JPS5841793B2 - レ−ザ共振器破壊検知装置 - Google Patents
レ−ザ共振器破壊検知装置Info
- Publication number
- JPS5841793B2 JPS5841793B2 JP5970781A JP5970781A JPS5841793B2 JP S5841793 B2 JPS5841793 B2 JP S5841793B2 JP 5970781 A JP5970781 A JP 5970781A JP 5970781 A JP5970781 A JP 5970781A JP S5841793 B2 JPS5841793 B2 JP S5841793B2
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- JP
- Japan
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- resonator
- detection device
- laser resonator
- reflecting mirror
- laser
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レーザ共振器の破壊を検知する装置に関す
るものである。
るものである。
従来、レーザ共振器の破壊検知装置として、第１図に示
すものがあった。
すものがあった。
図において、１はレーザ共振器、２ａ、２ｂは気密容器
内で所定間隙をもって対向した一対の放電電極、３は気
密容器内のＣＯ２ガス、４は部分反射鏡、５は全反射鏡
、６は放電電極２ａ 、２ｂ間に流れる電流を測定する
電流計、Ｔは電源、８はレーザ共振器１から出力される
レーザ光、９はリレーを示す。
内で所定間隙をもって対向した一対の放電電極、３は気
密容器内のＣＯ２ガス、４は部分反射鏡、５は全反射鏡
、６は放電電極２ａ 、２ｂ間に流れる電流を測定する
電流計、Ｔは電源、８はレーザ共振器１から出力される
レーザ光、９はリレーを示す。
次に、従来装置の動作について説明する。
先ず、レーザ共振器１の気密容器内にＣＯ□ガス３を約
一気圧程度封入する。
一気圧程度封入する。
次に、リレー９を閉じて電源７により一対の電極２ａ、
２ｂ間に電圧な印加することによって、電極間にグロー
放電を生じさせる。
２ｂ間に電圧な印加することによって、電極間にグロー
放電を生じさせる。
これにともないグロー放電によって励起されたＣ０２ガ
ス３から１０．６μｍの赤外線が放出され、全反射鏡５
と部分反射鏡４の間で共振し、部分反射鏡４からレーザ
光８が取り出される。
ス３から１０．６μｍの赤外線が放出され、全反射鏡５
と部分反射鏡４の間で共振し、部分反射鏡４からレーザ
光８が取り出される。
ところで、部分反射鏡４が破壊されたときには、外部か
ら空気が共振器１内部に流れ込み、共振器１内部の圧力
が増大する。
ら空気が共振器１内部に流れ込み、共振器１内部の圧力
が増大する。
このため、一対の電極２ａ、２ｂ間のグロー放電がアー
ク放電に変化し、放電電流が増大する。
ク放電に変化し、放電電流が増大する。
この放電電流の増加を電流計６で検出し、リレー９を働
かせ、電源７と電極をしゃ断する。
かせ、電源７と電極をしゃ断する。
従来の装置は以上のように構成されているので、部分反
射鏡４が完全に破壊し、共振器１内に外部の空気が流れ
込んだ後に破壊が検知される構成であった。
射鏡４が完全に破壊し、共振器１内に外部の空気が流れ
込んだ後に破壊が検知される構成であった。
このため、リレー９が働いたときには、共振器１内のＣ
Ｏ２ガス３は外部の空気に汚染され、再度レーザ共振器
１を作動させるためには共振器１内のＣＯ２ガス３の取
りかえが必要であった。
Ｏ２ガス３は外部の空気に汚染され、再度レーザ共振器
１を作動させるためには共振器１内のＣＯ２ガス３の取
りかえが必要であった。
また、一対の１極２ａ、２ｂ間においてアーク放電が発
生するため、電極の劣化が激しく、レーザ共振器の使用
寿命が著しく短かくなるという欠点があった。
生するため、電極の劣化が激しく、レーザ共振器の使用
寿命が著しく短かくなるという欠点があった。
なお、ここでは部分反射鏡の破壊について説明したが、
全反射鏡においても同様の現象が生ずる。
全反射鏡においても同様の現象が生ずる。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、部分反射鏡または全反射鏡からの
散乱光を検出することによって、反射鏡力浣全に破壊し
、外部からレーザ共振器内に空気が浸入する以前に電源
と電極間の接続を遮断することができるレーザ共振器破
壊検知装置を提供することを目的としている。
めになされたもので、部分反射鏡または全反射鏡からの
散乱光を検出することによって、反射鏡力浣全に破壊し
、外部からレーザ共振器内に空気が浸入する以前に電源
と電極間の接続を遮断することができるレーザ共振器破
壊検知装置を提供することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第２図はこの発明の実施例装置を示し、図において、第
１図と同一または相当部分には同一符号を付しである。
１図と同一または相当部分には同一符号を付しである。
図中、１１は部分反射鏡４かも生じる散乱光を示す。
１０はこの散乱光１１を検出するために用いられる赤外
線検出装置であり、リレー９に接続され作動させるもの
である。
線検出装置であり、リレー９に接続され作動させるもの
である。
なお、第３図は部分反射鏡が破壊する時の散乱光の強度
変化を時系列で示した図である。
変化を時系列で示した図である。
ところで、部分反射鏡４が破壊する原因として、いくつ
か知られている。
か知られている。
その−例としては、部分反射鏡４０表面にほこりなどの
異物が存在した場合、この異物によってＣＯ□レーザ光
の一部が吸収され、部分反射鏡４が局部的に高温になり
破壊する。
異物が存在した場合、この異物によってＣＯ□レーザ光
の一部が吸収され、部分反射鏡４が局部的に高温になり
破壊する。
ここで、部分反射鏡４０表面に異物が存在すると、この
異物によってレーザ光が散乱されることは、光散乱の理
論から明らかであり、第３図の如く、散乱光を観察する
ことが出来る。
異物によってレーザ光が散乱されることは、光散乱の理
論から明らかであり、第３図の如く、散乱光を観察する
ことが出来る。
この散乱光が生じると同時に、異物によるレーザ光の吸
収が始まり、異物近傍の部分反射鏡４表面が高温になり
、部分反射鏡４が破壊する。
収が始まり、異物近傍の部分反射鏡４表面が高温になり
、部分反射鏡４が破壊する。
このとき、第３図かられかるように、散乱光が生じてか
ら、部分反射鏡４が破壊するまでに一定の時間の経過が
見られる。
ら、部分反射鏡４が破壊するまでに一定の時間の経過が
見られる。
このため散乱光を検出したときに、即ち、第３図Ａ点に
おいてリレー９を動作させ、電源７と電極との接続を切
断することによって、部分反射鏡４が完全に破壊するま
でに、レーザ共振器１の電源７を切離することが出来る
ことになる。
おいてリレー９を動作させ、電源７と電極との接続を切
断することによって、部分反射鏡４が完全に破壊するま
でに、レーザ共振器１の電源７を切離することが出来る
ことになる。
上記、実施例については部分反射鏡４の破壊についての
み説明したが、全反射鏡５の場合にも同様である。
み説明したが、全反射鏡５の場合にも同様である。
以上のように、この発明装置によれば、レーザ共振器を
構成する反射鏡が完全に破壊し、空気が共振器内に浸入
するまでに反射鏡の状態の変化を検知することが出来る
ので、空気の浸入による共振器内のＣＯ２ガスの空気に
よる汚染を防止することができ、又、アーク放電による
放電電極の劣化を防止し、共振器の使用寿命を延ばすこ
とが出来るという効果がある。
構成する反射鏡が完全に破壊し、空気が共振器内に浸入
するまでに反射鏡の状態の変化を検知することが出来る
ので、空気の浸入による共振器内のＣＯ２ガスの空気に
よる汚染を防止することができ、又、アーク放電による
放電電極の劣化を防止し、共振器の使用寿命を延ばすこ
とが出来るという効果がある。
第１図は従来のレーザ共振器破壊検知装置の簡略図、第
２図はこの発明の一実施例によるレーザ共振器破壊検知
装置の簡略図、第３図は共振器の反射鏡が破壊する時の
散乱光の強度の時系列変化を示す図である。 なお、図中同一または相当部分には同一符号を付しであ
る。 １・・・レーザ共振器、２ａ、２ｂ・・・放電電極、３
・・・ＣＯ２ガス、４・・・部分反射鏡、５・・・全反
射鏡、６・・・電流計、Ｔ・・・電源、８・・・レーザ
光、９・・・リレー、１０・・・散乱光検出器、１１・
・・散乱光。
２図はこの発明の一実施例によるレーザ共振器破壊検知
装置の簡略図、第３図は共振器の反射鏡が破壊する時の
散乱光の強度の時系列変化を示す図である。 なお、図中同一または相当部分には同一符号を付しであ
る。 １・・・レーザ共振器、２ａ、２ｂ・・・放電電極、３
・・・ＣＯ２ガス、４・・・部分反射鏡、５・・・全反
射鏡、６・・・電流計、Ｔ・・・電源、８・・・レーザ
光、９・・・リレー、１０・・・散乱光検出器、１１・
・・散乱光。
Claims (1)
- １ レーザ媒質が封じ込められた気密容器内で所定間隙
をもって対向した一対の電極間の放電により発生したレ
ーザ光を共振させるレーザ共振器を構成する反射鏡から
生じる散乱光の強度を検知する検出装置を備えてなるレ
ーザ共振器破壊検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5970781A JPS5841793B2 (ja) | 1981-04-22 | 1981-04-22 | レ−ザ共振器破壊検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5970781A JPS5841793B2 (ja) | 1981-04-22 | 1981-04-22 | レ−ザ共振器破壊検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57176782A JPS57176782A (en) | 1982-10-30 |
| JPS5841793B2 true JPS5841793B2 (ja) | 1983-09-14 |
Family
ID=13120951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5970781A Expired JPS5841793B2 (ja) | 1981-04-22 | 1981-04-22 | レ−ザ共振器破壊検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841793B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3599973B2 (ja) | 1997-10-02 | 2004-12-08 | 三洋電機株式会社 | ディジタルカメラ |
-
1981
- 1981-04-22 JP JP5970781A patent/JPS5841793B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57176782A (en) | 1982-10-30 |
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