JPS5856257B2 - ワイヤボンダのワイヤクランプ方法 - Google Patents

ワイヤボンダのワイヤクランプ方法

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JPS5856257B2
JPS5856257B2 JP54160025A JP16002579A JPS5856257B2 JP S5856257 B2 JPS5856257 B2 JP S5856257B2 JP 54160025 A JP54160025 A JP 54160025A JP 16002579 A JP16002579 A JP 16002579A JP S5856257 B2 JPS5856257 B2 JP S5856257B2
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capillary
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寛 新倉
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Fujitsu Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はワイヤボンダにおけるワイヤクランプ方法の改
良に関する。
混成集積回路基板のパッド間や集積回路チップのパッド
とパッケージの導体部とを細いワイヤで接続する装置、
即ちワイヤボンダにおいて、前記ワイヤの接続端近傍を
所定にクランプするのに際し、第１図に示すような構成
のものがある。
図において、１は水平面内の直角２方向にそれぞれ駆動
可能なボンディングステージであり、２は上下動可能な
ホンディングヘッドを示す。
ボンディングステージ１の上には、例えば混成集積回路
基板３が積載して固定されている。
一方、ボンディングヘッド２には、長さ方向のほぼ中央
部を枢軸衣されて揺動可能なアーム４と、上下に分かれ
て対向する先端にワイヤ張力制御機構のワイヤ導出口５
及びプルカットクランプ６を具えた支持アーム７が装置
さ和ている。
アーム４の一端にはキャピラリ８が装着さ和、ワイヤ導
出口５とプルカットクランプ６とキャピラリ８とを所定
に直線的に貫通する細いワイヤ９の先端には、ボール１
０が、加熱形成されている。
アーム４の他端上面には、キャピラリ８がボール１０を
介して基板３に接触する瞬間を検出する検出器１１の検
出子１２が接し、その下面に設けた突起１３は、ヘッド
２に一端が固着された板はね１４の自由端近傍に接して
いる。
今、ワイヤボンダを駆動してヘッド２を所定に降下させ
ると、キャピラリ８はワイヤ９の先端に形成されたボー
ル１０を介して、基板３の所定位置に接触する。
前記接触を検知した検出器１１は、ワイヤホンダの駆動
部（図示せず）にその情報を送り、ヘッド２が更に所定
量だけ、例えばヘッド２を駆動するパルスモータに所定
数のパルスが送られるようにして、降下を継続させる。
その際、アーム４は図中矢印Ａ方向に揺動し、キャピラ
リ８と基板３の間にあるボール１０は、板ばね１４の所
定反撥力がアーム４を介して付加され、基板３に押圧さ
右て圧着するようになる。
かかる構成のワイヤボンダは、ワイヤ導出口５とキャピ
ラリ８がそれぞれ異なるアーム４及び７に装着されてい
るため、前記アーム４の揺動時に、ワイヤ導出口５とキ
ャピラリ８との間隔が狭められ、その間にあるワイヤ９
がたるむようになる。
その結果、ボンディングヘッド２の戻り駆動（上昇）時
に、ワイヤ９には急激な張力が付加され切断することが
あった。
本発明の目的は上記欠点を除去することであり、この目
的はワイヤ張力制御機構のワイヤ導出口とキャピラリが
一体的に駆動されることを特徴とするワイヤホンダのワ
イヤクランプ方法を提供して達成される。
以下図面を用いて本発明を説明する。
第２図は本発明の一実施例に係わるワイヤホンダ主要部
の概略側面図であり、前回と同等部分には同一符号を用
いである。
第２図において、ボンディングヘッド２には、長さ方向
のほぼ中央部を枢軸支されて揺動可能なアーム１５と、
一端にプルカットクランプ６を具えたアーム１６が装着
される。
アーム１５の一端が上下に分かれて対向する先端には、
ワイヤ導出口５とキャピラリ８が上と下に対向して装着
され、アーム１５の他端は、アーム４（第１図）の他端
と同様に、検出器１１の検出子１２及び板ばね１４と接
触するようになっている。
そして、先端にボール１０を加熱形成したワイヤ９は、
ワイヤ導出口５とプルカットクランプ６とキャピラリ８
の順で所定に直線的に貝通している。
かかる構成のワイヤホンダを駆動し、ヘッド２を所定に
降下させてボール１０を基板３に接触させた後、更に所
定量だけ前記降下を継続させ、ボール１０が基板３に圧
着するようにする。
その際、アーム１５は図中矢印Ａ方向に揺動するが、ワ
イヤ導出口５とキャピラリ８は、共にアーム１５に装着
されているため、第１図のワイヤボンダで説明した如く
、ワイヤ導出口５とキャピラリ８の間隔が狭められてそ
の間にあるワイヤ９にたるみを生じるようなことがない
。
なお、上記実施例はワイヤを熱圧着させるボール・ボン
ド法に本発明を適用した一例を示したが、本発明はそれ
に限定されず、例えば第１図に示したのと同様なワイヤ
ホンダ構成によるステッチ法等にも、本発明を適用する
ことができる。
以上説明したように、本発明によればワイヤ張力制御機
構のワイヤ導出口とキャピラリとの間隔は ワイヤボン
ダの駆動に関わらず常に一定に保たれ その間のワイヤ
に緩みが生じない。
そのため、前記ワイヤ緩みにより、ワイヤに急激なショ
ックが作用して切断されるトラブルをなくして、ワイヤ
ホンダの稼動率を高めると共に、前記ショックが発生し
ないためにワイヤボンディング速度を高めて作業能率が
向上できた実用上の効果が顕著である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係わる従来構成のワイヤボンダ主要部
の概略側面図、第２図は本発明の一実施例に係わるワイ
ヤボンダ主要部の概略側面図。 ２・・・・・・ボンディングヘッド、４，７，１５゜１
６・・・・・・アーム７．５・・・・・・ワイヤ導出口
、６・・・・・・プルカットクランプ、８・・・・・・
キャピラリ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 同一直線上に順次配設されたワイヤ張力制御機構の
    ワイヤ導出口とプルカットクランプとキャピラリがボン
    ディングヘッドと共に上下動するワイヤボンダにおいて
    、前記ワイヤ導出口と前記キャピラリは一体的に駆動さ
    れることを特徴とするワイヤボンダのワイヤクランプ方
    法。
JP54160025A 1979-12-10 1979-12-10 ワイヤボンダのワイヤクランプ方法 Expired JPS5856257B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP54160025A JPS5856257B2 (ja) 1979-12-10 1979-12-10 ワイヤボンダのワイヤクランプ方法

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP54160025A JPS5856257B2 (ja) 1979-12-10 1979-12-10 ワイヤボンダのワイヤクランプ方法

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Publication Number Publication Date
JPS5683042A JPS5683042A (en) 1981-07-07
JPS5856257B2 true JPS5856257B2 (ja) 1983-12-14

Family

ID=15706331

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP54160025A Expired JPS5856257B2 (ja) 1979-12-10 1979-12-10 ワイヤボンダのワイヤクランプ方法

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