JPS5845780B2 - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
- Publication number
- JPS5845780B2 JPS5845780B2 JP5269378A JP5269378A JPS5845780B2 JP S5845780 B2 JPS5845780 B2 JP S5845780B2 JP 5269378 A JP5269378 A JP 5269378A JP 5269378 A JP5269378 A JP 5269378A JP S5845780 B2 JPS5845780 B2 JP S5845780B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron gun
- gun chamber
- chamber
- electron
- torr
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線描画装置等の電子銃に係り、特に効率的
な排気を可能にする電子銃に関する。
な排気を可能にする電子銃に関する。
例えばＬａＢ６．陰極材を用いる電子銃におげろように
タングステン陰極のそれよりも高真空電子銃室内雰囲気
を必要とする場合、イオンポンプ等の超高真空排気系を
設げ１Ｏ−７ＴＯＲＲ以下の高真空にする為、電子銃室
及び鏡体内の部品材料が制限されたり脱ガス処理等が複
雑となったりして価格が高くなる。
タングステン陰極のそれよりも高真空電子銃室内雰囲気
を必要とする場合、イオンポンプ等の超高真空排気系を
設げ１Ｏ−７ＴＯＲＲ以下の高真空にする為、電子銃室
及び鏡体内の部品材料が制限されたり脱ガス処理等が複
雑となったりして価格が高くなる。
本発明の目的はかかる欠点のない電子銃を提供すること
にある。
にある。
本発明はＬａＢ６ 陰極のガス雰囲気中の電子放射特性
を調べ、アルゴンガス雰囲気では１Ｏ−２ＴＯＲＲ以下
の真空度であれば殆ど変化がないという実験により勘認
された事実と、バルクゲッターポンプがアルゴンガスを
殆ど排気せず他の活性ガスについて充分排気能力を持っ
ているという事実とを利用して１０−２〜１０−５ Ｔ
ＯＲＲでＬａＢ６陰極を使用するようにしたものである
。
を調べ、アルゴンガス雰囲気では１Ｏ−２ＴＯＲＲ以下
の真空度であれば殆ど変化がないという実験により勘認
された事実と、バルクゲッターポンプがアルゴンガスを
殆ど排気せず他の活性ガスについて充分排気能力を持っ
ているという事実とを利用して１０−２〜１０−５ Ｔ
ＯＲＲでＬａＢ６陰極を使用するようにしたものである
。
以下本発明の→実施例を説明すると、ＬａＢ６でつくら
れた陰極を含む電子放射部１は電子銃室１０に装着され
、アノードＴと対向している。
れた陰極を含む電子放射部１は電子銃室１０に装着され
、アノードＴと対向している。
電子銃室１０は真空バルブ６が開かれたときに排管１１
を通して油拡散ポンプＤＰ、油回転ポンプＲＰにより排
気される。
を通して油拡散ポンプＤＰ、油回転ポンプＲＰにより排
気される。
排管１１には更にバルブ５を有するアルゴンガス流人パ
イプが接続されている。
イプが接続されている。
電子銃室１０の側壁と電子放射部１との間に電子銃室内
筒２があり、この外周にヒータ３を内蔵したバルクゲッ
ターポンプ４が装着されている。
筒２があり、この外周にヒータ３を内蔵したバルクゲッ
ターポンプ４が装着されている。
アノード７の下部には下部レンズ系内の圧力差を持たせ
る為の差圧絞り８が設けられている。
る為の差圧絞り８が設けられている。
上記構成の電子銃においてまず真空バルブ６を開き油回
転ポンプおよび油拡散ポンプにより１０−’ ＴＯＲＲ
迄排気し真空バルブ６を閉じ一アルゴンガスバルブ５を
開きアルゴンを１Ｏ−４ＴＯＲＲ迄注入し、バルクゲッ
ターポンプ４を作動させる。
転ポンプおよび油拡散ポンプにより１０−’ ＴＯＲＲ
迄排気し真空バルブ６を閉じ一アルゴンガスバルブ５を
開きアルゴンを１Ｏ−４ＴＯＲＲ迄注入し、バルクゲッ
ターポンプ４を作動させる。
バルクゲッターポンプ４により電子銃室内の活性ガス分
圧は１０−’ ＴＯＲＲから１Ｏ−８ＴＯＲＲ又はそれ
以下に排気することができる。
圧は１０−’ ＴＯＲＲから１Ｏ−８ＴＯＲＲ又はそれ
以下に排気することができる。
長時間作動によりアルゴンガス圧力は上昇してくるが定
期的に真空バルブ６を開くことにより所定の電子銃室内
圧力を保つことが出来る。
期的に真空バルブ６を開くことにより所定の電子銃室内
圧力を保つことが出来る。
電子銃室内圧力が１０ ’ ＴＯＲＲを保持している
為にその内壁面よりのアウトガス量を高真空の場合と比
較して小さく押えることが出来、したがって電子銃室内
部品の材料、熱処理等を単純化することが可能であり、
更にＬａ Ｂ６ 陰極使用の為の高真空化を計る必要
がないので排気系の簡略化が可能となる。
為にその内壁面よりのアウトガス量を高真空の場合と比
較して小さく押えることが出来、したがって電子銃室内
部品の材料、熱処理等を単純化することが可能であり、
更にＬａ Ｂ６ 陰極使用の為の高真空化を計る必要
がないので排気系の簡略化が可能となる。
本発明によれば特別の高真空排気装置なしにＬａＢ、
陰極の電子銃の使用が可能となり、電子銃室内部品材
料の選択、高真空化処理等の処理が不必要となり、低価
格で製造可能となる効果がある。
陰極の電子銃の使用が可能となり、電子銃室内部品材
料の選択、高真空化処理等の処理が不必要となり、低価
格で製造可能となる効果がある。
図は本発明の一実施例を示す電子銃の縦断面図である。
１・・・電子放射部、２・・・電子銃室内筒、３・・・
ヒータ、４・・・バルクゲッターポンプ。
ヒータ、４・・・バルクゲッターポンプ。
Claims (1)
- Ｉ ＬａＢ６を陰極材として用いる電子銃において、
その電子銃室内に所定圧力の不活性ガスを導入し、この
状態で前記電子銃室内を、前記不活性ガスを残留させ、
活性ガスを選択的に排気する真空ポンプ装置により排気
するように構成したことを特徴とする電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5269378A JPS5845780B2 (ja) | 1978-05-04 | 1978-05-04 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5269378A JPS5845780B2 (ja) | 1978-05-04 | 1978-05-04 | 電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54144862A JPS54144862A (en) | 1979-11-12 |
| JPS5845780B2 true JPS5845780B2 (ja) | 1983-10-12 |
Family
ID=12921958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5269378A Expired JPS5845780B2 (ja) | 1978-05-04 | 1978-05-04 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845780B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5890283U (ja) * | 1981-12-12 | 1983-06-18 | 東陶機器株式会社 | 便器洗浄装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004214480A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Nikon Corp | 露光装置 |
-
1978
- 1978-05-04 JP JP5269378A patent/JPS5845780B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5890283U (ja) * | 1981-12-12 | 1983-06-18 | 東陶機器株式会社 | 便器洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54144862A (en) | 1979-11-12 |
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