JPS5846562A - 電子線加速型平板状ディスプレイ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発＠紘電子線加遮置平板状ディスプレイ装置に係１）
、４１１にその変調電極群の改嵐に関する。

平板状ディスプレイ、装置としてはエレクト■ルＣ車ツ
ーｙス方式、ノツズマ方式、液晶方式を利用したものが
知られている。しかし、これらＯ方式の平板状ディメゾ
レイ懐置は文字表示のような低書変画像Ｏディスルイ装
置としては実用１れているが、高速走査でかつ為密度画
儂が必要であるカラーテレＩｌｌ＃ジ■ン用などＫは発
光効率に＠直がＴｏｌ１％ｔた大画面用としては実用的
ではない、このためテｙげジｌン用などとしては高真空
中で電子流を羨調加速して螢光面に形成された螢光体画
素を発光させるのに充分なエネルイーを付加してから螢
光体画素に射突し動的画像を再現させる電子線加速型の
平板状ディス／レイ装置が注目されてムる。

−従来の電子線加速型平板状ディスプレイ装置の一例を
第１図〜第３図によシ説明する。

第１図は対角長が約１．２１の平板状ディスプレイ装置
の外観斜視図であシ、全体が真空容器となっていて、内
部に平板状の熱電子線源、変調電極群、加速電極、螢光
体画素が形成された螢光面等が収められている０表示面
には、螢光面が被着形成されたガラスからなる平板状・
譬ネル上に透明な！ラスティ、り板あるい社ガッス板な
どからなる保護板１１が設けられている。

１１はζＯ虜謹板１１の周縁部に設けられた額縁状の支
持体であシ、１１はこの支持体と一体形成された７ラン
グ部である。

第２図はその内部構造の要部の分解斜視図、１１１３図
は側面からみた断面図である。２１は平板状ディスプレ
イ装置′め裏面外囲器を構成する金属板などからなる背
面基板であシ、この上にスペーナ２１が固定されておプ
、このスペーサ１１上に金属支持ｆｌａｘを介して平板
状の熱電子＠８１４が設けられている。この熱電子線源
１４は、各画素に対応する位置に孔があけられ九絶縁基
板１４１に熱陰極支持体１４諺を形成し、例えはり３／
／ステン纏をコイル状に形成し良熱陰極２４■を各画素
位置に配設して構成されたものである。

こＯ熱電子線源１４上には、第１の変調電極群ｘｉ、第
２の変調電極群１ｄが重ねられている。第１の変調電極
群２Ｉは、熱電子線源１４０有効部に対応する位置に電
子流の通過孔があけられた絶縁性基板２Ｊ１上に、ディ
ス／レイ装置の一直軸丁方向に多数の帯状電極片ｊＪｊ
ｓを配設したもＯで、電極片Ｉ１．には基板ｊｊｔの孔
に対応して、これよシ径の小さい孔が設けられてい為、
第３０羨調電極群１ｄは熱電子−ＩＩＩＩＪ４の有効部
に対応する位置に電子＠Ｏ通過孔があけられた絶縁性基
板ＩＣ１上にディスプレイ鋏置Ｏ水千軸Ｘ方向に多数の
帯状電極片１ｇ１を配設した％Ｏで、電極片１＃１には
第１の変調電極群の孔に対応して同様な孔が設けられて
いる。即ち、＠１の変調電極＊ＺＳの帯状電極片ＩＭ、
と第２の変調電極群２６の帯状電極片ｊｊ３　とは平板
状ディスプレイ装置の水、　　子軸Ｘ方向及び―直軸Ｙ
方向にマトリ、クスを形成するように配設されている。

第２の変調電極群２Ｃ上には多数の孔が穿設された絶縁
スペーｔｒｙを介して第１．第２の変調電極群ｘｉ、ｚ
ｔ；の孔に対応する位置に孔を有する平板状の加速電極
１８が設けられている。

この加速電極１８上には絶縁無機質からなる断面形状が
ほぼ円形のスペーｔｈｅを介して内面に螢光ｗＨが被着
形成された平板状・中ネルｊＯが゛設けられている。螢
光面は例えば螢光体画素を形成する赤、緑、青各色に発
光する帯状螢光体１１Ｊ＃ｔ　　ｅｌｍｇ　　ｍ　Ｈｍ
諺が平板状ディスプレイ装置の一直軸Ｙ方向に長手方向
が千行くなるように規則的に配列されて形成されえもの
で、ヒの平板状−ネルＪＯが表面外Ｈ器を形成するよう
Ｋｔうている。螢光体画素数はカラーの場合約γ器ＸＩ
Ｇ個となっている。

仁の橡な構造Ｏ平板状ディスプレイ装置の特徴の一つは
、一つの螢光体画素に対し、一つの熱陰極、一対の変調
電極の孔部、一つの加速電極Ｏ孔部を対応電せて最−単
純な構造になっているヒとである。

とζろでとのようなディスプレイ装置においては、絶縁
性基＠ＩＩ＠　　Ｉｇｓ上に帯状電極片Ｉｌｌ　ｅｌｍ
ｇを重ね、合わせて変調電極群を構成してい為ため、絶
縁性基板ｊｌＨ＋Ｉｇｌの孔Ｏ内＊１１＊ｅ１ｇ鄭に熱
電子源２４から放出畜れた電子が補Ｉ［すれ絶縁性基板
１＃１　。

Ｉｌｌが帯電する。このような帯電が起ると館１の変調
電極群に、電子ビームを制御する変調電圧、例えばＯ〜
−１６マを印加し九場合、印加直後は熱電子源から流れ
ゐ電子流を抑えることがで龜るが、時間が経過すゐにつ
れて絶縁性基板Ｏ孔Ｏ内−１１＠＊Ｉｇ−に捕えられた
電子が徐々に解１ｋｓれ、力、トオフ電圧を印加してい
るＫもかかわらず電子が螢光体層に向って流れ出す現象
が起シ、結果として東質な画像を表示で亀なくなる。

本発明はよ紀の点ＫＭみ、変調電勧板の孔の内壁での電
子の帯電現象をなくし、高品質の画像表示を可能とし九
電子總加速型平板状ディスプレイ装置を提供するもので
ある。

本発明においては、変調電極群を構成する絶縁性基板の
電子線通過孔の内壁を金属膜などの導電性愉質で被覆し
、かつ重ねる変調電極群の間に短絡防止のため絶縁スイ
ープを設けることを特徴とする０本発明によれば、電子
線通過孔内壁での帯電現象声防止される結果実質の画像
表示が可能となる。

本発明における変調電極は例えば次のようにして形成さ
れる。ｉず予めフォトエ、チンダなどで穿孔された絶縁
性基板に高周波ス・譬、夕などによｐｌＩ面に金属膜を
形成する。ス／譬、夕による膜形成は壕わシ込みが曳い
ため絶縁性基板の孔の内壁にも均一に付着することがで
自る・乙のと自絶縁性基板を極めて滑らかな台に載せて
スｄ、−を行えば台と接する面には金属が付着しない、
よって絶縁性基板上ｌＩｓ表面と孔内壁Ｏみに金属膜が
形成された絶縁性基＊が得られこの両面にし５ＰＸ）フ
ィルム、例えばＲＩ８ＴＯＮ＠アイルム（Ｄυデｏｍ＊
＞を貼り付は露光し金属膜をエツチングして帯状電極片
を形成する。このように変調電極群をフォトエ、チンダ
ニ程で形成することによ）、組立工程でのアツイメンＦ
が確実Ｋするとともに帯電現象による不安定性が解消１
れるえめ巖質ＯｉＩ像を得ることがで龜る・ 以下本発明の一実施例の変調電極群を第４図の側造工１
ｉＫ１ｍうて説明する。

まず、フォＦエッチｙ　／　ｆ　＊−にスなどで多数の
電子流通過孔４１を配列形成し−た絶縁性基板４１を用
意しくａ）、スｄ、りなどによル表面、に金属ｆｌｉ４
ｇを形成する（ｂ）、絶縁性基板としそガラスを使用し
丸場金一般に金属とガラスがなじみＫ＜＜密着度が低い
、ヒＯため通常は金属とガラスの間にクロムのような比
較的ガラスとなじみ易い金属を介在させ密着強度を大き
くするζどが知られている・しかじ、クロム膜を形成し
次に所望の金属膜をつける方法では、膜形成の工稠数が
増えることになる。＝ンタクトメタルとしてクロムを使
用するかわシにクロムを含有すゐ合金、例えばステンレ
スを使用すれば膜形成は一度で済む、実際ガラス表面に
スイ、りしたステンレス膜は密着度が高くテープ剥離テ
スト程度では容易に剥離しない。

次に電極を形成するためのレジスト塗布は多数個の孔を
もつ基板では通常のスピナーコート中引き上が塗布がむ
づかしい、従ってフォトポリｆｆ　−フィルムレジスト
４４１．．４４書（ＲＩ８ＴＯＮ＠　ＤＵｉ’ＯＮＴ製
）を両面に貼シ付ける（Ｑ。

次にマスクを重ね合せ露光、現像工程でレジストイタ一
νを形成しくｄ）、ステンレス用工、チャｙ）例えば塩
化第二鉄などで金属の工、チンダを行うｅ’ｌお、こ０
！：＊電子線通過孔の内１１は孔の上下がレジスト４４
１＋４４嘗で優われているＯ′ｅ工、チンダ１れない、
このようにして金属膜４Ｊをストライプ状にし、帯状電
極を形成した第１の変調電極＃ａｎを得る（Ｏ）、第２
の変調電極群１１％第１の変調電極群４ｊと同様に、絶
縁性基板５１上に、電子流通過孔・５２の内壁をかかう
ように金属Ｗ／Ｌｓｓからなる帯状電極片を形成して得
られるが、そのラインの方向は第１の変調電極群４Ｊと
は直交する（ｆ）。

次に、ヒラして形成された第１の変調電極群４ｇと第２
の変調電極群５５との絶縁およびそれらを固着形成する
ため、第１の変調電極群４１Ｊ＝ｌＣ低融点亭田ｆツス
層６１を形成すゐ。

第１０変調電極群４１と第２の変調電極群ｘｉとの間隔
を正確に冨ントロールするため、低融点半田ガラス層−
７１中に紘所定の粒度分布をもつガラスＣ−ズｃ１を混
入する。低融点半田ガラスは結晶化半田プラス（例えば
岩城ガラス製ＩＷＦ７Ｓ７！ｓ）に非晶質半ａｔ、ＩＸ
（ｆ’ｉｌえハＩＷＦ−丁０２−）を重量比で１５哄混
入することが好ましい、ｆラス曾−ｌツリ、ト層の形成
は例えば前記混合ツリ、トをイソデ１２Ｖ！ルアルコー
ルなどに分散させ沈降法により形成する。沈降法によ１
ガラスＶ−ズフリ、）層を形成することで７９、ト層が
絶縁性基板４１０通過孔４１の端からＩＩ　Ｏｆｉｍは
ど徒退して積層するので絶縁性物質を電子流にさらさな
いように形成することができる・ ツリ、ト層の焼成は結晶化の起る温度以下で仮焼成する
。Ｉｌｌの変調電極群４５の仮焼成後。

第２の変調電極群５Ｊの通過孔５１を第１の変調電極群
４５の通過孔４ｊに位置を合せながら整置し、整置後再
び４５０℃に加熱し、第１の変調電極群４５と第２の変
調電極群５５の一部化形成を行う（ぎ）。

本夷鉋例によル得られ九２００ＸＺ−５０■の変調電極
群複合体では電子流通過孔４ｊ１．１１の乱れはほとん
ど゛なく、しかも電子流部に絶縁性物質が実効的に露出
していないので電子が絶縁性基板４１．ＩＩの電子流通
過孔４１．１１０内Ｉ！に捕獲されること亀なく極めて
安定した１＊１本ｍ１ｅｔ例では金属膜をステンレス、
膜形成法をスイッタ、第１の変調電極８４１と第１の変
調電極群１１間の絶縁スペーサをｆラメｒ　−ｊｅＢ入
ツリットで説明したが、必らずしもむ九にとられれると
となく、例えば金属膜は１、タル、膜形成法としては加
熱蒸着法、絶縁スベーナ紘スｄ、夕等による絶縁膜で形
成するととも可能である。

上述のように本発明によれば、変調電極群の電子流通過
孔内壁での帯電を防止でき、會九熱電子Ｓ＊に対して正
確に変調電極群をアライメントさせて高晶質の画像表示
を可能とした平板状ディスプレイ羨筐を実現でき、その
ｔ業的儒値は極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子−加速璽平板状デイスプレイ装置の外観斜
＠ＩＩ、第２ＷＪはその内部構造を示す分解斜視図、第
５１１ａ同じく側面からみた断面図、＠４１１！１も】
〜ωは本発明の一実施例における変調−一被合体の製造
工程の要部を示す説明図である。 ４１６１１・・・絶縁性基板、４１．１２・・・電子流
通過孔、４　Ｊ　、　ｌ　Ｊ−・・金属膜、４５・・・
第１の変調電極群、ｌ　ｌ−・・第２の変調電極群、６
１−・・低融点半田ガラス層、ｇｌ・・・ガラスげ一ズ
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　真空春器内に、各螢光体画素に対応して熱電
   子線を発する熱電子線源と、この熱電子線源からの電子
   流を情報信号に応じて変調して取出す複数の変調電極群
   と、この変調電極群によｐ取出された電子流を加速する
   加速電極と、この訓導電極によ如加速された前記電子流
   の射突によ〉発光する前記螢光体画素の形成された螢光
   面とを具備する電子線加速型平板状ディスｌレイ装置に
   おいて、前記変調電極群は、電子流の通過孔が配列形成
   された絶縁性基板表面にその通過孔と連通する電子線の
   通過孔が配列形成され喪複数の帯状電極片が配設され、
   かつ１記絶縁性基板の電子線通過孔の内壁が導電性物質
   で被覆され、各変調電極群の間には絶縁ス（−ｔを有す
   るヒとを＊＊とする電子線加速型平板状ディスｌレイ装
   置。
2. （２）　　鍵記絶縁翼ぺ−ｔは電子流通過孔の縁から後
   遇し実効的に絶縁性物質が電子流にさらされない構造と
   し九ことを特徴とする特許請求の範１ｉ１１１１項記Ｉ
   ｔＯ電子−加適着平板状デイス！レイ義置。