JPS5856870A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS5856870A JPS5856870A JP15502081A JP15502081A JPS5856870A JP S5856870 A JPS5856870 A JP S5856870A JP 15502081 A JP15502081 A JP 15502081A JP 15502081 A JP15502081 A JP 15502081A JP S5856870 A JPS5856870 A JP S5856870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- pressure chamber
- paths
- path
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
インク室間に流体ダイオードを組み込んだインクジェッ
ト記録ヘッドに関する。
ト記録ヘッドに関する。
第１１図は従来の多層板方式によるインクジェット記録
ヘッドを示す＃面図である。
ヘッドを示す＃面図である。
従来、インクジェット記録ヘッド１にはインク流路３を
平面的に構成した平面方式のものと、第１１図に示すよ
うに、積層，１１２．２Ａ、２Ｂを積層することによシ
インク流路３をノズル１０ａと共通イｙりｗＬ＠間で立
体的に屈曲させた多層板方式のものが知られていた。平
面方式の場合には、インク流路中にカブス形ダイオード
やデスラー形ダイオード郷の流体ダイオードを平面的に
形成し、インクの粒子化周波数を向上させ、かつインク
の粒子化に際してエネルギを効率的に利用せんとする提
案がなされている（特開昭５４−１４８５３１）。しか
し、多層板方式を用いた場合、インク流路３が積層板２
１ｖｌを貫通する形で立体的に屈曲形成されるために〜
流体ダイオードを平面的に形成することは技術的及び工
程的に極めて困難力ものがあり、粒子化周波数の向上等
のために多層板方式の記録ヘッドＩＫどのように流体ダ
イオードを組込むかか大きな課題となってい良。
平面的に構成した平面方式のものと、第１１図に示すよ
うに、積層，１１２．２Ａ、２Ｂを積層することによシ
インク流路３をノズル１０ａと共通イｙりｗＬ＠間で立
体的に屈曲させた多層板方式のものが知られていた。平
面方式の場合には、インク流路中にカブス形ダイオード
やデスラー形ダイオード郷の流体ダイオードを平面的に
形成し、インクの粒子化周波数を向上させ、かつインク
の粒子化に際してエネルギを効率的に利用せんとする提
案がなされている（特開昭５４−１４８５３１）。しか
し、多層板方式を用いた場合、インク流路３が積層板２
１ｖｌを貫通する形で立体的に屈曲形成されるために〜
流体ダイオードを平面的に形成することは技術的及び工
程的に極めて困難力ものがあり、粒子化周波数の向上等
のために多層板方式の記録ヘッドＩＫどのように流体ダ
イオードを組込むかか大きな課題となってい良。
本発明は、上記事情に鑑み、インク流路の圧力室と導通
路間及び圧力室と供給路間ＫｆＩＬ体ダイオードを電圧
力室内のインクは導通路方向へ供給路内のインクは圧力
室内へのみ流れ得るように、積層板を貫通する形で設け
て構成したインクジェット記録ヘッドを提供することを
目的とするものである。
路間及び圧力室と供給路間ＫｆＩＬ体ダイオードを電圧
力室内のインクは導通路方向へ供給路内のインクは圧力
室内へのみ流れ得るように、積層板を貫通する形で設け
て構成したインクジェット記録ヘッドを提供することを
目的とするものである。
以下、図面に示す実施例に基き、本発明を具体的に説明
する。
する。
第１図は本発明によるインクジェット記録ヘッドの一実
施例で、（ＩＬ）は正面図、（１））は１Ｉｉｉｌｉ図
、第２図は第１図の１−１面による断面図、第３図は圧
力室と導通路間を接続する流体ダイオードの一例を示す
拡大図で、（ａ）は正面図、（１））は平面図、第４図
は圧力室と供給路間を接続する流体ダイオードの一例を
示す拡大図で、（ＩＬ）は正面図、（ｂ）は平面図、第
５図及び第７図＃ｉ第３図に示す流体ダイオードの動作
を示す図で、（１）は平面図、（ｂ）は正面図、第６図
及び第８図は１４４図に示す流体ダイオードの動作を示
す図で、（１）は平面図、（ｂ）は正面図、第９図及び
第１０図は本発明の他の実施例を示す図で、（＆）は正
面図％（１））０平面図である。
施例で、（ＩＬ）は正面図、（１））は１Ｉｉｉｌｉ図
、第２図は第１図の１−１面による断面図、第３図は圧
力室と導通路間を接続する流体ダイオードの一例を示す
拡大図で、（ａ）は正面図、（１））は平面図、第４図
は圧力室と供給路間を接続する流体ダイオードの一例を
示す拡大図で、（ＩＬ）は正面図、（ｂ）は平面図、第
５図及び第７図＃ｉ第３図に示す流体ダイオードの動作
を示す図で、（１）は平面図、（ｂ）は正面図、第６図
及び第８図は１４４図に示す流体ダイオードの動作を示
す図で、（１）は平面図、（ｂ）は正面図、第９図及び
第１０図は本発明の他の実施例を示す図で、（＆）は正
面図％（１））０平面図である。
インクジェット記録ヘッド１は第１図及び第２図に示す
ように、多数のスデンレスの積層板２．２人及び２Ｂが
積層された本体９を有しており、各積層板２はそれぞれ
適宜な形に打ち抜かれ、積層された全体的に形として、
インク供給口６ａの穿設された共通インク室６及び複数
本のインク流路３を形成している。共通インク室Ｓ及び
インク流路３にはインクが充填されておシ、本体９、即
ちインク流路３０第２図左端には各流路３に対応して形
成された複数のノズル１０ａを南するノズル板１０が装
着されている。各インク流路３は積層板２藺を図中上下
に屈曲した形で形成されており、図中最上部又は蟻下部
の積層板２Ａ、２ＢＣ）直下又は直上には圧力室１１が
各流路毎に形成されている。なお、圧力室１１とノズル
ｔｏａｒ＆ｉ１の流路３社圧力室１１内のインクをノズ
ル１０ａへ導く導通＃６１２となっており、圧力室１１
と共通インク１１６間は共通インクｌ［ａ内のインクを
圧力１１１１へ供給する供給路１３となっている。１１
た、各流路３の圧力室１１と導通路１２間及び圧力ｉ！
１１と供給路１３間にはうす形の流体ダイオード１６人
、１６Ｂが、積層板２を貫通する形で立体的に設けられ
ており、各ダイオード１６Ａ、１６Ｂは、第３図及び第
４図に示すようにバッファ１６ｄ１うず１ｉ１ｓａ及び
それ岬を遅過する連絡路１１１ｆを有している。連絡路
１８ｆのうずｆａｌｌ ＠ ６へ０ＮＣＩ １６ ｇｔ
ｉ円形（Ｄ５ｆｌ［１＠ ｅの外周接線方向に形成され
ておシ、うす室ｌｉｅの中央ＩＢＫは穴１６ｈが形成さ
れている。また、ダイオード１＠ＡＦｉバツフア１８ｄ
ｌｉｌｉ路１２と接続しておシ、ダイオード１６ＢＵバ
ツフ７１６ｄが圧力室１１と接続している。更に、積層
板２Ａ、２Ｂの各圧力室１１と対向した位置には駆動手
段である圧電素子１５が設けられている。
ように、多数のスデンレスの積層板２．２人及び２Ｂが
積層された本体９を有しており、各積層板２はそれぞれ
適宜な形に打ち抜かれ、積層された全体的に形として、
インク供給口６ａの穿設された共通インク室６及び複数
本のインク流路３を形成している。共通インク室Ｓ及び
インク流路３にはインクが充填されておシ、本体９、即
ちインク流路３０第２図左端には各流路３に対応して形
成された複数のノズル１０ａを南するノズル板１０が装
着されている。各インク流路３は積層板２藺を図中上下
に屈曲した形で形成されており、図中最上部又は蟻下部
の積層板２Ａ、２ＢＣ）直下又は直上には圧力室１１が
各流路毎に形成されている。なお、圧力室１１とノズル
ｔｏａｒ＆ｉ１の流路３社圧力室１１内のインクをノズ
ル１０ａへ導く導通＃６１２となっており、圧力室１１
と共通インク１１６間は共通インクｌ［ａ内のインクを
圧力１１１１へ供給する供給路１３となっている。１１
た、各流路３の圧力室１１と導通路１２間及び圧力ｉ！
１１と供給路１３間にはうす形の流体ダイオード１６人
、１６Ｂが、積層板２を貫通する形で立体的に設けられ
ており、各ダイオード１６Ａ、１６Ｂは、第３図及び第
４図に示すようにバッファ１６ｄ１うず１ｉ１ｓａ及び
それ岬を遅過する連絡路１１１ｆを有している。連絡路
１８ｆのうずｆａｌｌ ＠ ６へ０ＮＣＩ １６ ｇｔ
ｉ円形（Ｄ５ｆｌ［１＠ ｅの外周接線方向に形成され
ておシ、うす室ｌｉｅの中央ＩＢＫは穴１６ｈが形成さ
れている。また、ダイオード１＠ＡＦｉバツフア１８ｄ
ｌｉｌｉ路１２と接続しておシ、ダイオード１６ＢＵバ
ツフ７１６ｄが圧力室１１と接続している。更に、積層
板２Ａ、２Ｂの各圧力室１１と対向した位置には駆動手
段である圧電素子１５が設けられている。
本発明は、以上のよう力構成を有するので、インクジェ
ット記録ヘッド１を用いズ、印字を行なう場合には、イ
ンクを噴射すべきノズル１０１に対応したインク流路３
の圧力室１１上の圧電素子１５に電圧を印加する。する
と、圧電素子１５は、積層板２Ａ、２Ｂを介して圧力室
１１内のイ／りを加圧する方向に撓みを生じ、インクは
導通路１２及び供給路１３方向に流動を開始する。導通
路１２方向に流動したインク１９は、流体ダイオード１
６Ａの穴１６ｈからうず室１６ａ内に、第５ＦｉＡに示
すように流入し、更に連絡路１６ｆ１バッファ１６ｄｔ
通って供給路１２中に流入し、ノズル１０＆から所定の
大きさのインク粒子となって噴射される。仁の際、ダイ
オード１６人中には、圧力室１１からのインク１９の流
れを防書するうすが発生することがないので、インク１
９はノズル１０ａ方向へ円滑に供給される。−万、供ｌ
Ｉ！１絡１ｓ方向に流動したインク１９は、ダイオード
１１ｉＢＯバツフアｌａｄから、第６図に示すように遅
ＭＭ１８ｆｌｉ通ってうず寵１１１ｅ内に流入する。連
絡路１６ｆは既に述べたように、その開口１９ｇがうす
室１６６の外周接線方向に形成されているので、イｙり
１ｌＩＩｉうず室１８ｅ内でうず１９＆を生じ、連絡路
１１１ｆからうず璽１１ｉｅへ流入するインク１＠に対
する流体抵抗は極めて大きくなる。従って、穴１・ｈを
介して供給路１３側へインク１９は殆ど流れることは彦
＜、圧力室１１内のインク１ｓの共通インク室６への逆
流は阻止され、圧電素子１５の変形によってインク１９
に与えられ九運動エネルギは全てノズル１０亀からのイ
ンク１ｓの粒子化の九めに有効に用いられる。インク１
１の噴射が終了すると、圧電素子１５への電圧の印加を
止め、素子１５の撓みを戻す。すると、圧力室１１内の
圧力は低下し、導通路１２及び供給路１３からインク１
ｓが圧力室１１内に流れ込もうとする。
ット記録ヘッド１を用いズ、印字を行なう場合には、イ
ンクを噴射すべきノズル１０１に対応したインク流路３
の圧力室１１上の圧電素子１５に電圧を印加する。する
と、圧電素子１５は、積層板２Ａ、２Ｂを介して圧力室
１１内のイ／りを加圧する方向に撓みを生じ、インクは
導通路１２及び供給路１３方向に流動を開始する。導通
路１２方向に流動したインク１９は、流体ダイオード１
６Ａの穴１６ｈからうず室１６ａ内に、第５ＦｉＡに示
すように流入し、更に連絡路１６ｆ１バッファ１６ｄｔ
通って供給路１２中に流入し、ノズル１０＆から所定の
大きさのインク粒子となって噴射される。仁の際、ダイ
オード１６人中には、圧力室１１からのインク１９の流
れを防書するうすが発生することがないので、インク１
９はノズル１０ａ方向へ円滑に供給される。−万、供ｌ
Ｉ！１絡１ｓ方向に流動したインク１９は、ダイオード
１１ｉＢＯバツフアｌａｄから、第６図に示すように遅
ＭＭ１８ｆｌｉ通ってうず寵１１１ｅ内に流入する。連
絡路１６ｆは既に述べたように、その開口１９ｇがうす
室１６６の外周接線方向に形成されているので、イｙり
１ｌＩＩｉうず室１８ｅ内でうず１９＆を生じ、連絡路
１１１ｆからうず璽１１ｉｅへ流入するインク１＠に対
する流体抵抗は極めて大きくなる。従って、穴１・ｈを
介して供給路１３側へインク１９は殆ど流れることは彦
＜、圧力室１１内のインク１ｓの共通インク室６への逆
流は阻止され、圧電素子１５の変形によってインク１９
に与えられ九運動エネルギは全てノズル１０亀からのイ
ンク１ｓの粒子化の九めに有効に用いられる。インク１
１の噴射が終了すると、圧電素子１５への電圧の印加を
止め、素子１５の撓みを戻す。すると、圧力室１１内の
圧力は低下し、導通路１２及び供給路１３からインク１
ｓが圧力室１１内に流れ込もうとする。
しかし、導通路１２から流入せんとするインク１９は、
第７図に示すように、ダイオード１６人のバッファｌａ
ｄから連絡路１８ｆを出たところのうず室１６＠でうず
１ｌｉａｔ−生じ、圧力室１１内への流入は阻止され、
供給路１３、従って共通インク８１１６からのインク１
ｓは逆に、第８図に示すように、大１１ｔｈからうす室
１６ｃ。
第７図に示すように、ダイオード１６人のバッファｌａ
ｄから連絡路１８ｆを出たところのうず室１６＠でうず
１ｌｉａｔ−生じ、圧力室１１内への流入は阻止され、
供給路１３、従って共通インク８１１６からのインク１
ｓは逆に、第８図に示すように、大１１ｔｈからうす室
１６ｃ。
連絡路１１１ｆ郷を介して円滑に圧力室１１内に流入し
、圧力室１１には、ノズル１０ａからの噴射によって失
なわれた量に相当する量のインク１ｓがインクｉ１６か
ら供給される。また、導通路１２内のインク１＠は圧力
室１１方向へ流れることが殆んどないので、ノズル１０
ａから空気を導通路１２内に引き込むことがなくなシ、
次のインク噴射を安定した形で行なうことができる。ま
た、インク１８の導通路１２からの流入が阻止されるこ
とから、圧電素子１５の撓みの復元に伴なってインク１
９に与えられる運動エネルギは全てインクｉｉｓかも圧
力室１１へのインク１９の供給用に供され、短時間でイ
ンク１９の供給が完了し、粒子化周波数の向上に寄与す
ることができる。
、圧力室１１には、ノズル１０ａからの噴射によって失
なわれた量に相当する量のインク１ｓがインクｉ１６か
ら供給される。また、導通路１２内のインク１＠は圧力
室１１方向へ流れることが殆んどないので、ノズル１０
ａから空気を導通路１２内に引き込むことがなくなシ、
次のインク噴射を安定した形で行なうことができる。ま
た、インク１８の導通路１２からの流入が阻止されるこ
とから、圧電素子１５の撓みの復元に伴なってインク１
９に与えられる運動エネルギは全てインクｉｉｓかも圧
力室１１へのインク１９の供給用に供され、短時間でイ
ンク１９の供給が完了し、粒子化周波数の向上に寄与す
ることができる。
なお、上述の実施例は、第３図及び第４図に示すように
、流体ダイオード１ ＠Ａ、 １ ＠ＢＯうず富１・ｅ
及びバッファ１・ｄを、圧力室１１及び導通路１２、供
給路１３関に、圧力室１１、導通路１宜、供給路１３を
形成する積層＠２と祉別Ｏ積層叡２を用いて形成した場
合について述べたが、第９図及び第１０ＩＩＫ示すよう
に、バッファ１・ｄ及びうず１ｉ１−６を導通路１２（
ダイオード１６人の場合）及び圧力室１１（ダイオード
１１Ｂの場合）を形成する積層板２で共用させ、全体の
積層板２０枚数を減らし、少ない積層枚数でヘッド１を
構成させることも当然可能である。
、流体ダイオード１ ＠Ａ、 １ ＠ＢＯうず富１・ｅ
及びバッファ１・ｄを、圧力室１１及び導通路１２、供
給路１３関に、圧力室１１、導通路１宜、供給路１３を
形成する積層＠２と祉別Ｏ積層叡２を用いて形成した場
合について述べたが、第９図及び第１０ＩＩＫ示すよう
に、バッファ１・ｄ及びうず１ｉ１−６を導通路１２（
ダイオード１６人の場合）及び圧力室１１（ダイオード
１１Ｂの場合）を形成する積層板２で共用させ、全体の
積層板２０枚数を減らし、少ない積層枚数でヘッド１を
構成させることも当然可能である。
以上説明し友ように、本発明によれば、多層板方式のイ
ンクジェット記録ヘッド１への流体ダイオードの組込み
が可能となり、インク１−の粒子化周波数の向上及び粒
子化に際してエネルギを効率的に利用することができる
。
ンクジェット記録ヘッド１への流体ダイオードの組込み
が可能となり、インク１−の粒子化周波数の向上及び粒
子化に際してエネルギを効率的に利用することができる
。
第１図は本発明によるインクジェット記録ヘッドの一爽
施例で、（−）は正面図％ （１１）は儒顛図、＃Ｉ２
図はｇｔ図０１−１關によゐ断面図、第３図は圧力室と
導通路間を接続する流体ダイオードの一例を示す拡大図
で、（１）は正面図、（１）） ｔｊ平面図、第４図は
圧力室と供給路間を接続する流体ダイオードの一例を示
す拡大図で、（ａ） Ｆｉ正面図、（ｂ） Ｆｉ平面図
、＃Ｉｂ図及び第７図は第３図に示す流体ダイオードの
動作を示す図で、（ＩＬ）は平面図、（ｔ）） Ｆ′ｉ
正面図、第６図及び第８図は第４図に示す流体ダイオー
ドの動作を示す図で、（１）は平面図、（ｂ）ｉｔ正面
図、第９図及び第１θ図は本発明の他の実施例を示す図
で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、第１１図は従来
の多層板方式によるインクジェット記録ヘッドを示す断
面図である。 １・・・・・・インクジェット記録ヘッド２．２人、２
Ｂ・・・・・・積層板 ３・・・・・・インク流路 １０＆・・・・・・ノズル １１・・・・・・圧力室 １２・・・・・・導通路 １３・・・・・・供給路 １５・・・・・・駆動手段（圧電素子）１６Ａ、ｌ＠Ｂ
−・・−流体ダイオード１９・・・・・・インク 第２図 第４図 第３図 第５図 第６図 第７図 （ａ） １６Ａ 第８図 第９図 第１０図 （１）） 第１１図
施例で、（−）は正面図％ （１１）は儒顛図、＃Ｉ２
図はｇｔ図０１−１關によゐ断面図、第３図は圧力室と
導通路間を接続する流体ダイオードの一例を示す拡大図
で、（１）は正面図、（１）） ｔｊ平面図、第４図は
圧力室と供給路間を接続する流体ダイオードの一例を示
す拡大図で、（ａ） Ｆｉ正面図、（ｂ） Ｆｉ平面図
、＃Ｉｂ図及び第７図は第３図に示す流体ダイオードの
動作を示す図で、（ＩＬ）は平面図、（ｔ）） Ｆ′ｉ
正面図、第６図及び第８図は第４図に示す流体ダイオー
ドの動作を示す図で、（１）は平面図、（ｂ）ｉｔ正面
図、第９図及び第１θ図は本発明の他の実施例を示す図
で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、第１１図は従来
の多層板方式によるインクジェット記録ヘッドを示す断
面図である。 １・・・・・・インクジェット記録ヘッド２．２人、２
Ｂ・・・・・・積層板 ３・・・・・・インク流路 １０＆・・・・・・ノズル １１・・・・・・圧力室 １２・・・・・・導通路 １３・・・・・・供給路 １５・・・・・・駆動手段（圧電素子）１６Ａ、ｌ＠Ｂ
−・・−流体ダイオード１９・・・・・・インク 第２図 第４図 第３図 第５図 第６図 第７図 （ａ） １６Ａ 第８図 第９図 第１０図 （１）） 第１１図
Claims (1)
- 適宜壜形に形成された多数の積層板を積層し、それ醇積
層された積層板によシ供給路、圧力室、導通路を有する
インク流路管複数本形成し、各インク流路先端にノズル
を設けゐと共に、前記圧力室に対応した形で圧力室内の
圧力を可変し得る駆動手段を般社たイン−クジエツト記
録ヘッドにおいて、前記圧力室と尋通路聞及び圧力室と
供給路間に流体ダイオードを、圧力室内のインクは導通
路方向へ、供給路内のイｙりは圧力室内へのみ流れ得る
ように、前記積層１［を貫通ラド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15502081A JPS5856870A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | インクジエツト記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15502081A JPS5856870A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5856870A true JPS5856870A (ja) | 1983-04-04 |
Family
ID=15596911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15502081A Pending JPS5856870A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5856870A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0252677A2 (en) * | 1986-07-11 | 1988-01-13 | Tektronix Inc. | Ink jet printing apparatus |
| EP1629980A3 (en) * | 2004-08-31 | 2006-11-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transport apparatus and method for producing the same |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP15502081A patent/JPS5856870A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0252677A2 (en) * | 1986-07-11 | 1988-01-13 | Tektronix Inc. | Ink jet printing apparatus |
| EP1629980A3 (en) * | 2004-08-31 | 2006-11-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transport apparatus and method for producing the same |
| US7543919B2 (en) | 2004-08-31 | 2009-06-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transport apparatus and method for producing the same |
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