JPH0648277B2 - 分離体を有する通常モード入力のための加速度計 - Google Patents

分離体を有する通常モード入力のための加速度計

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JPH0648277B2
JPH0648277B2 JP1501183A JP50118388A JPH0648277B2 JP H0648277 B2 JPH0648277 B2 JP H0648277B2 JP 1501183 A JP1501183 A JP 1501183A JP 50118388 A JP50118388 A JP 50118388A JP H0648277 B2 JPH0648277 B2 JP H0648277B2
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements

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Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 この発明は、加速度計に関し、詳しくは、標準質量（プ
ルーフ・マス）の動きが力変換器（フォース・トランデ
ューサ）によって束縛されているところの加速度計に関
する。
発明の背景 振動ビーム加速度計においては、標準質量がたわみ屈曲
部または類似の部分によって支持されるように装架さ
れ、振動ビーム力変換器は標準質量と支持部との間に加
速度計の感知方向に沿って結合されている。感知方向に
沿う加速は力変換器に圧縮力または引張力をもたらすも
のである。これらの力は加速の方向と大きさの両方を示
す電気信号に変えられる・良く知られたタイプの振動ビ
ーム力変換器は２又音叉のように配列された石英水晶を
含んでいる。２又音叉は、２個のビームが互いの位相か
ら180゜の共通平面に入る横方向の振動ビームにおいて
振動が起こされた１対の並列ビームを含んでいる。力変
換器における引張力と圧縮力はそれぞれ振動数の増加や
減少をもたらすものである。
振動ビーム加速度計は、秀れた尺度因子の安定性を含
む、数多くの顕著な利益を有している。このような加速
度計におけるエラーの原因は、２個の標準質量と、一方
の水晶が圧縮に置かれ、他方の水晶が引張りに置かれる
というようなプッシュープル形に作動される２個の検知
水晶の使用によって大いに減少させることができる。出
力は振動周波数の差の関数として扱われる。この測定方
法は、振動修正係数に対する力検知水晶の関与を含む、
多くの通常モードのエラーを消去するものである。しか
しながら、２重標準質量を使用する不利益は、２個の加
速度計の力学的応答の同一を得ることが困難であるとい
うことである。このような問題点を避けるために、既
に、与えられる入力加速に対して一方の水晶が引張りに
置かれ、他方の水晶が圧縮に置かれるプッシュープルモ
ードに標準質量が連結される力変換器を有し、１対の力
変換器と一緒に１個の標準質量を用いることが提案され
ている。２重質量に対する取りかかりについては、種々
の通常モードのエラーを抹消するためにこのような配列
が使用される。
殆どの振動ビーム加速度計における通常モードのエラー
の第の原因は熱膨張係数の誤った組み合わせに係ってい
る。結晶石英は、力変換器として通常用いられる結晶軸
方向において、温度の関数として比較的非線形の膨張係
数を有している。結晶石英の熱膨張にも適合する、たわ
み部として適した性質を有する金属を見つけ出すことは
非常に困難である。所定の温度において完全な適合がな
されたとしても、結晶石英の膨張の非線形性は極限操作
温度において起こる不適合をもたらすであろう。さら
に、零応力点での水晶取付けのために、実質的に加速度
計操作範囲以上の温度になることが普通である。このこ
とは、エポキシ樹脂類接着剤、陽極接合、ろうまたはは
んだ付け、およびガラス融解接着として典型的である。
かくして、この結果、加速度計は水晶に通常モードの応
力を惹起する熱膨張不適合性を有することとなる。
水晶および機構上の残りの応力は多くの問題を生じさせ
ることができる。これらの問題には、端部付属物接合に
おける高度の接合ライン応力、機構部分における応力、
および水晶における応力を含んでいる。高度の結合ライ
ン応力は、加速されたクリープをもたらし、使用可能な
接着技術による高度な強さの要求とその限界とをもたら
すものである。機構部分における応力は衝撃加重能力の
減退と、寸法不安定性と、付加的な強度の要求とをもた
らすものである。水晶の応力は、寸法不安定性と、全範
囲の能力の減退と、水晶作用点の変化とより高い温度の
感度とをもたらす。
発明の要約 この発明は、異なるモードの加速入力を支持するために
高い剛性を維持しながら、力変換器の通常モード荷重を
実質的に減少させるための技術を開示するものである。
これは、分離体と、変換器軸に沿って力変換器に比較的
適応性があるが、標準質量の屈曲軸周りの回動に関して
比較的非適応である分離体懸架手段の使用によって達成
される。
好ましい具体的において、加速度計は、支持部、標準質
量、装架手段、分離体、分離体懸架手段、および２個の
力変換器とからなっている。装架手段は、標準質量が感
知方向に垂直な屈曲軸の周りに回動できるように標準質
量を支持部に装架している。分離体懸架システムは分離
体を支持部に装架している。分離体懸架システムは、屈
曲軸に直角な変換器軸に対して平行な分離体の動きに対
して比較的に適応性があり、屈曲軸周りの分離体の回動
に対して比較的非適応である。力変換器は分離体と標準
質量との間に結合されている。力変換器は、屈曲軸周り
の標準質量の回動が一方の力変換器を引張り状態に、地
方の力変換器を圧縮状態に置くように、力変換器軸に平
行に、互いに屈曲軸の反対側に配置されている。
図面の簡単な説明 第１図はこの発明の加速度計の１つの好適な具体例を示
す概略図であり、第２図は第１図に対応する具体例の標
準質量組立体の斜視図であり、第３図は第２図の標準質
量組立体に対応する加速度計の断面図であり、第４図は
第２図の標準質量組立体と１個の力検知水晶との平面図
であり、第5A〜5C図は交替可能な分離体懸架システムの
概略図であり、第６図はこの発明の第２の好適な具体例
の概略図であり、第７図はこの発明の第３の好適な具体
例の概略図であり、第８および９図は第２〜４図の加速
度計の概略図である。
発明の詳細な説明 この発明の加速度計の１個の好適な具体例が第１図に概
略形で示されている。加速度計10は、標準質量が図の平
面に直角である屈曲軸HAの周りに回動可能であるように
支持部14に装架される標準質量12から成っている。加速
度計は、さらに、参照符号20によって一般的に示される
分離体懸架システムによって支持部14の別の部分に装架
される分離体16から成っている。分離体懸架システム
は、第１図では４個のローラに抽象化され、感知方向SA
および屈曲軸HAに対して垂直である変換器軸TAに沿って
適応しており、屈曲軸HAの周りの回動に対して非適合で
ある。
力変換器22と26は分離体16と標準質量12とを相互に結合
している。力変換器は変換器軸TAに対して平行であり、
互いに屈曲軸HAの反対側に置かれ、屈曲軸HAの周りの標
準質量12の回動は、一方の力変換器を引張り状態に、他
方の力変換器を圧縮状態とする。加速度計の他の構成要
素に対する力変換器22と24との異なる熱膨張と熱収縮と
は、変換器軸TAに沿う分離体16の動きをもたらすが、理
想的に力変換器にはどのような応力も作り出されること
がなく、したがって、加速度計の出力にはエラーがもた
らされることがない。分離体懸架システムが変換器軸に
沿う分離体の動きに対していくらかの抵抗を有する実際
のシステムにおいては、力変換器上にもたらされる小さ
な力は、変換器のプッシュープル式の配列によって実質
的に打ち消された通常モード入力をつくり出すものであ
る。
第１図に示される線図的な例に対応する実際の具体例は
第２〜４図に示されている。これらの具体例は、標準質
量組立体を間に挟む上部プレート30と下部プレート32と
を含んでいる（第３図）。標準質量組立体34は標準質量
40と分離体42とが形成された丸型のウェハーからなる。
力検知水晶80と82は、後にさらに詳しく説明するよう
に、標準質量組立体の上面と下面にそれぞれ取付けられ
ている。標準質量40は、ウェハーを貫通する平行溝44と
46を切ること、および、標準質量40と、以後支持部52と
して示される標準質量組立体の残りの部分との間に円弧
たわみ部50を形成するために、ウェハーの上面と下面に
１対の整合する半円状切除を形成することとによって形
成される。屈曲軸の方向は標準質量40の両側を限定する
溝44と46に対して直角である。
分離体42は１対の組合ったＣ型溝54と56を作ることによ
って形成され、これらの溝が支持部52に梁60と62とによ
って連結された分離体42の形成をもたらすものである。
溝54と56の寸法と位置は、梁60と62が変換器軸TAに沿っ
て比較的小さな寸法で屈曲軸および感知方向に沿って比
較的大きな寸法を有するように調節される。結果とし
て、分離体42は、変換器軸に沿う転位運動に対して比較
的適応し易く、屈曲軸HA回りの回動を含む他の自由度に
対しては比較的非適応的である。分離体42の上面と下面
には、以下に理由が延べられるが、分離体42の質量を減
らすために設けられる切除区分70と72が含まれる。第２
図に最も良く示されるように、分離体42，梁62および支
持部52の上面には凹部74，76および78がそれぞれ含ま
れ、この要素の対応する下面には同様の凹部が含まれて
いる。これらの凹部は分離体42と標準質量40との間への
力検知水晶80と82の取付けを可能としている。
上部支持プレート30，標準質量組立体34および下部支持
プレート32は、上，下部の支持プレートの開孔（図示さ
れていない）と支持部52の開孔86を通る４個の螺子（図
示されていない）によって一緒に固定されている。上，
下の支持プレートは、力検知水晶の上と下とに、水晶と
それに連なるリードワイヤとを設備するために凹所88を
含んでいる。水晶は、尺度と自然周波数調節のために、
基礎部分に装架され、または標準質量組立体の中に装着
されることができる。上，下支持プレートの標準質量40
に隣接する部分は、標準質量と上，下支持プレートの隣
接面との間の境界面に適当な衝撃間隙を設けるために、
これらの表面は標準質量から僅かにひっ込めるように機
械加工されるのがよい。
操作において、力検知水晶80と82は、それぞれの水晶振
動周波数における出力信号を提供する１対の駆動回路に
連結される。出力信号は、次で当技術分野の専門家に良
く知られている方法で、感知方向SAの加速の大きさを提
供すべく加工される。この加工は、ここに参考として組
み込まれる米国特許第4,467,651 号に示されるものと同
様の方法で行われる。第２〜４図に示される型の分離体
は、与えられた加速入力のいかなるものに対しても、水
晶における通常モードの荷重において10：１の減少を提
供する。このことは標準質量の共振周波数における１％
以下の降下で達成される。以下に述べる具体例と同様に
この具体例においては、力検知水晶と屈曲軸間の垂直距
離は、与えられた加速入力が力検知水晶に等しい両方の
力を作るように、相互に同一であるのが好ましい。
分離体42の孤立システムは、それが変換器軸TAに沿う転
位に対して比較的高い適応し易さを提供し、屈曲軸HAの
回りの回動に比較的低い適応性を提供する限りはいかな
る形を取ってもよい。つけ加えると、全ての分離体の共
振周波数は、好ましくは、2000Hzの最高入力振動周波数
以上に充分維持されるものである。３個の代替可能の分
離体懸架システムが第5A〜5C図に例示される。これらの
図において、同じ参照番号42と52が分離体と支持部にそ
れぞれ用いられている。第5A図において、分離体42は、
１対の反対向きの組み重ねられたＣ形溝100 と102 によ
つて形成され、したがって１対の梁104 と106 とを形成
している。第5B図において、分離体42は、１対の向き合
つたＣ形溝110 と112 および112 の直線溝114 と116 と
によって形成され、したがって懸架システム構成用梁12
1〜124を形成している。第5B図の配列の利点は、分離体
が変換器軸に沿う純粋に真直ぐな線運動を作り出すこと
である。これの不利な点は、第４図および第5A図に示さ
れる具体例よりもより多くの切断（溝）を含んでいるこ
とである。分離体懸架システムの他の配列が第5C図に示
されている。この具体例においては、１本の溝130 が殆
ど連続する方形を形成し、たわみ部136 を形成する拡大
端部132 および134 を形成している。
この発明の加速度計の第２具体例は第６図に略図的に示
されている。この具体例においては、標準質量150 は、
第６図の図の平面に直角である屈曲軸HAの周りに回動で
きるような適宜の手段（図示されていない）によって支
持部に装架されている。分離体152 は１対のたわみ部15
6 として例示される分離体懸架システムによって支持部
154 に装架され、かくして分離体152 は、この例では感
知方向SAに平行である変換器軸TAに沿う転位的な動きに
比較的適応し易いものである。しかしながら、たわみ部
156 は屈曲軸HAの周りの分離体152 の回動を妨げる。１
対の力検知水晶160 と162 は標準質量150 と分離体152
の間に延び、変換器軸TAに平行である。前述の具体例と
同様に、感知方向SAに沿う加速は標準質量150 を屈曲軸
HAの周りに回動しようとし、それによって、一方の力検
知水晶は引張り状態に置かれ、他方の力検知水晶は圧縮
状態に置かれる。しかしながら、他の加速度計の要素に
関する力検知水晶の異なる熱的膨張または収縮が変換器
軸TAに沿う分離体152 の転位的動きを引き起こす。変換
器軸に沿う分離体の高い適応性のために、異なる熱的膨
張は比較的小さい通常モードの力を水晶にもたらすのみ
である。
この発明の第３具体例は第７図に略図的に示されてい
る。この具体例において、標準質量170 は適当な手段に
よって支持部172 に装架され、かくして標準質量は屈曲
軸HAの周りに回転可能である。分離体174 はまた適当な
手段によって支持部172 に装架され、分離体は屈曲軸HA
に平行な枢軸176 の周りに回動可能であるが、屈曲軸に
対して直角の方向にそこから移動させ、分離体が屈曲軸
の周りに回動できないようにしてもよい。枢軸176 は好
ましくは分離体174 の質量の中心を通り、かくして、分
離体は加速入力に応答して回動しようとはしない。力検
知水晶176 と178 は標準質量170 との間において屈曲軸
HAの両側に延びている。変換器軸TAは屈曲軸および感知
方向SAの両方に対して垂直である。先行の具体例と同様
に、感知方向SAに沿う加速は標準質量170 を屈曲軸HAの
周りに回動しようとし、それによって、一方の力検知水
晶は引張り状態に、他方の力検知水晶は圧縮状態に置か
れるものである。これに対して、力検知水晶の異なる熱
的膨張は分離体174 を枢軸176 の周りに回動させようと
し、水晶上に小さい通常モードの力をつくり出す。
第２〜４図に示される具体例において、分離体142 の質
量と水晶の非線形性は、荷重が通常モードであったとし
ても、少しの交差軸加速検知を導入することがある。こ
のようなエラーの原因を減らす１つの方法は、切除区分
70および72の手段のように、できるだけ多く分離体の質
量を減らすことである。他の選択枝は、第６図に示され
るような加速度計を使用することであり、そこでは分離
体152 の質量が感知方向の加速によってのみ通常モード
の荷重に加えられている。この場合には、エラーが加速
度計の校正段階において取除かれる。さらに他の選択枝
は、第７図に示されるような加速度計を使用することで
あり、そこでは、分離体174 がその質量の中心で支持さ
れているので、直線的な加速によっては影響されること
がない。
分離体の質量問題に対する他のアプローチは、第８図に
略図的に示されており、そこでは第２〜４図の参照番号
が便利のために再び使用されている。MPとMIとはそれぞ
れ標準質量と分離体とを表わす。KPは、支持部に関して
変換器軸に沿う標準質量の転移的な動きに対するたわみ
部50のばね常数を表わす。同様に、KIは、再び支持部に
関して変換器軸に沿う動きに対する分離体懸架システム
のばね常数を表わしている。
もし、MP／KPの比がMI／KIに等しくされるならば、交差
軸検知は０になるだろう。一般的に、このように比を等
しくする好ましい方法は、MIをMPよりより小さくし、KI
を同じ要因によってKPよりより小さくすることである。
１個の標準質量に対する２個の振動ビーム力変換器の連
結は各変換器間の混信という潜在的な問題を提起する。
かくて、ある設計にあっては、充分離れた間隔を置き、
水晶の周波数操作範囲が重なり合わない中心周波数を有
する力検知水晶を使用することが好ましい。異なった中
心数波数を有する水晶の使用は、水晶の剛性が互いに異
なることを意味し、かつ与えられた加速入力に対し水晶
によって検知される力が互いに異なることを意味してい
る。これらの検知された力の大きさの相違は、一般的
に、振動修正係数の増加を招き、殊に、基本的システム
の共振、すなわち分離体据え付け部に対する屈曲部周り
の標準質量の振動の共振周波数における入力を伴う最高
の標準質量変位間に招かれるであろう。
水晶によって検知される等しくない力がもたらされる他
の条件は、それらが屈曲部HAから等しくない垂直距離に
装架されているかどうかである。この不等は、水晶の取
付けを行う工程における変化の結果であり、および／ま
たは機構自身の寸法変化の結果である。これらの不等装
架距離も、また振動修正係数を増加するものである。
変換器軸に沿って動くことのできる分離体の使用は、振
動修正係数の減少のための手段を提供し、この減少は変
換器軸に沿う分離体の剛性の適当な選択によって最高と
されることができる。第２〜４図の加速度計の簡略化さ
れたモデルが第９図に提供されている。第９図のモデル
は、屈曲軸HAの周りの慣性モーメントIPを有する標準質
量40と、質量MIを有する分離体42と、そして変換器軸TA
に沿うばね常数KIをもつ分離懸架システム20とからなつ
ている。分離体と標準質量は、それぞればね常数K1およ
びK2を有し、屈曲軸を通り変換器軸TAに対して垂直であ
る中心線180 から垂直距離R1およびR2の位置に置かれた
力検知水晶80および82によって互いに連結される。第９
図に示されるシステムは、その運動を屈曲軸周りの標準
質量からなるものおよび変換器軸に沿う分離体の変位か
らなるものの２つの自由度システムの考えとすることが
できる。これらの説明から、標準質量の回転の正の方向
は時計回り方向であり、分離体移動の正方向は右方向へ
の移動であることが明確である。
一般的に、それぞれの力検知水晶による経験によって得
られた力F1およびF2は、 F1＝K1（θ・R1−Ｚ） ・・・(1) F2＝−K2（θ・R2＋Ｚ） ・・・(2) で与えられる。
ここで、θは標準質量の屈曲軸周りの回転角度であり、
Ｚは変換器軸に沿う分離体の移動距離であり、そして、
引張り力は正であり、圧縮力は負である。
理想的には、力F1とF2とはいかなる加速入力の下でも、
すなわちいかなる標準質量の回転があっても等しい。し
かしながら、一般的に、F1とF2とは、K1とK2の相違およ
び／またはR1とR2間の相違のために等しくない。しかし
ながら、第９図の２個の自由度モデルに対し、共振標準
質量の変位間に各水晶によって経験的に得られる力間の
成功の差はばね常数K1を次のように調節することによっ
て最小とすることができる。
方程式(3) によって決定されるK1の値は、分離体質量お
よび水晶80と82とからなり分離体懸架システム共振周波
数が基本的システム共振、すなわち、分離体の移動がな
いと仮定して、標準質量および力検知水晶の共振周波数
と同じにされた調整状態のものである。調整された状態
において、分離体の移動は各水晶間の力検知の差を減少
させる傾向を有し、それゆえ、振動修正係数を改善する
こととなるだろう。分離体懸架システムは、それゆえ、
好ましくは、K1が方程式(3) を満たし、特に、異なった
中心周波数を有する水晶が用いられるシステムに向けて
設計されるであろう。
この発明の好ましい具体例が示され、説明されて来た
が、当技術分野の専門家にとって種々の変形は明らかで
あろう。したがって、この発明の範囲は説明された具体
例に制限されることはなく、次の特許請求の範囲の参照
によって決定されるべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 米国特許4658174（ＵＳ，Ａ) 米国特許4221131（ＵＳ，Ａ)

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】支持部、標準質量、この標準質量が感知方
    向に垂直な屈曲軸の周りに回動できるように標準質量を
    支持部に装架するための装架手段、分離体、この分離体
    を支持部に装架するための分離体懸架手段であって、屈
    曲軸に対して直角で変換器軸に対して平行な分離体の動
    きに対して比較的適応性があり、屈曲軸周りの分離体の
    回動に対して比較的非適応性である分離体懸架手段、お
    よび、分離体と標準質量との間に連結される２個の力変
    換器であって、標準質量の屈曲軸周りの回動が一方の力
    変換器を引張り状態に置き、他方の力変換器を圧縮状態
    に置くように、交換器軸に平行に、互いに屈曲軸の反対
    側に配置された力変換器とからなる感知方向に沿う加速
    を測定するための加速度計。
  2. 【請求項２】変換器軸が感知方向に直角であるところの
    請求項１記載の加速度計。
  3. 【請求項３】分離体懸架システムが、屈曲軸に平行であ
    るが屈曲軸に対して直角の方向へ屈曲軸から離れた枢軸
    の周りの分離体の回動に対して比較的適応性のあるとこ
    ろの請求項２記載の加速度計。
  4. 【請求項４】変換器軸が感知方向に平行であるところの
    請求項１記載の加速度計。
  5. 【請求項５】分離体懸架手段が変換器軸に沿って分離体
    の両側に配置された第１および第２梁からなり、各梁が
    支持部および分離体に連結され、各梁が変換器軸に沿う
    屈曲に対して比較的適応性があり、感知方向に沿う屈曲
    に対して比較的非適応であるところの請求項１記載の加
    速度計。
  6. 【請求項６】装架手段が円弧状たわみ部からなるところ
    の請求項１記載の加速度計。
  7. 【請求項７】力変換器と屈曲軸の間の垂直距離が他の力
    変換器と屈曲軸の間の垂直距離に等しいところの請求項
    １記載の加速度計。
  8. 【請求項８】変換器軸に沿う装架手段への適応によって
    分割された標準質量の質量が変換器軸に沿う分離体懸架
    手段への適応によって分けられた分離体の質量に等しい
    ところの請求項１記載の加速度計。
  9. 【請求項９】変換器軸に沿う分離体の動きに対する分離
    体懸架手段のばね常数が、力変換器や標準質量を別にし
    て変換器軸に沿う分離体振動に対する共振周波数が静止
    的に保持される分離体に対する屈曲軸周りの標準質量の
    振動の共振周波数と等しくなるように選ばれるところの
    請求項１記載の加速度計。
  10. 【請求項１０】上部プレート部材、下部プレート部材、
    上、下プレート部材間に挟まれた標準質量組立体であっ
    て、上、下プレート部材に結合された支持部を含む標準
    質量組立体、感知方向に垂直な屈曲軸周りに標準質量が
    回動できるように支持部に対して標準質量を装架するた
    めの装架手段、分離体、分離体を支持部に装架するため
    の分離体懸架手段であって、屈曲軸に直角な変換器軸に
    平行な分離体の動きに比較的に適応性があり、屈曲軸周
    りの分離体の回動に比較的不適応である分離体懸架手
    段、および、分離体と標準質量との間に結合された２個
    の力変換器であって、屈曲軸の周りの標準質量の回動が
    一方の力変換器を引張り状態に置き、他方の力変換器を
    圧縮状態に置くように、変換器軸に平行でかつ互いに屈
    曲軸の反対側に配置された力変換器とからなる、感知方
    向に沿う加速を測定するための加速度計。
  11. 【請求項１１】装架手段が円弧状たわみ部からなるとこ
    ろの請求項10記載の加速度計。
  12. 【請求項１２】力変換器と屈曲軸間の垂直距離が他の力
    変換器と屈曲軸間の距離に等しいところの請求項10記載
    の加速度計。
  13. 【請求項１３】変換器軸に沿う装架手段の適応性によっ
    て分けられた標準質量の質量が変換器軸に沿う分離体懸
    架手段の適応性によって分けられた分離体の質量と等し
    いところの請求項10記載の加速度計。
  14. 【請求項１４】変換器軸に沿う分離体の動きに対する分
    離体懸架手段のばね常数が、力変換器と標準質量とを離
    れて変換器軸に沿う分離体振動の共振周波数が静止的に
    保持された分離体を有する屈曲軸の周りの標準質量振動
    の共振周波数に等しくなるように選定されるところの請
    求項10記載の加速度計。
JP1501183A 1987-10-22 1988-10-10 分離体を有する通常モード入力のための加速度計 Expired - Lifetime JPH0648277B2 (ja)

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