JPS585624A - 力トランスジユ−サ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はシテンスジエーサの公費に属し、詳しくいうと
、高解像力、高精度のカトッンスジエーナに関する。

力あるいは重さを感知する従来技術の一屡式は固定の磁
界中に可動コイルを使用するフィードバッタ方法を利用
している。このコイルは感知軸線に沿って可動であり、
そしてこの感知軸線に沿う一定位置に保持するのに十分
な電流によって駆動される。この形態においては、コイ
ル駆動電流はこのコイルを変位するために供給される力
の尺度を提供する。この方法は一般的に有効であるけれ
ど、この力感知形態は比較的複雑であり、対応的に高価
である。

従来技術の他の形式はひずみゲージ・−−ドセルである
。しかしながら、この形式においては１、　＋＋　）１
１竜ルの精度がひずみゲージのセン！材料のヒステリシ
スおよびクリープによって、ならびにセンナに対する結
合材料のヒステリシスおよびクリープによって、制限さ
れる。

さらに他の力感類方法は可魔牛ヤパシタンス形式の−−
ドセルを利用する。この四−ドセルにおいては、一対の
対向する実質的に平行な導電性板を供給される力に比例
する態様で測定されるべき力が分離させるようにこれら
導電性板が結合されている。この方決は原理的には満足
なものであるけれど、感知する導電性板をある範囲の力
にわたつて平行に適切に保持する従来技術において既知
の直進組立体がない。

従って、本発明の目的は改良された力七ンナを提供する
ことである。

他の目的は可変キャパシタンス力センナを提供すること
である。

簡単に説明すると、本発明によれば、カトッンスジエー
サは中心軸線に沿っている一財の対向する剛体の力合算
部材を含む。これら合算部材のそれぞれは中心軸線に沿
って他方の合算部材の方へ延在するセンナ部材を含む。

これらセンナ部材は中心軸線に直角な第１の基準軸線の
方向において相互にオフセットされている（心がずれて
いる）対向する感知部分を含む。一対のビーム部材が力
合算部材間に延在しかつこれら部材を結合しており、一
方のビーム部材はセンナ部材の一偏にあり、また他方の
ビーム部材はセンナ部材の他側にある。

これらビーム部材は第２の基準軸！１（第１の基準軸線
および中心軸線に対して直角をなす）に平行な軸線に関
して可撓性であるが、他の点では実質的に剛性で”ある
。本発明の好ましい形式においては、ビーム部材は憂さ
において実質的に等しく、かつセンナ部材と結合する点
間の距離が実質的に等しく、従ってビーム部材はおおむ
ね平行である。

本発明の一廖式においては、対向するセンナ部材のそれ
ぞれは、一対の対向する実質的に平行な導電性平面を提
供するように、導電性部材を支持する。これら導電性平
面は第１の基準軸線の方向においてオフセットされてお
り、かつ第２の基準軸線に対して平行である。本発明の
この形式においては、力訃テンスジエーサは導電性部材
が感知部材の対向する部分に付着された薄い導電性フィ
ルムであるモノリシツタ誘電体構造であってもよいＯ この形態においては、カトランスジエーサは第１の基準
軸線に平行な力によって一方の合算部材に支持すること
ができる。測定されるべき力は第１の基準軸線に平行な
他方の合算部材に供給される。この力が合算部材に供給
されると、ビーム部材は第２の基準軸線に平行な軸線に
関するそれらの可撓性により変形する。ビーム部材が変
形すると、感知部材およびこれら感知部材によって支持
される導電性部材がそれらの平行な関係を維持しながら
第１の基準軸線の方向に互いに関して変位される。これ
ら導電性部材によって形成される有効平行板コンデンサ
のキャパシタンス体通常のように測定できる。測定され
たキャパシタンス値は平行板の間隔、従って測定される
べき力に反比例する。

本発明のカトランスジエーナは、例えば、カトランスジ
エーサが石英より形成されたモノリシック構造体である
場合には、負荷のもとて比較的低ヒステリシスおよび非
常に低いクリープによって特徴付けることができる。こ
の形式においては、合算部材に供給される与えられた力
に対して熱による中ヤバシタンスの変化が比較的少ない
・カトツンスジエーサは主として単一の感知（第１の基
準）軸線からの正味の力に応答し、そしてその他の面に
おける力および毫−メントに対しては比較的高い拒否比
率を有する。

本発明のカトランスジエーサは力の直接測定用の四−ド
セルの形式のカセｉすとして使用することができる。あ
るいは、このトランスジニーナは慣性力（ある質量とと
もに使用されるとき）、あるいはダイヤ７ツ＾とともに
使用されるときの圧力のような他の力を感知するために
使用できる。

本発明の上述のおよび他の目的、種々の特徴、ならびに
本発明それ自体は添付図面を参照しての以下の好ましい
実施例についての記載から十分に理解されよう。

第１ＩＩは本発明による）テンスジエーナ１０の好まし
い一形式を示す。このトランスジニーナ１０は一対の長
方形横断画の綱長い力合算部材１２１５よび１４を有し
、これら部材１２．１４は共通の中心軸線１４に沿って
延在している。一方の細長い部材１２は第２Ｗｉにも図
示されている。

部材１２および１４はそれらの異液する端部に相Ｉｌ園
を含む。図示するように、力合算部材１２．１４の端部
全体が相補面をｌｌｌ成しているが、他の実施例におい
ては、相補面が隣接する端部の一部だけであってもよい
。

例示の実施例においては、部材１２．１４の画は中心軸
線１６に直角な第１の基準軸ＩＩ！１０の方向において
オフセットされて（心がずれて）いる平らな部分２０お
よび２２をそれでれ含む。これら平らな部分２０Ｓ２２
は軸ｓ１６およびｉ、ｏに直角な第２の基準軸線２４に
対して平行である。

この好ましい実施例においては、平らな部分２０および
２２は中心軸線１６に対しても平行であるが、他の実施
例では平らな部分は中心軸線１６からある角度をもって
（角度方向に）オフセットされていてもよい。図示する
ように、平らな部分２０および２２の各ＩＩＷ１は軸＄
９５０に対して平行でかつ軸線１４に対して直角である
けれど、これら側面の他の配向状態も使用できる。この
実施例においては、部材１２および１４は実質的に同一
である。これら部材は接合されてトランスジニー９１０
ｆｔ形成する。

細長い力合算部材１２および１４は軸線１４および２４
に平行な平面にそれらの相補面から鴬在する２つの平面
状スリットをそれぞれ含む。第３図はこれらスリットが
軸線１６および２４に平行な平面でない点を除き第１図
および第２図の部材１２に類似する部材１２の一形式を
示す。第５Ａ図はス冑ットによって定められる部分１２
ｍおよび１２ｂが中心軸１１１１６の方向にテーパー状
をなして相補面に向って電在している点を除き第１図お
よび第２図の部材１２に類似する部材↑２の一形式を示
す。

第１図および第２図に例示された実施例においては、部
材１２および１４のそれヤれにおける両ス胃ットは同一
の深さを有する。しかしながら、他の実施例においては
、部材１２および１４のそれヤれにおいて、一方のスリ
ットが深さＡを有し、他方のスリットが深さ１を有して
もよい。この揚台、ムおよびＢの少なくとも一方はＯで
はなく、かつムと１の和はあらかじめ定められた値に等
しい。さらに、部材１２の２つのス豐ツ゛トは軸線ｓＯ
の方向に離間されており、従って部材１２の上部ビーム
部分１２ａｉ５よび下部ビーム菖分１２ｂ（すなわち、
部材ｔ２のスリットおよび外側表面によって限定さげた
ビーム部分）は軸！１２　ａｉ平行な軸線に関するモー
メン）に応答して相対的にたわみやすくなる。

本爽施例においては、部材１２および１４は実質的に同
一である。その結果、部材１４０２つのスロットは上部
ビーム部分１４ｍおよび下部ビーム部分１４ｂを定める
ものとみなせる。

部材１２および１４の平らな部分２０および２２はそれ
ぞれ実質的に平面状の導電性部材ｓ４および５６を支持
する。

部材１２および１４の上部ビーム部分１２ｍおよび下部
ビーム部分１４１１はそれぞれ接合用部材４２によって
接合され、また部材１２および１４の下部ビーム部分１
２におよび上部ビーム部分１４ｍはそれぞれ接合用部材
４４によって接合される。その結果としての形態におい
て、部材１２および１４の相補面は軸線１６の方向にお
いて互いにオアセットされており、部材５４およびｓ６
の対向する導電性表面は軸＠ｇｏの方向において互いに
オアセットされている。好ましい形式においては、部材
１２および１４は石英であり、結合部材４２および４４
もまた、石英であり、従ってこれらすべての部材紘モノ
リシック構造体を形成するように一緒に融合できる。他
の実施例においては、チタンのけい酸塩、セフ攬ツタあ
るいは他の誘電体材料のような他の材料が使用できる。

第１１１に示すように、トランスジユーサ１０は部材１
４に強固に取付けられた裏い支持部材５０および部材１
２に強固に取付けられた酪い万人力部材５２を含む。こ
れら部材５０および５２は石英であってもよく、また部
材１２および１４にそれぞれ融合してもよい。支持部材
５０は）フンスジエーナ支持素体Ｓ６の上部平面に結合
される。

第４図は部材５０および５２が力合算部材１２および１
４に機械的に結合された（ねじ５８ｍおよびｓ８ｋによ
って）金属部材である点を除き第１図のトランスジユー
サと類似する本発明の他の形式な示す。この形式におい
ては応力隔絶みぞ５？ａおよび５９ｋが取付けねじから
の応力を隔絶する。

第９図のトテンスジュー量の動作においては、矢印６０
によって指示された測定されるべき力は軸線５０に沿っ
て万人力部材５２に供給される。

この力は部材１２の左側部分（ＷＪにおいて）に伝達さ
れる。部材５２に供給される力に応答して、等しい反対
の力（矢印６２によって指示された）が素体５６の上部
表面の支持部材５０に供給される。この後者の力は部材
１４の右側部分（図において）に伝達される。トランス
ジユーサ１０に供給されるこれら対の力に応答して、ト
ランスジエサ１０の上部および下部ビーム部材は、導電
性部材３４および５６がそれらの平行関係を維持したま
一１Ｆランスジエーナ１０に供給される対の力の大きさ
に関係した距離だけ離間する上うな態様で、変形する。

部材３４および５６によって形成される有効コンデンナ
の中ヤバシタンスの大きさは通常のように測定でき、部
材５２に加えられる力の大きさを提、供する。

トランスジユーサ１０は軸ｌｌ３Ｇに沿う以外の方向に
おける毫−メントおよびカには非常に抵抗するから、印
加される対の力（矢印４ｏおよび６２によって表わされ
た）は軸＠ＳＯに沿う必要がない。例えば、第４５Ｉの
点線矢印４０’および６２′の方向に力が加えられると
、導電性部材３４および！４［の分離は軸！１５Ｇの方
向の印加された力の成分に反比例する。

上部および下部ビーム部材が変影すると、これら部材に
応力が生じる。例示の実施例では、スロットの深さムお
よびＢが等しく、かつプリッタ１２および１４が実質的
に同じであるという系の対称性のために、接合用部材４
２および４４によって形成される接合部は曲げ応力反曲
点、すなわち曲げモーメントが口である点に生じる。本
発明の他の形式においては、例えばス胃ット深さムおよ
びＢが同じでない場合、特にスシツト深さムおよびＢの
一方がＯに等しい場合には、部材の接合部はこれら応力
反曲点に生じない。しかしながら、第１図に示す好まし
い形式はこの特性を有する。

この状態のもとで紘、撃合用部材４２および４４によっ
て形成される接合部は軽く応力が生じるだけであるから
、比較的低品質の、従って安価な接合部が使用できる。

例えば、本発明が石英から構成される場合には、カドラ
ンスジューサ１０は負荷のもとて非常に低いヒステリシ
スおよび非常に低いクリープ、なら５ びに１０　ないし１０−’程度の精度指数を有すること
になる。さらに、このトランスジューサは熱によるキャ
パシタンスの変化が比較的低いという特徴もある。

カド２ンスジエーサ）０は一般に単一の軸線３０に沿う
正味の力にのみ応答し、そして他の面における力に対し
ては比較的高い拒否比率を維持する。本実施例の部材１
２および１４は１つの長方形状の細長い石英プリッタか
ら相補面を形成するように切断することによって容易に
構成てきる。

これら相補面を有する２つのブロックは上部および下部
ビーム部分を形成するように切除された一対のス胃ツシ
を有するだけである。ビー＾部分を形成するス四ツシは
図示するように感知部分の両側にあっても、あるいは同
じ側にあってもよい。

２つのデリック唸ビー＾部分を接合することによって、
例えばしつかりしたモノリシツタ構造体ｒｔ形威するた
めに融合によって接合されることにより、トランスジ為
−サを形成する。本発明の他の形式においては、金属を
含む他の材料が部材１２および１４として使用できる。

ただし、金属または導電性材料の場合には、部材Ｓ４お
よびＳ６の少なくとも一方が他方から絶縁されることに
なる。部材５０および５２は金属であっても、あるいは
他の材料であってもよい。

第５図は一回の切断による相補面を有する本発明におい
て使用するための部材１２および１４に対する他の形式
を示す。本発明のこの形式においては、部材１４は部材
１２と実質的に同一である。

導電性部材ｓ４および５４は部材１２および１４のそれ
ぞれのスーツシ間の平らな部分（平面）２０および２２
の財＃＃する部分にある。この形態によるトランスジュ
ーサの動作はキャパシタンスに対してコナインのスケー
ル・７アタタを必要とするという点を除き、第１図と関
連して記載した動作と実質的に同じである。例えば本発
明のさらに他の実施例においては、部材１２および１４
は第１ｖ１ないし第５図に示す長方形横断面とは相違す
る″おおむね円形の横断面を有している。

第６ム、６１１６Ｃ図ならびに第７区ないし第１０図は
本発明のさらに他の複数の実施例を示す。

これら図面において、第１図ないし第ｓｖＪの素子と対
応する素子は同じ参照符号を有する。第６ム、６Ｂｓ６
ＣＷＪならびに第７図ないし第１０ＷＩ＆−おいて、ト
ランスジニー９１０は中心軸１ａ１４に沿って延在する
円筒状四ツドの２つの部材１２および１４からおおむね
形式されている。これら２つの部材１２および１４はそ
れらの隣接する端部に相補面を有する。これら相補面は
少な（とも一対の対向する部分２０および２２を含む。

これら部分２０および２２は第１の基準軸線３０に平行
な方向においてオフ竜ツシされておりかつ第２の基準軸
線２４に平行である。この例示の実施例においては部分
２０および２２状平函状である。舅の実施例では、部分
２０および２２は平面状以外の例えば球−状であっても
よい。平面状部分２０および２２は平面状の導電性部材
５４および３６をそれぞれ支持する。

第６ム、６Ｂ、４０図ならびに第７図ないし第１０ｇの
実施例においては、実質的に等しい長さの、平行な上部
および下部ビーム部材７０および７２が部材１２および
１４間に延在しかつこれら部材１２．１４を結合してい
る。ビーム部材７０および７２は軸線２４に平行な軸線
に関して比較的たわみやすい。

ビーム部材７０および７２は部材１２および１４から延
在するビードによって各端部がこれら部材１２．１４に
結合されている。実際には、ビーム部材７０は軸線２４
に平行な軸線７６および７８に沿って結合されており、
またビーム部材７２は軸線２４に平行な軸線ＳＯおよび
８２に沿って結合されている。軸線７６および７８は軸
線１６に関して軸線−Ｏおよび８２と同じ距離だけ離間
されている。さらに、軸線７４ｓよびｓＯは軸＠ＳＯに
沿って軸線７８および８２と実質的に同じ距離だけ離間
されている。第６人、６　Ｂ、　４Ｃ図ならびに第７図
ないし第１０図のすべての実施例において、素子は石英
のような単一の材料よりなるものでよく、かつモノリシ
ック構造体を形成するように一緒に融合することができ
る。

図示するように、上部および下部ビーム部材７０および
７２は部材１２および１４の両側にある。別の実施例で
は、ビーム部材７０および７２は、例えばビーム部材７
２（および軸＠ＳＯおよび８２）が上部にあってビード
によってビーム部材７０に結合された点を除き第６Ａ図
の構造と類似する構造においては、部材１２および１４
の同じ傭にある。

第６人ないし６ＣＨの実施例では、ビーム部材７０およ
び７２は各端部にビードによって部材“１２および１４
に結合された延長部分を含む。ビーム部材が離間された
位置（軸＄１１６に沿う）において部材１２および１４
に結合されたこの結合状態はモーメントに抵抗する構造
である。部材１２および１４に対する延長部分のモーメ
ントに抵抗する結合状態は接合部における応力を最小に
する。

第７図の実施例では、一対の対角線に関して対向するモ
ーメン甑に抵抗する結合状態が一対の対角線に関して対
向するモーメントに抵抗しない結合状態とともに使用さ
れている。

第８図の実施例では、一対の直角に関して対向するモー
メントに抵抗する結合状態が一対の直線に関して対向す
るモーメントに抵抗しない結合状態とともに使用されて
いる。

第９図の実施例ａＳ材１２および１４の相補面が単一の
切断による面である点を除き第７図の実施例と同じであ
る。

第１０図の実施例はビーム部材７０および７２がテーパ
ー状をなしてい４点を除き、第７図の実施例と同じであ
る。

本発明はその精神あるいは本質＃特徴から逸脱すること
なしに他の種々の特定の形式で実施できる。従って、上
記実施例はすべての点において例示であって限定するも
のではなく、本発明の範囲は１記記載によってではなく
て特許請求の範囲によって指示されるものである。それ
故、特許請求の範囲と等価の意味お゛よび範囲内に入る
すべての変形、変更は本発明に包含されるものである。

【図面の簡単な説明】

第１５Ｉは本発明による代表的カトランスジエーナの一
実施例を示す斜視図、第２図は第１ｇの実施例の力合算
部材およびビ一本部分の一方を示す斜視図、第５ｗＪお
よび第５ム図は本発明に対する力合算部材の他の形式を
それぞれ示す斜視図、第４ｉ！ｉ！は本発明によるカト
ランスジエーナの他の実施例を示す斜視図、第５図は本
発明に対する力金算部材のさらに他の形式を示す斜視図
、第４ム閣は本発明の他の実施例の側面図、第６Ｂｆｌ
ｌｌおよび第６Ｃ図は第６人図の実施例のそれぞれ層面
ＩＩおよび上面図、第７図ないし第１０図は本発明のさ
らに他の実施例をそれでれ示す側面図である。 １０：カシテンスジエーナ １２．１４；細長い力合算部材 １６：共通の中心軸線 １２ｍ、１４ｍ＝上部ビーム部分 １２ｂ、１４ｂ：下部ビーム部分 ２０．２２：平らな部分 ２４：第２の基準軸線 ３０：第１の基準軸線 ５４．５６２平園状導電性部材 ４２．４４：接合用部材 ５０：支持部材 ５２：六入力部材 ５６：トランスジエーサ支持素体 ７０．７２！ビー＾部材

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　一対の対向する瓢い力会算部、材と、該力合
   算部材間に電在しかつこれら力会算部材を納会する第１
   のビーム部材と、同じ（前記力金算部材間に電在しかつ
   これら力会算部材を納会する第２のビーム部材とを具備
   し、 前記各力合算部材が中心軸線の方向に他方の力合算部材
   に向って電在する竜ンナ部材をそれぞれ含み、狼センー
   ？部材が前記中心軸線に直角な第１の基準軸、線の方向
   にお勤で互いにオフセットされた対向する感知部分を含
   み、 前記第１のビーム部材が前記中心および第１の基準軸線
   に直角な第２の基準軸線に平行な軸線に岡して比較的た
   わみやすいが、しかしその他の点では実質的に剛性であ
   り、 前記第２のビーム部材が前記第２の基準軸線に平行な軸
   線に関して比較的たわみやすいが、しかしその他の点で
   は実質的に剛性であり、前記感知部分の相対的動きを前
   記力合算部材に加えられる力に関係付けるようにし、た
   ことを特徴とするカドランスジニーす。 （乃　前記感知部分のそれぞれが導電性部材を有し、該
   導電性部材が対向する実質的に平行な表面を提供し、験
   表面が前記第１の基準軸線の方向においてオフセットさ
   れており、前記導電性部材に関連したキャパシタンスを
   前記力会算部材に加えられる力に関係付けるようにして
   なる特許請求の範囲第１項記載のカドランスジニーす。 （優　前記対向する平行な表面が平面であり、かつ前記
   第２の基準軸線に平行である特許請求の軸筒第２現記載
   のカドランスジニーサ。 （４）　　前記第１および第２のビーム部材が実質的に
   等しい長さを有し、前記第１および第２のビー入部材の
   前記第１の合算部材における結合点間の距離が前記ｌｉ
   １および第２のビーム部材の前記第２の合算部材におけ
   る結合点間の距離に実質的に等しい特許請求の範Ｉ！ｌ
   −第１項記載のカトツィスジェーす。 （荀　前記第１および第２のビーム部材が前記感知部分
   の両側にある特許請求の範囲第１項記載の力トランスジ
   為−す。 （６）　　前記合算部材および前記ビーム部材がそノリ
   シックである特許請求の範囲第１項−第２項および第４
   項のいずれかに記載のカシテンスジニー賃。 （７）前記合算部材および前記ビーム部材が誘電体材料
   よりつくられている時評請求の範囲第６項記載のカシテ
   ンスジニーナ。 （８）　　前記誘電体材料が石英である特許請求の範囲
   １１７１ＪＩＥ！ｉｔのカシテンスジニー賃。 （９）　　前記誘電体材料が七テミッタ材料である特許
   請求の範囲第７項記戦のカシテンスジニー賃。 （１０）前記力金算部材が金属部材である特許請求の範
   囲第６項記載のカシテンスジニーサ。 （１１）前記力合算部材が金属部材であり、前記導電性
   部材の少なくとも１つがその支持感知部分から絶縁され
   ている特許請求の範囲第２項記載のカシテンスジニーす
   。 （１２）前記導電性部材が薄膜である特許請求の範囲第
   ２項記載のカセンす・ （１３）前記平行な表面が平面であり、かつ前記中心軸
   線に平行である特許請求の範囲第３項記載の力トランス
   ジユーサ。 （１４）前記表面が平面であり、かつ前記中心軸線から
   角度方向にオアセットされている特許請求の範囲第５項
   記載のカシテンスジニー賃。 （１５）前記対向する感知部分が平面であり、かつ前記
   第２の基準軸線に平行である特許請求の範囲第１、項、
   第４項および第５項のいずれか←記載の力トランスジユ
   ーサ。 （１６）前記表面が平面であり、かつ前記中心軸線に平
   行である特許請求の範囲第１５項記載のカドランスジ晶
   −サ。 （１７）前記表面が平面であり、かつ前記中心軸線から
   角度方向にオフセットされている特許請求の範囲第１５
   項記戦の力）テンスジューサ。 （１８）一対の部材であって、各部材が共通の中心軸線
   に沿って延在し、かつそれらの隣接する端部において少
   なくとも一部分相補面を有し、該相補面の少なくとも一
   方が前記中心軸線から？　Ｏ’より小さい角度だけ角度
   方向にオフセットされた少なくとも１つの感知部分を有
   し、前記各部材がその相補面から延在する一対の平面状
   のスリットを含み、第１のスリットは深さムを有し、第
   ２のスリットは深さＢを有し、少なくともムまたはＢが
   Ｏではなぐ、前記第２のス宵ツシが前記第１のスリット
   から第１の基準軸線の方向において離間されており、該
   第１の基準軸線は前記中心軸線に直角であり、前記勢部
   材の上部および下部ビーム部分が第２の基準軸線に平行
   な軸線に関して比較的たわみ申す（、該第２の基準軸線
   が前記中心軸線および前記第１の基準軸線に直角であり
   、前記上部ビー入部分が前記第１のスリットによって一
   側がかつ前記部材や表面部分によって他側がそれぞれ限
   定されており、前記下部ビーム部分が前記第２のスリッ
   トによって一側がかつ前記部材の表面部分によって他側
   がそれでれ限定されている一対の部材と、 該一対の部材のそれぞれの上部ビー五部分と下部ビーム
   部分とを接合して七ノワシック構造体を形成し、前記相
   補面が前記第１の基準軸線の方向において互いにオフセ
   ットされ、かつ前記第１の基準軸線に平行な方向に可動
   であるがその他の点では比較的動かないようにする接合
   手段と、前記一対のス田ット間の前記相補面の前記感知
   部分上の平面状導電性部材 とを具備し、。 前記導電性部材に関連したキャパシタンスを前記一対の
   部材に加えられる力に関連付けるようにしたことを特徴
   とするカシテンスジニーサ。 （１９）前記対のスリットが平行である特許請求の範囲
   第１８項記載のカドランスジューサ。 （２０）前記相補面が前記第２の基準軸線に平行な少な
   くとも１つの平面を含み、−第２の基準軸線が前記中心
   軸線に直角である特許請求の範囲第１＄項記載のカドラ
   ンスジニーす。 （２１）　ムと藤の和があらかじめ定められた値に等し
   い特許請求の範囲第１８項または第２０項に記載の力）
   フンスジエーサ。 （２２）前記相補面が完全に平面であり、該平面が角度
   方向において前記中心軸線からオアセットされている特
   許請求の範囲第２０項記載のカトツンスジエーサ。 （２５）前記相補面が第１および第２のナプ平面を含み
   、該第１および第２のすプ平面が前記第１の基準軸線に
   平行でかつ前記中心軸線から角度方向にオフセットされ
   ており、そしてこれら第１および第２０すブ平面が前記
   中心軸ｌＩ＆−沿って互いに変位されており、前記第１
   のナプ平面が前記第１のス田ットを含みかつ前記第２の
   すプ平面が前記第２のス讐ットを含み、前記相補面が前
   記第１および第２のナブ平面閏に第３のナプ平面を含み
   、該第５のすプ平面が前記導電性部材を支持する特許請
   求の範囲第２０項記載のカトツンスジエーナ。 （２４）前記第３のナプ平面が前記中心および基準軸線
   に実質的に平行である特許請求の範囲第２５項記載のカ
   シランろジエーサ。 （２５）前記第３のナプ平面が前記基準軸線に実質的に
   平行であり、かつ前記中心軸線から角度方向にオフセッ
   トされている特許請求の範囲第２３項記載のカトランス
   ジエーサ。 （２６）ムとＢが等しい特許請求の範匠第１９項、第２
   ２項および第２５項のいずれかに記載の力Ｆランスジニ
   ーす。 （２７）前記上部および下部ビー＾部分が前記中心軸線
   の方向にテーパをなしており、かつ前記相補面に向って
   延在しており、前記対のス田ットが前記中心軸線に平行
   である特許請求の範囲第１８項記載のカトランスジエー
   ナ。