JP4407802B2 - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
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次に、図4(d)に示すように、導電性基板51の表面51a及び裏面51bからレジストパターン53を除去し、導電性基板51を露出させる。この場合、表裏両面のレジスト除去であるため、レジスト用の剥離液への浸漬が好適である。
10 キャビティユニット
11 ノズルプレート
11a ノズル
12 マニホールドプレート
13 スペーサプレート
14 ベースプレート
20 圧電アクチュエータ
40 フレキシブルフラットケーブル
50 貫通孔
51 導電性基板
51a 表面
51b 裏面
53 レジストパターン
53a 穴パターン
54 金属膜
55 レジストシート
56 インク流路
62 用紙(被記録媒体)
63 プリンタヘッド
64 キャリッジ
100 インクジェットプリンタ
Claims (4)
- 表面から流体を吐出するノズルプレートの製造方法において、
導電性基板の表面と裏面に、表裏面で位置合わせされた複数の穴パターンが含まれるレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして、前記導電性基板を表裏面からウエットエッチングし、貫通孔を形成する工程と、
前記導電性基板の表面のレジストパターンを除去する工程と、
前記導電性基板の表面と前記貫通孔の内部とに連続する金属膜を電解メッキにより形成する工程と、
前記導電性基板の裏面のレジストパターンを除去する工程とを備えることを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 表面から流体を吐出するノズルプレートの製造方法において、
導電性基板の表裏面に貫通する貫通孔を、裏面に形成されたレジストパターンをマスクとしてドライエッチングにより形成する工程と、
前記導電性基板の表面と前記貫通孔の内部とに連続する金属膜を電解メッキにより形成する工程と、
前記導電性基板の裏面のレジストパターンを除去する工程とを備えることを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記金属膜が形成された貫通孔の内部は、前記導電性基板の表面側の内径が小さく、裏面側の内径が大きい略テーパ形状に形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記金属膜を電解メッキにより形成する工程は、前記導電性基板を電極とし、メッキ時間の調節により、前記貫通孔の内部の形状及び内径が調節されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
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