JPH0230450B2

JPH0230450B2 -

Info

Publication number: JPH0230450B2
Application number: JP57083353A
Authority: JP
Inventors: In Rii Shii
Original assignee: Setra Systems Inc
Current assignee: Setra Systems Inc
Priority date: 1981-05-19
Filing date: 1982-05-19
Publication date: 1990-07-06
Also published as: US4448085A; JPS585624A

Description

【発明の詳細な説明】本発明はトランスジユーサの分野に属し、詳し
くいうと、高解像力、高精度の力トランスジユー
サに関する。

力あるいは重さを感知する従来技術の一形式は
固定の磁界中に可動コイルを使用するフイードバ
ツク方法を利用している。このコイルは感知軸線
に沿つて可動であり、そしてこの感知軸線に沿う
一定位置に保持するのに十分な電流によつて駆動
される。この形態においては、コイル駆動電流は
このコイルを変位するために供給される力の尺度
を提供する。この方法は一般的に有効であるけれ
ど、この力感知形態は比較的複雑であり、対応的
に高価である。

従来技術の他の形式はひずみゲージ・ロードセ
ルである。しかしながら、この形式においては、
ロードセルの精度がひずみゲージのセンサ材料の
ヒステリシスおよびクリープによつて、ならびに
センサに対する結合材料のヒステリシスおよびク
リープによつて、制限される。

さらに他の力感知方法は可変キヤパシタンス形
式のロードセルを利用する。このロードセルにお
いては、一対の対向する実質的に平行な導電性板
を供給される力に比例する態様で測定されるべき
力が分離させるようにこれら導電性板が結合され
ている。この方法は原理的には満足なものである
けれど、感知する導電性板をある範囲の力にわた
つて平行に適切に保持する従来技術において既知
の直進組立体がない。

従つて、本発明の目的は改良された力センサを
提供することである。

他の目的は可変キヤパシタンス力センサを提供
することである。

簡単に説明すると、本発明によれば、力トラン
スジユーサは中心軸線に沿つている一対の対向す
る剛体の力合算部材を含む。これら合算部材のそ
れぞれは中心軸線に沿つて他方の合算部材の方へ
延在するセンサ部材を含む。これらセンサ部材は
中心軸線に直角な第１の基準軸線の方向において
相互に離間（オフセツト）されている対向する感
知部分を含む。一対のビーム部材が力合算部材間
に延在しかつこれら部材を結合しており、一方の
ビーム部材はセンサ部材の一側にあり、また他方
のビーム部材はセンサ部材の他側にある。これら
ビーム部材は第２の基準軸線（第１の基準軸線お
よび中心軸線に対して直角をなす）に平行な軸線
に関して可撓性であるが、他の点では実質的に剛
性である。本発明の好ましい形式においては、ビ
ーム部材は長さにおいて実質的に等しく、かつセ
ンサ部材と結合する点間の距離が実質的に等し
く、従つてビーム部材はおおむね平行である。

本発明の一形式においては、対向するセンサ部
材のそれぞれは、一対の対向する実質的に平行な
導電性平面を提供するように、導電性部材を支持
する。これら導電性平面は第１の基準軸線の方向
において離間されており、かつ第２の基準軸線に
対して平行である。本発明のこの形式において
は、力トランスジユーサは導電性部材が感知部材
の対向する部分に付着された薄い導電性フイルム
であるモノリシツク誘電体構造であつてもよい。

この形態においては、力トランスジユーサは第
１の基準軸線に平行な力によつて一方の合算部材
に支持することができる。測定されるべき力は第
１の基準軸線に平行な他方の合算部材に供給され
る。この力が合算部材に供給されると、ビーム部
材は第２の基準軸線に平行な軸線に関するそれら
の可撓性により変形する。ビーム部材が変形する
と、感知部材およびこれら感知部材によつて支持
される導電性部材がそれらの平行な関係を維持し
ながら第１の基準軸線の方向に互いに関して変位
される。これら導電性部材によつて形成される有
効平行板コンデンサのキヤパシタンスは通常のよ
うに測定できる。測定されたキヤパシタンス値は
平行板の間隔、従つて測定されるべき力に反比例
する。

本発明の力トランスジユーサは、例えば、力ト
ランスジユーサが石英より形成されたモノリシツ
ク構造体である場合には、負荷のもとで比較的低
ヒステリシスおよび非常に低いクリープによつて
特徴付けることができる。この形式においては、
合算部材に供給される与えられた力に対して熱に
よるキヤパシタンスの変化が比較的少ない。力ト
ランスジユーサは主として単一の感知（第１の基
準）軸線からの正味の力に応答し、そしてその他
の面における力およびモーメントに対しては比較
的高い拒否比率を有する。

本発明の力トランスジユーサは力の直接測定用
のロードセルの形式の力センサとして使用するこ
とができる。あるいは、このトランスジユーサは
慣性力（ある質量とともに使用されるとき）、あ
るいはダイヤフラムとともに使用されるときの圧
力のような他の力を感知するために使用できる。

本発明の上述のおよび他の目的、種々の特徴、
ならびに本発明それ自体は添付図面を参照しての
以下の好ましい実施例のついての記載から十分に
理解されよう。

第１図は本発明によるトランスジユーサ１０の
好ましい一形式を示す。このトランスジユーサ１
０は一対の長方形横断面の細長い力合算部材１２
および１４を有し、これら部材１２，１４は共通
の中心軸線１６に沿つて延在している。一方の細
長い部材１２は第２図にも図示されている。部材
１２および１４はそれらの隣接する端部に相補面
を含む。図示するように、力合算部材１２，１４
の端部全体が相補面を形成しているが、他の実施
例においては、相補面が隣接する端部の一部だけ
であつてもよい。

例示の実施例においては、部材１２，１４の面
は中心軸線１６に直角な第１の基準軸線３０の方
向において離間されている平らな部分２０および
２２をそれぞれ含む。これら平らな部分２０，２
２は軸線１６および３０に直角な第２の基準軸線
２４に対して平行である。この好ましい実施例に
おいては、平らな部分２０および２２は中心軸線
１６に対しても平行であるが、他の実施例では平
らな部分は中心軸線１６に関して平行ではなくて
ある角度を持つて配置されていてもよい（角度方
向にオフセツトされていてもよい。）図示するよ
うに、平らな部分２０および２２の各側面は軸線
３０に対して平行でかつ軸線１６に対して直角で
あるけれど、これら側面の他の配向状態も使用で
きる。この実施例においては、部材１２および１
４は実質的に同一である。これら部材は接合され
てトランスジユーサ１０を形成する。

細長い力合算部材１２および１４は軸線１６お
よび２４に平行な平面にそれらの相補面から延在
する２つの平面状スロツトをそれぞれ含む。第３
図はこれらスロツトが軸線１６および２４に平行
な平面でない点を除き第１図および第２図の部材
１２に類似する部材１２の一形式を示す。第３Ａ
図はスロツトによつて定められる部分１２ａおよ
び１２ｂが中心軸線１６の方向にテーパー状をな
して相補面に向つて延在している点を除き第１図
および第２図の部材１２に類似する部材１２の一
形式を示す。

第１図および第２図に例示された実施例におい
ては、部材１２および１４のそれぞれにおける両
スロツトは同一の深さを有する。しかしながら、
他の実施例においては、部材１２および１４のそ
れぞれにおいて、一方のスロツトが深さＡを有
し、他方のスロツトが深さＢを有してもよい。こ
の場合、ＡおよびＢの少なくとも一方は０ではな
く、かつＡとＢの和はあらかじめ定められた値に
等しい。さらに、部材１２の２つのスロツトは軸
線３０の方向に離間されており、従つて部材１２
の上部ビーム部分１２ａおよび下部ビーム部分１
２ｂ（すなわち、部材１２のスロツトおよび外側
表面によつて限定されたビーム部分）は軸線２４
に平行な軸線に関するモーメントに応答して相対
的にたわみやすくなる。

本実施例においては、部材１２および１４は実
質的に同一である。その結果、部材１４の２つの
スロツトは上部ビーム部分１４ａおよび下部ビー
ム部分１４ｂを定めるものとみなせる。

部材１２および１４の平らな部分２０および２
２はそれぞれ実質的に平面状の導電性部材３４お
よび３６を支持する。

部材１２および１４の上部ビーム部分１２ａお
よび下部ビーム部分１４ｂはそれぞれ接合用部材
４２によつて接合され、また部材１２および１４
の下部ビーム部分１２ｂおよび上部ビーム部分１
４ａはそれぞれ接合用部材４４によつて接合され
る。その結果としての形態において、部材１２お
よび１４の相補面は軸線１６の方向において互い
に離間されており、部材３４および３６の対向す
る導電性表面は軸線３０の方向において互いに離
間されている。好ましい形式においては、部材１
２および１４は石英であり、結合部材４２および
４４もまた、石英であり、従つてこれらすべての
部材はモノリシツク構造体を形成するように一緒
に融合できる。他の実施例においては、チタンの
けい酸塩、セラミツクあるいは他の誘電体材料の
ような他の材料が使用できる。

第１図に示すように、トランスジユーサ１０は
部材１４に強固に取付けられた堅い支持部材５０
および部材１２に強固に取付けられた堅い力入力
部材５２を含む。これら部材５０および５２は石
英であつてもよく、また部材１２および１４にそ
れぞれ融合してもよい。支持部材５０はトランス
ジユーサ支持素体５６の上部平面に結合される。

第４図は部材５０および５２が力合算部材１２
および１４に機械的に結合された（ねじ５８ａお
よび５８ｂによつて）金属部材である点を除き第
１図のトランスジユーサと類似する本発明の他の
形式を示す。この形式においては応力隔絶みぞ５
９ａおよび５９ｂが取付けねじからの応力を隔絶
する。

第１図のトランスジユーサの動作においては、
矢印６０によつて指示された測定されるべき力は
軸線３０に沿つて力入力部材５２に供給される。
この力は部材１２の左側部分（図において）に伝
達される。部材５２に供給される力に応答して、
等しい反対の力（矢印６２によつて指示された）
が素体５６の上部表面の支持部材５０に供給され
る。この後者の力は部材１４の右側部分（図にお
いて）に伝達される。トランスジユーサ１０に供
給されるこれら対の力に応答して、トランスジユ
ーサ１０の上部および下部ビーム部材は、導電性
部材３４および３６がそれらの平行関係を維持し
たまゝ、トランスジユーサ１０に供給される対の
力の大きさに関係した距離だけ離間するような態
様で、変形する。部材３４および３６によつて形
成される有効コンデンサのキヤパシタンスの大き
さは通常のように測定でき、部材５２に加えられ
る力の大きさを提供する。

トランスジユーサ１０は軸線３０に沿う以外の
方向におけるモーメントおよび力には非常に抵抗
するから、印加される対の力（矢印６０および６
２によつて表わされた）は軸線３０に沿う必要が
ない。例えば、第４図の点線矢印６０′および６
２′の方向に力が加えられると、導電性部材３４
および３６間の分離は軸線３０の方向の印加され
た力の成分に反比例する。

上部および下部ビーム部材が変形すると、これ
ら部材に応力が生じる。例示の実施例では、スロ
ツトの深さＡおよびＢが等しく、かつブロツク１
２および１４が実質的に同じであるという系の対
称性のために、接合用部材４２および４４によつ
て形成される接合部は曲げ応力反曲点、すなわち
曲げモーメントが０である点に生じる。本発明の
他の形式においては、例えばスロツト深さＡおよ
びＢが同じでない場合、特にスロツト深さＡおよ
びＢの一方が０に等しい場合には、部材の接合部
はこれら応力反曲点に生じない。しかしながら、
第１図に示す好ましい形式はこの特性を有する。
この状態のものでは、接合用部材４２および４４
によつて形成される接合部は軽く応力が生じるだ
けであるから、比較的低品質の、従つて安価な接
合部が使用できる。

例えば、本発明が石英から構成される場合に
は、力トランスジユーサ１０は負荷のもとで非常
に低いヒステリシスおよび非常に低いクリープ、
ならびに10^-5ないし10^-6程度の精度指数を有する
ことになる。さらに、このトランスジユーサは熱
によるキヤパシタンスの変化が比較的低いという
特徴もある。

力トランスジユーサ１０は一般に単一の軸線３
０に沿う正味の力にのみ応答し、そして他の面に
おける力に対しては比較的高い拒否比率を維持す
る。本実施例の部材１２および１４は１つの長方
形状の細長い石英ブロツクから相補面を形成する
ように切断することによつて容易に構成できる。
これら相補面を有する２つのブロツクは上部およ
び下部ビーム部分を形成するように切除された一
対のスロツトを有するだけである。ビーム部分を
形成するスロツトは図示するように感知部分の両
側にあつても、あるいは同じ側にあつてもよい。

２つのブロツクはビーム部分を接合することに
よつて、例えばしつかりしたモノリシツク構造体
を形成するために融合によつて接合されることに
より、トランスジユーサを形成する。本発明の他
の形式においては、金属を含む他の材料が部材１
２および１４として使用できる。ただし、金属ま
たは導電性材料の場合には、部材３４および３６
の少なくとも一方が他方から絶縁されることにな
る。部材５０および５２は金属であつても、ある
いは他の材料であつてもよい。

第５図は一回の切断による相補面を有する本発
明において使用するための部材１２および１４に
対する他の形式を示す。本発明のこの形式におい
ては、部材１４は部材１２と実質的に同一であ
る。導電性部材３４および３６は部材１２および
１４のそれぞれのスロツト間の平らな部分（平
面）２０および２２の対向する部分にある。この
形態によるトランスジユーサの動作はキヤパシタ
ンスに対してコサインのスケール・フアクタを必
要とするという点を除き、第１図と関連して記載
した動作と実質的に同じである。例えば本発明の
さらに他の実施例においては、部材１２および１
４は第１図ないし第３図に示す長方形横断面とは
相違するおおむね円形の横断面を有している。

第６Ａ，６Ｂ，６Ｃ図ならびに第７図ないし第
１０図は本発明にさらに他の複数の実施例を示
す。これら図面において、第１図ないし第３図の
素子と対応する素子は同じ参照符号を有する。第
６Ａ，６Ｂ，６Ｃ図ならびに第７図ないし第１０
図において、トランスジユーサ１０は中心軸線１
６に沿つて延在する円筒状ロツドの２つの部材１
２および１４からおおむね形成されている。これ
ら２つの部材１２および１４はそれらの隣接する
端部に相補面を有する。これら相補面は少なくと
も一対の対向する部分２０および２２を含む。こ
れら部分２０および２２は第１の基準軸線３０に
平行な方向において離間されておりかつ第２の基
準軸線２４に平行である。この例示の実施例にお
いては部分２０および２２は平面状である。別の
実施例では、部分２０および２２は平面状以外の
例えば球面状であつてもよい。平面状部分２０お
よび２２は平面状の導電性部材３４および３６を
それぞれ支持する。

第６Ａ，６Ｂ，６Ｃ図ならびに第７図ないし第
１０図の実施例においては、実質的に等しい長さ
の、平行な上部および下部ビーム部材７０および
７２が部材１２および１４間に延在しかつこれら
部材１２，１４を結合している。ビーム部材７０
および７２は軸線２４に平行な軸線に関して比較
的たわみやすい。

ビーム部材７０および７２は部材１２および１
４から延在するビードによつて各端部がこれら部
材１２，１４に結合されている。実際には、ビー
ム部材７０は軸線２４に平行な軸線７６および７
８に沿つて結合されており、またビーム部材７２
は軸線２４に平行な軸線８０および８２に沿つて
結合されている。軸線７６および７８は軸線１６
に関して軸線８０および８２と同じ距離だけ離間
されている。さらに、軸線７６および８０は軸線
３０に沿つて軸線７８および８２と実質的に同じ
距離だけ離間されている。第６Ａ，６Ｂ，６Ｃ図
ならびに第７図ないし第１０図のすべての実施例
において、素子は石英のような単一の材料よりな
るものでよく、かつモノリシツク構造体を形成す
るように一緒に融合することができる。

図示するように、上部および下部ビーム部材７
０および７２は部材１２および１４の両側にあ
る。別の実施例では、ビーム部材７０および７２
は、例えばビーム部材７２（および軸線８０およ
び８２）が上部にあつてビードによつてビーム部
材７０に結合された点を除き第６Ａ図の構造と類
似する構造においては、部材１２および１４の同
じ側にある。

第６Ａないし６Ｃ図の実施例では、ビーム部材
７０および７２は各端部にビードによつて部材１
２および１４に結合された延長部分を含む。ビー
ム部材が離間された位置（軸線１６に沿う）にお
いて部材１２および１４に結合されたこの結合状
態はモーメントに抵抗する構造である。部材１２
および１４に対する延長部分のモーメントに抵抗
する結合状態は接合部における応力を最小にす
る。

第７図の実施例では、一対の対角線に関して対
向するモーメントに抵抗する結合状態が一対の対
角線に関して対向するモーメントに抵抗しない結
合状態とともに使用されている。

第８図の実施例では、一対の直線に関して対向
するモーメントに抵抗する結合状態が一対の直線
に関して対向するモーメントに抵抗しない結合状
態とともに使用されている。

第９図の実施例は部材１２および１４の相補面
が単一の切断による面である点を除き第７図の実
施例と同じである。

第１０図の実施例はビーム部材７０および７２
がテーパー状をなしている点を除き、第７図の実
施例と同じである。

本発明はその精神あるいは本質的特徴から逸脱
することなしに他の種々の特定の形式で実施でき
る。従つて、上記実施例はすべての点において例
示であつて限定するものではなく、本発明の範囲
は上記記載によつてではなくて特許請求の範囲に
よつて指示されるものである。それ故、特許請求
の範囲と等価の意味および範囲内に入るすべての
変形、変更は本発明に包含されるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による代表的力トランスジユー
サの一実施例を示す斜視図、第２図は第１図の実
施例の力合算部材およびビーム部分の一方を示す
斜視図、第３図および第３Ａ図は本発明に対する
力合算部材の他の形式をそれぞれ示す斜視図、第
４図は本発明による力トランスジユーサの他の実
施例を示す斜視図、第５図は本発明に対する力合
算部材のさらに他の形式を示す斜視図、第６Ａ図
は本発明の他の実施例の側面図、第６Ｂ図および
第６Ｃ図は第６Ａ図の実施例のそれぞれ端面図お
よび上面図、第７図ないし第１０図は本発明のさ
らに他の実施例をそれぞれ示す側面図である。１０：力トランスジユーサ、１２，１４：細長
い力合算部材、１６：共通の中心軸線、１２ａ，
１４ａ：上部ビーム部分、１２ｂ，１４ｂ：下部
ビーム部分、２０，２２：平らな部分、２４：第
２の基準軸線、３０：第１の基準軸線、３４，３
６：平面状導電性部材、４２，４４：接合用部
材、５０：支持部材、５２：力入力部材、５６：
トランスジユーサ支持素体、７０，７２：ビーム
部材。

Claims

【特許請求の範囲】１一対の対向する堅い力合算部材と、該力合算
部材間に延在しかつこれら力合算部材を結合する
第１のビーム部材と、同じく前記力合算部材間に
延在しかつこれら力合算部材を結合する第２のビ
ーム部材とを具備し、前記各力合算部材が中心軸線の方向に他方の力
合算部材に向かつて延在するセンサ部材をそれぞ
れ含み、該センサ部材が前記中心軸線に直角な第
１の基準軸線の方向において互いに離間された対
向する感知部分を含み、前記第１のビーム部材が前記中心及び第１の基
準軸線に直角な第２の基準軸線に平行な軸線に関
して比較的たわみやすいが、しかしその他の点で
は実質的に剛性であり、前記第２のビーム部材が前記第２の基準軸線に
平行な軸線に関して比較的たわみやすいが、しか
しその他の点では実質的に剛性であり、前記感知部分のそれぞれが導電性部材を有し、
該導電性部材が対向する実質的に平行な表面を提
供し、該表面が前記第１の基準軸線の方向におい
て離間されており、前記導電性部材に関連したキ
ヤパシタンスを前記力合算部材に加えられる力に
関係付けるようにしたことを特徴とする力トラン
スジユーサ。２前記対向する平行な表面が平面であり、かつ
前記第２の基準軸線に平行である特許請求の範囲
第１項記載の力トランスジユーサ。３前記第１及び第２のビーム部材が実質的に等
しい長さを有し、前記第１及び第２のビーム部材
の前記第１の合算部材における結合点間の距離が
前記第１及び第２のビーム部材の前記第２の合算
部材における結合点間の距離に実質的に等しい特
許請求の範囲第１項記載の力トランスジユーサ。４前記第１及び第２のビーム部材が前記感知部
分の両側にある特許請求の範囲第１項記載の力ト
ランスジユーサ。５前記合算部材及び前記ビーム部材がモノリシ
ツクである特許請求の範囲第１項又は第３項に記
載の力トランスジユーサ。６前記合算部材及び前記ビーム部材が誘電体材
料よりつくられている特許請求の範囲第５項記載
の力トランスジユーサ。７前記誘電体材料が石英である特許請求の範囲
第６項記載の力トランスジユーサ。８前記誘電体材料がセラミツク材料である特許
請求の範囲第６項記載の力トランスジユーサ。９前記力合算部材が金属である特許請求の範囲
第５項記載の力トランスジユーサ。１０前記力合算部材が金属材料であり、前記導
電性材料の少なくとも１つがその支持感知部分か
ら絶縁されている特許請求の範囲第１項記載の力
トランスジユーサ。１１前記導電性部材が薄膜である特許請求の範
囲第１項記載の力トランスジユーサ。１２前記平行な表面が平面であり、かつ前記中
心軸線に平行である特許請求の範囲第２項記載の
力トランスジユーサ。１３前記表面が平面であり、かつ前記中心軸線
に関して平行ではなくてある角度を持つて配置さ
れている特許請求の範囲第２項記載の力トランス
ジユーサ。１４前記対向する感知部分が平面であり、かつ
前記第２の基準軸線に平行である特許請求の範囲
第１項、第３項及び第４項のいずれかに記載の力
トランスジユーサ。１５前記表面が平面であり、かつ前記中心軸線
に平行である特許請求の範囲第１４項記載の力ト
ランスジユーサ。１６前記表面が平面であり、かつ前記中心軸線
に関して平行ではなくてある角度を持つて配置さ
れている特許請求の範囲第１４項記載の力トラン
スジユーサ。１７一対の部材であつて、各部材が共通の中心
軸線に沿つて延在し、かつそれらの隣接する端部
において少なくとも一部分相補面を有し、該相補
面の少なくとも一方が前記中心軸線から90゜より
小さい角度を持つて配置された少なくとも１つの
感知部分を有し、前記各部材がその相補面から延
在する一対の平面状のスロツトを含み、第１のス
ロツトは深さＡを有し、第２のスロツトは深さＢ
を有し、少なくともＡ又はＢが０ではなく、前記
第２のスロツトが前記第１のスロツトから第１の
基準軸線の方向において離間されており、該第１
の基準軸線は前記中心軸線に直角であり、前記各
部材の上部及び下部ビーム部分が第２の基準軸線
に平行な軸線に関して比較的たわみやすく、該第
２の基準軸線が前記中心軸線及び前記第１の基準
軸線に直角であり、前記上部ビーム部分が前記第
１のスロツトによつて一側がかつ前記部材の表面
部分によつて他側がそれぞれ限定されており、前
記下部ビーム部分が前記第２のスロツトによつて
一側がかつ前記部材の表面部分によつて他側がそ
れぞれ限定されている一対の部材と、該一対の部材のそれぞれの上部ビーム部分と下
部ビーム部分とを接合してモノリシツク構造体を
形成し、前記相補面が前記第１の基準軸線の方向
において互いに離間され、かつ前記第１の基準軸
線に平行な方向に可動であるがその他の点では比
較的動かないようにする接合手段と、前記一対のスロツト間の前記相補面の前記感知
部分上の平面状導電性部材とを具備し、前記導電性部材に関連したキヤパシタンスを前
記一対の部材に加えられる力に関連付けるように
したことを特徴とする力トランスジユーサ。１８前記対のスロツトが平行である特許請求の
範囲第１７項記載の力トランスジユーサ。１９前記相補面が前記第２の基準軸線に平行な
少なくとも１つの平面を含み、該第２の基準軸線
が前記中心軸線に直角である特許請求の範囲第１
７項記載の力トランスジユーサ。２０ＡとＢの和が予め定められた値に等しい特
許請求の範囲第１７項又は第１９項に記載の力ト
ランスジユーサ。２１前記相補面が完全に平面であり、該平面が
前記中心軸線に関して平行ではなくてある角度を
持つて配置されている特許請求の範囲第１９項記
載の力トランスジユーサ。２２前記相補面が第１及び第２のサブ平面を含
み、該第１及び第２のサブ平面が前記第１の基準
軸線に平行でかつ前記中心軸線に関してある角度
を持つて配置されており、そしてこれら第１及び
第２のサブ平面が前記中心軸線に沿つて互いに変
位されており、前記第１のサブ平面が前記第１の
スロツトを含みかつ前記第２のサブ平面が前記第
２のスロツトを含み、前記相補面が前記第１及び
第２のサブ平面間に第３のサブ平面を含み、該第
３のサブ平面が前記導電性部材を支持する特許請
求の範囲第１９項記載の力トランスジユーサ。２３前記第３のサブ平面が前記中心及び基準軸
線に実質的に平行である特許請求の範囲第２２項
記載の力トランスジユーサ。２４前記第３のサブ平面が前記基準軸線に実質
的に平行であり、かつ前記中心軸線に関してある
角度を持つて配置されている特許請求の範囲第２
２項記載の力トランスジユーサ。２５ＡとＢが等しい特許請求の範囲第１８項、
第２１項及び第２２項のいずれかに記載の力トラ
ンスジユーサ。２６前記上部及び下部ビーム部分が前記中心軸
線の方向にテーパーをなしており、かつ前記相補
面に向つて延在しており、前記対のスロツトが前
記中心軸線に平行である特許請求の範囲第１７項
記載の力トランスジユーサ。