいしきい値信号
SHが得られるのである。
以上が欠点弁別の基本である。ところで、撮像
装置1の出力には周知のように各走査の間で映像
信号がなくなる期間(帰線期間に相当するもの
で、ここではブランク期間と称する)が含まれ
る。このブランク期間において、上記積分回路の
コンデンサCの充電電荷が放電するため、積分出
力Vcは徐々に低下し、しきい値信号SHも低下す
る。このブランク期間でのしきい値の低下による
誤弁別を防ぐ目的で、従来は、第4図に示すよう
にコンデンサCの充放電回路にゲートGを設け、
ブランク期間ではこのゲートGをオフにしてコン
デンサCの充電電圧Vcをブランク期間の直前の
値に保持するようにしている。しかし、この回路
方式にあつても、第5図に示すように映像信号
VSが途絶えるブランク期間が長い場合、コンデ
ンサCの電圧を完全に保持はできず、放電により
電圧Vcは徐々に低下してしまう。従つて、ブラ
ンク期間でのしきい値SHの不要な低下により次
の走査の映像信号の冒頭部分で誤動作が生ずるこ
とを完全に防止することはできなかつた。
また、第2図に示した波形例において、欠点信
号nの幅およびレベルが大きいと、コンデンサC
の充電電圧Vcはその欠点信号nに大きく影響さ
れ、電圧Vcが不必要に上昇してしまい、しきい
値SHが映像信号VSの地合レベルEから大きく離
れてしまい、幅が大きくレベルが大きい欠点信号
nの直後に比較的レベルの小さな欠点があつても
これを検出できないという問題が生じていた。
この発明は上述した従来の問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的は、映像信号の各走査間
のブランク期間に全く影響されず、かつ、映像信
号中の欠点信号のレベルや幅にも影響を受けず、
映像信号の地合レベルに正しく追従するしきい値
が得られ、その結果誤弁別の少い高精度な欠点弁
別が行なえるようにした欠点検出装置を提供する
ことにある。
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
第6図はこの発明に係る欠点検出回路の一実施
例を示すブロツク図であり、第7図および第8図
はこの欠点検出装置の各部の信号波形を示す。
CCDイメージセンサ等からなる撮像手段素子5
は駆動回路12からの制御信号を受けて動作し、
例えば第1図に示した態様で被検査物3上を光電
的に繰り返し走査する。
撮像素子5から出力されて増幅器6にて増幅さ
れた映像信号VSは、欠点弁別用比較器16にお
いて後述のようにして得られるしきい値信号SH
とレベル比較され、これにより2値化された弁別
信号OUTが出力される。この発明に係る欠点検
出装置は、アツプダウンカウンタ11と、このカ
ウンタ11のデジタル計数出力をアナログ信号に
変換するD/A変換器14と、このD/A変換器
14の出力信号bと上記映像信号VSのレベル比
較をする比較器7を有し、上記カウンタ11を、
上記比較器7の出力cに応じてVS>bのときは
所定速度でアツプカウントさせるとともに、VS
<bのときは所定速度でダウンカウントさせ、か
つ、撮像素子5の各走査間のブランク期間および
上記欠点弁別用比較器16によつて欠点が検出さ
れている期間は上記カウンタ11のカウント動作
を禁止するように回路が構成されている。そして
上記D/A変換器14の出力信号bを増幅器15
にて適宜に増幅し、その出力信号をしきい値信号
SHとしている。
実施例について詳述すると、タイミング回路1
3からは、駆動回路12にて作られる撮像素子5
の走査クロツク信号と同期した2相のクロツク信
号T1,T2が出力される。第7図に示すよう
に、クロツク信号T1は、映像信号VS中に含ま
れている各絵素パルスの立下がり直後に発生する
極めて幅の小さいパルス信号であり、またクロツ
ク信号T1は、クロツク信号T2より極く僅かに
遅れて発生するやはり幅の狭いパルス信号であ
る。このクロツク信号T1,T2は撮像素子5の
走査が行われている期間にのみ発生し、各走査間
のブランク期間では発生しない。
映像信号VSとD/A変換器14の出力信号b
とをレベル比較する比較器7の出力信号cがフリ
ツプフロツプ8のセツト入力側に印加され、上記
クロツク信号T1がこのフリツプフロツプ8のリ
セツト入力側に印加される。これにより、映像信
号VS中のある絵素パルスのレベルが出力信号b
のレベルより大きい場合、第7図cに示すように
比較器7からパルス信号が生じ、その信号によつ
てフリツプフロツプ8がセツトされる。逆に、映
像信号VS中のある絵素パルスのレベルが出力信
号bより低い場合、比較器7の出力信号cはLレ
ベルのままで、フリツプフロツプ8はクロツク信
号T1によつてリセツトされたままとなる。フリ
ツプフロツプ8のセツト出力Qはアンドゲート9
に入力され、リセツト出力はアンドゲート10
に入力される。2つのアンドゲート9,10には
それぞれタイミング回路13からの上記クロツク
信号T2と、欠点弁別用比較器16の出力OUT
をインバータ17で反転した信号が入力される。
そして、アンドゲート9の出力信号がカウンタ1
1のアツプカウント入力となり、アンドゲート1
0の出力信号がカウンタ11のダウンカウント入
力となる。
以上の構成において、映像信号VSのレベルが
しきい値信号SHより低い場合(この実施例では
VS>SHとなるのが欠点信号である)、欠点弁別
用比較器16の出力信号OUTはLレベルであり、
従つてこれをインバータ17で反転した信号はH
レベルとなり、これはアンドゲート9,10に印
加される。この状態において、映像信号VS中の
各絵素パルスのレベルがD/A変換器14の出力
信号bより大きいと、そのような絵素パルスが発
生する度にフリツプフロツプ8がセツトされ、そ
の度にアンドゲート9からパルス信号UPが出力
され、その度にカウンタ11が1づつアツプカウ
ントされる。そのため、カウンタ11の出力をア
ナログ変換してなる出力信号bのレベルを増加し
て行く。
上記とは逆に、映像信号VS中の絵素パルスの
レベルが出力信号bより低い場合、フリツプフロ
ツプ8がリセツトされたままとなり、その状態で
クロツク信号T2が発生するため、このようなレ
ベルの低い絵素パルスが発生する度にアンドゲー
ト10からパルス信号DWが出力され、その度に
カウンタ11が1づつダウンカウントされる。そ
の結果、カウンタ11の出力をアナログ変換して
なる出力信号bのレベルも減少する。
上記のようにして、映像信号VSのレベルが信
号bより大きければ信号bのレベルが増加させら
れ、逆に信号bより映像信号VSのレベルが小さ
ければ信号bのレベルが減少させられる。この結
果、D/A変換器14の出力信号bは映像信号
VSの包絡線信号に略等しくなる。ここで注目す
べきことは、タイミング回路13からのクロツク
信号T1,T2は撮像素子5のブランク期間BL
では発生しないため、ブランク期間BLではカウ
ンタ11のカウント動作が禁止されている。従つ
てブランク期間BLでの出力信号bのレベル変化
は全くなく、映像信号VSの終了点のレベルが全
く減ずることなく保持される。この様子を第8図
aに示している。しきい値信号SHはこの出力信
号bに基づいて作られるものであるから、しきい
値SHのブランク期間BLでのレベル減衰も全くな
くなる訳である。
映像信号VS中に欠点信号nが含まれている場
合、これは欠点弁別用比較器16にて検出され、
その欠点信号nに対応して比較器16の出力信号
OUTがHレベルとなる。するとインバータ17
からアンドゲート9,10に印加されている信号
がLレベルとなり、カウンタ11に対するカウン
ト入力が印加されなくなり、そのカウント動作が
禁止されることとなる。すなわち、比較器16に
て欠点信号nが検出されると、カウンタ11のカ
ウント動作が禁止され、信号b(しきい値信号
SH)は変化しなくなり、欠点検出前のレベルに
保持される。従つて第8図bに示すように、映像
信号VS中にレベルおよび幅とも大きな欠点信号
nが含まれていても、それによつてしきい値SH
が不必要に変動させられることはなく、従つてそ
の大きな欠点信号の直後に微少な欠点信号が発生
した場合でも、これを確実に弁別することができ
る。
なお、上記の実施例では映像信号VSの地合レ
ベルEより大きくなる欠点信号の弁別について説
明したが、地合レベルEよりレベルが下がる欠点
信号の弁別についても上記と同様であることは言
うまでもない。
以上詳細に説明したように、この発明に係る欠
点検出装置あつては、コンデンサを含む積分回路
によつて映像信号の地合レベル変動に追従した包
絡線信号を得るのではなくて、アツプダウンカウ
ンタによつてデジタル的に映像信号の地合レベル
に追従したデータを得、これをD/A変換して包
絡線信号を得るようにし、かつこのカウンタのカ
ウント動作をブランク期間と欠点検出期間では禁
止するようにしているので、ブランク期間および
欠点検出期間での不必要で有害なしきい値の変動
がなくなり、正確な欠点検出が行なえる。
【図面の簡単な説明】
第1図は欠点検出装置の概要の説明図、第2図
は映像信号の波形例を示す図、第3図は従来のし
きい値信号を得るための回路の要部を示す図、第
4図は従来のブランク期間にてしきい値レベルを
保持するための回路の要部を示す図、第5図は第
4図の回路の問題点を示す波形図、第6図は本発
明による欠点検出装置の一実施例のブロツク図、
第7図および第8図は第6図に示す本発明の装置
の各部の波形を示す図である。 5……撮像素子、7……比較器、11……アツ
プダウンカウンタ、14……D/A変換器、16
……欠点弁別用比較器、VS……映像信号、SH…
…しきい値信号、OUT……欠点弁別信号。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 検査対象物の被検査面を撮像手段により光電
    的に走査し、そうして得られる映像信号と適宜な
    しきい値信号とを欠点弁別用比較器にてレベル比
    較することにより上記検査対象物の被検査面の欠
    点を検出する装置であつて、 アツプダウンカウンタと、 このカウンタのデジタル計数出力をアナログ信
    号に変換するD/A変換器と、 このD/A変換器の出力信号と上記映像信号の
    レベルを比較する比較器と、 上記比較器の出力信号に応じてカウントし、か
    つ、上記撮像手段の走査間のブランク期間および
    欠点弁別用比較器によつて欠点が検出されている
    期間はカウント動作を禁止するカウンタ制御手段
    と、 上記D/A変換器の出力信号を適宜に増幅また
    は減衰またはレベルシフトすることにより上記し
    きい値信号を設定するしきい値設定手段と、 を備えていることを特徴とする欠点検出回路。
JP15718981A 1981-10-02 1981-10-02 欠点検出回路 Granted JPS5858448A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15718981A JPS5858448A (ja) 1981-10-02 1981-10-02 欠点検出回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15718981A JPS5858448A (ja) 1981-10-02 1981-10-02 欠点検出回路

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5858448A JPS5858448A (ja) 1983-04-07
JPH0325741B2 true JPH0325741B2 (ja) 1991-04-08

Family

ID=15644140

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15718981A Granted JPS5858448A (ja) 1981-10-02 1981-10-02 欠点検出回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5858448A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5858448A (ja) 1983-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0675345B1 (en) Device and method for receiving light used in ccd image sensor or the like
US4916307A (en) Light intensity detecting circuit with dark current compensation
US4622596A (en) Image pickup apparatus
US4801788A (en) Bar code scanner for a video signal which has a shading waveform
US4612454A (en) Method for controlling signal integration time of a signal integration type image sensing device
JPS6243590B2 (ja)
JPH0325741B2 (ja)
US4277803A (en) Automatic product checking system
CA1165432A (en) Digital measurement system for automatically focusing a television camera
JP3008621B2 (ja) 放射線測定装置
JPH0346871B2 (ja)
JPH0350217B2 (ja)
US3813487A (en) Detection devices for image analysis systems
JPS6212997Y2 (ja)
CA2063070C (en) White level detection circuit for an optical image reader
JPH0350216B2 (ja)
JPH0153827B2 (ja)
JP2781387B2 (ja) 測距装置
JPS6224989B2 (ja)
JPS6019872B2 (ja) 欠点検査装置
JPS61144615A (ja) 自動焦点検出装置
US20230370743A1 (en) Image sensor and image sensing method
JPS598474A (ja) アナログ信号2値化装置
JPS6219965Y2 (ja)
JPH0317508Y2 (ja)