JPS63183856A

JPS63183856A - インクジェットヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPS63183856A
Application number: JP62208079A
Authority: JP
Inventors: ブライアン・ボソ; ゲァハード・ジェー・ビーネン; ブルース・マードック
Original assignee: Tektronix Inc
Current assignee: Tektronix Inc
Priority date: 1986-08-29
Filing date: 1987-08-21
Publication date: 1988-07-29
Also published as: US4685185A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、インクジェットプリンタ用ヘッド、特にイン
クの通る孔（又は開口）がある開口板を有するインクジ
ェットヘッドの製造方法に関するものである。

〔従来の技術とその問題点〕

インクジェットプリンタは、１（１１以上のインクジェ
ットヘッドを有し、その開口板の孔からインク滴を紙等
の記録媒体上に射出させて文字・記号・図形等を描くも
のであり、最近急速に普及しつつある。カラー画像を作
成するには、各々異なる色のインクを射出する多数のイ
ンクジェットヘッドをもつインクジェットプリンタを使
用する。これらの各色インクを単色で或いは合成して記
録媒体に供給し、最終的なカラープリントを得る。一般
に、プリントに必要な総ての色は、シアン、マゼンタ及
び黄色インクの合成により得られる。更に、テキスト印
刷等の場合又は純粋な４色プリントの場合には、上記３
色に黒色を加えてもよい。

一般的な構成では、記録媒体を回転ドラムに取付け、イ
ンクジェットヘッドをドラムの軸方向へ移動するキャリ
ッジ（台）に固定する。ヘッドが記録媒体上を走査する
につれて、各ヘッドの外側の微小な孔（オリフィス）か
らインク滴を媒体に向かって射出し、その媒体上に画像
を形成する。

適当な制御システムを使用して、インク滴の発生を回転
ドラムと同期させる。

インクジェットヘッドの基本型の１つに、インク滴を必
要に応じて（オンデマンド）発生するものがある。この
オンデマンド型インクジェットヘッドの一例は、三浦ら
の米国特許第４．１０６．０３２号に開示されている。

このインクジェットヘッドは、内外２つのコンパートメ
ントより成るインク室を有する。このインク室の内部ホ
ーン状コンパートメントと外部インク・コンパートメン
トとは、第１の開口板で仕切られている。これらのコン
パートメントは、第１開口板にあけられた第１の開口又
は連通孔を介して相互に連通している。インクは、はじ
めインクジェットヘッドの外部インク・コンパートメン
トに送り込まれる。

インク滴を必要とするとき、圧電素子に電気パルスを印
加して圧電素子を収縮させると、圧電素子はホーン状コ
ンパートメントのインクと機械的に密接しているので、
圧力波がイジク室に送られる。この圧力波に応じて、イ
ンクは外部インク・コンパートメントから第２の開口板
にあけられた第２開口の方に流れる。この第２開口は、
インク室壁である第２開口板を貫通する。第２開口を通
過したインクは、インク室壁の外側出口でインク滴を形
成する。空気室がインク室に隣接して設けられ、インク
滴はその空気室を通る。インク滴は、空気室からヘッド
の主外部射出孔又は第３開口を通過する。この第３開口
は、インクジェットヘッドの空気室壁である第３開口板
を貫通する。この第３の開口は、第１及び第２開口と同
軸状に配置され、記録媒体へ通じている。圧縮された空
気が空気室に送られ、インク滴は、空気室を通過する際
はぼ同軸状空気流に乗る。この空気流は、記録媒体へ向
かうインク滴の速度を早め、且つインク滴付着確度を上
げる。

連通孔（第１開口）の長さく深さ）を減らしてインク滴
の形成を強化するには、ホーン状コンパートメントの第
１開口が通る開口板を薄くする。

第１開口板を薄くするには、２つのコンパートメントを
仕切る板体の内面の材料を除去して行うのが普通である
。すなわち、第１開口板のホーン状コンパートメント側
の面から材料を除去し、表面に凹部（くぼみ）を形成す
る。そうすると、第１開口長を短くできる。同様に、イ
ンク室壁の第２開口の長さも、インク室壁の内面から材
料を除去することにより短くできる。すなわち、第２開
口が通る壁の内面にも凹部を形成する。

１つの公知製法では、これらの凹部は、ホーン状コンパ
ートメント壁（第１開口板）及びインク室壁（第２開口
板）を化学的にエツチングして形成する。その後、第１
開口及び第２開口を第１及び第２開口板に対するパンチ
ング又はマイクロ放電加工によって形成する０次に、イ
ンクジェットヘッドの第３開口を同様な技法により空気
室壁（第３開口板）に形成する。その後、これらの開口
板をインクジェットヘッドの本体に取付ける。

この取付は作業は、顕微鏡を用いて第１開口、第２開口
及び第３開口の位置合せをしながら行い、インクジェッ
トヘッドを組立てる。これは極めて時間のかかる作業で
あり、また、各種開口をインクジェットヘッドの動作に
必要な高精度で位置合せするのは至難の業である。した
がって、この技法により得られるインクジェットヘッド
の良品歩留り率は低く、改善の必要性があった。

上記のエツチングのほかに、例えばブルックスらによる
米国特許第４．２８２，５３３号に開示の如く、パンチ
ング又はスタンピングによってもインクジェットヘッド
開口板に凹部を形成することができる。しかし、これも
、各開口板の凹部に形成した開口をインクジェットヘッ
ド組立中に位置合せしなければならない点を解決してい
ない。更にまた、これらの凹部を形成する技法は、標準
の機械加工と同様に凹部にテーパーを生じる傾向がある
。開口板の最も薄い部分は、テーパーのある凹部の比較
的小さい点状領域又は頂点である。長さの短い所望開口
を得るには、開口を凹部の点状領域に又はそこに限りな
（近い位置に形成しなければならない。このため、位置
合せを一層困難にしている。

すなわち、開口が相互に正しい位置になければならない
のみならず、凹部の黒領域も位置が合っていなければな
らない。

インクジェットヘッドの開口板を製造する更に（色の方
法として、第１の寸法の第１開口を有する第１シートを
用意し、更に薄い第２シートを第１シートに半田付けそ
の他の手段で固定し、第１開口より更に小さい第２開口
を第１開口とほぼ同軸状に形成する方法がある。この方
法によれば、第１開口は総合開口板の凹部或いは薄くし
た領域と対応し、第２開口が上述の開口に対応する。し
かし、この方法でもまだ、インクジェットヘッド組立時
に各開口を位置合せしなければならない問題が残ってい
る。更に、複数のシートを相互結合して関口板とするた
めの付加的手段が必要となる。

更にまた、厚板を薄くした部分ではなく、極めて薄い板
に開口を形成することも提案された。しかし、超薄板を
使用すると強度が不足する場合が多い。例えば、インク
ジェットヘッドのアレイに使うため１枚の板に多くの開
口を形成する場合がこれに該当する。

空気を使用しないインクジェットヘッドは、空気室壁及
びそれにおける孔（開口）が不要である。

この型のインクジェットヘッドでは、必要とする開口数
が少ないので、多くの開口を位置合せする困難性は幾分
軽減される。しかし、この困難性はまだ残る。

したがって、本発明の目的は、インクジェットヘッドの
開口板を製造するための改良された方法を提供すること
である。

本発明の他の目的は、空気使用型又は空気非使用型の改
良されたインクジェットヘッド製造方法を提供すること
である。

本発明の更に他の目的は、個々の又はアレイ状のインク
ジェットヘッドを製造するための改良方法を提供するこ
とである。

本発明の別の目的は、歩留りがよく且つ比軸的低層なイ
ンクジェットヘッド用開口扱の製造方法を提供すること
である。

本発明の更に別の目的は、インクジェットヘッドに組込
まれる複数開口板の開口を位置合せする問題を軽減する
インクジェットヘッドの製造方法を提供することである
。

本発明の付加的な目的は、インクジェットヘッド部品の
許容誤差を大きくでき、同時にインクジェットヘッドの
良品が高い歩留りで得られるインクジェットヘッドの製
造方法を提供することである。

本発明のその他の目的は、インクジェットヘッドをより
高精度で所望寸法に製造する方法を提供することである
。

〔発明の概略〕

本発明においては、インクジェットヘッド用の開口板は
、板状体の一面をマイクロ放電加工することにより比較
的平坦な底面を有する凹部を形成する０次に、この板状
体の凹部を貫通して開口を例えばマイクロ放電加工によ
り形成する。この開口の長さは、凹部の形成により板厚
より短くなる。

本発明によると、第１及び第２端部をもつホーン状コン
パートメントがある本体を有するインクジェットヘッド
の製造方法が開示される。第１開口板を組立てが終った
インクジェットヘッドの本体に取付けて、ホーン状コン
パートメントの第１端部を閉じる。この第１開口板は対
向する第１及び第２面を有し、第１開口がその両面を貫
通する。

その第１面は、ホーン状コンパートメントの境界を形成
する。また、対向する第１及び第２面を有する第２開口
板を、インクジェットヘッド組立て時に本体に取付ける
。インク・コンパートメントは、第１開口を介してホー
ン状コンパートメントと連通されている。インク滴形成
用の第２開口が第２開口板の第１及び第２面を貫通する
。これらの開口は、組立てられたインクジェットヘッド
において同軸状に位置する。本発明によると、第１開口
板の第１面に凹部が形成され、別の凹部が第２開口板の
第１面に形成される。これら各凹部は、開口板を本体に
取付ける前に形成してもよい。そして、開口板を所定位
置に取付けた後に開口板の凹部に第１及び第２開口を形
成する。

本発明によると、取付けられた第１及び第２開口板に連
続孔あけ工程により第１及び第２開口を形成することが
できる。あとで、第１開口板の開口を再度孔あけにより
大きくする。

この方法は、組立てられたインクジェットヘッドの本体
に第３開口板が取付けられている空気使用型インクジェ
ットヘッドにも応用可能である。

この第３開口板もまた、対向する第１及び第２面を有す
る。更に、第３開口板の第１面と第２開口坂の第２面間
に空気室が形成される。この空気室は、第２開口を介し
てインク室と連通している。

更にまた、第３開口板は主外部射出孔である第３開口を
有し、この開口は、組立てられたインクジェットヘッド
の第１及び第２開口と同軸状に位置合せされている。第
３開口の断面（径）は、第１及び第２開口の断面より大
きい。必須要件ではないが、第３開口は第３開口板を主
体に取付ける前に形成してもよい。また、第１及び第２
開口を第３開口にドリル（孔あけ手段）を通して形成し
、次に連続ドリル（孔あけ）工程で第２及び第１開口板
に孔をあけて、これら３枚の開口板を通る孔又は開口を
形成する。その後、再ドリルにより第３開口坂の開口を
大きくする。

〔実施例〕第１図は、本発明による方法で製造したインクジェット
ヘッドの一例を示す断面図である。インクジェットヘッ
ド（１０）は本体（１２）を有し、その内部にインク室
（１４）及び空気室（１６）が形成されている０図示の
インク室（１４）は、ホーン状コンパートメント（１８
）とインクギャップ又はインク・コンパートメント（２
０）とを有する複数コンパートメント構造である。コン
パートメント（１８）及び（２０）は内部ホーン閉鎖壁
である第１開口板（２２）で分離され、この第１開口板
（２２）には、第１開口（２６）が形成されている。第
１開口（２６）の長さく深さ）を低減してインクジェ・
７トヘツドの性能を上げるために、ホーン状コンパート
メント（１８）に隣接する開口Ｊｉ＆（２２）の内面を
薄くして凹部（２４）を形成する。凹部（２４）は円形
であり、その詳細は後述する。

インク室（１４）は、空気室（１６）とインク室壁をな
す第２開口板（２８）で仕切られている。このインク室
（１４）は、第２開口板（２８）を貫通する内部インク
通路である第２開口（３０）を介して空気室（１６）と
連通している。インク室壁（２８）の内面にも円形凹部
（３２）が形成され、この凹部によりインク通路（３０
）の長さを短縮し、この通路の出口にインク滴が形成さ
れるようにする。外部にインクを射出する孔として、第
３開口（３４）が第２開口（３０）及び第１開口（２６
）と同軸状に位置合せされている。この第３開口（３４
）は、外部空気室壁をなす第３開口（３６）を介して空
気室、（１６）からインクジェットヘッド（１０）の外
に通じている。第３開口（３６）と第２開口板（２日）
の間に、第４図に示すようなスペーサ（３８）が設けら
れる。スペーサ（３８）は、開口板（２８）と（３ｏ）
間のギャップ（１６）幅をほぼ一定とし、インクジェッ
トヘッド構体の強度を増す、開口板（２２）　。

（２８）及び（３６）は、スペーサ（３８）と共に後述
する如く本体（１２）に固定される。

−Ｊｌｉに、圧力を加えられたインクが本体（１２）の
インク受入れ口（４ｏ）へ送られ、インクジェットヘッ
ドのインク収容部を満たす。インクは、受入れ口（４０
）より通路（４２）　、環状路（４４）及び開口＆　（
２２）　、　　（２Ｂ）間のインク・コンパートメント
（２０）に流れ込む、また、インクは第１開口（２６）
を介してホーン状コンパートメント（１８）内にも入る
。凹部（２４）　　（３２）及び第２開口（３ｏ）もイ
ンクで満たされる。

ホーン状コンパートメント（１８）の外側端は、可撓性
隔膜又は薄膜（５２）で閉じられ、圧電素子を有するア
クチュエータ（５６）をこの薄膜（５２）に被着し、こ
れに電気パルスを印加して駆動する。

各パルス印加毎に、圧力波がホーン状コンパートメント
（１８）に伝達される。これにより、インク滴形成用第
２開口（３０）の出口端から外部射出孔（３４）に向か
ってインク滴が噴射される。

圧縮空気は、入口（６０）からインクジェットヘッド（
ｌＯ）に送り込まれる。この空気は、通路（６２）を経
て環状路（６４）に入り、インクジェットヘッドの周囲
に導かれる。この空気は更に、スペーサ（３８）を介し
て空隙又は空気室（１６）すゎなちインク室壁（２８）
の外面と空気室！（３６）の内面間に入る。第４図に示
す如く、スペーサ（３８）は空隙とほぼ等しい厚さの環
状リング（６６）から成り、これにより、相互に約９０
°の角度をなす指状部（６８）が図示の如く円板の中心
に向かって突出している。この構成により、空気は指状
部の間を通って空気室（１６）内に入る。

更に詳細に説明すると、空気は、環状路（６４）からイ
ンクジェットヘッドの中心へ向かっであるゆる方向から
内側に流入する。この空気は、ヘッドの中心に近づくに
つれて外部射出孔（３４）により外側に偏向される。す
なわち、内側に流入する空気がインク室壁（２８）の外
面に対しほぼ垂直方向に曲げられる０図示しないが、円
錐状その他の突起を第２開口板（２８）の外面に形成し
てこの偏向を助けてもよい。この場合には、第２開口（
３０）はその突起部に設ける。この空気流は、圧力パル
スに応じて発生されるインク滴を加速してインクジェッ
トヘッドから外へ運ぶのを助ける。その結果、一様且つ
対称的なインク滴がインクジェットヘッドで発生される
。これらのインク滴は、外部射出孔（３４）から記録媒
体に向かって直進する。

第１図のインクジェットヘッドの各構成部品は、一般に
ステンレス鋼その他のインクに対して耐腐食性を有する
材料で作る。第２図に示すように、本体（１２）は一体
構造で作ることができる。この本体（１２）は円形ステ
ンレス鋼の棒を加工してホーン及びインク・コンパート
メントの境界並びにインク及び空気通路を設けることに
より作成してもよい。

空気非使用型インクジェットヘッドも空気室（１６）、
スペーサ（３８）及び外部開口板（３６）並びに空気供
給通路を除去することにより製作しうろことに注目され
たい、更に、空気使用を止めるのみならず、（２２）の
ような単一板体で境界をなす単一コンパートメント型の
インク室を使用するインクジェットヘッドを製造しても
よい。後述するインクジェットヘッドの製造方法は、こ
れら総てのインクジェットヘッドに通用可能である。し
かし、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、第
１図に示す型式のものに使用するとき、一層製造コスト
が下がり効率が良くなる。これらの製造方法を以下第２
図、第３図及び第５図を参照して説明する。

一般に、第１図のインクジェットヘッドを製造する好ま
しい方法は、次のとおりである。最初に、第１及び第２
板体（２２）　、　　（２Ｂ）にそれぞれ凹部（２４）
及び（３２）を形成する。この工程は、板体（２２）　
、　　（２８）をヘッド本体（！２）に取付ける前に行
う０本発明においては、板体（２２）の凹部（２４）は
、この板体（２２）を本体（１２）に取付けた後で薄１
ｉｄ（５２）を取付ける前に形成することもできる。し
かし、そうすると、良品のインクジェットヘッドの歩留
りが低下する虞れがある。すなわち、後述する技法で作
られる板体（２２）の相当高いパーセントのものは良品
であるが、なかには製造許容誤差を満足しないものがあ
る。板体（２２）を本体（１２）に取付けた後に凹部（
２４）を形成すると、凹部が不良の場合には本体（１２
）、板体（２２）及び（２８）を含めて組立途中のイン
クジェットヘッド全体を廃棄しなければならなくなり、
不経済である。これに対して、本体取付は前に凹部を形
成すると、凹部に欠陥があった板体（２２）のみを廃棄
すれば足り、これは比較的安価であるので経済的に好ま
しい。

まず、第３開口又は射出孔（３４）を板体（３６）に形
成し、開口板とする。第３図及び後記する表１から明ら
かな如く、開口（３４）の断面又は長さく深さ）は開口
（２６）及び（３０）より大である。

次に、板体（２２）を本体（１２）に取付けた後、板体
（２Ｂ）、スペーサ（３８）及び開口板（３６）を所定
位置に取付ける。

次に、ドリル（孔あけ手段）を開口（３４）に通して、
板体（２８）に開口（３０）を形成して開口板とすると
共に更に板体（２２）の凹部（２４）にも同様の開口（
２６）　　（ただし、小径）を形成する。ドリルの寸法
を選択することにより、開口（３０）の寸法を開口（２
６）の寸法よりも小さくする。比較的広い凹部は次のよ
うにして形成し、上述のようにして形成する孔が各板体
の最も薄い部分を通るようにする。これに対して、従来
の化学的エッチング又はパンチングにより形成した凹部
は、一般に過度のテーパー（傾斜）が付いている。その
結果、これらの従来技法では、開口を形成すべき板体の
最も薄い場所が傾斜部になるため、開口の形成が困難で
ある。本発明のブラインド開口トリル（孔あけ）技法に
よると、開口板をインクシェアドヘッドに組立てるとき
複数の子め孔あけした開口を位置合せする必要がなくな
ることに注目されたい。

上述したドリル工程の後に、組立体を１８０”回転して
凹部（２４）をドリルに対向させ、ドリルを交換して開
口（２６）の寸法に合った大きい断面（径）の孔があけ
られるようにする０次に、開口（２６）を再ドリルして
、開口（３ｏ）の形成中にあけた孔を大きくする。

本発明においては、所定の断面の開口（３ｏ）を作る寸
法のドリルを板体（３６）　、　　（２８）及び（２２
）のドリルに同時に使用してもよい。

その後、開口＆（３６）を再ドリルして開口（３４）を
大きくすることができる。更に、開口板（２２）の孔も
同様に再ドリルして、開口（２６）の寸法を適当な値に
する。この方法も本発明に含まれるが、板体（３６）を
本体（１２）に取付ける前に開口（３４）のドリルを行
うのが、一般に作業が早←且つ正確になる。

一般に、第１図のインクジェットヘッドの各種部品の適
切な寸法は、表１のとおりである。

表　　１表１中、記号Ｗ１は凹部（２４）の底部の幅又は直径を
示す。同様に、記号ｗ２は四部（３２）の底部の幅又は
直径を示す０表１から判るとおり、平坦部Ｗ１及びＷ２
の寸法は相当大きい。これにより、開口（２６）　、　
　（３０）及び（３４）の相互位置を合せ、開口（３０
）及び（２６）がそれぞれ凹部（３２）及び（２４）の
薄くした底部を通るようにすることができる。すなわち
、開口板を本体に取付けたとき、凹部（２４）及び（３
２）の平坦部は自動的に重なり、開口（３４）とインラ
イン（−直線上）になる、したがって、これらの開口板
を取付けるときに予め位置合せをする必要がない。

本発明では、凹部（２４）　、　　（３２）及び開口（
２６）　。

（３０）　、　　（３４）の形成をマイクロ放電加工に
より行う。マイクロ放電加工を用いてインクジェットヘ
ッドの開口板（板体）に凹部を形成することは未だ知ら
れておらず、この技法はもっばら開口の形成に使用され
ていた。この方法により凹部を形成すると、仕上げ面が
極めて滑らがであり、加工屑（くず）が部品上に残らな
いという利点がある。

第５図は、凹部や開口のマイクロ放電加工に使用するの
に適する電極構体の例を示す、この？Ｉ電極構体７２）
は、図示のとおり針金状電極（７３）とガイドスリーブ
（７４）を有する。この電極構体（７２）は、日本のマ
ツシダ社などから市販されている放電加工機に接続して
使用する。なお、開口板の製造には市販の電極を用いて
もよい。電極材料として好ましいものにタングステン、
銅タングステン合金等がある。

一般に、放電加工電極は回転して電極と被加工物間に低
エネルギー放電を行うものである。この放電は、被加工
物の材料を高度に制御しながら削り取ることができる。

よって、凹部の深さをこの技法を用いて精密に制御する
ことができる。この技法によると、凹部（２４）　、　
　（３２）は比較的広い平坦底面を有し、比較的廉価に
且つ従来技法のいずれよりも高い歩留りで製造できる。

また、上述した如く、広い平坦底面を有する凹部は、位
置合せの問題を軽減する。すなわち、各板体の最も薄い
部分を開口が通過するようにするために、開口を凹部の
中心に正確に合せる必要がない、更にまた、この製法は
、任意数の開口板を有するインクジェットヘッドの製造
に好適である。これら板体の凹部の平坦領域を単に相互
に重ね合せ、これら平坦部に開口を形成しさえすればよ
い。また、この製法は、一般に相当小型のインクジェッ
トヘッドのアレイの製造にも使用できる。

上述したとおり、好適実施例では、開口（３４）を本体
（１２）に板体（３６）を取付ける前に形成する。板体
（３６）を所定位置に取付けた後に開口（３４）をあけ
るよりも、開口（３４）を予めあける方が作業が迅速で
あり且つ正確である。一般に、直線状の側壁を有する開
口を得るには、筒（針金）状放電電極の先端を板体の孔
あけ部分に通し、更にその深さ分だけ通過させなければ
ならない、これは、加工中にテーパーを生じる電極先端
部から離れた電極の無テーパ一部に孔あけ部をさらすた
めである。板体（３６）は一般に空隙（１６）より十分
厚いので、開口（３４）をドリルするとき、電極先端を
板体（３６）の厚さ分だけ開口を越えて通過させること
はできない、というのは、板体（２８）に希望しない孔
があけられるがらである。板体（２８）に達する前に、
開口（３４）のドリルを止めることができる。したがっ
て、この方法も本発明に包含されることは、勿論である
。しかし、この場合には、開口（３４）の側壁にテーパ
ーが生じることもあり、製造されたインクジェットヘッ
ドに動作不良を起こすこともありうる。

各取付は工程は、溶接工程であるのが普通である。第２
図に示す如く、市販の溶接リング（８０）〜（８８）を
他の部品に対し所定位置に取付ける。

この溶接リングは、通常市販のニッケル金合金であり、
例えば８１−８３％の金と１９−１７％のニッケルを含
むもの（ＡＭＳ　−４７８７，ＢＡｕ−４）である。純
粋の場合、この合金は、第１温度で熔融する。溶融中に
、金とニッケルが両側のステンレス鋼に一部拡散する。

この拡散は合金の成分比を変化させるので、熔融温度が
上昇する。その結果、次の溶接動作においては、溶接部
の温度が先に行った溶接部の再溶融温度より低いので、
既溶接部が溶けることはない、また、スペーサ（３８）
は、板体（２８）、スペーサ（３８）及び板体（３６）
の固定を助ける銀溶接材層で電気的に被覆してもよい。

更に、四部（２４）　、　　（３２）の平坦底面ｗ１及
びＷ２は±１μ隋の平坦度である。また、四部（２４）
　。

（３２）は板体（２２）　、　　（２８）の中心から５
０μ園内に形成され、開口（３４）は板体（３６）の中
心から５０μ謡以内に形成される。

表１にリストしたパラメータ及び寸法は、第１図のイン
クジェットヘッドの場合の例である。しかし、本発明方
法により他の構造のインクジェットヘッドを製造する場
合には、これらのパラメータ及び寸法を変更してもよい
。

以上、図示の好適実施例に基き本発明の説明を行ったが
、本発明は何らかかる実施例のみに限定されるものでは
なく、本発明の要旨を逸脱することなく種々の変形、変
更が可能であることは、当業者には容易に理解できるで
あろう。

〔発明の効果〕

上述したとおり、本発明のインクジェットヘッドの製法
においては、インク室及び（又は）空気室用隔壁をなす
板体の一面にマイクロ放電加工により十分広く且つ平坦
な底面を有する凹部を形成し、次にこの凹部底面に好ま
しくは他面側がら所定直径のインク又は空気流用開口を
形成する。したがって、これら開口の直径に比して凹部
が十分広く且つ底面が平坦であるので、加工位置が多少
ずれても最も薄い部分に開口を形成でき、位置合せを含
む組立作業が容易になると共に希望する長さく深さ）の
開口が容易に得られ、インクシェアドヘッドの特性が著
しく安定となり、また歩留りも大幅に改善される。更に
、このインクジェットヘッドの製法は、空気使用型のみ
ならず他の各種インクジェットヘッドにも応用可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法により製造された空気使用型インク
ジェットヘッドの一例を示す断面図、第２図は第１図の
ヘッドの組立分解図、第３図は第１図の各開口板の拡大
断面図、第４図は第１図の４−４線に沿う断面図、第５
図は本発明に用いるマイクロ放電加工電極の一例を示す
図である。（１０）　　・・・インクジェットヘッド（２２）　、
　　（２Ｂ）　、　　（３６）　　・・・開口板（２４
）　、　　（３２）　　・・・凹部（２６）　、　　（
３０）　、　　（３４）　　・・・開口。同　　松隈秀盛ＦＩＧ、５

Claims

【特許請求の範囲】１、インクジェットヘッドの開口板の一面にマイクロ放
電加工により凹部を形成する工程と、上記開口板の上記
凹部の底面から他面に貫通する開口を形成する工程とを
含むインクジェットヘッドの製造方法。２、上記開口は上記開口板の他面からマイクロ放電加工
により形成する特許請求の範囲第１項記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。